表面に対して斜めのビュー角度に沿って表面のエリアを像形成するための装置は、ビュー角度に向けられた光学軸に沿ってエリアから光学放射を収集することによりエリアの初期傾斜像を形成するように適応された無限焦点光学リレー(192)を備えている。傾斜補正ユニット(194)が、初期像の傾斜を補正するように結合されて、実質的に無歪の中間像を形成する。中間像を像検出器に収束するために拡大モジュール(198)が結合される。
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【課題】光学的被検査面検査装置において、真上からや、任意に選択された斜角の方向から、もれなく液晶デイスプレイ上の欠陥を検出することができるようにする。
【解決手段】 光学的被検査面検査装置は、被検査面を有する被検査体を着脱可能に搭載するステージ２と、当該ステージ２に搭載された前記被検査体の前記被検査面Ｌの一直線上にすべての焦点が並ぶように支持されたラインセンサー５と、当該ラインセンサー５を支持し、当該ラインセンサー５の焦点が並ぶ任意の直線の周りに、当該ラインセンサー５の焦点距離を一定に保ちつつ任意の角度の位置まで当該ラインセンサー５を傾動することができる傾動枠４とを備える。 （もっと読む）

【課題】 印刷半田の平行移動ずれと角度ずれを共に検出できる印刷半田検査装置を提供し、更に、印刷半田の平行移動ずれと角度ずれの推移を把握容易な形態で表示できる印刷半田検査装置を提供する。
【解決手段】 プリント基板１の部品実装面１ａに光照射して反射光量に応じた検出信号を出力する検出ヘッド１１と、基板設計値情報および検出信号に基づいて部品実装面１ａにおける半田印刷領域の基準位置を検出する基準位置検出手段３１と、基板設計値情報および検出信号に基づいて複数の印刷半田の平行移動ずれを検出する平行移動ずれ検出手段３３と、基準位置検出手段３１の検出情報に基づいて半田印刷領域における回転中心座標を設定する中心座標設定手段３２と、プリント基板１の設計値情報、平行移動ずれ検出手段３３の検出情報および中心座標設定手段３２の設定情報に基づいて複数の印刷半田の角度ずれを検出する回転ずれ検出手段３４とを備える。 （もっと読む）

投受光部（５２）は、液体が基板（１４）に供給されて縁部（３０）に流れる状態で、レーザ光を縁部（３０）に投光し、反射光を受光する。信号処理コントローラ（５４）は、反射波の電気信号を処理して縁部（３０）の状態を判断する。研磨途中の縁部の状態が監視される。また、研磨終点が検知される。レーザ光以外の送信波が用いられてもよい。縁部（３０）が流路形成部材で囲まれて、流路が好適に形成されてもよい。液体が基板縁部に流れる状況でも好適に縁部を測定可能にする。
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例えば、卵または果物のような実質的な球面を有する物体を検査するためのデバイス（１）であり、物体を観察するための光学的観察手段（８）を備える。デバイスは、物体を支持するための支持面（１０）を有する。物体を照明するための光源が設置されている。デバイスは、また、支持面（１１）上に位置する反射壁部（３ａ，４ｂ，４ａ）を含むボックス（２）を備える。光源および観察手段（８）はボックス（２）内に収容されている。複数の物体を支持面（１０）上に相互に隣接して置くことができ、うまく均一に照明することができる。 （もっと読む）

【課題】 管引きされるガラス管を管引き成形ライン上で連続して異物等の検査を行う。
【解決手段】 連続成形を行う管引き成形ライン３に設置され、管軸方向に連続移送されるガラス管１５を撮影する撮像装置２０と、この撮像装置２０に対しガラス管軸を挟み対向配置された光源１９と、この光源１９で光照射されたガラス管１５の撮像装置２０による撮影画像を画像処理し異物不良等を検出する画像処理装置２３を備えた装置で、画像処理装置２３は、検査枠５３が、撮影画像５０のガラス管１５肉厚部の肉厚遮光部分５１よりも内方側の透光部分５２に、肉厚遮光部分５１から所定距離Ｒだけ離して設定されていて、該検査枠５３内にある異物等の遮光画像５８を画像処理して不良検出するものであり、検査枠５３が、該ガラス管１５蛇行時の肉厚遮光部分５１の位置変動に追随して所定距離Ｒを維持するよう設定されている。 （もっと読む）

【課題】好適に円形エッジを有する物体の品質を、物体のエッジの確実で再現可能な検査を非常に高精度で可能なように、光学的に試験するための冒頭に記載したタイプの方法と装置を改良しさらに展開すること。
【解決手段】好適に円形エッジを有する物体の品質を、該円形エッジに光を当てる光学的に試験するための方法において、反射、屈折及び／又は回折により該物体から放射する光が測定ユニット（１）により検出され、該物体の表面及び／又は内部の欠陥が検出画像信号によって判定されることを特徴とする、物体の品質を光学的に試験する光学的試験方法。 （もっと読む）

【課題】検査から修正までの時間を短縮する。
【解決手段】検査データ生成部１１では、設計データをもとに、信号線や電源線など所定のパターン機能を検査感度で区分する検査感度区分情報を含む、検査データを生成し、検査感度設定部１２では検査感度区分情報に所望の検査感度を割り当て、比較判断部１４では撮像したフォトマスクまたはウェハーから生成される被検査データと、検査データとを比較して欠陥を検出し、検査データ抽出部１５では検出された欠陥が存在する検査データ内の領域を抽出し、欠陥登録判定部１６で抽出された領域の検査感度区分情報を参照して、欠陥を登録するか否かを判定する。これにより、欠陥の登録数を削減する。 （もっと読む）

【目的】被検体表面の塵埃，膜厚むら等の欠陥を単純な画像として観察することができ、従って画像処理装置と組合わせて自動欠陥検査装置を構成するのが容易になる表面欠陥検査装置を得ることにある。
【構成】表面に薄膜を有する被検体２１の直前に配置され、かつ２１の観察視野とほぼ等しい大きさであって、光源１からの光を略平行な光束として２１に照射するとともに、２１の表面からの正反射光を通過させるコリメータレンズ１２と、１２の焦点近傍に配置され、任意に選択可能な複数の中心波長を持ち、１２に光を入射する狭帯域光源２〜５と、この光源からの光を反射または透過により１２を通過させて２１に垂直に照射させるハーフミラー１１と、２１の表面からの正反射光を１２に通過させ、１１で透過または反射させ、光源２〜５と共役な位置に入射瞳を有し、２１の表面を観察する結像レンズ１３を具備したもの。 （もっと読む）