【課題】フィードアルゴンと粗アルゴンの両者に含まれている不純物窒素の濃度を一つの分析装置で、高精度かつ連続的に測定することができる窒素分析装置を提供する。
【解決手段】アルゴン塔１２を備えた空気分離装置１１の前記アルゴン塔に導入されるフィードアルゴンと、該アルゴン塔から導出される粗アルゴンとにそれぞれ含まれている不純物窒素の濃度を、放電管２６内での放電により生じる窒素に特有の光の発光強度と、放電管に導入される試料ガスの酸素濃度とに基づいて測定する窒素分析装置１０において、試料ガスが粗アルゴンのときに、該試料ガス中の酸素濃度を前記フィードアルゴンの酸素濃度と同程度にするための希釈用酸素を粗アルゴンに添加するための希釈用酸素導入経路２４を設ける。 （もっと読む）

【課題】分析格子点の大きさや、分析点数の適正化を図ることによって、良好な分析精度を確保しつつ迅速に偏析状況を把握することのできる発光分光分析によるマクロ偏析評価方法を提供する。
【解決手段】本発明のマクロ偏析評価方法は、切断面が鋳片中心部を通る鋳片サンプルを切り出し、スパーク放電を発生する電極が、前記鋳片サンプル切断面上の一次元的若しくは二次元的な３点以上の分析格子点に順次対応するように鋳片サンプルを移動させ、各分析格子点において、内接円の直径が１〜５ｍｍの窓の空いたマスクの窓部分を通して、予備放電を伴う複数回のパルスからなるスパーク放電を生じさせ、このスパーク放電を光源とする発光分光分析を行ない、各分析格子点における鋼中微量成分濃度を定量分析することによって、マクロ偏析を定量的に評価する。 （もっと読む）

【課題】ガス中の微量成分の計測を簡易にしかも感度良く計測することができるガス中の微量元素成分濃度を計測する微量成分計測装置及び方法を提供する。
【解決手段】ガスＧの供給・排出ラインを備えた減圧セル１０１と、該減圧セル１０１内に噴射されたガスＧ中の微量成分をプラズマ化する放電装置１０２と、前記放電により発生したプラズマ光１０３を分光し、分光して得られたプラズマスペクトルのうち、所定の波長（例えば波長１７５乃至８５０ｎｍ）の発光強度を検出する少なくとも２以上（本実施例では３個）の第１〜第３の光検出器１０４−１〜１０４−３と、白色光の計測値を元に発光強度と光強度との関係を校正する校正部を有する信号処理装置１０５と、前記信号処理装置１０５からの情報を元にして計測装置全体を制御する制御装置１０６とを具備する。 （もっと読む）

本発明は、坑井内で地層流体の元素分析を行う方法及び装置を提供する。本発明は、分光分析法を用いて坑井内で地層流体の元素分析を行う。本発明の一面において、地層流体試料についてレーザー誘導分析を行うための方法と装置とが提供される。本発明の他の面において、スパーク誘導分光分析を行う方法と装置とが提供される。坑井内で被検流体にプラズマが誘導される。プラズマからの発光が分析されて、被検流体の元素組成が決定される。発光は、紫外、可視、及び近赤外のスペクトル領域の光を含むが、それらに限定されない。坑井内で流体の元素分析を行うために、分光器が与えられる。元素分析は流体についての情報と、その流体が生じた地層についての情報とを与える。 （もっと読む）

【課題】 試料の掘削箇所の温度を測定して、熱に弱い試料であっても熱影響による変質を防止してグロー放電により掘削加工を行う。
【解決手段】 グロー放電掘削装置１は、グロー放電管２に放射温度測定器３０の赤外線センサ３１を併設し、グロー放電に伴うスパッタリングで掘削される試料表面から放射される赤外線をスパッタリングに伴う発光が生じていないときに赤外線センサ３１で受光して、試料Ｓの掘削箇所の温度を測定する。測定した温度が基準温度以上になった場合は、掘削加工を行うために試料Ｓへ印加する電圧の電力値を低下させて、試料Ｓに与えられる熱量を低下し、試料Ｓが熱に弱い材料であっても溶融などの変質が生じることを防止して、観察に良好な試料面を形成する。 （もっと読む）

２以上の高周波数マイクロホンを使用して、光発光分析（ＯＥＳ）機器において、個々のスパーク又はその他の励起ビームがサンプルに当たる位置を決定する。スパークの位置は、スパークによって蒸発した、サンプル中の材料の元素組成と相関される。マイクロホンは、概略、機器のスパーク発生器のまわりの空気中に配置され、または、概略、サンプルに配置され、または、サンプルと空気中との両方に配置される。スパークからマイクロホンへの音の到達時間、または、到達時間の違いから、情報をもたらし、情報から、マイクロホンに対するスパークの位置を、もって、スパークの絶対位置を、例えば三角測量によって導く。任意的に又は加えて、スパークが発生したとき、時間を指示する信号は、分光計によって検出された１又は複数のスペクトルと相関され、蒸発したサンプルから得られたスペクトルは、サンプルの上方で加熱されたガスから得られたスペクトルと区別される。 （もっと読む）

【課題】スパーク発光分光分析法により得られた鋼中介在物の分析評価結果を基に転がり軸受の転がり寿命を高精度に評価することのできる転がり軸受の寿命評価方法を提供する。
【解決手段】転がり軸受をスパーク発光分光分析法により分析して、その転がり寿命を評価するに際して、スパーク発光分光分析法による分析の位置を軸受の軌道面から母材丸棒の径方向に母材直径換算で±１０％の範囲内とする。 （もっと読む）

【課題】スパーク放電式発光分光分析方法を用いて、金属材料中に存在する介在物組成を迅速に定量分析する方法に関する。
【解決手段】金属試料と対電極との間でスパーク放電を飛ばし、そこから得られる各元素の発光強度から金属試料中に存在する介在物を測定する際、スパーク放電毎に得られる発光スペクトル強度線の強度値をマトリックス元素の強度で割った強度比を用いて、予め設定している放電時間で各元素の地金部分と非金属介在物起因の異常に高い強度比に分割して求め、該当非金属介在物分の強度比から予め標準試料で求めた強度比と組成との検量線に基づき組成に変換し、この操作を各元素毎に行い、非金属介在物組成を求めることを特徴とする金属試料中非金属介在物組成測定方法である。 （もっと読む）

【課題】 安価で簡単に所望の測定点について試料を正確に位置決めすることができるグロー放電発光分光分析用試料位置決め治具などを提供する。
【解決手段】 陽極管3dとその陽極管3dと同軸で試料6 の測定面6aが当接される円板状の支持部2 とを有するグロー放電管11を備えたグロー放電発光分光分析装置1 によって板状の試料6 の測定面6aにおける任意の測定点6bについて分析するために、前記支持部2 と同径の円板状で表側の面17a の中心に印17c が付けられた透明板17とともに用いられる試料位置決め治具12であって、表面14a に試料6 の裏面6eが貼り付けられる板状の保持部14と、その保持部14の表面14a から法線方向に延出し、前記透明板17の側面および前記支持部2 の側面に当接されて位置決めされる当接部13とを備える。 （もっと読む）

【課題】 基板の上に薄膜を有し、かつ基板や薄膜の表面が鏡面状の試料について、薄膜の厚さが極めて薄い場合であっても、正確に分析ができるグロー放電発光分光分析装置および方法を提供する。
【解決手段】 分析対象試料６の薄膜７と同一品種からなる薄膜１７を有する基準試料１６の薄膜１７において、特定元素についてのスパッタリング時間に対する測定強度であって周期的な変化を一周期以上有する測定強度を記憶する基準データ記憶手段３１と、分析対象試料６の薄膜７において、特定元素についてのスパッタリング時間に対する測定強度を求めて、基準試料１６の薄膜１７における特定元素についての測定強度に対する分析対象試料６の薄膜７における特定元素についての測定強度の比をスパッタリング時間に対して算出して、分析対象試料６の薄膜７における特定元素についてのスパッタリング時間に対する補正された測定強度とする補正手段３２とを備える。 （もっと読む）

【課題】 断続給電中の給電断時にバックグランドのノイズ検出を低減して良好な分析結果を得る。
【解決手段】 グロー放電発光分析装置は、分光器内に設けた複数の光電子増倍管でグロー放電により生じた試料のスパッタリングに伴う発光を検出する。各光電子増倍管は検出処理部の高電圧印加部により印加される電圧値に応じて検出感度が調整可能となっており、断続給電中の各給電時には検出処理部の印加制御部により検出感度の自動調整をオンさせて高電圧印加部により電圧印加が行われ、断続給電中の給電断時には検出感度の自動調整をオフすると共に、非検出用電圧を各光電子増倍管に印加し、給電断時にバックグランドのノイズが過度に検出されるのを防止する。 （もっと読む）

【課題】発光分析装置においては、放電電流の変動が分析精度や再現性を損なう原因となる。駆動回路を切り替える間隔を短くすることによって電流値の変動量は減少するが、駆動回路のスイッチング素子の損失が増えることにより、エネルギー伝達の効率が低下してしまう。
【解決手段】放電ギャップにイグナイタ回路が接続され、さらにコイルと駆動回路の複数の組が並列に接続されることによって放電経路が形成されている発光分析装置において、駆動回路は、コイルに一定の電位差を印加してコイルを通過する電流を増加させる状態と、コイルを直接放電経路に接続してコイルを通過する電流を持続させる状態とを有し、それぞれの駆動回路で、コイルを通過する電流を増加させる状態にするタイミングを、互いにずらすように制御する。 （もっと読む）

【課題】プラズマ放電処理装置のプラズマ電極間距離が狭く或いは放電空間の形状がいかなる形状であっても散乱光等の外乱を受けずにプラズマ自体の発光のみを集光可能な測定プローブを提供する。
【解決手段】測定プローブ１は、プラズマ放電処理装置Ｄにおけるプラズマ電極Ｅ１、Ｅ２間に生じるプラズマＰの分光強度を測定するための光情報を伝送する光導部材２と、プラズマＰの発光を光導部材２の端面に集光するための集光レンズ３と、集光レンズ３とプラズマ電極Ｅ１、Ｅ２との間に配置され複数のスリット６を有するスリット部材４と備える。 （もっと読む）

【課題】分光器内を真空引きするために油回転式真空ポンプを用いている分光器では、分光器内の真空度が０．１Ｐａ程度に達し油の蒸気が拡散により排気方向とは逆向きに流れ光学部品の表面に付着して光学部品の性能劣化を引き起こすため、光学部品を定期的に清掃する必要が生じ使用者の負担になっている。
【解決手段】真空型分光器４の真空排気系の一部に微小流量の真空漏洩部として抵抗管２０を設け、油回転式真空ポンプ１７により排気したとき真空型分光器４の内部の気圧が、残留気体による測定したい波長の光の減衰が測定のための許容限界とみなされる例えば透過率８０％になる気圧より低く、真空ポンプの油分子の拡散量が例えば通常方式に比べて１／１００程度に抑制される気圧より高い範囲に入るようにする。 （もっと読む）

【課題】大気圧近傍の圧力下でプラズマ放電処理を行うプラズマ放電処理装置のプラズマ電極間距離およびプラズマの分光強度を測定するための光情報を同時に伝送可能な測定プローブおよびそれを用いて間隙距離測定および分光強度測定を行う測定装置を提供する。
【解決手段】測定プローブ１は、プラズマ放電処理装置Ｐにおけるプラズマ電極Ｅ１、Ｅ２間の距離を測定するための光情報と、プラズマ電極Ｅ１、Ｅ２間に形成される放電空間におけるプラズマの分光強度を測定するための光情報とを同時に伝送する光導部材２を備える。 （もっと読む）

【課題】 金属試料に含まれる元素を発光分光分析技術によって定量するにあたり、元素ごとに金属試料と対電極をそれぞれ最適の位置に移動させて高精度かつ短時間で分析する方法および装置を提供する。
【解決手段】 不活性ガス雰囲気にて金属試料と対電極との間で多数回のスパーク放電を行なう発光分光分析にて、各元素ごとに金属試料と対電極とをそれぞれ最適の位置に移動させて定量する。 （もっと読む）

【課題】ガス中の微量成分の計測を簡易にしかも感度良く計測することができるガス中の微量元素成分濃度を計測する微量成分計測装置を提供する。
【解決手段】ガスＧの供給・排出ラインを備えた減圧セル１０１と、該減圧セル１０１内に噴射されたガスＧ中の微量成分をプラズマ化する放電装置１０２と、前記放電により発生したプラズマ光１０３を分光し、分光して得られたプラズマスペクトルのうち、波長１７５乃至８５０ｎｍの発光強度を検出する検出装置１０４とを具備するものであり、前記減圧セル１０１は真空ポンプ１１１にて７００〜２００Ｐａまで減圧する。 （もっと読む）

【課題】グロー放電源の領域でのサンプルの冷却を改善すること。
【解決手段】冷却手段として、少なくとも１つのペルチエ素子（２７）が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 フィードアルゴンのような２種類のガスを主成分とした混合ガス中に含まれる不純物の濃度を、より簡単な構成の装置によって、リアルタイムかつ連続的に、しかも正確に測定する。
【解決手段】 本発明の分析装置は、一対の放電電極１３，１４を備えた放電管１２と、２種類のガスを主成分とした混合ガスを放電管内に導入する経路１６に設けられたオリフィス１７と、放電管内のガスを一定の体積流量で排気する真空ポンプ１９と、放電によって生じた光から測定対象となる不純物に特有の光の波長を抽出する干渉フィルター２１と、干渉フィルターで抽出した光の発光強度を測定する光検出器２２と、放電管内の圧力を測定する圧力計２０と、光検出器からの光強度信号を圧力測定手段からの圧力信号により補正して混合ガス中の不純物濃度を算出する演算器２４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 スパーク放電発光分光分析法によって金属試料を分析するに際し、切断して得た金属試料が平滑度の低い金属試料であっても精度良く分析する。
【解決手段】 試料支持台１０に装着された金属試料３と、当該金属試料に対向して配置される対電極４との間で、多数回のスパーク放電を不活性ガス雰囲気中で発生させ、スパーク放電毎の発光を分光して金属試料中の元素を定量する発光分光分析方法において、前記金属試料を前記試料支持台に設けた突起部１１の上に装着してスパーク放電させる。金属試料は突起部と接触するので、金属試料に凹凸が存在しても、凹凸の影響を受けることなく分析することができる。 （もっと読む）