【課題】 電気抵抗を測定すべき回路基板が、大面積で、サイズの小さい多数の被検査電極を有するものであっても、当該回路基板に対する所要の電気的接続を確実に達成することができる電気抵抗測定用電極シートおよびその製造方法、この電気抵抗測定用電極シートを具えた電気抵抗測定用コネクター並びに回路基板の電気抵抗測定装置を提供する。
【解決手段】 本発明の電気抵抗測定用電極シートは、絶縁性シートと、絶縁性シートの表面に、被検査回路基板における被検査電極に対応して形成された、電流供給用電極および電圧測定用電極が互いに離間して配置されてなる複数の検査電極対と、絶縁性シートの裏面に形成され、電流供給用電極および電圧測定用電極のいずれか一方に電気的に接続された中継電極とを有し、絶縁性シートには、電流供給用電極および電圧測定用電極の間に位置する領域にスリットが形成されていることを特徴する。 （もっと読む）

【課題】本発明はプローブカード及びその製造方法に関する。
【解決手段】本発明によるプローブカードの製造方法は、プローブピン（２３０）を形成するための複数のプローブピン形成パターン及び熱応力を緩和するための少なくとも１つの第１応力緩衝用溝部（２２０）を含む第１基板（２００）を設ける段階と、複数のプローブピン形成パターンに金属物質を充填してプローブピン（２３０）を形成する段階と、第２基板（３００）の一面に上記第１基板（２００）のプローブピン（２３０）が形成された面を接合させる段階及び第１基板（２００）と、第２基板（３００）が接合された状態で加熱し上記プローブピン（２３０）を第２基板（３００）に転写させる段階を含む。 （もっと読む）

【課題】 標準電極電位の大きく異なる２種類の金属層が積層されたコンタクト部の強度低下を抑制することができるコンタクトプローブ、プローブカード及びコンタクトプローブの製造方法を提供する。
【解決手段】 第１の金属層３１と第２の金属層３３とがビーム部１上に積層されたコンタクト部３を有するコンタクトプローブ１１であって、第１の金属層３１及び第２の金属層３３間に標準電極電位が第１の金属層３１よりも高く、第２の金属層３３よりも低い導電性の中間金属層３２を設けて構成される。 （もっと読む）

【課題】コンタクトユニットの水平方向の移動及び傾きを抑制できるプローブカードを提供する。
【解決手段】メイン基板２と、コンタクトプローブ３１が形成され、メイン基板に対し上下動可能なコンタクトユニット３と、メイン基板に固着され、メイン基板よりも下方においてコンタクトユニット３を受け止めるストッパ４と、メイン基板の下面に設けられるフレキシブル基板取付台座１０と、コンタクトユニットとフレキシブル基板取付台座とに固着されるフレキシブル基板９とを備える。フレキシブル基板取付台座１０は、その下面にフレキシブル基板が固着されて、上記メイン基板と上記フレキシブル基板とを導通する。フレキシブル基板９は、上記フレキシブル基板取付台座と上記コンタクトユニットとの間で直線状に配設されるように構成されている。フレキシブル基板９は、応力がほとんど発生しないので、良好な電気的特性検査が行える。 （もっと読む）

【課題】本発明はプローブカードに関する。
【解決手段】プローブカードが開示される。本発明によるプローブカードは、信号ラインを有するセラミック基板と、セラミック基板上に形成され夫々一端が信号ラインと連結されたプローブ胴体と、プローブ胴体の他端に形成されたプローブチップを有する複数のプローブピンを含み、各プローブ胴体は信号ラインに隣接した第１領域とプローブチップに隣接した第２領域に分かれ、プローブ胴体の第１領域は絶縁支持体により結束され一体化され、プローブ胴体の第２領域は複数のプローブピンのプローブチップが異なる計測領域に位置するように分離して配置されることができる。 （もっと読む）

【課題】コンタクトユニットをメイン基板に対してスムーズに上下動させられ、かつ、コンタクトユニットの水平方向の移動を抑制できるプローブカードを提供する。
【解決手段】メイン基板２と、コンタクトプローブ３１が形成されたコンタクトユニット３と、メイン基板２の下方において、コンタクトユニット３を上下動可能に支持する２以上の板ばね４とを備える。板ばね４は、一端がメイン基板２の下面側に固着され、他端がコンタクトユニット３の周縁部に固着されてコンタクトユニット３が支持される。板ばね４が幅方向へ変位し難いことを利用して、コンタクトユニット３は水平方向への移動が抑制され、上下方向の移動のみできるようにする。 （もっと読む）

【課題】 特に、接触子を支持基板に適切に半田接合でき、さらに、接触信頼性を向上でき、長寿命化を図ることが出来る接触子及びその製造方法、ならびに、接続装置及びその製造方法を提供することを目的としている。
【解決手段】 接触子２０は、固定部２１と、固定部２１から延出形成された弾性腕２２とを有する導電性の芯部３０の表面側に表面層３８が形成された積層構造である。固定部２１に形成された前記表面層３８は、前記芯部３０側から白金族層３６及び、Ａｕ層３７の順に積層されており、前記弾性腕２２に形成された前記表面層３８は、白金族元素とＡｕとを有する合金で形成されている。 （もっと読む）

【課題】エッチング工程中にもプローブヘッドが保護でき、プローブカードの不良率を低減できるプローブカードの製造方法を提供すること。
【解決手段】プローブヘッドの一面に熱可塑性樹脂基板を接合する工程と、上記プローブヘッドの他面に複数の端子を形成する工程と、上記熱可塑性樹脂基板に金属基板を接合する工程と、上記金属基板を選択的にエッチングしてプローブチップを形成する工程と、を含むことを特徴とするプローブカードの製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】 多種多様なＦＰＣ等の回路基板の検査を、能率よく、低廉な費用で実施することができる、電気検査ジグおよび電気検査装置を提供する。
【解決手段】 この電気検査ジグ１０は、第１面および該第１面と反対の面の第２面に、端子７ａ，７ｂをもつピッチ変換基板７と、第１面および第２面の端子および両端子間の配線と重ならない領域に位置するプローブピン３とを備え、ピッチ変換基板の第１面の端子は、コンタクトシート５を介在させて被検査体７０の所定の電極７１に電気的に接続し、プローブピン３は、被検査体の所定の電極以外の電極７７に接触して電気的接続をとることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳプローブの歩留まりを向上し、リードタイムとコストを低減するプローブ作成プロセスを提供する。
【解決手段】マイクロ電子機械システム（ＭＥＭＳ）プローブはプローブカードに用いるために基材上に作製される。そのプローブはプローブカードの応用プラットフォームに取り付けるための貼り合わせ面を有し、その貼り合わせ面は基材表面に垂直な面の上に形成される。基材からプローブを取り外すためにプローブ５１の下にアンダーカット７３が形成される。 （もっと読む）

【課題】針圧が小さくても、コンタクトプローブと検査対象物との電気的導通を安定してとることができるコンタクトプローブ及びその製造方法を提供する
【解決手段】コンタクトプローブ１は、一端が基板に固定される片持ち梁構造のビーム部３と、このビーム部３の自由端付近における検査対象物１０２と対向する面上に取り付けられたコンタクト部２とを有し、コンタクト部２の検査対象物１０２への接触面２１に、表面粗さが算術平均粗さ（Ｒａ）０．１μｍ以上０．７μｍ以下の凹凸が形成されている。 （もっと読む）

【課題】検査後のプローブ先端の動きを抑制し、スクラブ屑が付着するのを防止することができるプローブカードを提供する。
【解決手段】複数のプローブが設けられたプローブ基板と、上記プローブ基板を弾性部材によって所定の間隔で保持するメイン基板を備え、上記プローブ基板と上記メイン基板の間に、圧力が加えられた後の復元速度が遅いクッション材を設ける。 （もっと読む）

【課題】接続される導体の微細化および挟ピッチ化に対応しうる異方導電性シートおよび基板体を提供する。
【解決手段】基板体Ｂは、基板１１に異方導電性シート２０を貼り付けて構成されている。異方導電性シート２０は、多孔質ＰＴＦＥからなるフレーム板２１を用いている。フレーム板２１には、テーパ付きの貫通孔が形成されている。そして、貫通孔の内壁部に無電解めっきを用いた貫通導電部材２２が形成されている。基板側導体１５と相手側導体とが、貫通導電部材２２を間に挟んで導通する。その際、テーパ付き貫通孔の大径側が基板側導体１５に接触し、小径側が相手側導体に接触する。相手側導体が微細化，挟ピッチ化されても、導通不良，誤接続，短絡の発生が抑制される。 （もっと読む）

【課題】本発明はセラミックプローブカードの製造方法に関する。
【解決手段】セラミックプローブカードの製造方法が開示される。本セラミックプローブカードの製造方法は、複数のセラミックグリーンシートと複数のセラミックグリーンシートに形成された導電性ビアと導電性ラインからなる層間回路を有するセラミック積層体を設ける段階と、セラミック積層体上にセラミック粉末と感光性有機成分を必須成分として有する複数の感光性セラミックシートを選択的に除去し、その除去された領域に金属物質を充填して層間回路と少なくとも１つのプローブピン構造を形成する段階と、セラミック積層体と感光性セラミックシートを同時に塑性し、感光性セラミックシートを除去することで少なくとも１つのプローブピン構造が形成されたセラミック基板を提供する段階を含む。 （もっと読む）

【課題】 接触部の耐摩耗性や導電層に交差する方向の力に対する強度を低下させることなく、プロービング時の電気的接触性を向上させたコンタクトプローブ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 平面に積層された板部材を垂直に立てて使用するコンタクトプローブの製造方法であって、平面に積層された上記板部材の一端の延長部に、上記板部材の一端から離れるに従って表面が徐々に上昇する犠牲層を形成し、上記板部材及び上記犠牲層の表面に沿って導電層を形成し、上記導電層を上記板部材の平面に平行な面になるように研削し、先端に近づくほど徐々に断面積が小さくなる接触部を形成するようにしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】従来のコンタクトプローブに比べて大幅に低背化したコンタクトプローブを提供する。
【解決手段】検査用回路基板のランド部４ｂに立設して使用されるコンタクトプローブＡ１であって、ゴム弾性を有する芯体１と、芯体１の外周に周回して配置され、ばね弾性を有する導電性の線材を少なくとも１回巻回して形成され、中央にループ部２ｂ、その両端に線材の巻き始め側の端部２ｃと巻き終わり側の端部２ｄを有する円環端子２とから成り、巻き始め側の端部２ｃと巻き終わり側の端部２ｄが、いずれも、検査用回路基板のランド部４ｂに固定されているコンタクトプローブ。 （もっと読む）

【課題】コンタクトプローブの摺動性および電気抵抗を安定させることができるようにして、生産性を向上させることができるとともに、被検査対象物の検査を安定して行うことができるコンタクトプローブおよび検査用ソケットを提供する。
【解決手段】電気的接触部１８および電気的接触部と一体的に設けられたプランジャ１７とを有する第１導電部材１４と、電気的接触部２０および電気的接触部と一体的に設けられ、プランジャが摺動自在に挿通される挿通孔１９ａを有するシリンダ部１９と、第１導電部材および第２導電部材１５の間に介装され、電気的接触部が近接するようにプランジャが挿通孔内を摺動したときに、電気的接触部を離隔する方向に付勢するコイルバネとを備え、電気的接触部をプリント配線板２３の接続端子に接触させるとともに、電気的接触部を被検査対象物の接続端子に接触させるようにしたコンタクトプローブにおいて、プランジャを湾曲させる。 （もっと読む）

【課題】 製造に係る工数を増大させることなく、コンタクトプローブ間のピッチを狭小化することができるプローブカードを提供する。
【解決手段】 プローブ基板１と、プローブ基板１上に１又は２以上のメッキ層を積層することによって形成された複数のコンタクトプローブ２とからなるプローブカード１０であって、各コンタクトプローブ２が、検査対象物に接触させるコンタクト部１２を弾性的に支持するビーム部１１と、プローブ基板１の周縁部に向ってビーム部１１から延伸する配線部１３とを備え、配線部１３が、ビーム部１１を構成する少なくとも１つのメッキ層と同一のメッキ層として形成され、隣接するコンタクトプローブ２間のピッチが、ビーム部１１からプローブ基板１の周縁部に近くなるに従って広くなっているように構成される。 （もっと読む）

本発明は、特に走査型プローブ顕微鏡に接続して、生体細胞に類する物質のミクロンサイズの検体との間において制御可能な様式で液体を交換するためのプローブ装置１０ｇに関し、このプローブ装置は、少なくとも１つの組込み型の第１のチャネル１８を有するプローブホルダ１１と、少なくとも１つの組込み型の第２のチャネル１５を有するカンチレバー１２とを備え、このカンチレバーは、第１のチャネルと第２のチャネルとの間における液体の液密移送が可能となるように、第１のチャネルの少なくとも１つの孔１９が第２のチャネルの少なくとも１つの孔１７に接続されるように、プローブホルダ１１に装着されるようになっている。このプローブ装置の安全かつ容易な使用は、カンチレバー１２をプローブホルダ１１に永続的に装着させて、事前組立されたプローブユニット１０ｇを形成することによって実現される。 （もっと読む）

【課題】
この発明は、プローブコンタクト間のピッチを一定の長さに整合させた積層型プローブの製造方法を提供する。
【解決手段】
プロ−ブコンタクトを薄板で形成し、該薄板を絶縁材を介して多数枚積層してホルダーで挟持し、前記絶縁材不在で、薄板が間隔付けて位置するようにしたプロ−ブコンタクト上端部に、固化した固化物が水若しくは有機溶剤に溶解可能な絶縁性保持材を表面塗布若しくは流入させ、該保持材が固化した後、先端が断面Ｖ字形のバイト刃物若しくは砥石によって、薄板の先端中心から隣接する薄板の先端中心が等しい長さとなるように、対向するプロ−ブコンタクト上端側部を切削し、プローブピッチ間を一定の寸法又は規格に整合させた。 （もっと読む）