【課題】アルゴンガス中に微量窒素と共存し得る一種以上の成分の影響を排除して、窒素濃度を正確に測定することができる簡便な方法を提供する。
【解決手段】試料アルゴンガスを放電管に導入し、前記放電管内で無声放電して発生した光から、窒素ガスに特有な波長の光を分離して光センサーに導入し、前記光センサーによって検知された前記波長の光の強度に基づいて、試料アルゴンガス中の窒素ガス含有量を測定するアルゴンガス中の窒素濃度の測定方法であって、前記試料アルゴンガスを前記放電管内に導入する前に、窒素ガスに特有な波長の光に干渉がある成分を当該試料アルゴンガスから除去することを特徴とするアルゴンガス中の窒素濃度の測定方法である。 （もっと読む）

【課題】 固体試料中に含まれる様々な種類の元素の濃度を容易に算出することができる発光分析装置を提供する。
【解決手段】 固体試料６の分析面６ａと対向電極３との間で放電を行うことで発生した発光光が導入されることにより、発光光を、各元素に特有な波長を有する輝線スペクトルに分光する分光器４と、各輝線スペクトルの強度をそれぞれ検出する複数の受光素子５ａを有する光検出器５とを備える発光分析装置１であって、アルゴリズムを記憶する記憶部２２と、固体試料６の母材となる元素の種類と、測定対象とする元素の種類及びその種類の元素の予想濃度範囲とが入力されることにより、アルゴリズムに基づいて、受光素子選択方法と放電発光条件と元素濃度算出条件とを決定し、決定した受光素子選択方法と放電発光条件と元素濃度算出条件とを用いて、測定対象とした種類の元素の濃度を算出する制御部２１とを備える。 （もっと読む）

【課題】 発光電源にかかる負荷を適切に管理することにより、発光電源のメンテナンスを適切な周期で実行できる発光分析装置システムの提供。
【解決手段】 固体試料６の分析面６ａと対向電極３との間で放電を行うことで発生した発光光が導入されることにより、発光光を輝線スペクトルに分光する分光器４と、複数の受光素子５ａを有する光検出器５と、１回の発光分析で発光電源３３によって対向電極３にパルス状の電圧を印加することにより、固体試料６の分析面６ａと対向電極３との間で複数回の放電を行う発光電源部３０と、輝線スペクトルの強度を示す測定データを取得する発光分析装置制御部４１と、元素の濃度を算出するデータ処理部２０とを備える発光分析装置システム１であって、発光電源部３０は、固体試料６の分析面６ａと対向電極３との間で放電を行った放電回数を計数することにより、放電を過去に行った累積放電回数を記憶する記憶部３２を備える。 （もっと読む）

【課題】プラズマ発光分析において、プラズマの短時間での確実な点灯が可能とし、ヘリウム光強度を一定とし、ハロゲン元素の分析定量の際の分析感度の安定化が行えるようにする。
【解決手段】プラズマ発光分析装置において、被測定ガスとヘリウムキャリアガスを導入する放電管３と、この放電管に交流電圧を印加してバリア放電を生じさせる高周波電源４と、前記放電管に導入されるヘリウムキャリアガスを加熱するヒータ２１と、このヒータの温度を制御して放電管内の雰囲気温度を５０〜５００℃に制御する温度制御部２２と、前記放電管に導入されるヘリウムキャリアガスの流量を、ヘリウムに起因する発光の光強度が１５０００〜２００００カウントとなるように制御する流量制御部２３を備える。 （もっと読む）

【課題】主放電電極からの放電を生起させるためのコントロールギャップを形成するトリガ用放電電極のメンテナンス性を向上させる。
【解決手段】試料２との間に所定の分析ギャップＧ１を設けて配置した主放電電極３に近接し、且つ試料２より主放電電極３に近づけてトリガ用放電電極１１を配置する。コンデンサにより主放電電極３と試料２との間に高電圧を印加した状態で、イグニショントランスからトリガ用放電電極１１に高電圧を印加すると絶縁破壊を生じ、トリガ用放電電極１１から主放電電極３を経て試料２へと放電電流が流れる。これに伴い主放電電極３から試料２への主放電が起こり、この放電により試料２の分析面が発光する。トリガ用放電電極１１が主放電電極３と同じチャンバ内に配設されるので、クリーニングや交換などの作業が容易になる。 （もっと読む）

【課題】励起発光を従来より長時間に亘って持続させることが可能な発光装置及び発光分光分析装置に関する。
【解決手段】本発明の発光装置１００によれば、プラズマ生成装置５００にて生成されたプラズマ雰囲気中に粉体供給装置１０から粉体を連続供給して励起発光を連続して起こさせることで、従来より長時間に亘って励起発光を持続させることができる。また、粉体供給装置１０から排出された粉体の周囲を、プラズマ雰囲気を生成するガスで包囲した状態で１対の電極Ｅａ，Ｅｂ間に供給することができるので、プラズマのエネルギーを効率よく粉体に付与して励起発光させることができる。 （もっと読む）

【課題】試料の測定面の曲率について対応範囲を広げて高精度に分析することができるグロー放電発光分光分析装置およびグロー放電発光分光分析方法を提供する。
【解決手段】グロー放電発光分光分析装置は、陽極管３ｄと、陽極管３ｄを収納する内方空間Ｖを有する支持ブロック２と、支持ブロック２の内方空間Ｖを真空引きする減圧手段３ｂ、３ｃと、支持ブロック２に環状シール部材６を介して試料５を押し付ける試料ホルダ８と、陽極管３ｄと試料５との間に電圧を印加してグロー放電を発生させる給電手段９とを備え、支持ブロック２が、環状シール部材６を保持する環状溝７と、その環状溝７の周方向外側に曲率を有して延在する凸部２ａとを有する。 （もっと読む）

【課題】安価で簡単な構成で従来のグロー放電発光分光分析装置では分析できなかった試料を容易に分析することができるグロー放電発光分光分析装置を提供する。
【解決手段】本発明のグロー放電発光分光分析装置は、陽極管１ｄと、陽極管１ｄに対向する側である試料５の分析面５ｂに当接する分析面陰極２、試料５の分析面５ｂの反対側である背面５ｃに当接する背面陰極７、および試料５の側面５ｄに当接する側面陰極３２のうちの少なくとも２つの陰極と、陽極管１ｄと前記少なくとも２つの陰極との間に電圧を印加する給電手段８とを備える。 （もっと読む）

【課題】不活性ガス雰囲気中での取り扱いを要する試料のグロー放電分光分析を可能にする試料容器及びグロー放電分光分析装置を提供する。
【解決手段】陽極３３を有するグロー放電分光分析装置本体と、試料Ｓを収容し、試料Ｓが陽極３３に対向するように保持する試料容器１とを備え、陽極３３と試料Ｓとの間に発生するグロー放電発光を分光分析するグロー放電分光分析装置であって、試料容器１に、開口部１１ｃを有し、試料Ｓを収容する試料収容体１１と、陽極３３及び試料Ｓが密封されるように、試料収容体１１をグロー放電分光分析装置本体に着脱可能に取り付けるための取付部１１ｈと、グロー放電分光分析装置本体から離脱した試料収容体１１の開口部１１ｃを開閉させるシャッタ部材１２とを備える。 （もっと読む）

【課題】 ＧＤＳのプラズマにより引き起こされるサンプルの加熱を減らしながらグロー放電分光分析装置の感度と深さ分解能を改善すること。
【解決手段】 本発明は、グロー放電分光分析装置用放電ランプであって、第１にポンプ手段（８）に接続され、第２に不活性ガスを真空容器（６）中に注入する注入手段（１０）に接続された前記真空容器（６）を有するランプ本体と、縦軸Ｘ−Ｘ’を有する中空円筒の第１の電極（２）と、分析用サンプル（１２）を受け、前記円筒電極（２）の一端に面する前記サンプル（１２）を保持するのに適した第２の電極（４）と、前記両電極（２及び４）の端子に、前記ガス（１０）の存在の下にグロー放電プラズマ（１１）を発生させるのに適した連続、パルス状、高周波（ＲＦ）、又はハイブリッド電界を印加する印加装置（３）を備える電界発生手段と、前記プラズマ（１１）の少なくとも一つの成分を測定するのに適した分光計に前記放電ランプを結合する結合手段（１６）と、磁界を発生させる磁界発生手段とを備えるグロー放電分光分析装置用放電ランプに関する。本発明によれば、前記磁界発生手段は軸Ｘ−Ｘ’に沿って向いた磁力線を有する磁界を発生させるのに適しており、前記磁界の強度と向きは、方向Ｘ−Ｘ’に沿って突き出た前記中空円筒電極（２）の内側面積以上の前記サンプル（１２）の面積にわたり均一である。 （もっと読む）

【課題】迅速な乾式法による分析を適用しても、亜鉛めっき浴の組成を正確かつ簡便に分析できる溶融亜鉛の分析用サンプル容器およびそれを用いた分析方法を提供する。
【解決手段】側壁部と、前記側壁部から分離可能な平坦な底部とからなり、前記底部には冷却機構が備えられ、かつ少なくとも前記底部の溶融亜鉛と接する面がステンレス鋼、銅、グラッシーカーボン、窒化ホウ素のいずれかよりなる溶融亜鉛の分析用サンプル容器。 （もっと読む）

【課題】スパーク放電発光分析法を用いて、金属試料の深さ方向の成分濃度分布を迅速さを損なわずかつ正確に定量する方法を提供する。
【解決手段】傾斜研磨加工した金属試料の傾斜研磨面を、スパーク放電発光分析法を用いて、隣接する分析点同士が重畳しないように移動させつつ測定し、各分析点から得られる発光スペクトルを分光分析して金属試料表面からの深さ方向の成分濃度を定量する方法であって、前記各分析点の発光スペクトルから特定成分に対応する波長の発光強度を分離して、各分析点の中心位置を金属試料表面からの深さをｘとした特定成分の発光強度関数とし、所定の（Ｉ）式で表される重み関数Ｇ（ｘ）で該発光強度関数をデコンボリューションすることにより、金属試料表面からの深さに対応する特定成分の濃度を定量する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、試料面上に設定される分析点である測定領域の最大化を図り、多回分析ロジックに従った試料の成分分析を行い、成分分析の高精度化、分析処理の高速化を実現したスパーク放電発光分光分析方法に関する。
【解決手段】試料の表面上に設定された測定領域に対するスパーク放電発光により発生したスペクトルに基づいて試料に含まれる成分の分光分析を行うスパーク放電発光分光分析方法において、試料の表面上に、互いに離間させて、所定面積を有する複数の検査範囲を設定し、該複数の検査範囲の各々について、表面粗さ検査を行い、該表面粗さ検査において所定条件を満たした検査範囲の各々を測定領域に決定し、各々の測定領域に対するスパーク放電発光の順番を決定し、該順番に従って、前記測定領域に対してスパーク放電発光を行う。 （もっと読む）

【課題】 測光部のゲインずれやオフセットの補正精度を向上させるとともに、補正に必要な測定データを得るために実際の放電を不要とすることで放電に伴うレンズの汚れ等の問題も解決する。
【解決手段】試料の分析実行前に、制御部２４は放電実施時に放電部１から出力される放電通知信号に相当する擬似放電通知信号を出力し、積分条件設定部９は擬似放電通知信号に応じた積分開始信号、積分終了信号を積分器６ａ、６ｂ、６ｃに出す。入力値設定部１２から設定される固定値を積分した結果に基づいてデータ処理部２０では測光部１３の固有ゲインが求められ、また入射光がないとみなせる状態の光検出器５ａ、５ｂ、５ｃの出力を積分した結果に基づいてデータ処理部２０では測光部１３のオフセットが求められる。補正演算部２３は試料Ｓについて実測されたデータに対しゲインずれとオフセットの補正を行う。 （もっと読む）

【課題】 スパッタリングによって発生する金属粉が、放電電極の先端に付着することを少なくして、メンテナンス間隔を著しく延ばすようにした発光分光分析装置を提供する。
【解決手段】 放電室と、固体金属試料の分析面に対向させた状態で放電室内に配置された電極と、放電室にガス供給源からの不活性ガスを供給するガス吹出口と、固体金属試料の分析面と電極との間で放電を行うことにより発生した発光光を分析する分析制御部を備えた発光分光分析装置であって、放電室内に、回転によって室内のガス流を遠心方向に押し流す作用をなすロータが配置されており、このロータの中心部を貫通した穴に前記電極が配置され、該電極の周面とロータとの隙間に前記ガス吹出口が形成されており、放電室の外周壁にガス排出口が設けられている構成にする。 （もっと読む）

本発明は、可変振幅及び／又はピーク間持続時間を有する複数の比較的高い電流及び高い勾配のピークを含む第１の変調部分と、変調ピークを実質的に持たない比較的低い電流及び低い勾配の第２の変調部分とを含む電流波形を有する発光分光測定（ＯＥＳ）のためのスパークを発生させるスパーク発生器を提供する。好ましくは、スパークは、２つ又はそれよりも多くのプログラマブル電流源から発生される。本発明はまた、スパーク発生器を備える発光分光計と、スパーク発生器を用いた発光分光測定の方法とを提供する。 （もっと読む）

【課題】放電が正常に行われたときに得られた分析結果であるか否かを正確かつ自動的に判定できる発光分析装置の提供。
【解決手段】 固体試料６の分析面６ａ中における分析箇所と電極２ａとの間で放電を行うことにより発生したスペクトルを分析する分析部２と、固体試料６を保持しながら、固体試料６の分析面６ａ中における分析箇所を順番に変更していく搬送機構４と、固体試料６の分析面６ａ中における複数の分析箇所から得られた複数の分析結果を、分析箇所で分析した分析順に分析結果記憶部５４に記憶させる制御部２１とを備える発光分析装置１であって、分析面６ａを撮影する撮影部１０を備え、制御部２１は、全ての分析箇所で分析した後に、搬送機構４によって固体試料６を保持しながら、固体試料６を分析部２から撮影部１０へ移送し、撮影部１０で撮影された分析面画像中の複数の分析痕画像に基づき、各分析箇所で放電が正常に行われたか否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】超高純度用途で連続ガス分析を行うのに適した分析器を提供する。
【解決手段】低レベル発光源および検出器として電荷結合素子（ＣＣＤ）ダイオードアレイを有するガス発光分光計１０を含む。ＣＣＤ検出器は、一つ以上の光電子増倍管および分光計に典型的に使われる狭帯域通過フィルタに置き換わる。分析器は、背景光レベルの影響、または暗スペクトルを評価し且つ除去するために種々の処理作業を行う。 （もっと読む）

【課題】灰組成やガス中の微量成分を簡易迅速に計測できるガス中の成分計測装置を提供する。
【解決手段】本発明に係るガス中の成分計測装置１０Ａは、被測定場中のガス中の灰分又は微量成分をプラズマ化させてガス中の灰分の未燃分又は微量成分を計測するガス中の成分計測装置であって、被測定場である煙道１１内にプラズマ光Ｐを発生させる一対の電極１２ａ、１２ｂと、前記プラズマ光Ｐの信号光１３を検出部（例えば分光器及びＩＣＣＤカメラ等：図示せず）へ送る光ファイバ１４と、前記光ファイバ１４をガードすると共に、前記光ファイバ１４の周囲に供給されつつ煙道１１内に噴出するガードフロー１６を供給するガード部材１５とを具備する。 （もっと読む）

【課題】絶縁体の性能を変化させないで、放電発光自体の発光強度を上げて、検出感度を向上させる。
【解決手段】本発明は、圧力容器内部に高電圧を印加する導体を有し、かつ絶縁ガスを充填したガス絶縁機器と、圧力容器内部の部分放電発光を検出して観察することのできる光学測定装置を備える。この絶縁ガスとしての電気負性ガスに0.1vol％〜10vol％の窒素ガスN₂を混入した混合ガスを用いる。 （もっと読む）