【課題】ガイド部材にズレが生じてもプローブがスムーズに摺動可能なガイド部材によるプローブの保持構造を提供する。
【解決手段】電気的接触子がガイド部材によって保持された電気的接触子構造であり、電気的接触子は、先端にプランジャ、後端に支持部、さらにプランジャと支持部を接続するスプリングコイル、およびプランジャからスプリングコイル内へと延びる制動軸部を有し、スプリングコイルはプランジャに接続される可動部および支持部に接続され可動部よりも密に巻回されている固定部からなり、ガイド部材は、電気的接触子の先端側が挿入される第1のガイド穴が設けられた第１のガイド部材１１と、電気的接触子の後端側が挿入される第２のガイド穴が設けられた第２のガイド部材１２とが所定の間隔で配置されており、第１のガイド部材と第２のガイド部材との間で、スプリングコイルが湾曲するように、第１のガイド穴と第２のガイド穴が配置されている。 （もっと読む）

【課題】プランジャー体及びスリーブ体に格別の加工を施さなくともプランジャー体の回転後退を可能にする。
【解決手段】一端２０を前記スリーブ体１の一端１０から外方に突き出される接触端２２とする第一プランジャー体２と、一端３０を前記スリーブ体１の他端から外方に突き出される接触端３２とする第二プランジャー体３と、スリーブ体１内にあってバネ一端４０を第一プランジャー体２に固定させ、かつ、バネ他端４１を第二プランジャー体３に固定させた圧縮コイルバネ４とを備える。バネ４のバネ一端４０は、このバネ４の巻回中心軸ｙに対し偏心した位置にあると共に、第一プランジャー体２の中心軸ｘに対し偏心した位置において、この第一プランジャー体２に固定されている。 （もっと読む）

【課題】 可動電極の円滑な移動を確保することが可能な導電性コネクタの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明にかかる導電性コネクタの製造方法の構成は、検査装置において検査対象である回路３０２の電極（端子３０４）に接触させて通電するための導電性コネクタ１００の製造方法であって、絶縁性シート１１０に貫通孔１１２を形成し、貫通孔の内面にマスク層１１４を形成し、マスク層の内側に剛性導体（可動電極１８０）を形成し、導電性粒子１９２を混入した液状の高分子材料１９０を剛性導体に接触するように塗布し、高分子材料を硬化させて弾性物質とすることにより剛性導体に接合した異方導電性膜（第１異方導電性膜１９０ａ）を形成し、マスク層をエッチングによって除去することにより、剛性導体を絶縁性シートに対して移動可能な可動電極とすることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被検査体の電極への影響を抑えつつ電極の微細ピッチ化及び微細領域化に対応して効率的に被検査体の検査を行うことができる低コストの検査用治具を提供する。
【解決手段】被検査体２１の電極２２に接触される導電性を有する複数の接触子３３が微小電気機械システム技術によって基板３２に形成された検査用プローブ３１と、検査用プローブ３１を支持するプローブブロック１２とを備え、被検査体２１に対して検査用プローブ３１が垂直に配置され、検査用プローブ３１の接触子３３の先端側が基板３２の表面に対して所定角度で屈曲され、プローブブロック１２と被検査体２１とが近接されることにより、被検査体２１に対して垂直方向から近接されて接触子３３の先端からなる接点３５が被検査体２１の電極２２に接触される。 （もっと読む）

【課題】ピッチを狭小化し、繰り返しの使用による耐久性および耐熱性が高く、バネ性を有しながら、接触対象間で確実かつ良好な導通を得ることができるコンタクトプローブおよびプローブユニットを提供すること。
【解決手段】板厚が均一な略平板状をなし、異なる基板間を接続するコンタクトプローブ２０と、コンタクトプローブ２０を保持するプローブホルダ１０と、を備えたプローブユニット１であって、コンタクトプローブ２０は、一方の基板の電極と接触する第１接触部と、他方の基板の電極と接触する第２接触部と、第１および第２接触部を接続する接続部と、第１および第２接触部に加わる荷重によって弾性変形する弾性部と、弾性部の接続部との連結側と異なる側の端部に設けられ、第２接触部側と反対方向に突出してプローブホルダ１０に取り付けられる取付部と、を有し、プローブホルダ１０が、取付部を挟み込んで保持する。 （もっと読む）

【課題】微細かつ確実に対象点上の酸化膜等の除去が可能な接続端子を提供する。
【解決手段】対象点間を接続する接続治具に用いられる接続端子である。小径の導電部とそれを囲むように配置された大径の導電性の円筒形状部とを備え、大径の導電性の円筒形状部の筒壁面に長軸方向に収縮するばね部が形成され、小径の導電部の先端部が、大径の導電性の円筒形状部の先端部から突出し、小径の導電部の一部が、大径の導電性の円筒形状部のばね部が形成されていない部分の先端部に近い位置に電気的に接続されて接合されており、小径の導電部の先端部が対象点から押圧されて後退するのに伴いばね部が収縮しながら旋回して小径の導電部の先端部を対象点上で旋回させる。 （もっと読む）

【課題】円筒形状部が抵抗溶接による固定の前後においてほぼ円形形状を維持している接続端子を提供する。
【解決手段】対象点間を接続する接続治具に用いられる接続端子は、小径の導電部とそれを囲むように配置された大径の円筒形状部とを備え、小径の導電部の先端部が、大径の円筒形状部の先端部から突出し、小径の導電部の一部が、大径の円筒形状部の一部に接合されており、小径の導電部に接合された大径の円筒形状部の部分を少なくとも含む円筒形状部の軸線の周りの帯状部分の一部に切欠き部が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 十分な耐久性を確保することができ、薄膜化ひいては高周波特性の向上を図ることが可能な異方導電性膜、およびそれを用いた導電性コネクタを提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明にかかる異方導電性膜の代表的な構成は、弾性高分子材料１１０中に導電性粒子１２０が分散され、厚み方向に異方導電性を示すシート状の異方導電性膜１００において、導電性粒子の粒度累積分布の累積１０％の粒径であるｄ１０（小粒径導電性粒子１２４の粒径）は、累積９０％の粒径であるｄ９０（大粒径導電性粒子１２２の粒径）の半分以下であって、導電性粒子のｄ９０は弾性高分子材料の平均厚さの７０％〜９０％であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
実施形態は、パッド部と接触容易なプローブ針を提供する。
【解決手段】
本実施形態のプローブ針１００は、半導体装置の検査に用いられるプローブ針１００であって、前記半導体装置内のパッドと接触する面を含む端子部１０（１０ａ、１０ｂ）と、前記端子部１０（１０ａ、１０ｂ）と一体に接続され、前記端子部を支持する支持部２０とを備えることを特徴とする。
また、本実施形態のプローブ針１００は、前記端子部２０は第１の面及び第２の面を有し、前記第１の面は、前記第２の面と異なる方向に延びるようにしてもよい。 （もっと読む）

【課題】プローブで発生した熱を効率よく放散し、プローブの温度上昇を効果的に抑制することにある。
【解決手段】電気信号を通すプローブは、配線基板の接続電極に取り付けられる接続領域を有する外面を備えるプローブの本体部と、前記本体部に埋設され、前記本体部の前記外面から一部を露出する少なくとも１つの伝熱部と、前記伝熱部の露出する前記一部に接し、前記接続領域を除く前記外面の少なくとも一領域を覆う膜状の放熱部とを含む。前記本体部は導電性材料からなり、前記伝熱部及び前記放熱部は、前記導電性材料よりも伝熱性の高い材料からなる。 （もっと読む）

【課題】プローブ用パッドと外部接続端子とを接続する複数の表面配線を基板本体の同じ表面に容易に配設できると共に、設計および製造期間を短縮でき且つ容易に製造できる電子部品検査装置用配線基板およびその製造方法を提供する。
【解決手段】複数のセラミック層ｓ１，ｓ２を積層してなり、平面視が矩形の表面３および裏面４を有する基板本体２と、該基板本体２の表面３における中心側３ａに形成され且つプローブ１６が実装される複数のプローブ用パッド５と、基板本体２の表面３における周辺側３ｂで且つ複数のプローブ用パッド５の外側に形成された複数の外部接続端子６と、プローブ用パッド５と外部接続端子６との間を個別に接続し且つ基板本体２の表面３に形成された表面配線７、および基板本体２のセラミック層ｓ１，ｓ２間に形成された内部配線８，９と、を含み、上記内部配線８，９は、電源配線層８および接地配線層９の少なくとも一方である、電子部品検査装置用配線基板１。 （もっと読む）

【課題】被検体との低付着性を実現するとともに、長期間に亘って安定な導電性を保つことができ、特に、約８５℃程度の高温での繰返し接触や、大気中で長期間放置された後も、被検体との低付着性を実現すると共に、接触抵抗の上昇を抑制し得、長期間に亘って安定な電気的接触を保つことのできる電気的接点部材を提供する。
【解決手段】電気的接点部材は、被検体に繰返し接触する電気的接点部材であって、被検体と接触する電気的接点部材の表面は、Ｐｄを含有する炭素被膜で構成されている。 （もっと読む）

【課題】 弾性変形時における針圧や高周波特性を確保しつつ、耐電流性能を向上させることができる電気的接触子を提供する。
【解決手段】 コンタクトプローブ１００は、弾性変形部１とコンタクト部２とからなり、弾性変形部１が、長尺方向の力によって弾性変形する細長い板状体１０Ａ，１０Ｂと、板状体１０Ａ，１０Ｂの長尺方向と交差するワーク対向面１２ｗ上にコンタクト部２が配置され、空隙１０Ｓを介して主面を対向させた状態で板状体１０Ａ，１０Ｂの一端を互いに結合させる針先結合部１２と、板状体１０Ａ，１０Ｂの他端を互いに結合させる針元結合部１１とからなる。板状体１０Ａ，１０Ｂは、第１の導電性金属からなる応力層１０１，１０３と、第１の導電性金属よりも比抵抗が小さい第２の導電性金属からなる電導層１０２とから形成され、第１の導電性金属の機械的強度が第２の導電性金属よりも高い。 （もっと読む）

【課題】プローブの支持孔を所望の位置に高精度に形成することができるプローブ支持基板の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明のプローブ支持基板の製造方法では、第１の金属薄板１１にプローブ２０より大径の孔１１Ａを複数のプローブ２０の配列パターンに即して複数形成し、複数の大径孔１１Ａの互いに対応する大径孔１１Ａ同士をそれぞれ位置合わせして第１の金属薄板１１を複数枚積層して第１の積層体１２を得る。次いで、第１の積層体１２の主面に第２の金属薄板１３を積層して第２の積層体１４を得た後、第２の積層体１４を加熱、加圧して複数の第１の金属薄板１１と第２の金属薄板１３をそれぞれ互いに接合し、複数のプローブ２０の位置決め孔１３Ａを、複数の大径孔１１Ａに対応させてプローブ２０の外径に即した大きさで第２の金属薄板１３に形成する。 （もっと読む）

【課題】プローブとプローブ支持基板との絶縁性を十分に確保すると共に経時的に安定化させることができるプローブ支持基板の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明のプローブ支持基板１０は、プローブ支持基板１０は、複数の金属薄板１１と第１、第２の金属薄板１３、１４が積層され且つ互いに接合された積層体と、積層体の上面に形成されて複数のプローブ２０を積層体から電気的に絶縁する絶縁被膜１６と、を備え、複数の金属薄板１１、１３、１４のうちの第２の金属薄板１３には、プローブ２０のリード部２０Ｃを摺動可能に支持し且つプローブ２０の支持位置を決める位置決め孔１７Ａを有する絶縁性の支持薄板１７が複数個所で一体化して形成されており、且つ、これらの支持薄板１７がその両面に配置された第１、第３の金属薄板１１、１４によって挟持されていると共に位置決め孔１７Ａが貫通孔１０Ａ内に位置している。 （もっと読む）

【課題】コンタクト部などの試験装置治具の製作数量、及び、材料コストを低減することが可能な技術を提供することを目的とする。
【解決手段】コンタクトプローブは、樹脂封止型半導体装置１５の端子１６に離接自在に接触して電気的接続をとるプローブピン１を備えるコンタクトプローブであり、コンタクト部１１と、段差構造１２とを備える。コンタクト部１１は、プローブピン１の先端位置に規定されている。段差構造１２は、コンタクト部１１コンタクト部に段差状に形成され、樹脂封止型半導体装置１５の端子１６との複数の接触面１２ａ，１２ｂを提供する。 （もっと読む）

【課題】 製造が容易で、壊れにくい電子部品用測定冶具を提供する。
【解決手段】 本発明の電子部品用測定冶具１００は、絶縁基板１と、金属箔２と、ソルダーレジスト膜３と、複数の金属端子７を備え、ソルダーレジスト膜３は、ソルダーレジスト膜非形成部４ａを有し、金属端子７は、単板からなり、測定する電子部品の端子電極が当接する当接部７ａを金属箔２の形成されていない絶縁基板１上に延出させた状態で、金属箔２のソルダーレジスト膜非形成部４ａにはんだ付けされ、金属箔２の厚みＸが、金属端子７の厚みＹに対し、Ｘ≧０．５Ｙの関係になるようにした。 （もっと読む）

【課題】異種金属からなる線材を接合して構成される検査用プローブにおける接合箇所の品質を向上した検査用プローブの製造方法を提供する。
【解決手段】少なくとも一方の先端部に検査用接触部が形成される第１の線材及び第２の線材を接合して構成される検査用プローブの製造方法を、第１の線材の端面と第２の線材の端面とを突き合わせた状態でこの突き合わせ部を筒状部材の内径側に配置し、筒状部材にレーザ光を照射することによって筒状部材を第１の線材及び第２の線材とそれぞれレーザ溶接した後に、溶接部の外周面を製品外径まで研磨する構成とする。 （もっと読む）

【課題】プラグ先端中央部を凹ませる形状とする事でプラグ長の短縮量を最小に抑え、また部品を追加せずにプラグの導電部分に触れることのない測定プローブを実現する。
【解決手段】測定プローブを構成する支持部に一端が固定され先端までの高さが所定の高さL１を有して形成された円筒状のスリーブと、
このスリーブの中の底部に一端が固定され前記先端よりも低い高さL２に形成されたプラグを有する測定プローブにおいて、前記プラグの先端を外径側から中心に向かって凹状に形成した。 （もっと読む）

【課題】プローブ装置の接触電極を被検査体の電極に確実に接続させることにある。
【解決手段】プローブ装置は、前後方向に延びるプローブブロックと、該プローブブロックの前部の下側に取り付けられた可撓性の配線シート支持体と、該配線シート支持体の下側に支持された配線シートとを含む。前記配線シート支持体は、前方ほど下方となる斜めの方向に伸びる延長部を備える。前記配線シートは、前記延長部の下側に支持された延在部を備える。また、前記配線シートは、シート状部材と、該シート状部材に形成された複数の配線と、各配線の前部に形成された接触電極とを備える。各接触電極は、前記配線から立ち下がる前端面と、前記斜めの方向に直線状又は弧状に延びる下面と、前記前端面及び前記下面により形成される角部とを有する。 （もっと読む）