【課題】光源の数が増えても配線が複雑にならずに、またメンテナンスが容易な検査用照明装置を提供する。
【解決手段】検査用照明装置は、容器１を照明する複数の光源２１Ａ〜２１Ｃ，２２Ａ〜２２Ｃと、光源に対応して設けられた複数の照明電源３１Ａ〜３１Ｃ，３２Ａ〜３２Ｃと、照明電源に点灯信号を送り光源の点灯を制御する制御装置４０とを備えている。各照明電源は、制御装置４０からの点灯信号が入力される入力端子５１Ａ〜５１Ｃ，５２Ａ〜５２Ｃと、該入力端子から入力された点灯信号を出力する出力端子６１Ａ〜６１Ｃ，６２Ａ〜６２Ｃとを備えている。照明電源の出力端子６１Ａ，６１Ｂ，６２Ａ，６２Ｂと隣の照明電源の入力端子５１Ｂ，５１Ｃ，５２Ｂ，５２Ｃとが順番に接続され１本の点灯信号ラインが形成され、各検査ステーション１１，１２において点灯信号ラインの一端に位置する入力端子５１Ａ，５２Ａと制御装置４０とが接続される。 （もっと読む）

【課題】反りに起因した検査時のウェーハの損傷等を防止する。
【解決手段】検査前にエッジグリップ方式で搬送されるウェーハの反り量をその縁部が支持台によって支持された状態で測定し（ステップＳ２）、その反り量をしきい値と比較して（ステップＳ３）、しきい値未満である場合に、さらにそのウェーハの縁部を把持して搬送し、検査を行うようにした（ステップＳ４）。検査前の反り量が一定の条件を満たすウェーハのみを検査に進めることができるため、エッジクリップ方式を採用する検査工程において、検査直前のウェーハの落下や検査装置側との干渉によるウェーハの損傷を防止することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】被検査面の位置が異なる場合であっても異物の検査を行うことができる異物検査装置、及び当該異物検査装置を備える露光装置を提供する。
【解決手段】第１照明系３１ａは検査光Ｌ１をレチクルＲの上面に照射し、第２照明系３１ｂは検査光Ｌ２をペリクルＰの面上に照射する。また、第１受光系はレチクルＲの上面に付着した異物からの散乱光を受光し、第１ラインセンサは第１受光系で受光された散乱光の光強度に応じた信号を出力する。同様に、第２受光系はペリクルＰの上面に付着した異物からの散乱光を受光し、第２ラインセンサは第１受光系で受光された散乱光の光強度に応じた信号を出力する。駆動装置３９は、第２照明系３１ｂをＺ方向に移動させてペリクルＰのペリクル高さに応じて検査光Ｌ２の照射位置を可変する。 （もっと読む）

【課題】被検査物を外観的に検査する外観検査装置の検査処理速度は、画像データ比較による自動判定で一致しないとされた被検査物の状態を、さらに人間の目視によって判定することが避けられないために、その間の処理が停止し、検査時間を短縮することができないという問題があった。
【解決手段】本願発明は、人間による目視判定処理と自動判定処理との間で、それら各処理をそれぞれ独立して行えるようにすることにより、撮像カメラ４の移動から撮像、および撮像後の被検査物画像と正画像の画像処理による一つの被検査物に対する自動判定までの一連の動作を完結させ、目視による検査者が目視判断を終了することを待たずに次の被検査物の検査に移ることができるようにして上記検査時間の短縮を可能とした。 （もっと読む）

【課題】 検査装置の繰り返し操作を効率よく実行する。
【解決手段】外観検査システム１は、検査装置１０と、情報処理装置２０とは、ＲＳ−２３２Ｃ（１３，２３）で相互に接続されている。操作履歴作成プログラムαは、操作入力部２５により入力された移動及び画像取得命令の履歴をＨＤＤ２４（又はメモリ１２）に記憶させる移動履歴作成手段を有する。最適動作制御プログラムβは、移動履歴作成手段により記憶された履歴の内、カメラ１４ｂの回転移動、直進移動から夫々最適な回転移動及び直進移動を算出した最適履歴を記憶させる最適履歴作成手段を有する。また最適動作制御プログラムβは、最適履歴作成手段により記憶された最適履歴に基づいて移動制御部１４ａに命令して画像検出部の移動とこの画像検出部が検出した画像をＨＤＤ２４（又はメモリ１２）に格納する履歴実行手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】極端紫外線リソグラフィ用マスクブランクの欠陥を検査する装置を提供すること。
【解決手段】 マスクブランクの欠陥を検査する装置において、第一の虹彩絞りが光源に位置されて光源から放出される光の照射角を制限し、散乱制限ユニットがマスクブランクから反射したのちの散乱光の散乱角を制限するために暗視野光学ユニットの出射口に位置される。欠陥検出器が光学的に暗視野光学ユニットに結合されており、散乱光の角度分布を生成する。その角度分布を用いてマスクブランク上にみつかった欠陥の重大性の特性評価が行われる。 （もっと読む）

【課題】光沢平面を有する製品の表面欠陥の検査精度及び検査速度が格段に高く、かつ表面欠陥の自動的な検査が可能で、大量生産工程のオンライン上で検査可能な光沢平面検査装置の提供を目的とする。
【解決手段】本発明の光沢平面検査装置は、ａ）略水平に位置する円環状の投光部と、ｂ）投光部の中央部に配設され、光沢平面を有する被検査物を載置するテーブルと、ｃ）テーブルの上方に配設され、被検査物の光沢平面を撮影するカメラと、ｄ）テーブルを揺動可能に構成される揺動機構とを備える。当該光沢平面検査装置は、ｅ）カメラで撮影した画像データに基づき、投光部が照射した光線の拡散光領域を抽出する画像処理手段と、ｆ）画像処理手段で取得した拡散光領域に基づき、被検査物の表面欠陥を検出する判定手段とを備えるとよい。テーブルの揺動中心に対する投光部の俯角としては０°〜６０°が好ましい。 （もっと読む）

【課題】角部や隅部を有するパターンであっても適切な比較検査ができる差分比較検査方法および差分比較検査装置を提供すること。
【解決手段】パターンに形成された凹状の隅である内角及び凸状の角である外角を、それぞれマスタ画像から検出する。次に、検出した内角近傍の領域である内角領域の範囲を決定する。併せて、検出した外角近傍の領域である外角領域の範囲を決定する。そして、マスタ画像とオブジェクト画像との差分に基づいて比較検査を行う。このとき、マスタ画像における内角領域において、当該マスタ画像が示すパターンの領域より過剰に形成されているオブジェクト画像のパターンの領域である過剰領域に対する差分は除外して比較検査を行う。また、マスタ画像における外角領域において、当該マスタ画像が示すパターンの領域より不足して形成されているオブジェクト画像のパターンの領域に対する差分を除外して比較検査を行う。 （もっと読む）

【課題】凸部が表面に形成されたフィルムを巻いて形成されるロール状体について、隣接するフィルム間のギャップを検査員の主観を排除して計測する。
【解決手段】計測対象２（ロール状体）に照射光を当てる照明光源８と、上記照射光により生成され、計測対象２の端面から出射する出射光により形成される原画像を取得する画像センサ１０と、上記原画像において生じる、上記フィルムと、隣接するフィルム同士のギャップとのコントラスト差に基づき、上記ギャップを計測するＰＣ１２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】スクリーン印刷装置においてクリームはんだの印刷状態を迅速に検査する。
【解決手段】 その厚み方向に開口が貫通するスクリーン印刷用マスク表面に沿って移動することにより前記開口にクリームはんだを充填するスキージと、前記スキージと一体的に設けられ前記スクリーン印刷用マスク表面を光学的に読み取るラインセンサと、を備えることを特徴とするスクリーン印刷装置。前記ラインセンサは、前記スキージにその移動方向上流側又は下流側のいずれか一方、又は、両側に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷装置。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ＬＣＤに適用される偏光フィルムの不良の有無を自動に検査することができる偏光フィルム検査装置及び方法に関するものである。
【解決手段】本発明の偏光フィルム検査装置は、第１ローディング／アンローディング部(１００)と、第２ローディング／アンローディング部(２００)と、検査部(３００)と、第１キャリア(４００)と、第２キャリア(５００)と、キャリアトランスファ(６００)と、から構成されて、偏光フィルムの検査作業の生産性を改善することができる。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で点灯及び消灯を繰り返しても寿命の劣化が少ない面発光する照明手段を用いて目視検査をする。
【解決手段】前面を開口し、他の５面を遮光して床に設置されたボックス１と、ボックス１内に配設され、検査対象物を保持して直交する２軸を中心に回動可能とされ、該２軸のうち一つが伸縮支持部材１２に支持された保持部２及び外側保持部３と、保持部２及び外側保持部３を上記直交する２軸を中心に回動させて傾斜させる駆動機構４と、ボックス１の天井部及び後壁部のそれぞれに配設され、白色ＬＥＤ２０及びオレンジ色ＬＥＤ２１が多数個稠密に平面状に並べられて面発光し、保持部２に保持された検査対象物を照明する第１の照明手段５及び第２の照明手段６と、第１及び第２の照明手段５，６の点灯及び消灯を制御する照明制御手段と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】ＦＰＤガラス等の大型の試料表面の全範囲にわたり検査員が同一の条件で目視検査を効率的に行える外観検査装置及び外観検査方法において、マクロ観察とミクロ観察の切り替えを短時間で行なえ、また、最適な反射角度で観察できるように改善する。
【解決手段】多関節ロボットＲを用い、そのハンド部分３にマクロ撮像光学ユニット２とミクロ撮像光学ユニット１とを隣り合わせに並べて装着し、ハンド部分３を任意の３次元位置に移動させ、撮像光学ユニット１、２の位置（ｘ１、ｙ１、ｚ１）、（ｘ２、ｙ２、ｚ２）と光軸方向（χ１、ψ１）、（χ２、ψ２）を任意に設定できるようにして、検査するのに適切な撮像光学ユニット１、２の位置と光軸方向、その他の条件をティーチングさせて、マクロ外観検査及びミクロ外観検査ができるようにした。 （もっと読む）

【課題】 光学的技法は、半導体ウェーハなどの基板を特徴づけるために用いられることがあるが、既存の技法は、時間が掛かる、扱いにくいなどの問題がある。
【解決手段】 光学的技法を用いてサンプルを特徴づけるためのシステム及び技法を提供する。コヒーレント光がサンプルに入射し、回折パターンが検出されることがある。１若しくは複数のサンプル特性及び／または１若しくは複数のパターン特性を決定するために、回折パターン強度を示す情報が用いられることがある。例えば、応力、そり、曲率、汚染などのサンプル特性が決定されることがある。コヒーレント光は、単一波長の光であることがあるかまたは複数の波長の光であることがある。 （もっと読む）

【課題】従来のシリコンウエハ等の薄板状基板の端面を検査は、基板製造工程における基板検査は不可欠な工程であるが、専用の装置は高価格であり高製造コスト化を助長しており、検査装置の占有スペースを減少させ、且つ検査時間の短縮が望まれている。
【解決手段】本発明は、複数の反射ミラー２，３及び４が基板の端面７ａ及び該端面７ａに掛かる表裏面まで回り込む観察視野範囲を有するようにミラー保持部５で保持され、且つミラー保持部５を退避・移動するミラー退避機構１０（ミラー昇降機構を含む）を備える簡易な構成であり、光学観察装置１１となる実像顕微鏡に搭載することにより、基板端面７ａを表面から裏面に至る全範囲に亘って欠陥を実像化された画像を作成し目視検査により簡単に検査判断を行う端面検査装置である。 （もっと読む）

【課題】無精卵、発育不良卵、中死卵の判断精度をより向上させた有精卵自動研卵装置の提供。
【解決手段】卵整列部で数列に並んだ数十個の有精卵をハロゲン・ランプの光に押し当て、無精卵と有精卵の判別及び有精卵内の血管の発育状態を確認する第１次検査部と、前記ハロゲン・ランプの上にあるスイッチボタンを押して除去する検卵上の電源を切りかつ前記ハロゲン・ランプを遮光した後に排出部へ情報を伝達する第２次検査部と、前記第１次及び第２次の検査部の情報を受けて無精卵を廃棄卵入れに移動する無精卵の発育異常卵排出部と、前記無精卵と発育異常卵排出部の情報を受けかつ空いた部分へ検卵済みの良質の有精卵を自動供給する優良卵供給部とを設ける。更に、前記優良卵供給部から供給されてきた有精卵を再度検卵して検卵ミスが無いように再検査する第２次検査部と、前記２次検査終了後に卵を検卵機に戻して次工程に待機させておく卵取出部とを設ける。 （もっと読む）

【課題】
均一に光を照射することができる光源装置及びそれを用いた検査装置と検査方法並びにパターン基板の製造方法を提供する。
【解決手段】
本発明にかかる光源装置は、フッ素又は塩素を含む放電ガス１１０が含まれた放電チャンバー１０４と、放電ガス１１０を放電することによって発生する紫外線を放電チャンバー１０４の外側に取り出すため、放電チャンバー１０４の対向する箇所に設けられた２つの窓部１０５ａ、１０５ｂと、一方の窓部１０５ａの外側に設けられ、放電チャンバー１０４で発生し窓部１０５ａを介して入射した紫外線を放電チャンバー１０４の方向に反射する反射鏡１０９とを備え、放電チャンバー１０４の２つの窓部のうち、反射鏡１０９が設けられていない方の窓部１０５ｂから自然放出増幅光を出射するものである。 （もっと読む）

【課題】電子部品が搭載された基板を検査する検査機において、各検出対象部位を確実に認識することができる検査機および実装基板の検査方法を提供する。
【解決手段】基板をカラー撮像して得た撮像画像から検出対象部位を認識する際、認識に失敗した場合には、カラーバランスを変更した撮像画像に基づいて当該検出対象部位の再認識処理を行う。再認識処理は、認識に失敗した撮像画像を変更したカラーバランスで画像処理した画像に基づいて行う。検出対象部位の認識に失敗した場合、当該検出対象部位の色と背景の色とに基づいて新たなカラーバランスを算出し、この新たなカラーバランスで再認識処理を行う。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハ上に存在する多種多様な検査対象において、半導体素子の歩留りに影響しない擬似欠陥の検出を抑制し、しかも半導体素子の歩留りに影響する微小な検出欠陥を高コントラストで検出できるようにして、高感度で、且つ高速の微小な欠陥検査を実現した光学式検査方法及びその装置を提供することにある。
【解決手段】検査対象となる欠陥種に対応して、多様な光学機能を備えており、各光学機能別に検出したい検出欠陥及び検出したくない擬似欠陥の濃淡差などを蓄積し、高感度、低擬似率検査に有利な条件を効率的に選択する。光学系としては、波長帯域や照明方式並びにフィルタ条件の選択が可能である。 （もっと読む）

【目的】検査処理時間を短縮させる基板検査装置を提供することを目的とする。
【構成】本発明の一態様の基板検査装置１００は、基板１０１を検査する基板検査装置１００において、水平方向に移動するＸＹステージ１２１と、前記ＸＹステージ１２１上に配置され、上下方向と回転方向に移動するＺ・θステージ１２２と、基板１０１の検査面の高さ位置が、Ｚ・θステージ１２２の重心高さ位置に配置されるように基板１０１を保持する保持具１０２と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）