【課題】半導体製造装置のチャンバあるいは搬送経路などの分析対象部に残留する物質を検出できる半導体装置の製造装置、残留成分の分析装置及び分析方法を提供する。
【解決手段】半導体製造のための所定の処理工程のために内部に基板が保持され、あるいは、処理工程の前後において内部に基板が搬送または収容される半導体装置の製造装置を構成する部分であり、内部における残留成分の分析対象となる分析対象部（１）と、分析対象部の内部に存在する残留成分から発せられる電磁波を受信する受信部５と、受信部で受信されて得られた信号を分光する分光部６とを有し、上記のように分光することにより、分析対象部の内部における残留成分を分析する。 （もっと読む）

【課題】産業設備のプラントの現場における配管長が長い場合や、ガス吸収量が大きい場合においても、オンラインでガス成分の分析が可能なガス成分計測装置を提供する。
【解決手段】レーザ装置２１から発振されたレーザ光（ｎｍ）２２を第１のレーザ光（波長：２２６ｎｍ）２２−１に波長変換する第１の波長変換部２３と、発振されたレーザ光２２を波長変換し、第２のレーザ光（波長：６００ｎｍ）２２−２とする第２の波長変換部２４と、第１及び第２のレーザ光を導入するガス測定部２５と、照射される第１のレーザ光２２−１及び第２のレーザ光２２−２により高い準位（Ｅ準位）に励起された励起分子が低い準位（Ｃ準位）に電子的に緩和する際、その準位が下がるときに発生する自然放射増幅光（ＡＳＥ）１４を計測する光検出器２６とを具備する。 （もっと読む）

【課題】長期間に亙って安定して被測定ガス中の煤塵の計測ができる煤塵濃度計測装置を提供する。
【解決手段】被測定ガス１２にレーザ光１１を照射するレーザ装置１３と、発生するミー散乱光３０を計測する第１の光検出器３１と、発生するラマン散乱光１５を計測する第２の光検出器１８とを具備してなり、予め第１の光検出器３１によりミー散乱光の信号強度（＝Ｍ₀）を計測すると共に、第２の光検出器１８により測定領域に存在する濃度校正用ガスのラマン散乱光１５の信号強度（＝Ｒ₀）を計測しておき、煤塵濃度の校正を行う際に、第１の光検出器３１によりミー散乱光の検出信号強度（＝Ｍ₁）を計測すると共に、第２の光検出器１８により測定領域に存在する濃度校正用ガスのラマン散乱光１５の信号強度（＝Ｒ₁）を計測し、得られたＲ₀／Ｒ₁を校正定数（Ｋ）とし、前記Ｍ₁に校正係数（Ｋ＝Ｒ₀／Ｒ₁）を乗じて煤塵濃度（Ｍ₂）を算出してなる。 （もっと読む）

本発明は、媒体を汚染に晒すことなく媒体中の検体を測定するシステムおよび方法を提供する。システムおよび方法は、ルアーキャップに埋め込まれ、読取りデバイスにデータを無線で送信することができる、小型のセンサデバイスの新規な組み合わせを用いる。
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【課題】 カーボン材料より、カーボンを短時間で、且つ、対象とする不純物の損失も無く酸化して二酸化炭素として除去することが可能で、カーボン材料中の不純物を迅速、且つ、正確に分析することが可能な分析方法を提供する。
【解決手段】
カーボン試料中の不純物を分析するに際し、カーボン酸化反応器２に収容した濃硫酸中において該カーボン試料に、２００℃以上の温度下で、硝酸蒸気発生器３により生成せしめた硝酸蒸気を供給することにより接触せしめてカーボンを酸化して二酸化炭素として除去した後、残存する濃硫酸溶液中の不純物を分析する。 （もっと読む）

【課題】製造が容易で、製造コストが低く、応答時間の制御性がよく、しかも多数のセンサ素子をアレイ状に形成可能な環境センサを提供する。
【解決手段】 周囲環境における化学物質や変化を検出するセンサ（１０，３０，４０，５０，７０）は、化学指示薬を含むゾル・ゲル・センサ素子（１４，１６，１７，５４，５６，５７）を利用する。基板（１１，５１）に溝（１２，１３，２４，５２，５３）を形成する。溝は、化学指示薬を有するゾル・ゲル物質で充填され、ゾル・ゲルを硬化させて基板（１１，５１）に接着させる。溝（１２，１３，２４，５２，５３）は、光ファイバ・ケーブル（４６）のゾル・ゲル・センサ素子への光学的結合を容易とするように形成される。光は光ファイバ・ケーブル（４６）からゾル・ゲル・センサ素子（１４，１６，１７、５４，５６，５７）に結合される。 （もっと読む）

【課題】呼気流、酸素濃度、及び、二酸化炭素、亜酸化窒素及び麻酔薬のいずれか１個以上の濃度を組み合わせたものを即時に呼吸毎に監視可能な一体化エアウェイアダプタを提供する。
【解決手段】呼気流は、多様な入口条件下にある差圧流量計を用いて、位相のずれ及び気道のデッドスペースを最小化するように改良されたセンサ構造を介して監視される。分子酸素濃度はルミネセンス消光技術を利用して監視される。赤外線吸収技術を利用して二酸化炭素、亜酸化窒素及び麻酔薬のいずれか１個以上が監視される。 （もっと読む）

サンプルが放射する光を検出するための光学プローブが開示される。光学プローブは、パラボラ状の光導波路と、取り外し可能な要素を有し、光導波路に接続可能な透光性センサ支持体を保持するよう構成された外側ハウジングと、を具える。光学プローブはまた、少なくとも１つの分析対象の検出を行うための検出物質を具える。励起源は、検出物質を励起するよう構成される。光学プローブにはさらに、放射光を検出する測定用の光検出器が組み込まれる。
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調査している液体試料による酸素のようなガス状分析物の消費又は放出をモニタする方法は、実質的にガス不透過性を有する材料からなる細長く狭い管（１２）を有し、かつ該管の長さの一部分に沿って測定励起放射及び測定発光放射を少なくとも部分的に透過させるキュベット（１）を設ける過程を有する。管（１２）の断面積は１ｍｍ²未満である。試料（１５）をキュベット（１）内にロードすると、該試料は、ガス状分析物に対して感受性を有する管（１２）内のプローブと接触し、かつこの液体は少なくとも１つの表面と、関連するヘッドスペース（１６）とを有する。キュベット、試料及びプローブは目標測定温度において平衡状態にある。励起放射は、キュベットを測定温度に維持しつつ、ヘッドスペース（１６）から遠い位置にある管（１２）のサンプリング区域に照射する。発せられた放射を測定しかつ分析して、ガス状分析物の試料による消費又は放出を決定する。
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環境の湿分含有量により低度に感応性であり、および通常の作動条件下で酸素レベルに実質的に非感応性である、改善された二酸化炭素センサが開示される。該ＣＯ_２センサは、ｐＨ指示薬および長寿命の参照発光団および多孔性のゾル−ゲルマトリックスを含む。一体化されたＣＯ_２およびＯ_２センサも記載される。さらにセンサを基体上に印刷する方法が開示される。 （もっと読む）

患者を監視するシステム及び方法は、反射回避及び他の像形成モードを使用する。潅流、酸素飽和、酸素入手性、等に関する情報を得ることができる。システムの実施形態は、光源と、光源からの光を検査基質に投影し、その検査基質により反射される光を伝送するように構成された光搬送本体と、この光搬送本体と光学的通信状態にある分析区分とを備えている。光源をパルス付勢して、システムにより発生されるビデオ像のクオリティを改善することができる。 （もっと読む）

本発明は、胚のような実質的に球形の代謝粒子の代謝速度の非−侵入的かつ乱さない測定のための方法およびデバイス、および胚のレベルにおける酸素分圧を制御する方法およびデバイスに関する。さらに、本発明は、実質的に球形の代謝粒子への代謝産物の供給を調節する方法、ならびに所定の品質の実質的に球形の代謝粒子を選択する方法に関する。本発明は、当該デバイス中の区画内部の実質的に球形の代謝粒子と該区画外部の環境との間の代謝産物の拡散勾配を確立することができるデバイスで実施される。代謝速度は、代謝産物拡散勾配の情報に基づいて決定される。
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【課題】センサーの感度をアップさせ、センサーの選択性を改善した光導波路センサー、その製造方法及びその用途を提供する。
【解決手段】光導波路(Glass waveguiding layer)の表層に設置された光増幅層 (The tapered film of high-index material)の表面を、メソポーラス金属酸化物薄膜で被覆したことを特徴とするメソポーラス金属酸化物複合光導波路センサー、その製造方法、及びこれを、VOC, NO_x, CO₂, アンモニア、環境ホルモンから選ばれる１種以上の検出に用いること。 （もっと読む）

グロー放電ギャップを有するマイクロ・プラズマ・センサ・システム。検知される流体が、ギャップでの放電の近傍に持ってこられる。放電からの放出光は、流体の特性を判定するために光スペクトル分析器に結合される。この結合のために、窓と、放電ギャップに近接した粒状物質検出電極とを含む。窓の清浄状態及び電極の電気的分離は、この放電により維持される。光分析器は、光検出器に向かう２又はそれより多くの光チャネルに対する個々のバンドパス・フィルタ、又は光検出器のアレイに向けての波長に応じた様々な角度で放出光を分散させる格子又はプリズムを有する。光検出器は、処理される電気信号を出力する。
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容器内の媒質中に存在する細胞を分析する方法は、細胞付近の媒質の元の体積を有する容器を準備するステップ、細胞の少なくとも一部付近の媒質の元の体積を減少させて、媒質の縮小された体積を規定するステップ、および媒質のこの縮小された体積内で細胞に関連する成分を分析するステップを含む。細胞を分析する装置は、細胞と媒質の体積とを保持する容器を受容するようになっているステージと、細胞の少なくとも一部を含む容器内の媒質の縮小された体積を形成するためのバリアを受容するようになっているプランジャと、ステージおよびプランジャの相対運動によって予期内に挿入さえっるようになっているバリアと、媒質の縮小された体積とセンサ連通するセンサとを有しており、センサが、縮小された体積内に存在する成分を分析するように構成されている。 （もっと読む）

本発明は、地層流体試料を坑内で又は地表で分析し、地層流体のパラメータを決定するための波長可変ダイオードレーザ（ＴＤＬ）を用いる超高分解能分光のための坑内装置及び方法を提供する。吸光分析に加えて、本発明は、ＴＤＬの波長を掃引し、狭帯域検出器を用いて、固定された波長でラマン散乱光を検出することによって、流体に対してラマン分光を行なうことができる。分光計は、坑内で集められた加圧された坑井流体試料を分析する。分析は、坑内又は地表の現場のいずれかで、行なわれる。試料特性と不純物レベルの地表の現場分析又は坑内分析をもたらすために、近赤外、中赤外、及び可視光分析も試料に対して行なわれる。現場分析又は坑内分析は、相関関係、学習ニューラルネットワーク、又は計量化学式によって評価され得る芳香族化合物、オレフィン、飽和化合物、ガス／油比率、ＡＰＩ比重、及び種々の他のパラメータを決定することを含む。

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