【課題】電池駆動型であって、感知薄膜にクラックが生じることなく信頼性が高く、消費電力が低減された薄膜ガスセンサを提供する。
【解決手段】貫通孔を有する基板と、貫通孔を有する基板と、前記基板の第一の表面に接し、前記貫通孔の開口部を覆うように設けられた支持絶縁薄膜と、前記支持絶縁薄膜の反基板側表面上に設けられる薄膜ヒータと、支持絶縁薄膜およびヒータ層を覆うように設けられる層間絶縁膜と、さらに前記層間絶縁膜の上に形成された、金属電極とガス感知薄膜とを有し、前記金属電極とガス感知薄膜とが選択燃焼層で覆われた薄膜ガスセンサにおいて、前記ガス感知薄膜がグラフェン薄膜からなるものとする。 （もっと読む）

【課題】高感度・高安定で高選択性を有し、さらに低消費電力なガスセンサを提供する。
【解決手段】雰囲気ガスを検出するガスセンサは、ヘテロ構造層２０と、２次元電子ガス層３０と、センサ部４０と、検出部５０とからなる。２次元電子ガス層３０は、ヘテロ構造層２０の界面に設けられる。センサ部４０は、ヘテロ構造層２０上に形成されるものであり、半導体ナノワイヤを有するものである。検出部５０は、２次元電子ガス層３０の抵抗値を用いて雰囲気ガスを検出するものである。 （もっと読む）

【課題】ガス検知層が剥離することを防止するとともに、ガス感度に影響を与えずに特定ガスの濃度変化を良好に検知するガスセンサを提供する。
【解決手段】基体１５上に形成され、環境雰囲気中の特定ガスの濃度変化に応じて電気的特性が変化する金属酸化物半導体を主成分とするガス検知層４を有するガスセンサ１において、ガス検知層４は、複数の粒子が結合しつつ、複数の粒子間に存在する空隙を通じてガス検知層４の厚み方向にガス透過性を有するように構成され、かつ金属酸化物半導体とは異なる無機酸化物を含み、基体１５上に、ガス検知層４と接触しつつガス検知層４における電気的特性の変化を検出するための一対の検知電極６と、ガス検知層４と接触する密着層７とを備え、ガス検知層４と密着層７との界面の少なくとも一部には、ガス検知層４の最外側粒子４ａよりも内側の粒子４ｂと密着層７との間を接続するようにして、無機酸化物を含む中間領域部２２が存在している。 （もっと読む）

【課題】ガス・センサを提供する。
【解決手段】ガス・センサ（１００）は、ガス検知層（１１８）と、少なくとも１つの電極（１１２）と、接着層（１１４）と、前記ガス検知層（１１８）及び前記接着層（１１４）に隣接する応答修正層（１１６）とを含む。ガス・センサ（１００）を排気システムに用いたシステムも開示する。またガス・センサ（１００）の製造方法も開示する。 （もっと読む）

【課題】水素等の可燃性ガスの影響及びＮＯx等の酸化性ガスの影響を低減することができ、従来に比べて臭気ガスに対する検知精度及び検知感度の向上を図ることのできるガスセンサを提供する。
【解決手段】ガスセンサ１は、矩形状の平面形状を有し、シリコン基板２の上面に絶縁被膜層３が形成され、この絶縁被膜層３には、発熱抵抗体５が内包されるとともに、その上面には密着層７およびガス検知層４が形成された構造を有する。ガス検知層４は、金属酸化物半導体としてのＳｎＯ₂を主成分とし、さらに、少なくともＶ₂Ｏ₅と、Ｉｒとを含む。 （もっと読む）

【課題】水素等の可燃性ガスの影響及びＮＯx等の酸化性ガスの影響を低減することができ、従来に比べて臭気ガスに対する検知精度及び検知感度の向上を図ることのできるガスセンサを提供する。
【解決手段】ガスセンサ１は、矩形状の平面形状を有し、シリコン基板２の上面に絶縁被膜層３が形成され、この絶縁被膜層３には、発熱抵抗体５が内包されるとともに、その上面には密着層７およびガス検知層４が形成された構造を有する。ガス検知層４は、金属酸化物としてＳｎＯ₂とＩｎ₂Ｏ₃の少なくとも２種と、Ｉｒとを含む。 （もっと読む）

【課題】センサ／センサアレイを組み立てた後で化学レジスタセンサの感度及び／又は選択性を変えるための方法を提供することである。
【解決手段】本発明は、化学レジスタセンサの感度及び／又は選択性を変える方法と、このような方法により製造されるセンサおよびセンサアレイに関する。化学レジスタセンサは、電気的に非導電性のマトリックス中に埋め込まれた複数の導電性粒子又は半導体性粒子を有する感知層を含み、感知層が複数の被酸化性化学官能基を含んでおり、この方法は、上記感知層を酸化反応させる段階を含む。 （もっと読む）

【課題】狭小部や可動部に容易に配置することのできる、物質検知センサを提供すること。
【解決手段】可撓性を有する絶縁層２を形成し、互いに間隔を隔てて対向配置される第１電極３Ａおよび第２電極３Ｂと配線７とからなる導体パターン８を、絶縁層２の上に形成した後、導電性層４を、特定のガスの種類および／または量に応じて、膨潤する割合が変化する導電性材料から、絶縁層２の上に、第１電極３Ａおよび第２電極３Ｂ間にわたって、形成する。 （もっと読む）

【課題】Ｈ_２Ｏ、ＣＯ、ＣＨ_４、ＣＯ_２などのガス中においても、また水中などにおいても、水素濃度を正確に検知することができる、構造簡単で安価な新しいタイプの水素検知素子を提供する。
【解決手段】、感応部１及び感応部１における電気抵抗変化を検出する検出部２を備えて形成される水素検知素子に関する。感応部１は１０族元素を含む非晶質合金から形成され、水素と反応して電気抵抗が変化する特性を有するものであることを特徴とする。感応部１が水素と反応して、電気抵抗が変化することを検出部２で検出することによって、水素濃度を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】室内空間において発生する一酸化炭素を、常温で効率的に除去でき、かつランニングコストの低い一酸化炭素除去機能付き空気調和機を提供する。
【解決手段】一酸化炭素を含む空気の導入口、清浄化された空気の排出口、および内部に空気通路を有する本体と、前記空気を空気通路に取り込む送風手段と、空気通路内に設けられた一酸化炭素除去触媒フィルタとを備えた空気調和機において、前記一酸化炭素除去触媒フィルタを流通する空気の湿度を高湿度（約６０〜９０％）に調節する湿度コントロール手段と、前記湿度コントロール手段の動作を制御する制御手段とを設ける。 （もっと読む）

【課題】化学的に感受性のセンサを作製すること。
【解決手段】本発明は、それと接触している流体中の化学分析物の存在を検出できる化学的に感受性の重合体ベースセンサのアレイを製作する組み合わせアプローチを提供する。記述の方法および装置は、少なくとも第一および第二有機材料を割合を変えて合わせることを包含し、合わせたとき、化学分析物を吸収できる重合体または重合体ブレンドを形成して、それにより、検出可能な応答を与える。この方法により製作したセンサの検出可能な応答は、これらのセンサの重合体ベース成分の少なくとも１個のモル分率と線形関係になく、それにより、これらのセンサのアレイは、種々の感知課題に対して有用になる。 （もっと読む）

【課題】湾曲する部位に貼付して湿度を計測する可撓性湿度センサを提供する。
【解決手段】有機高分子からなる支持基板１０上に一対の櫛状電極１２ｂと該電極から延設されるリード線接続端子１２ａとで構成される貴金属からなる電極構成体１２が接着剤１１により貼設され、該リード線接続端子１２ａには半田付けが可能な金属を析出させ、一対の櫛状電極面１２ｂには湿度に応答性するイオン伝導性感湿膜１３を被覆する構造からなり、該感湿膜の抵抗値の変化を測定することにより湿度を検出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 大きなセンサ感度及び優れた応答性を同時に有した水素ガスセンサの提供する。
【解決手段】 水素ガスセンサ１００は、基板１０の表面上に両リード１１、１２が形成され、両リード１１、１２に電気的に接続するように両櫛歯状電極２０、３０が基板１０の表面上に形成され、両櫛歯状電極２０、３０を被覆するように感応層４０が形成されている。この感応層４０は、固体超強酸であるＷＯ_３／ＺｒＯ_２を主成分とし貴金属である白金を含有してなる感応層材料から構成されてなる。 （もっと読む）

ガス検知半導体素子。ガス検知半導体素子１’は、ＣＭＯＳ回路のソース領域およびドレイン領域と同時に形成されるドープされた単結晶シリコンから成る抵抗性ヒータ６が埋込まれる二酸化シリコン薄層３’を有するシリコン基板２’上に作製される。素子１’は、絶縁層４’によってヒータ６’から分離されたガス感知層９’を備えた検知領域を含む。作製の最終工程の１つとして、基板２’は、検知領域に薄膜を形成するためにバックエッチングされる。ヒータ６’は、熱拡散プレート１６’を包囲する略円形の構造を有し、弓形部分が互いに入れ子になって入り組んだ形態で相互接続されている２つの湾曲した抵抗器２０’，２１’から成る。ＣＭＯＳ回路のソース領域およびドレイン領域と同時にヒータを作製することは、ＣＭＯＳ工程後のバックエッチングおよびガス感知層の蒸着の他、ＩＣ処理工程で既に採用されている作製工程以外の工程を要することなくガス検知半導体素子が製造されるという点で、特に有利である。この円形の形状は、電力損失および加熱面積を一定として膜の大きさを最小にするには最善の解決策であることから、利点である。
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【課題】 停止状態の車両の始動に先立って車両状態の検査を行う場合であっても、車両を速やかに始動させることが可能な車両用始動制御方法を提供する。
【解決手段】 水素吸蔵の有無に応じて変化する特性により水素の検出を行う水素検出センサと、前記水素検出センサの起動および停止を指示するスイッチと、を備えた車両用始動制御方法であって、前記スイッチにより前記水素検出センサを起動したときに、前記水素検出センサにより水素が検出されないときには、前記車両の起動を開始する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、湿度変化に応じて、電気伝導度が大きく変化する湿度センサー材料、湿度センサー材料を用いた湿度センサー及び湿度センサー材料を用いた電気機器を提供する。
【解決手段】 少なくともＳｉＯ_２成分を含有する多孔質性の湿度センサー材料であって、該湿度センサー材料は、両端が開口したシリンダー状の多数の細孔を有し、さらに、前記細孔は、平均細孔径が５ｎｍより小さく、細孔径の標準偏差（σ）は、２〜４ｎｍとなっている。 （もっと読む）