【課題】切替に伴う出力値の変化を減少させることのできる温湿度測定装置を提供する。
【解決手段】測定環境の雰囲気における温度及び湿度のうちの少なくとも一方を検出する第１センサユニット１１０と、雰囲気における温度及び湿度のうちの少なくとも一方を検出する第２センサユニット１２０と、出力値として使用する検出値を、第１センサユニット１１０及び第２センサユニット１２０のうちの一方の検出値から他方の検出値に切り替えるＣＰＵ１４２とを備え、ＣＰＵ１４２は、第１センサユニット１１０の検出値と第２センサユニット１２０の検出値との差に基づいて補正値を算出し、当該補正値に基づいて第２センサユニット１２０の検出値を補正し、第１センサユニット１１０の検出値から第２センサユニット１２０の検出値に切り替えるときに、補正された第２センサユニット１２０の検出値を出力値として使用する。 （もっと読む）

【課題】燃焼プロセス排ガス等の多成分ガス系に含まれる窒素酸化物、炭化水素、一酸化炭素、酸素等を直接検知可能な化学センサーアレイ及び方法を提供する。
【解決手段】（ｉ）少なくとも２つの化学／電気活性材料のアレイを含んでなる化学センサーを多成分ガス系に暴露する工程、応答を検出する工程、各化学／電気活性材料の応答を直接測定する工程とを含んでなる。化学／電気活性材料は半導体材料である。測定される応答は、静電容量、電圧、電流、ＡＣインピーダンスまたは、ＤＣ抵抗値である。 （もっと読む）

【課題】材料の感度を増大させること、化学／電気活性材料の電気応答特性の安定性を増大させること、または、化学／電気活性材料の電気応答特性の変化を検出する速度を増大させることにより、化学／電気活性材料を改良する。
【解決手段】化学／電気活性材料の温度を、化学／電気活性材料の感度が、第１の感度より大きい第２の感度まで増大する第２の温度まで上げるステップを含んでなり、化学／電気活性材料の感度が、ΔＲ／ΔＣにより与えられる比であり、ΔＲが、選択された温度で、多成分混合ガス中の成分ガスまたはガスのサブグループの濃度の変化の結果として、化学／電気活性材料が受ける、抵抗の変化、または、抵抗に比例する信号サイズの変化であり、ΔＣが、成分ガスまたはガスのサブグループの濃度の変化である、方法。 （もっと読む）

【課題】長期安定性の良好なガス検知素子を提供する。
【解決手段】絶縁基板２の上に設けた検出電極３，４と、検出電極３、４に接触するカーボンナノチューブを主成分とする感応層５とを備え、カーボンナノチューブに誘電体膜を被覆した。 （もっと読む）

【課題】 １つのＮＯｘセンサを用いて、ハンドリング性よく、空間占有部を小さく、精度よく、かつ安価にＮＯ濃度とＮＯ₂濃度を求めることができるＮＯｘセンサを提供する。
【解決手段】 １つの基板１に配設され、第１の半導体材料１２を含み、所定温度において、ＮＯに対して第１の感度Ａmを、またＮＯ₂に対して第１の感度Ａdをもつ第１のＮＯｘ検知部と、その基板に配設され、第１の半導体材料と異なる第２の半導体材料２２を含み、上記所定温度において、ＮＯに対して第２の感度Ｂmを、またＮＯ₂に対して第２の感度Ｂdをもつ第２のＮＯｘ検知部とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 １つのＮＯｘセンサを用いて、ハンドリング性よく、空間占有部を小さく、精度よく、かつ安価にＮＯ濃度とＮＯ₂濃度を求めることができるＮＯｘセンサを提供する。
【解決手段】 １つの絶縁性基板１と、１つの基板に設けられた温度制御手段１５，２５と、第１の領域に位置し、酸化物半導体１３を含む第１のＮＯｘ検知部１０と、第１の領域と異なる第２の領域に位置し、同じ酸化物半導体を含む第２のＮＯｘ検知部２０とを備え、上記の温度制御手段１５，２５は第１のＮＯｘ検知部１０と第２のＮＯｘ検知部２０とを、並行して異なる温度に制御する。 （もっと読む）

本発明は、複数のガスを検出するためのガスセンサ（１）に関する。このガスセンサ（１）は、基板（２）上に形成された少なくとも１つのガス感受層を有し、基板（２）上には、ガス感受層と接触接続するために少なくとも１つの導体トラック（３）がさらに設けられ、導体トラック（３）は、ガス検出への導体トラック（３）の影響を回避するために、無触媒特性を有する添加物含有金属酸化物材料により形成される。これにより、従来技術の不都合が回避され、ガス感受層によりガスを検出するときに感受特性に影響を及ぼすことのないガス感受層の接触接続が提供される。
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【課題】複数の特定ガス成分のうち、ある一つの特定ガス成分を他の特定ガス成分より優先的に検出可能なガスセンサを提供する。
【解決手段】ガスセンサ１は、環境気体中の複数の特定ガス成分の濃度変化を検出する第１〜３感ガス膜１１ｂ、１２ｂ、１３ｂと、内部に第１〜３感ガス膜１１ｂ、１２ｂ、１３ｂを収容し、ガス導入口９１が形成されたケース９０と、ガス導入口９１を閉塞するフィルタ膜８０とを備える。
複数の特定ガス成分のうち他に対して検出優先度が求められる特定ガス成分を第１ガス成分とし、第１ガス成分に対応した感ガス膜を第１感ガス膜１１ｂとし、環境気体がガス導入口９１の重心Ｃ０を通過してから各第１〜３感ガス膜１１ｂ、１２ｂ、１３ｂに達するまでの距離を通気最短距離Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３としたとき、通気最短距離Ｄ１は、通気最短距離Ｄ２、Ｄ３よりも短い関係を満たす。 （もっと読む）

【課題】被測定ガスである酸化性ガスのＮＯ_２を吸着することなく、有機シリコーンガスを選択的に吸着させることができるようにして、センサの感度や応答特性の低下を防止し、センサ性能の長期安定を図る。
【解決手段】 ケース２０の内部に、酸化性ガスに感応するガスセンサ素子５０を収容し、ケース２０には同ガスが同センサ素子５０に接触可能のガス導入口２３がある。同ガスを同センサ素子５０に接触させてその濃度を検出する構成のガスセンサ１で、被測定ガスが、ガス吸着フィルタ７１を通過して同センサ素子５０に接触する構成のガスセンサで、ガス吸着フィルタ７１に、挟雑ガス吸着剤として、ＴｉＯ_２粉末を含ませてなるものを用いた。ＴｉＯ_２粉末を含ませてなるガス吸着フィルタ７１は、ＮＯ_２を吸着することなく、有機シリコーンガスを選択的に吸着、除去するから、酸化性ガスの検知感度がよくなる。 （もっと読む）

水素に対する感度を高め、干渉ガスに対する交差感度を減少させ、またはセンサの動作温度を低下させるために、添加物を含有したまたはしていない、酸化セリウムをベースにした水素感応性複合検出材料、並びに、支持体、該支持体に付された電極、および電極表面に付された水素感応性複合材料のコーティングを含む、これらの水素感応性複合材料を組み込んだデバイス。該センサは一体型ヒータを有してもよい。該センサは、ヒータが管内に挿入された、管形状を有してもよい。ガスセンサデバイスは、支持体と、該支持体に付された電極と、基準抵抗に及ぼす望ましくない作用、例えば雰囲気温度変化によるものを排除するためのデュアルセンサ素子とを含んでよい。水素感応性複合材料または他のガス感応性材料がデュアル素子ガスセンサデバイスに用いられる。
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【課題】分解ガスの蓄積量の測定が可能な被検ガス蓄積型ガスセンサを提供することを課題とする。
【解決手段】被検ガス蓄積型ガスセンサ１０は、固体電解質１１、固体電解質１１の一方の側に設置された検出電極１２、固体電解質１１の他方の側に設置されて検出電極１２と対向する対向電極１３、電源１４、電流検出器１５、接続電線１６、および筐体１７から構成されており、検出電極１２は、導電性金属と吸着剤とを含む多孔性の材料から形成されていて、そのために電極としての導電性と被検ガスを吸着して経時的に蓄積保持する機能をなし、対向電極３との間の電気抵抗の経時変化を測定することにより、検出対象物の所定期間における発生量を時間に関して積分した値、即ち、蓄積量を測定することができる。 （もっと読む）

【課題】広い測定範囲で高い測定精度を維持できる水素ガス濃度センサ及び水素ガス濃度測定装置を提供する。
【解決手段】 本発明にかかる水素ガス濃度センサは、基板と、該基板上に隣接して形成された複数の水素検知膜とを有し、これら複数の水素検知膜は、薄膜層と該薄膜層の表面に形成された触媒層とを有している。各触媒層は、水素ガスに触れると光触媒作用で各薄膜層を可逆的に水素化して電気的抵抗値を可逆的に変化させ、各薄膜層は、水素ガス濃度変化対抵抗値変化の感度と水素ガス濃度測定範囲が相違する。したがって、本発明にかかる水素ガス濃度センサ及び水素ガス濃度測定装置は、水素ガス濃度が低い場合には、感度が高い薄膜層で、水素ガス濃度が高い場合には、測定範囲が広い薄膜層で、高精度かつ広範囲に水素ガス濃度を測定できる。 （もっと読む）

本発明は、測定ガス中の、有利には内燃機関の排気ガス中の種々異なるガス成分を検出するためのセンサ素子に関する。該センサ素子は、測定ガス中の酸素成分を検出するためのラムダセンサ（２）と、測定ガス中の少なくとも１種類の別のガス成分を検出するための少なくとも１つの半導体ガスセンサ（６）と、マルチプレクサ（７）とを有し、該マルチプレクサは前記半導体ガスセンサ（６）と接続している。
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【課題】 本発明は、複数のガスに対するガス感知層を１チップ化することを目的とする。
【解決手段】 薄膜ガスセンサであって、外周部より薄いダイヤフラム部または開口部を中央部に有する基板１と、基板の上に設けられた支持層２と、支持層の上であって、前記中央部に対応する位置に設けられたヒーター５と、ヒーターの上に設けられた電気絶縁層６と、環境中のガスの組成に応じて抵抗値が変化する第１および第２のガス感知層１０，２０であって、電気絶縁層の上であって、前記中央部に対応する位置に、ヒーターにより温度が制御可能なように、間隙を隔てて設けられた第１および第２のガス感知層と、第１のガス感知層と電気的に接触して設けられた第１の電極対１５，１６と、第２のガス感知層と電気的に接触して設けられた第２の電極対２５，２６とを備えるセンサが提供される。 （もっと読む）

半導体薄膜タイプのガスセンサー装置には、その片面に、少なくとも１個のガスセンサー、抵抗発熱体薄膜、及び当該センサー及び抵抗発熱体薄膜を電気的に接触させるためのパッドが含まれている。当該発熱体素子、ガスセンサー薄膜及び接点パッドは、全てスパッタ法によって作製される。
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