【課題】構造体の強度を低下させることがなく、かつ、非破壊検査を効率よく行える圧電ファイバおよびそれを用いた非破壊検査方法を提供する。
【解決手段】導電性があり線状の金属コア１を芯材とし、その周囲にセラミックス圧電材料２を被覆して外層材とした棒状の圧電ファイバＡを、構造体Ｓに取付け、圧電ファイバＡから、超音波振動を面状で発生させる。２本の圧電ファイバＡ，Ａ´を、超音波の発振用および受振用として用いると、四角形の領域で探傷できる。また、金属コア１が強度部材として機能するので、構造体Ｓに埋め込んでも構造体Ｓの強度を低下させない。 （もっと読む）

【課題】 音響信号に対するノイズ耐性を向上する音響センサを提供する。
【解決手段】 音響センサ１００は、シリコン基板１上に形成された振動電極４と、振動電極４に対向し、所定の間隔を隔てて配置された固定電極６とを備え、振動電極４と固定電極６によりキャパシタを構成する。さらに、固定電極６をシリコン基板１に固定する膜として、低誘電率絶縁膜であるＳｉＯＣ膜［組成：ＳｉＯ_ｘ（ＣＨ_３）_ｙ］に対して、イオン注入によってホウ素（Ｂ）を導入した改質ＳｉＯＣ層８ａを用いる。 （もっと読む）

【課題】 基板の表面にダイヤモンド層と圧電体層とＩＤＴとを積層したダイヤモンドＳＡＷ素子の構造をそのまま利用してＳＡＷセンサのトランスデューサに使用し、その高周波化を可能にする。
【解決手段】 Ｓｉ基板２表面にダイヤモンド層３とＺｎＯの圧電体層４と交差指電極からなる入力用及び出力用ＩＤＴ６，８とＳｉＯ_２ の絶縁保護膜１２とを積層してＳＡＷ素子１を形成する。両ＩＤＴの間の圧電体層及び絶縁保護膜を部分的に除去して、ダイヤモンド層の表面を露出させた感応部１１を形成する。感応部の表面に測定対象の生体物質や化学物質を認識するための受容体を固定して、ＳＡＷセンサが得られる。 （もっと読む）

【課題】凸状曲面を有するバッキング部材において複数のチャンネルの圧電素子から背面側に向かう超音波を十分に減衰することが可能で、かつ優れた放熱性を有し、さらに発熱の集中を緩和することが可能なコンベックス型超音波プローブを提供する。
【解決手段】所望のスペースをあけて配列され、それぞれ圧電素子およびこの圧電素子上に形成される音響整合層を有する複数のチャンネルと、凸状曲面を有し、熱伝導率が７０Ｗ／ｍ・Ｋ以上の支持体と、この支持体の凸状曲面に接着されると共に、前記各チャンネルのそれぞれの圧電素子が載置され、前記チャンネルのスペースに対応する箇所に溝が形成された全体の厚さが一様なシート状の音響吸収層とを含むバッキング部材と、前記各チャンネルの音響整合層上に形成される音響レンズとを具備し、
前記音響吸収層の厚さをｔ１、前記圧電素子の厚さをｔ２としたとき、ｔ１／ｔ２＝６〜２０の関係を満たすことを特徴とするコンベックス型超音波プローブ。 （もっと読む）

【課題】スイッチング回路網で再構成可能なセンサ・アレイを含む装置を提供する。
【解決手段】装置は、多数のセンサ素子と、複数のバス・ライン（ＢＬ）と、一列内の一組のセンサ素子をＢＬに選択的に接続する一組のアクセス・スイッチ（ＡＣＳ）と多数組のマトリクス・スイッチ（ＭＸＳ）と制御回路とを含み、１つのＡＣＳが第１のセンサ素子に接続される。各ＭＸＳが、多数のセンサ素子の内の一組の隣接のセンサ素子に選択的に接続し、また１つのＭＸＳが、第１のセンサ素子に、且つ前記一組のセンサ素子の一員ではない第２のセンサ素子に接続される。制御回路は、第１のセンサ素子が前記１つのＡＣＳを介してＢＬに接続されるように、同時に第２のセンサ素子が前記１つのＭＸＳを介して前記１つのＡＣＳに接続されるように、選択されたスイッチング構成に従ってＡＣＳ及びＭＸＳを制御する。 （もっと読む）

【課題】 被検査体の凹曲面から超音波ビームを凹曲面内部へ入射させて凹曲面内部の超音波探傷を行うに際し、凹曲面直下から凹曲面内部の深い位置にわたって欠陥検出もれなく超音波探傷を行うことができる超音波探触子を得ること。
【解決手段】 被検査体２０の凹曲面２０ａから超音波ビーム１０を凹曲面２０ａ内部へ入射させて凹曲面２０ａ内部の超音波探傷を行う超音波探触子１において、超音波の送信と受信を行う振動子部２，４と、前記振動子部に接触して設けられた遅延材部３，５と、被検査体２０と同一の超音波伝播速度を有する材質よりなり、凹曲面２０ａと略同一の曲率半径を持ち、探傷時に凹曲面２０ａに接触させる被検査体接触凸曲面７ａ、及び、前記遅延材部の平面状の下面に面接触している遅延材接触平面７ｂを有する探傷シュー７とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 共通電極層を切断することなく音響整合層のみを確実に分割できる超音波探触子の製造方法、及び該方法により製造された超音波探触子を提供する。
【解決手段】 音響整合層１２が接合される共通電極層１６の表面の延長部に高さ計測部１９を形成し、音響整合層１２接合後に高さ計測部１９の高さを計測してその計測結果を基に音響整合層１２を分割する分割手段の切り込み深さを制御する。共通電極層１６が接合される圧電体１１または他の音響整合層１６ｂの表面の延長部分に当該圧電体１１または当該他の音響整合層１６ｂの表面の高さを計測する第２の高さ計測部１９ａをさらに形成し、双方の高さ計測部１９、１９ａにおける高さ計測結果を基に前記分割手段の切り込み深さを制御してもよい。音響接合層１２、共通電極層１６の接合前に全ての高さ計測部１９、１９ａはマスキング材１８、１８ａで保護されることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】振動素子アレイの背面側に設けられるバッキング部材においては、その内部に設けられた各基板において超音波の反射が生じており、また基板上において超音波の伝搬が生じていた。
【解決手段】バッキング部材５２はバッキング本体７３と複数の基板７２とで構成される。各基板７２はベース層７４とリードパターンとによって構成される。各リードパターンは複数のリードによって構成される。基板７２における上端部分には複数の突出部が形成されている。つまり、基板７２における不要（障害）部分が除去されている。よって、各突出部分間においてはバッキング材料が満たされることになるので、基板による超音波の反射や伝搬という問題を防止できる。 （もっと読む）

流体の性質を測定するための音響変換器は、音響パルス発生器と緩衝器集合体とを備える。前記緩衝器集合体は、前記パルス発生器と前記流体間に介在する。前記緩衝器集合体は、コアと、被膜層を形成するように前記コアに収縮嵌合されるスリーブとで構成される。前記被膜層は、前記コアを通過する前記音響パルスの分散を低減する。
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超音波探触子１０は、駆動信号を超音波に変換して被検体に送波すると共に、被検体から発生した超音波を受波して電気信号に変換する複数の振動子２６ａ〜２６ｍを配列して形成され、各振動子２６ａ〜２６ｍは複数の振動要素３４−１〜３４−３０を有し、各振動要素３４−１〜３４−３０は、駆動信号に重畳して印加される直流バイアスの大きさに応じて電気機械結合係数が変化する特性を有し、各振動要素３４−１〜３４−３０の電極３５、３６、３７は駆動信号が供給される端子４９−１、４９−２に接続された構成とする。
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【課題】 超音波探傷プローブと超音波探傷装置の本体との接続を簡易にし、プローブから手を離さずに機器の設定操作を行うことができる超音波探傷装置を提供する。
【解決手段】 超音波探傷プローブは、送信された超音波が通る超音波探傷プローブ内の領域の音響インピーダンスを変化させるための２つの部材１６ａおよび１６ｂを備えている。ウェッジ１２と大きく異なる音響インピーダンスを有する部材１６ｂがウェッジ１２内に位置しているときには、ウェッジ１２と被検体との接触面で反射された超音波は、部材１６ｂによってそのほとんどが反射される。この反射波が検出されると、機器の設定に係る所定の処理が行われる。 （もっと読む）

【課題】 サイドローブを低減し、空間分解能に優れた超音波探触子を安価かつ容易に提供する。
【解決手段】 例えば、超音波ビーム照射面が円形に形成される円形振動子、あるいは、超音波ビームの複数の圧電素子が走査方向に配列される配列型振動子等である圧電振動子１と、圧電振動子１の背面に設けられるバッキング４とを備え、バッキング４は、密度の異なる複数の超音波吸収材４ａ〜４ｃによって構成され、複数の超音波吸収材４ａ〜４ｃは、圧電振動子１の中央部１ａから外向きに、密度が段階的に増大するように配設される。 （もっと読む）

【課題】 ＳＡＷセンサの小型化及び高感度化を図り、更に信頼性を向上させる。
【解決手段】 ＳＡＷセンサ１０，２０，３０は、圧電基板１１，２１，３１の表面に形成した交差指電極からなるＩＤＴ１３，２３，３３と、ＩＤＴの上に配置されて、目的の物質を認識するための受容体１４，２４，３４と、ＩＤＴにより励振されるＳＡＷの伝搬方向に沿ってＩＤＴの両側に配置される１対の反射器１５，２５，３５とを備える。かかる共振子型の構成により、従来のＳＡＷセンサに比して低ノイズ化できるので、感度が向上する。ＩＤＴは、絶縁膜２６，３６で被覆することができ、それによって液相系において試料液体による交差指電極間の電気的短絡、交差指電極の腐食を防止できる。 （もっと読む）

【課題】球状弾性表面波素子の周回経路に傷をつけることが無く、しかも球状弾性表面波素子電極の引出が容易な球状弾性表面波素子の製造方法が可能な技術が望まれていた。
【解決手段】球状弾性表面波素子固定工程において、球状弾性表面波素子の形状に対応する凹部に吸着機能と一方の支持体電極を持つ一方の支持体で球状弾性表面波素子を吸着することで一方の支持体電極と一方の球状弾性表面波素子電極との間に導通を行い、他方の支持体電極を有する他方の支持体で挟み込んで他方の支持体電極と他方の球状弾性表面波素子電極との間に導通を行うことを特徴とする球状弾性表面波素子の製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】 製品の企画から完成までの時間を短縮することができる超音波プローブを提供する。
【解決手段】 超音波を送受信する圧電振動子１３と、圧電振動子の超音波送受信面側に形成される音響整合層１４と、圧電振動子の超音波送受信面に対して背面側に取着されるバッキング材１５と、圧電振動子から見て音響整合層の外側に配置される音響レンズ１６とが一体化された振動子部１２が形成され、この振動子部１２は、光硬化型接着剤２４によって、プローブケース１１の内部に固定されている。 （もっと読む）

【課題】機械的な走査に伴うケーブルの屈曲を抑制できるプローブを提供する。
【解決手段】プローブ１１は、超音波と電気信号との相互変換を行なうトランスデューサ２５と、トランスデューサ２５を保持するシェル２６と、シェル２６を収容するケース２０と、シェル２６をケース２０に対して回転軸２７回りに揺動させるモータ３０と、回転軸２７に対して平行に延びるようにシェル２６に設けられるガイドバー４１と、トランスデューサ２５からガイドバー４１へ延び、ガイドバー４１に巻かれてからシェル２６から延出する同軸ケーブル３３とを備える。 （もっと読む）

【課題】 超音波振動素子に加工を行うことなく、低周波数ではウェイティングをかけずに高感度を維持しつつ、高周波数でのスライス方向の音場のサイドローブ低減を達成する超音波プローブ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 短冊形状をなす複数の超音波振動素子１２を、アレイ方向に配列して超音波振動素子列を形成し、各超音波振動素子１２上に複数の層からなる音響整合層１３及び超音波振動素子１２から発せられた超音波をフォーカスするための音響レンズ１４が設置されてなる超音波プローブであって、音響整合層１３の少なくとも一層（１３１）には、ベースとなる樹脂に対して粒子が混入され、前記アレイ方向と直交するスライス方向において、中心領域の前記粒子の平均粒径と端部領域の前記粒子の平均粒径とで異なっている。 （もっと読む）

【課題】 電極パッドの形成が容易で、かつ電子回路などの後段との連結の不良が少なく、高歩留まり、低価格の超音波トランスデューサの製造方法及び超音波トランスデューサを提供する。
【解決手段】 プリント基板１００には、表裏面を貫通する開口部１０１が形成され、開口部１０１において一方の端部から他方の端部に向かう方向に対向する端面を渡るように基板内配線１０２が設けられ、開口部１０１の位置を揃えて積層された複数のプリント基板１００を、開口部１０１が含まれるように樹脂封止した後、開口部１０１内の基板内配線１０２を含む面を切断面として切断し、切断された基板内配線１０２の断面を、ＩＣ基板４０が接続される電極パッド２３とした。 （もっと読む）

【課題】たとえ被検体の表面に粗さや凹凸や曲率があったとしても、探傷作業能率を低下することなく、高い精度で被検体に対する超音波探傷を実施する。
【解決手段】被検体１５に対向する開口５，１３を有する筐体３，１２内に、被検体に対して超音波を送受信する振動子７と、一方面が開口を介して被検体に対向し他方面に振動子が取付けられ、送受信される超音波を伝搬する遅延材２３，２５とを収納した超音波探触子２１，２２において、遅延材の被検体に対向する面に、被検体に対向する面が開口より被検体側に露出する厚みを有し、遅延材より柔らかい材質で形成された軟質遅延材２４，２６を接着する。 （もっと読む）

【課題】超音波の送受信感度が良く、簡単に製造できる超音波プローブを提供すること。
【解決手段】超音波を送受信する圧電振動子と、前記圧電振動子の超音波を送受信する側に配置される音響整合レンズ３とを備え、前記音響整合レンズ３には、前記圧電振動子から離間するにつれて含有割合が変化するように添加物が添加されている。 （もっと読む）