スタック状に配置されたスティフナ構造体、配線基板、及び主面を有するフレームが、プローブカードアセンブリの一部であることができる。配線基板は、フレームとスティフナ構造体との間に配置され、プローブ基板は、１つ以上の調節不能固定結合機構によってフレームに結合されることができる。プローブ基板のそれぞれは、プローブカードアセンブリを介して、検査制御装置への配線基板上の電気的インターフェースに電気的に接続される。調節不能固定結合機構は、主面に垂直な第１の方向において剛性であり、同時に主面に概ね平行な第２の方向において可撓性であることができる。 （もっと読む）

【課題】コンタクト性が良好で耐久性を向上させることのできる電気光学装置の検査用プローブおよびその製造方法、検査装置を提供する。
【解決手段】本発明の電気光学装置の検査用プローブ１は、基板２と、基板２に設けられ液晶表示装置と電気的に接続される接続部３と、を有してなるもので、接続部３が、基板２の貫通孔７内に配置された下地樹脂９と、基板２の第１面２Ａ側に突出した下地樹脂９を部分的に覆う複数の導電膜１５と、からなる複数のバンプ電極１１を有し、複数のバンプ電極１１の各々が液晶表示装置の各端子に接続されるように構成されている （もっと読む）

【課題】高精度な位置合わせ、および、均一かつ十分な押圧で、プローブ端子と半導体チップのバンプとを電気的に接続することにより、接続不良の発生を防止する。
【解決手段】プローブカード１０では、プリント基板１１の裏面側において、プローブシート１３のプローブ端子が形成されている領域が、プリント基板１１に固定されているベースユニット１２のウエハ押圧プレート３２によって平らに張設されているとともに、プリント基板１１の接続端子とプローブシート１３のシート接続端子とが電気的に接続されるように、プローブシート１３の端側が、ゴムシート１５を介してシート圧着プレート１４によりプリント基板１１の裏面に圧着されている。ベースユニット１２は、プローブシート１３のプローブ端子に、被試験対象の半導体チップのバンプが押し当てられるとき、ウエハ押圧プレート３２から半導体チップ側に作用する押圧を与える。 （もっと読む）

【課題】 針先が回路配線に対し前後方向に変位することを防止することにある。
【解決手段】 接触子は、上端部において基板に取り付けられる取り付け部と、該取り付け部の下端部から左右方向へ伸びる、弾性変形可能のアーム部と、該アーム部の先端部から下方へ突出する針先部とを備える。針先部は、アーム部の先端部から下方へ伸びる座部と、該座部の下端に前後方向に間隔をおいて一体的に設けられて座部から下方に突出する一対の突出部を有する。両突出部は、互いに対向された対向部であって、座部の側ほど接近された対向部を有する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で、コンタクトの姿勢を安定して保持できるとともに、接触圧や摺動量を容易に調整可能であり、交換も容易にできる電気接続装置を提供する。
【解決手段】２つの被接触物を電気的に接続する電気接続装置であって、押圧部材、該押圧部材を介して一方の被接触物を所定の装着位置に保持するロック部材、２つの被接触物が装着されるベース部材、該ベース部材に保持される弾性部材、および該弾性部材に保持される複数のコンタクトを備え、ベース部材は、弾性部材を収容する収容凹部をそれぞれ有する上ベース部材と下ベース部材を含み、弾性部材は、複数のコンタクトそれぞれを保持するスリットを含み、複数のコンタクトそれぞれは、上部接触部を有する上部接触アーム、下部接触部を有する下部接触アームを少なくとも含み、複数のコンタクトそれぞれの上部および下部接触アームは、弾性部材に当接し得るように構成されている。 （もっと読む）

【課題】信号回路基板の保守点検、修理作業等を容易に行えるプローブユニット、電気的検査装置および点灯検査装置を提供する。
【解決手段】プローブユニットは、検査台上の被検査体の検査のために該被検査体の電極に接触可能のプローブが設けられた少なくとも１つのプローブ組立体と、固定板に支持されるサポートベース部材と、プローブを電極に接触させるべく検査台の上方でプローブ組立体をサポートベース部材に支持する懸架機構と、懸架機構の下方で該懸架機構に支持され、プローブに電気的に接続される信号回路基板とを含む。また、懸架機構をサポートベース部材に横軸を介して枢動可能に支持する枢軸機構と、サポートベース部材に関する懸架機構の枢動の拘束を解除可能とすべく懸架機構をサポートベース部材に解除可能に固定する結合手段とを含む。 （もっと読む）

【課題】高周波に対するノイズに強く、高周波特性をより向上させたウエハ一括コンタクトボード及びその製造方法等を提供する。
【解決手段】ウエハ上に多数形成された半導体デバイスの試験を一括して行うために使用されるウエハ一括コンタクトボードにおいて、
コンタクト部品３０の絶縁性フィルム３２の表面の導電性パターン３５’、３５に、多層配線基板１０におけるＧＮＤ配線又は電源配線（ＧＮＤパッド１２ｃ又は電源パッド１２ａ）を接続する。 （もっと読む）

【課題】 小サイズの多数の被検査電極を有する被検査回路基板でも所要の電気的接続が達成され、被検査電極の突出高さにバラツキがあっても、異方導電性エラストマーシートに長い使用寿命が得られ、全ての被検査電極に対して安定した電気的接続が達成される電気抵抗測定用シート、コネクター装置および回路基板の電気抵抗測定装置の提供。
【解決手段】 本発明の電気抵抗測定用シートは、絶縁性シートの表面に被検査電極に対応して配置された、２つの電流供給用電極および２つの電圧測定用電極よりなる接続用電極組と、絶縁性シートの裏面に配置された、電流供給用電極および電圧測定用電極の一方に電気的に接続された中継電極とを有し、厚み方向に透視したときに、中継電極が、電流供給用電極および電圧測定用電極に重ならない位置に配置されている。 （もっと読む）

【課題】湾曲部を複数有するコンタクトプローブを簡単な方法で、かつ、製造工程を少なくして形成できるコンタクトプローブの製造方法を提供する。
【解決手段】犠牲層下地膜５ａ，６ｂ及びプローブ下地膜６ａを互いに絶縁された状態で基板１０７上に形成する工程と、基板１０７上に犠牲層下地膜及びプローブ下地膜を覆うレジスト層７１を形成し、レジスト層７１に、絶縁性領域４１を挟んで形成された犠牲層下地膜及びプローブ下地膜を露出させる細長い開口部７１ａを２以上形成する工程と、各開口部内で露出する犠牲層下地膜上に導電性材料を堆積させて犠牲層８を形成する工程と、各開口部内で形成された犠牲層上にプローブ形成用導電性材料を堆積させ、かつ、堆積したプローブ形成用導電性材料を介して犠牲層及びプローブ下地膜を導通させて、プローブ下地膜上にも導電性材料を堆積させて片持ち梁構造のコンタクトプローブを形成する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】半導体集積回路の動作を検査する電気信号を入出力するための、低コストで高性能なプローブ装置、その製造方法および半導体集積回路の検査方法を実現する。
【解決手段】プローブ装置１は、導電性ペーストが充填された貫通穴２１が複数配置され、一方の面上にパッド２３が設けられ、他方の面上に電極２４および引き出し配線２５が設けられるガラス基板１１と、ガラス基板１１のパッド２３が設けられた面側に貼着される第１の異方導電性シート１２と、ガラス基板１１の電極２４および引き出し配線２５が設けられた面側に貼着される開口部３１を有する第２の異方導電性シート１３と、第２の異方導電性シート１３のガラス基板１１が貼着されない面側に貼着される開口部３２を有するプリント基板１４と、第２の異方導電性シート１３の開口部３１およびプリント基板１４の開口部３２に嵌合する形状を有する突起部４１が設けられる押さえ治具１５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ＬＳＩ上の電極が狭ピッチになった場合にも、電極およびその下の構造体に損傷を与えることなく低荷重で電極との電気的導通を実現できるＬＳＩ検査用のプローブカードを提供する。
【解決手段】四角錐形状または四角錘台形状の接触端子５を形成した膜状のプローブの上面において、接触端子５の直上の部分に突起９を形成し、この突起９とエラストマ６とを組み合わせて支持板で押す構造とすることで、膜状のプローブの局所的な変形を吸収し、均一かつ小さな荷重で低抵抗の接触性を実現する。 （もっと読む）

【課題】半導体集積デバイスの検査を効率的に行うことを可能としたプローブカード、半
導体検査装置及び半導体検査方法を提供する。
【解決手段】基板に並設された複数の半導体集積デバイスのそれぞれに対応して設置され
、各半導体集積デバイスが有する複数の出力端子のうち、１つおきの端子に接触するプロ
ーブピンＰ_OUT１、Ｐ_OUT２を有し、プローブピンＰ_OUT１は隣接する一方の半導体集積デ
バイスのうちの偶数（又は、奇数）番目の出力端子に接触し、プローブピンＰ_OUT２は隣
接する他方の半導体集積デバイスのうちの奇数（又は、偶数）番目の出力端子に接触する
。このような構成であれば、検査対象物である半導体ウエハの各ＩＣデバイス１の全部に
対して、プローブカードの付け替えを要することなく検査を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】主に電子部品及び基板などの導通検査に用いる検査用のプローブユニットへの組み付け時やプローブユニットの使用時において、プローブユニットに設けられたプローブ針装着穴に対する滑り性等に優れたプローブ針を提供する。
【解決手段】ピン形状の金属導体２の外周に多層絶縁被膜３を有する胴体部と、金属導体２の両端に多層絶縁被膜３を有しない端部２ａ，２ｂとを有するプローブ針１であって、多層絶縁被膜３が、金属導体２上に設けられて被膜強度及び耐電圧を有するベース被膜４と、ベース被膜４上に設けられて滑り性を有するフッ素系被膜５とで少なくとも構成されている。 （もっと読む）

【課題】 狭ピッチでかつ多ピンを有するＬＳＩの複数チップ同時検査を容易にするプローブ組立体を提供すること。
【解決手段】 金属箔が接着された樹脂フィルムを使用し、前記金属箔をエッチング加工して樹脂フィルム上にプローブを含む導電部を形成し、前記プローブ付樹脂フィルムを複数枚積層して半導体チップの電極パッドに前記プローブの先端部を一括接触させて半導体チップの回路検査を行うためのプローブ組立体において、１つの前記プローブ付樹脂フィルム上に複数のバネ変形部を含むプローブ構造部が、前記樹脂フィルム面内のｘ方向（パッド配列方向）及びｚ方向（半導体チップ面と垂直な方向）に相互に干渉しない位置に配置された前記プローブ付樹脂フィルムを複数積層したことを特徴とするプローブ組立体。 （もっと読む）

本発明は、部品が設置された、または部品が設置されていないプリント回路基板（１２）の電気接点試験のためのスイッチング装置（１）に関し、スイッチング装置（１）は、少なくとも１つの広大な実装層（２）、第１の電極配列体（３）および機能層（４）を具備し、実装層（２）は弾性的かつ復元可能に変形可能であり、機能層（４）は第１の電極配列体（３）に配置される。機能層（４）は、感光性材料の層（７）と、量子検出器と、フォトレジスタとからなる群の少なくとも１つから形成されており、さらに少なくとも１つの電磁放射源（８）が機能層（７）の上方に配列されており、放出された電磁放射は機能層（４）の方向に主として作用する。機能層（４）は複数のトランジスタから形成されるトランジスタ配列体（９）の形態をなしてもよい。さらに本発明はスイッチング装置（１）を製造する製造方法に関する。
（もっと読む）

【課題】筒状接触子と棒状接触子のような構造を有する接触子（同軸接触子）を利用する場合に、このような接触子に好適に利用され、電極部の構成の微細化及び簡易化が図れる検査治具、電極構造及び電極構造の製造方法を提供する。
【解決手段】プローブ１は、導電材料により略筒形形状に形成された第１接触子２と、導電材料により細長く形成され、第１接触子２と絶縁された状態で第１接触子２内に挿入された第２接触子３とを備える。この第１及び第２接触子２，３に接触導通する第１電極部２２と第２電極部２３とは、平面視において第１電極部２２の中心と第２電極部２３の中心とが離反するように配置されている。また、平面視における第１電極部２２の最大幅が第１接触子２の外径よりも小さく設定されている。 （もっと読む）

【課題】プロービングの際の接触痕を可能な限り小さくすることが可能なコンタクトプローブ用固定具を提供することを主目的とする。
【解決手段】プローブ案内機構に一端が取り付けられると共にプローブ本体２を固定可能に構成され、固定されたプローブ本体２をプローブ案内機構による案内に従ってプロービング対象体Ｐに接触させるコンタクトプローブ用固定具１０において、プローブ本体２が接触状態であってプローブ案内機構によってプロービング対象体Ｐ側にさらに付勢されたときに、弾性変形部８ａ〜８ｄの弾性変形によって付勢方向とは逆向き方向へのプローブ本体２の直動または近似的直動を許容するリンク機構ＲＭを備えて構成されている。 （もっと読む）

【課題】小型で、高性能なプローブ、プローブカード、及びプローブの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の一態様にかかるプローブ２２は、対象物に対して電気的な検査を行うためのプローブカード２０に設けられるプローブ２２であって、プローブカード２０の配線基板２１と接続される接続部３４と、対象物の電極パッド１２と接触する接触部３１と、接続部３４から接触部３１まで延在して設けられ、接触部３１を支持するアームを有するアーム部３２と、を備え、アーム部３２が、接続部３４に対して回転可能に支持され、互いに異なる角度で設けられた１対の第１アーム３２１と、１対の第１アーム３２１に対応して設けられ、互いに異なる角度で設けられた１対の第２アーム３２２と、第１アーム３２１と接続部３４との角度、第１アーム３２１と第２アーム３２２との角度、及び第２アーム３２２と接触部３１との角度を変化するヒンジ部３３を備えるものである。 （もっと読む）

【課題】 電子部品の端子の間で圧力接続を行うための、改良された相互接続要素及び先端構造体をもたらす装置及び方法の提供。
【解決手段】 本発明の先端構造体は鋭利なブレードを有し、このブレードは先端構造体の上部表面上で、ブレードの長さが、先端構造体が撓んで電子部品の端子を横断する際の先端構造体の水平移動方向と実質的に平行となるように配向されている。このようにして、実質的に平行に配向された鋭利なブレードは、端子表面上にある何らかの非導電性層（単数又は複数）を通って鮮やかに切り込み、相互接続要素と電子部品の端子の間に確実な電気接続をもたらす。 （もっと読む）

【課題】 電気抵抗を測定すべき回路基板が、大面積で、サイズの小さい多数の被検査電極を有するものであっても、当該回路基板に対する所要の電気的接続を確実に達成することができる電気抵抗測定用電極シートおよびその製造方法、この電気抵抗測定用電極シートを具えた電気抵抗測定用コネクター並びに回路基板の電気抵抗測定装置を提供する。
【解決手段】 本発明の電気抵抗測定用電極シートは、絶縁性シートと、絶縁性シートの表面に、被検査回路基板における被検査電極に対応して形成された、電流供給用電極および電圧測定用電極が互いに離間して配置されてなる複数の検査電極対と、絶縁性シートの裏面に形成され、電流供給用電極および電圧測定用電極のいずれか一方に電気的に接続された中継電極とを有し、絶縁性シートには、電流供給用電極および電圧測定用電極の間に位置する領域にスリットが形成されていることを特徴する。 （もっと読む）