【課題】ＳＩＢＳを利用して適切な計測条件で燃料濃度計測を行うことができる燃料濃度計測装置及び燃料濃度計測方法、並びに、そのための較正曲線の準備方法を提供する。
【解決手段】火花放電を発生させる放電装置１０４と、火花放電で生じる光を分光し予め定められた２つの波長帯域の光の強度値を得るための分光器１１２及び検出器１１３と、２つの波長帯域の光の強度比を算出する発光強度比算出部１２３と、予め準備された較正曲線１２４を用い、強度比に対応する燃料濃度を出力する換算部１２５と、検出器１１３による計測時期を制御するための時間差制御器１１５とを備え、時間差制御器１１５は、計測時期を、放電装置による放電期間内から選択する。 （もっと読む）

【課題】オシロスコープ等の測定機器を用いずに放電強度の時間的変化を確認できるような機能を持たせる。
【解決手段】単一波長の発光光を検出する検出器の検出信号を積分する積分器の積分開始と積分終了とで決まる測定期間をずらしながら、それぞれｎ回の繰り返し放電に対する積分データを取得する。同一の測定期間に対して得られたｎ個の積分データを平均して平均値データを求め、放電開始から終了までの期間をカバーするように設定した複数の測定期間毎の平均値データをデータ補間処理することで連続波形を得る。この連続波形を指定波長の放電プロファイル波形として表示部に出力する。 （もっと読む）

【課題】例えば、欧州のＲｏＨＳ指令に対応できる製品であるか否かを、製造ラインや製品形態において、簡便、かつ、高速に検査し、規制値以上のものをスクリーニングすることができる物質分析装置を提供する。
【解決手段】スパークプラグの高電圧放電により生成したマイクロプラズマをマイクロ波エネルギでアシストし被測定物の少なくとも一部をプラズマ化させるマイクロ波併用プラズマ生成手段と、分光分析手段とを備え、プラズマ生成手段によりプラズマを生成し、被測定物の少なくとも一部をプラズマ化させ、分光分析手段による発光分析により、特定の物質を検出する。 （もっと読む）

【課題】ガス中の微量成分の計測を簡易にしかも感度良く計測することができるガス中の微量元素成分濃度を計測する微量成分計測装置を提供する。
【解決手段】ガスＧの供給・排出ラインを備えた減圧セル１０１と、該減圧セル１０１内に噴射されたガスＧ中の微量成分をプラズマ化する放電装置１０２と、前記放電により発生したプラズマ光１０３を分光し、分光して得られたプラズマスペクトルのうち、波長１７５乃至８５０ｎｍの発光強度を検出する検出装置１０４とを具備する微量成分計測装置であって、前記減圧セル内の条件が７００〜２００Ｐａであると共に、前記放電電極に印加する電圧が、２〜６ｋＶの高電圧パルスであり、前記高電圧パルスの時間長さが３０ｎｓ以下であり、且つ前記放電電極の間隔が１０ｍｍである。 （もっと読む）

【課題】微弱な放電発光を感度良く安全に測定して、測定器を破壊させること無しに絶縁破壊直前の現象を取得する。
【解決手段】本発明は、計測対象である絶縁ガスを密閉し、かつ放電発光を測定する観測窓を有する圧力容器と、この圧力容器内に設置して、電源より電圧を印加して不平等電界を発生させる電源側電極及び接地側電極を有する電極系と、電源側電極と接地側電極の間に設置した固体絶縁物と、この固体絶縁物上の帯電を除去する帯電除去装置とを備えて、両電極間に電圧を印加して放電発光を測定する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、材料表面に存在する内部酸化層をＧＤ−ＯＥＳにより測定し、標準試料を用いて検量線を作成することにより測定元素の組成を定量化するに際し、定量性を向上させることを目的とし、そのための標準試料及びこれを用いたグロー放電発光分析法を提供する。
【解決手段】グロー放電発光分析法によって金属試料を測定し、検量線法により該金属試料中の測定元素の組成を定量化するために用いる標準試料であって、該標準試料が金属マトリックス中に１種又は２種以上の元素の酸化物粒子を分散してなる複合材料であることを特徴とするグロー放電発光分析における定量化のための標準試料、及び、これを用いたグロー放電発光分析法である。 （もっと読む）

【課題】超高純度用途で連続ガス分析を行うのに適した分析器。
【解決手段】この分析器は、低レベル発光源および検出器として電荷結合素子（ＣＣＤ）ダイオードアレイを有するガス発光分光計（１０）を含む。このＣＣＤ検出器は、一つ以上の光電子増倍管および分光計に典型的に使われる狭帯域通過フィルタに置き換わる。この分析器は、背景光レベルの影響、または暗スペクトルを評価し且つ除去するために種々の処理作業を行う。 （もっと読む）

【課題】１パルスの放電における試料の発光状態について詳細なデータが得られるようにする。
【解決手段】分光部６は、光検出器から出力される光電流を１０μ秒以下の時間分解能をもってＡＤ変換するＡＤ変換部８に電流‐電圧変換部１１を介して接続されている。ＡＤ変換部８はメモリ２４に接続されており、ＡＤ変換部８でデジタル変換されたデータが時系列的にメモリ２４に格納される。演算処理部１２はメモリ２４に格納されているデータを用いて、１パルスの放電において作業者が任意に設定した領域のデジタルデータを積算処理する。
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【課題】試料の種類や分析目的に応じて適切な数の分析個所を適切な位置に定め、発光分析を実行できるようにする。
【解決手段】試料の分析面上に設定する分析個所の数、初期的な位置、欠陥部が存在した場合の回避方法などが相違する複数の抽出アルゴリズムＡ〜Ｄを抽出情報記憶部２２に記憶させておく。連続分析に先立ち、オペレータが各試料に付与された試料番号に対応付けて該試料の分析に使用する抽出アルゴリズムを入力すると、この情報が選択情報記憶部２４に保持される。分析実行時に試料６が与えられると試料識別部１８がその試料番号を認識し、が層処理部２１はＣＣＤカメラ１２により得られた試料６の分析面の画像により欠陥部を検出する。分析個所抽出処理部２２は試料番号に対応した抽出アルゴリズムを読み出し、該アルゴリズムに従って且つ欠陥部を避けるように１乃至複数の分析個所を抽出する。 （もっと読む）

本発明の目的は、二次真空のオーダの圧力のガスを分析するためのガス分析システム（２）である。このシステムは、円筒状ボリューム（１１）を画成する導電性壁部（１２）と、少なくとも１つの中央貫通穴（３１）を有するディスク（１５）とを有するカソード（１４）と、穴（３１）の実質的に中央に配置されるアノード（１３）と、電場Ｅ（１７）、および電場Ｅ（１７）に対して直交する磁場Ｂ（１９）の作用の組合せにより円筒状ボリューム中で生成されるプラズマのプラズマ発生源とを備えるガス・イオン化デバイス（４）と、プラズマにより発せられる光放射を集めるためのシステムと、円筒状ボリューム（１１）のコンダクタンスよりも低いコンダクタンスを有し、イオン化デバイス（５）と集光システム（５）との間に配置される、アノード（１３）と同軸の円筒状空洞部（２３）と、放射スペクトルの展開を分析するための光学分光器（４１）を備える、イオン化されたガスの分析デバイス（６）とを備える。好ましくは、円筒状ボリューム（１１）の対向側の空洞部（２３）の端部が、プラズマにより発せられる光放射に対して直交する窓（２１）によって閉じられる。
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【課題】一般的な点火プラグの設置スペースに設置可能な程度の寸法内で、放電のための電気的構成とマイクロ波の導入及び放射のための電気的構成とを両立させ、かつ、マイクロ波を燃焼室内に効率よく導入し放射させることができる点火プラグを提供する。
【解決手段】スパーク放電のための中心電極１０２及び接地電極と、同軸状のマイクロ波伝送線路を形成する中心線及び外側導体と、中心線１１２と電気的に一体をなすマイクロ波放射アンテナ１１２Ａとを備え、マイクロ波放射アンテナ１１２Ａは、中心電極から略々等距離の複数の箇所を含む円弧、または、球の一部をなす形状となされている。 （もっと読む）

【課題】金属試料中の着目元素の固溶含有率を簡便、迅速かつ直接的に求める方法を提供する
【解決手段】まず、金属試料を電解する。次いで、電解中および／または電解後に電解液の一部を採取し、採取された電解液を分析する。そして、分析の結果を基に、電解液中における、比較元素に対する着目元素の濃度比を算出し、算出された濃度比に金属試料における比較元素の含有率を乗じることで、金属試料中の着目元素の固溶含有率を求める。例えば、鉄鋼試料中のチタンの固溶含有率を求める場合、上記方法により、分析溶液中のチタン濃度（Ｋ_Ti）及び比較元素として選択した鉄の濃度（Ｋ_Fe）を、それぞれICP質量分析装置で測定する。そして、その濃度比（Ｋ_Ti／Ｋ_Fe）に、比較元素の含有率（鉄の組成値）を乗じて、鉄鋼試料中のチタンの固溶含有率を求めることができる。 （もっと読む）

本発明の態様は、1つまたは複数のガス、たとえば、プラズマエッチングまたはプラズマ強化化学蒸着（PECVD）などの半導体製造プロセスから採取されたガス混合物の成分分析に関する。特定の態様は、多数の分子および分子断片を個々の原子に解離させるために、試料のプラズマに十分な電力を提供する。十分な電力（典型的には3〜40 W/cm³の出力密度）がプラズマに送出されると、発光ピークのほとんどが個々の原子の発光により生じ、それによって、試験されているガスの化学組成の同定を単純化するのに役立つスペクトルを作製することができる。このようにガスの成分を正確に同定することによって、行われているプロセスの段階を正確に決定すること、特に、プロセスのエンドポイントを検出することができる。

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【課題】絶縁碍子の表面におけるコロナ放電の異常発生を長期間に亘って安定して検出可能な電気設備のモニタリングシステムを提供する。
【解決手段】この電気設備のモニタリングシステムは、絶縁碍子１００の表面におけるコロナ放電に伴って発生する紫外線を受光可能な位置に設けられ、その紫外線を真空紫外線領域で検知する材料からなる検知部２２と、検知部２２によって検知された紫外線の強度に応じた電気信号を出力する出力部２４とを有する紫外線センサ１６と、紫外線センサ１６の出力部２４から出力される電気信号に基づいて絶縁碍子１００の表面におけるコロナ放電の異常発生の有無を判断する中央演算システム５８とを備える。 （もっと読む）

【課題】薄膜の深さ方向の結晶／配向性評価を含む薄膜評価を簡単に行うこと。
【解決手段】薄膜評価装置１は、グロー放電発光による薄膜試料Ｓの組成評価と、ＸＲＤによるＩｎ−Ｐｌａｎｅ測定を用いた結晶／配向性評価とを併せて行う機能を有している。そのため、グロー放電発光による薄膜試料Ｓの掘削および組成評価を行い、それにより表出した薄膜試料Ｓの異なる深さの面にＩｎ−Ｐｌａｎｅ測定を行うことができる。したがって、薄膜の深さ方向の結晶／配向性評価を含む薄膜評価を簡単に行うことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】真空チャンバ内部の分圧分布を簡便に測定する分圧測定方法および分圧測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】真空チャンバ内に備える測定専用の局所プラズマ源９を測定箇所に移動させる移動ステップと、真空チャンバの壁部に設けられ、光が通過する窓を通して、局所プラズマ源が発生させたプラズマからの発光を受光し、受光した発光の発光強度を分光測定することにより、真空チャンバ内の分圧分布を測定する測定ステップとを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】従来のグロー放電発光分析方法では正確に測定強度を測定することが困難な薄膜を有する測定対象材についての測定を行なうことが可能な測定方法、測定装置および当該測定方法によって測定された薄膜を備えるエピタキシャル基板を提供する。
【解決手段】本発明に従った測定方法は、基板（試料Ｓ）を準備する工程と、測定工程とを備える。測定工程では、グロー放電発光分析法を用いて、試料Ｓの表面からの深さ方向における成分元素の濃度分布を測定する。具体的には、試料Ｓに給電することによりグロー放電による発光を発生させ、当該発光を波長ごとに分光して分光した光の強度を測定することにより、試料Ｓの深さ方向における成分元素の濃度分布の測定を行なう。測定工程において、強度を測定する光のエネルギーは試料Ｓのバンドギャップエネルギーより大きい。 （もっと読む）

【課題】溶接アーク放電下において、溶接状態を確認するためにアーク放電光をフィルタリングする光学系として、テレセントリック光学系とフォトクロミックフィルタ（ＰＣＦ）による部分減光を使用し、ＰＣＦ上で結像させず、ＰＣＦ上から焦点がずれても減光性能を確保でき、溶接状態のモニタリングが良好な溶接観察装置を提供する。
【解決手段】アーク溶接部８と、アーク溶接部８からの光を集光する対物光学系（１，２）と、対物光学系（１，２）により集光した光を導光するテレセントリック光学系３と、テレセントリック光学系３によって導光された光を照射するＰＣＦ４と、ＰＣＦ４を透過した光を受光する固体撮像装置９とを備え、ＰＣＦ４により、アーク溶接部８からの光を、部分減光する。 （もっと読む）

【目的】
鉄鋼材料中の低濃度の炭素含有分を資料の形状寸法による制約なく高感度かつ高精度で定量分析すること。
【課題を解決する手段】
鉄鋼試料の中の微量元素を定量分析する際、アーク発光分光分析装置を用い、試料の励起発光時にアルゴンと酸素の混合ガスを発光部の放電空間に導入し、かつ発光部の放電電極としてチタンを用いる。
【効果】
アーク発光分光分析により試料の形状に制約なくかつ定量分析に適用できる感度および精度で鉄鋼材料中の微量炭素成分を分析することができる。 （もっと読む）

【課題】 油膜厚さが実測でき、金属接触と放電を混同せずに、油の物性を実軸受と同じ状態で、油膜の絶縁破壊が評価できる油膜絶縁破壊評価装置を提供する。
【解決手段】 本発明の油膜絶縁破壊評価装置は、ガラスディスク１と、これに油膜を介して接触させるボール４と、ガラスディスク１とボール４との間の絶縁抵抗を測定する抵抗測定回路とを備えたもので、ガラスディスクを透明体とし、ボールとの接触面側に可視光を透過する膜電極２を設け、この膜電極２とボール４との間の電圧、もしくは流れる電流を測定するとともに、油膜の状況を高速度カメラ１５で撮影するものである。 （もっと読む）