本発明は、真空ライン１８に連結されたチャンバ１０内で行われる凍結乾燥処理中の脱水運転を監視するための装置に関する。この装置は、チャンバ１０内に含まれる気体を分析するための手段を備え、この手段は、プラズマを発生するように構成された発生器と結合された気体と接触しているプラズマ源３を含む、気体をイオン化するためのシステム１、及び、プラズマにより放出される放射スペクトルの発生を分析する装置２２に連結されたプラズマ発生区域の近くに配置された放射線センサ２０を含む、イオン化された気体を分析するためのシステムを含む。このプラズマ源は誘導結合によって生成されることが好ましく、放射スペクトルを分析する装置は発光分析装置である。
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【課題】ステンレス鋼中のＳ元素の定量分析を容易に実施できるスパーク放電発光分光分析方法を提供する。
【解決手段】不活性ガス雰囲気中でステンレス鋼試料と対電極との間で多数回のスパーク放電を行い、各放電に伴う発光スペクトル線から硫黄（Ｓ）元素の固有スペクトル線を選択し、前記Ｓ元素の固有スペクトル線の発光強度を、予め標準試料を用いて作成されたＳ濃度と発光強度との関係を示す検量線と対比させてＳ元素を定量するに際して、ステンレス鋼試料中のＮｉ濃度範囲に応じて分類された２種以上の検量線を用いることを特徴とするステンレス鋼中のＳ元素のスパーク放電発光分光分析方法。 （もっと読む）

【課題】 スパッタリングによる影響を排除して、高精度の測定を安定して行えるようにする。
【解決手段】 グロー放電発光分析装置は、生成した高周波電力の高周波電圧に係る平均電圧値が一定となるように生成する高周波電力の電力値を変更する。グロー放電発光分析装置が有する電源部のジェネレータは、試料へ印加する高周波電圧の平均電圧値を検出し、検出電圧値とユーザにより設定された基準電圧値とを比較し、検出電圧値が基準電圧値に比べて高い場合、生成する高周波電力の値を低下させ、検出電圧値が基準電圧値に比べて低い場合、高周波電力の値を上昇させ、給電中は試料に印加される電圧値を基準電圧値と同等にしてスパッタリングの安定を図り、それに伴い発光強度の振れを抑制して安定した測定結果を得る。 （もっと読む）

【課題】 恒常的にアーク放電に暴露される高圧電気機器の部品における磨耗を検出する技術を提供する。
【解決手段】 トレーサ物質（２０４）が電気機器の部品に組み込まれ、部品がアーク放電（２０６）に暴露される時に部品の過度の磨耗を検出する。部品が磨耗すると、トレーサ物質は、アーク放電に暴露された状態になり、連続的にモニタされる電磁放射（２０９）を放出する。トレーサ物質は、それがアーク放電に暴露される時に部品の任意の他の部分によって放射される電磁放射と異なる電磁放射を放射するように選択される。
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【課題】非金属介在物を含有する金属をスパーク発光分光分析装置で分析する際に信頼性の高い分析データを得ることのできるスパーク発光分光分析装置用標準試料を提供する。
【解決手段】金属からなる試料本体１の表面に非金属粒子を分散せしめた非金属粒子分散層２を有するスパーク発光分光分析装置用標準試料において、非金属粒子分散層２に分散する非金属粒子の密度分布を１００〜２５０００個／ｃｍ³としたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】組成成分が分からない蒸気タービンロータにおいて、応力集中部となる蒸気タービンロータの翼植込み部などの強度および余寿命時間を、その後の運用に支障をきたすことなく、非破壊的に評価する蒸気タービンロータの余寿命評価装置および蒸気タービンロータの余寿命評価方法を提案することを目的とする。
【解決手段】組成成分が不明な蒸気タービンロータ１０において、組成成分を特定して蒸気タービンロータ１０を構成する金属材料を特定し、特定された金属材料の情報、および蒸気タービンロータ１０の使用温度、応力、作動時間に基づいて、記憶部１０３に記憶されている強度特定データと比較対照して、蒸気タービンロータ１０の現状の強度を特定し、余寿命時間を推定することができる。また、蒸気タービンロータ１０の以後の運転に支障を与えることなく、非破壊的に余寿命を評価することができる。 （もっと読む）

【課題】先行試料による光源部のコンタミネーションに起因する測定精度の劣化を防止し、光源部浄化のための予行放電による時間的損失と部材の消耗を軽減する発光分析装置を提供する。
【解決手段】複数の光源部を設け、分析対象光源を第１、第２光源部Ａ１、Ａ２から選択する光源選択機構として、切替ミラー１０を入口スリット１の前部に配置する。切替ミラー１０は２点の固定位置を持っており、そのいずれかを手動あるいは電気・機械的駆動によって選択できる。切替ミラー１０が図１の実線で示された固定位置にある場合は、第２光源部Ａ２から光が切替ミラー１０によって反射されて入口スリット１に入射する。これにより第２光源部Ａ２の試料６２の分析が行われる。切替ミラー１０が図１の破線で示されたもう１点の固定位置にある場合は、第１光源部Ａ１からの光が入口スリット１に導入される。これによって第１光源室Ａ１の試料６１の分析が行われる。 （もっと読む）

【課題】 剛性の低い試料を安定に測定できるグロー放電発光分光分析装置を提供する。
【解決手段】 放電灯１では、陽極３に絶縁物製の試料押さえ１６が嵌合されている。試料押さえ１６は陽極３とは段差があり、薄膜試料２０が陽極３に短絡することなく保持することを可能にしている。放電灯先端部１１の圧力は主排気経路１３および補助排気経路１４によって分析に適当な値に保たれる。また、排気経路１８によって薄膜試料２０の背面も排気されるため、薄膜試料２０の前面と背面との圧力差による薄膜試料２０の変形も抑制することができる。これにより、陽極３と薄膜試料２０との間隔は常に一定に保つことができるので、長時間安定な測定が可能となる。放電灯１と電極８の間には支持板１７を配置し、放電灯１全体の減圧を保っている。 （もっと読む）

【課題】 スパッタリングによる測定レベルの低下を防止して、高精度の測定結果を短時間で取得可能にする。
【解決手段】 グロー放電発光分析装置１は、試料Ｓへ高周波電圧を断続的に印加する電源部３を備えると共に、分光器７から第１基板１６が断続印加中の単位印加の時期に同期して測定値の取得を行い、断続印加中の非印加時に係るノイズが混入した測定値の取得を防止すると共に、試料Ｓの電圧印加に対する悪影響を低減して高電圧値を試料Ｓへ印加し、高レベルの測定値を得る。また、第１基板１６は単位印加の時期に測定値を複数回取得することで、分析制御部８は短時間に多数の測定値を得て、測定時間の短縮化を図る。 （もっと読む）

【課題】ガス成分を排除して微粒子成分のみの分析を良好に行うことができるガス中の微粒子成分計測装置及び方法を提供する。
【解決方法】複数の減圧度の異なる第１の減圧室１１−１と第２の減圧室１１−２からなる減圧チャンバ１１と、減圧度の高い第１の減圧室１１−１に設けられ、微粒子成分を含むガス１２を導入するガス導入部１３と、減圧度の高い第１の減圧室１１−１と減圧度の低い第２の減圧室１１−２とを連通すると共に、導入されたガス成分１２ａと微粒子成分１２ｂとを分離する分離部１４と、減圧度の低い第２の減圧室１１−２内に導入された微粒子成分１２ｂをプラズマ化させるプラズマ化装置であるレーザ装置から照射されるレーザ光Ｌと、該プラズマ化装置１５により発生したプラズマ１６を計測する検出装置である光検出器１７とを具備してなる。 （もっと読む）

電極（５３）で形成したグロー放電ギャップを備えたマイクロプラズマセンサシステム。感知すべき流体はギャップにおいて放電（５６）の近くに送られ得る。放電からの光は、流体の性質を決めるため分光分析装置又はプロセッサに結合され得る。カップリングが放電ギャップの近くに導波管（６３）を備え得る。窓のクリーン性及び電極の電気分離は、放電によって維持され得る。光学分析装置は、検出器（２３）に対する１つ以上の光学チャンネル用のフィルタ（２２）を備え得る。検出器は処理すべき電気信号を出力し得る。電極（５３）はそれら電極間に光導波管（６３）を備える。又は、電極（５３）は、光導波管（６３）のまわりに同心的に形成され、他の電極と環状放電ギャップを形成する。光導波管（６３）は１つ以上の光学繊維であり得る。
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【課題】 金属試料中に存在する介在物の粒径を迅速に且つ精度よく測定する。
【解決手段】 発光装置５２の放電回路５２Ａを構成する放電発生用コンデンサ５２ａとして、容量が８〜１６μＦのものを用いて、電圧が３００〜５００Ｖで、１パルス当たりの放電時間が８０〜１９０μｈの条件でパルス放電を生じさせることにより、金属試料の被検査面に存在する介在物を発光分光分析する。この発光分光分析による結果に基づいて、金属試料の検査基準面積に存在する介在物の最大粒径を測定し、この最大粒径を用いて極値統計法に基づく統計処理を行うことにより、金属試料の予測を行う面積に存在する介在物の推定最大粒径を測定する。 （もっと読む）

封止されたエンクロージャに含まれる気体に放電を生成する方法が開示される。方法は、ＲＦ周波数で螺旋状コイル共振器を駆動して高圧気体に放電を生成するのに十分なＲＦ電磁界を生成するステップを含む。放電は、発光スペクトルを生成し、それは、気体の組成および不純物含量を決定するために、分光的に分析されてもよい。
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グロー放電ギャップを有するマイクロ・プラズマ・センサ・システム。検知される流体が、ギャップでの放電の近傍に持ってこられる。放電からの放出光は、流体の特性を判定するために光スペクトル分析器に結合される。この結合のために、窓と、放電ギャップに近接した粒状物質検出電極とを含む。窓の清浄状態及び電極の電気的分離は、この放電により維持される。光分析器は、光検出器に向かう２又はそれより多くの光チャネルに対する個々のバンドパス・フィルタ、又は光検出器のアレイに向けての波長に応じた様々な角度で放出光を分散させる格子又はプリズムを有する。光検出器は、処理される電気信号を出力する。
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発光分光分析法を使用する、溶融材料、例えば鋳鉄あるいは鋼、あるいはスラグ、ガラスあるいは溶岩を分析するための方法及び装置が提供される。少なくとも一つの分光計と、被分析材料を励起させるための少なくとも一つの励起装置とを有する検出素子が使用される。被分析材料を励起させることにより被分析材料から放射物が部分的あるいは完全に発生され、発生した放射物が検出素子内の分光計により分析される。検出素子は溶融した被分析材料との接触状態に持ち来され、分光計によって供給される分析成分を含む情報を伝送する。本発明によれば浸漬センサも提供される。 （もっと読む）