【課題】 被転写体へのパターン転写に影響の大きな主表面近傍の内部欠陥を含む、ガラス基板の全ての領域の内部欠陥を良好に検出できること。
【解決手段】 合成石英ガラス基板４の端面２に対し離間して設置され、導入面２８が平坦で鏡面研磨され、屈折率が上記ガラス基板と略同一である透光性を有する光導入補助部材２５と、上記ガラス基板の端面２と光導入補助部材との間に介在され、屈折率が上記ガラス基板と略同一な超純水２６と、光導入補助部材の導入面から、この光導入補助部材及び超純水を介し上記ガラス基板内へ、波長が２００ｎｍ以下の短波長光を導入するレーザー照射装置２１と、この短波長光により上記ガラス基板の内部欠陥１６が発する、上記短波長光よりも長い波長の光１５、１７を受光するＣＣＤカメラ２３と、このＣＣＤカメラが受光した光の光量に基づき、上記ガラス基板の内部欠陥を検出するコンピューター２７とを有するものである。 （もっと読む）

【課題】 デルタ配列され周期性を有するパターンのピッチ検査を簡便に行う方法を提案する。
【解決手段】 マスク１に形成された開口部についての画像のパターンＳ１，Ｓ２，…のｘ方向のピッチを検査については、先ず、パターンＳ１，Ｓ２，…をｘｙ座標系に倣うようにした状態でパターン中心座標を算出し、この中心座標のｙ座標値の小さい順に［１］，［２］，［３］，…とラベリングする。そして、ピッチ線に対応する行Ｌ１とＬ２とＬ３の近傍に中心があるパターンのラベルを選択し、Ｌ１に属するラベル［１］〜［４］、Ｌ２に属する［５］〜［８］、Ｌ３に属する［９］〜［１２］とを検出する。そして、隣り合う２つの行Ｌ１とＬ２に属するラベル［１］〜［８］に対してそのパターン中心座標のｘ座標値の大きさの順にラベル［１］〜［８］を並べ替え、その並べ替えたラベルの番号の順にピッチ検査を行うようにして、斜めに隣り合うパターンのｘ方向のピッチを検査するようにした。 （もっと読む）

【課題】基板上に設けられたクリームハンダ等に関する検査を行うに際し、より正確な検査を実現することの可能な基板の検査装置を提供する。
【解決手段】プリント基板３０に対し、第１リングライト１２により、入射角７４度で、４５０ｎｍを上回り５００ｎｍを下回る範囲にピーク波長をもつ青色光を照射する。また、情報領域を特定するために、入射角２０度で、第２リングライト１３により、５００ｎｍを上回り５９０ｎｍを下回る範囲にピーク波長をもつ緑色光を照射する。さらに、入射角０度で、第３リングライト１４により、６００ｎｍを上回り６８０ｎｍを下回る範囲にピーク波長をもつ赤色光を照射する。そして、プリント基板３０のほぼ真上に設けられたＣＣＤカメラ６により、各反射光に基づく撮像が行われ、各反射光に対応する複数の画像データに基づき、クリームハンダの領域を抽出する。その際、情報印刷領域を除外する。 （もっと読む）

【課題】 処理の効率を最適化することができ、消費電力の削減、あるいは、処理の高精度化を容易に実現することができる。
【解決手段】 複数の検査器１２（１２Ａ、…）と各検査器１２（１２Ａ、…）に対応して設けられている複数の処理基板２２（２２Ａ、…）とを具備する検査装置において、各処理基板２２（２２Ａ、…）は、動作状況あるいは検査対象の紙葉類の状態などに応じてメモリに記憶されている複数のプログラムから最適なプログラムを選択し、選択したプログラムがロードされたプログラマブルデバイス３２により各検査器１２（１２Ａ、…）が紙葉類から検知した種々の物理特性を示す信号を処理するようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】基板に反り、うねり又は厚みムラがある場合でも、基板上に形成された凸部の高さを正確に検出することを可能とする表面検査装置又は表面検査方法を提供する。
【解決手段】基板の表面の一方向に沿って並設された凸部の高さを検査する表面検査装置において、前記一方向に沿って延在するライン状の光を基板の表面に照射する投光光学系４と、前記一方向の該基板に対する相対移動に伴って基板上及び凸部上反射光を交互に受光するＣＣＤ１２と、ＣＣＤ１２の受光部をＲＯＩ_１とＲＯＩ_２とに割り当て、ＲＯＩ_１で受光した基板上反射光と、ＲＯＩ_２で受光した凸部上反射光の互いのピーク発生位置の距離に基づき凸部の高さを求める制御部１４とを設け、制御部１４は、いずれかの反射光のピーク発生位置の偏倚の方向及び偏倚量を求め、その偏倚を解消するようにＲＯＩ_１及びＲＯＩ_２を割り当て直すように構成する。 （もっと読む）

【課題】 大型基板（カラーフィルタ基板等）に対してもその表面起伏の状態（膜厚差）を簡易かつ高精度に検査しうる起伏検査装置を提供する。
【解決手段】 被検査物に光照射を行う照射手段（ライン照明２）と、該光照射に対する被検査物表面からの光についてその光強度分布を取得する光強度取得手段（エリアセンサ３）と、上記被検査物表面からの光のうち所定の光だけを取得する撮像手段（ラインセンサ４）と、上記光強度取得手段から得られる光強度分布に基づいて、上記照射手段（ライン照明２）を調整する調整手段（画像処理部２０・照明駆動制御部２１）と、該調整を行った後の撮像手段の撮像結果に基づいて、被検査物表面に形成された起伏の状態を判定する判定手段（欠陥判定処理部２３）とを備える。 （もっと読む）

【課題】被塗物の塗装状態を精度良く検出することが可能な塗装状態検査方法を提供する。
【解決手段】塗料が塗布された被塗物２の塗装状態を検査する塗装状態検査方法は、センサ１１の照射部１１１により被塗物２に向かって所定光量の光Ｌ_１を照射する照射ステップと、当該照射光を被塗物２が反射して成る反射光Ｌ_２ｘ〜Ｌ_２ｚの光量をセンサ１１の測定部１１２が測定する測定ステップと、測定ステップで測定された反射光量に基づいて被塗物２の塗装状態が正常であるか否かを判断手段１２が判断する判断ステップと、を備えている。 （もっと読む）

【課題】刃の刃先を短時間で精度良く測定可能な刃先の検査方法および検査装置を提供する。
【解決手段】刃を保持する保持手段と、刃先を中心に刃を回転させる回転手段と、刃先を撮像する撮像手段と、撮像手段の光軸と同方向から照明を照射する照明手段とを用い、回転手段で刃を回転させつつ撮像手段で撮像し、刃の部位毎に、撮像画像が最も明るくなる回転手段の角度を求めて刃先の形状を測定することを特徴とする刃先の検査方法、および検査装置。 （もっと読む）

【課題】赤外反射膜の被覆不良を的確に判定できる赤外反射膜コーティング部材の検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】 赤外光照明51と、撮像装置（検査用カメラ53）と、輪郭データ抽出部と、第一判定部とを有する。赤外光照明51は、赤外反射膜の被覆部を有するコーティング部材（ウェハW）に赤外光を照射する。撮像装置は、コーティング部材から反射した赤外光を用いて同部材の正反射像を得る。輪郭データ抽出部は、正反射像に画像処理を施し、赤外反射膜の輪郭データを抽出する。第一判定部は、この輪郭データを用いて赤外反射膜の被覆不良を判定する。 （もっと読む）

【課題】 最適な装置条件の決定に掛かる時間を短縮できる検査装置を提供する。
【解決手段】 被検物体１１を照明する照明手段１２,１３と、被検物体からの回折光に基づく物体像を撮像する撮像手段１４,１５と、撮像手段の光軸Ｏ２上に配置され、回折光の光量をモニタするモニタ手段１６,１７と、回折光の進行方向と撮像手段の光軸方向との成す角度に関わる装置条件を連続的に変化させてモニタ手段から光量信号を取り込み、光量信号と装置条件との関係に基づいて装置条件の最適条件を決定する決定手段１８と、装置条件を最適条件に設定して撮像手段から撮像信号を取り込み、該撮像信号に基づいて検査用の画像を生成する生成手段１９とを備える。 （もっと読む）

【課題】基板上に設けられたクリームハンダ等に関する検査を行うに際し、より正確な検査を実現することの可能な基板の検査装置を提供する。
【解決手段】プリント基板Ｋに対し、下部リングライト１３より、斜め方向から４２０ｎｍを上回り４５０ｎｍを下回る範囲にピーク波長をもつ紫色光が照射される。また、下部リングライト１３よりも小さな入射角で、上部リングライト１２により、６１０ｎｍ以上６８０ｎｍ以下の範囲にピーク波長をもつ赤色光が照射される。さらに、プリント基板Ｋのほぼ真上に設けられたＣＣＤカメラ６により、紫色光の照射されたプリント基板Ｋからの反射光、及び、赤色光の照射されたプリント基板Ｋからの反射光に基づく撮像が行われる。そして、ＣＣＤカメラ６による撮像において取得される各画像データに基づき、二次元検査部では、クリームハンダの領域が抽出され、その上で所定の検査が行われる。 （もっと読む）

【課題】 偏光フィルム等の欠陥を検査する従来の方法の中，３波長蛍光灯に乳白色のアクリル散乱板を備えた透過照明装置を利用するものでは，透過光による検査にしか利用できない，欠陥の種類によって波長の異なった色に変更して検査を行うことはできない，欠陥の高さ方向（凹凸）の区別ができず，また散乱光しか使用できないため，微小な欠陥を見逃しやすい等の課題がある。
【解決手段】 そこで本発明では，器体１の上部に，照明光を照射する投光部２と，投光部に対向して反射用ミラー３を傾斜して配置し，器体の下部に検査対象物１０を載置する透過用ミラー５を傾斜して配置すると共に，反射用ミラーと透過用ミラー間にフレネルレンズ６を配置した目視検査用照明装置を提案している。 （もっと読む）

【課題】取得した画像を無駄にしないと共にスループットの短縮化を図ることのできる自動外観検査装置及び方法を提供する。
【解決手段】対象ワークＫに形成された複数の同一のパターンＤＤを自動的に検査する自動外観検査装置１において、パターン一つ分の画像であるマスター画像ＭＺ及び良品画像ＲＺを記憶する良品画像記憶部９１と、隣合う画像が共通領域ＯＬをもつように各パターンを分割撮像する所定サイズの視野領域Ｑを有する撮像手段５１と、隣合う画像を繋ぎ合せ可能とする画像が共通領域に存在するか否かを探索し、繋ぎ合せ可能とする画像が共通領域に存在するときは、隣合う画像をその繋ぎ合せ可能とする画像に基づいて繋ぎ合せ、繋ぎ合せ可能とする画像が共通領域に存在しないときは、隣合う画像をマスター画像に基づいて繋ぎ合せて検査画像ＫＺを作成する画像繋合せ処理部９２と、検査画像と良品画像とを比較する比較処理部９２とを備える。 （もっと読む）

【課題】照明光を短波長化しなくても、確実に繰り返しピッチの微細化に対応できる表面検査装置および表面検査方法を提供する。
【解決手段】本発明の表面検査装置は、被検査基板を照明するための直線偏光の発散光束を射出する光源手段と、前記直線偏光の発散光束を該光束の主光線が所定の入射角を有するように入射して前記被検査基板に導く光学部材と、前記検査基板からの光束のうち前記直線偏光とは偏光方向が直交する直線偏光を受光する受光手段と、前記光源手段と前記受光手段との間の光路中に配置され、前記光学部材に起因して発生する偏光面の乱れを解消する少なくとも１つの偏光補正部材と、を有し、前記受光手段で受光した光に基づいて前記被検査基板の表面の検査を行う。 （もっと読む）

【課題】大面積の全基板上において反射光強度を精度良く測定し、この反射光強度から透明感光性樹脂被膜の下層に存在する格子影響等の外乱要因を除去すると共に塗布ムラの可能性のある領域（ムラ候補領域）を精度良く推定し、透明感光性樹脂被膜の塗布ムラを効率的に検出する方法を提供すること。
【解決手段】透明樹脂の塗布方向及びこれに直交する方向に分割して多数の小領域とし、これら小領域の反射光強度を測定し、塗布方向又は塗布方向に直交する方向を包絡方向として、この包絡方向に沿って並んだ小領域の反射光強度を包絡処理してその包絡値を算出し、算出した包絡値から明側包絡画像データと暗側包絡画像データを生成し、該包絡画像データに対して、注目画素を取り囲む画素群を構成する各輝度値の平均値と前記注目画素の輝度値の差分を算出して塗布ムラを抽出する塗布ムラ検査方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】錠剤に過剰な負荷をかけることなく、直立状態に姿勢制御して連続供給することができ、かつ比較的単純な機構で供給不良の発生率を可及的に低くして、信頼性の高い錠剤の連続供給を行うことが出来る扁平錠剤の供給装置の提供。
【解決手段】傘状円盤１１の上面に供給された扁平錠剤ｔを、該傘状円盤１１の回転による遠心力と該傘状円盤１１上面の傾斜によってこの傘状円盤１１の外周に沿って形成された円形溝１３内に導入し、これによりランダムに供給された扁平錠剤ｔを直立状態で円形軌道に沿って一列に整列させ、直立状態で連続的に供給する。 （もっと読む）

【課題】 ウェハ上の多様な欠陥を高速、高感度に検出するパターン欠陥検査装置および方法を提供する。
【解決手段】 パターン欠陥検査装置において、複数の波長を出力可能な照明光源３から射出された光を、照明光学系４で線状に照明する。ウェハ１上の回路パターンや欠陥により回折、散乱された光は、結像光学系５でラインセンサ６に集光され、ディジタル信号に変換され、信号処理部７で欠陥が検出される。このとき、照明光学系４の光軸１０１と結像光学系５の光軸１０２でなす面と配線パターンの方向をほぼ平行にし、さらに、結像光学系５の光軸１０２とウェハ１とのなす角度を、パターンからの回折光が少なくなる角度に設定することにより、高感度に欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】プリント基板に実装される電子部品を一度に撮像して、装着異常を迅速かつ適切に処理することができる実装された電子部品の検査装置を提供する。
【解決手段】プリント基板を搬入位置に搬入して所定の位置に位置決めクランプする基板搬送装置と、部品供給装置により供給される電子部品を採取して前記基板上に実装する部品移載装置とを備えた電子部品実装機において、前記所定の位置に位置決めされたプリント基板全体を視野に収めることが可能なカメラ手段を設けた。 （もっと読む）

【課題】膜厚ムラを精度良く検出する。
【解決手段】ムラ検査装置１は、基板９を保持するステージ２、基板９の膜９２が形成された上面９１に向けて線状光を出射する光出射部３、基板９からの反射光を受光する受光部４、受光部４にて受光される光の波長帯を切り替える波長帯切替機構５、基板９から波長帯切替機構５に至る光路上に配置されるとともに膜９２からの反射光のうちＳ偏光光を選択的に透過する偏光子６、ステージ２を移動する移動機構２１、および、受光した光の強度分布に基づいて膜厚ムラを検査する検査部７を備える。Ｓ偏光光に対する反射率の変動は無偏光光やＰ偏光光に対する反射率の変動に比べて大きいため、ムラ検査装置１では、偏光子６により受光部４にて受光される光をＳ偏光光とすることにより、ラインセンサ４１の膜厚ムラに対する感度を向上して膜厚ムラを精度良く検出することができる。 （もっと読む）

【課題】
サーモリフレクタンス法による高速検査可能な測定装置及び方法の提供。
【解決手段】
ニポウディスク１２０を有する共焦点光学系を備え、共焦点光学系を介して被検査対象のサンプルの複数の箇所に、検査用と加熱用レーザ光を照射し、被検査対象のサンプルからの複数の箇所からの反射光に基づき複数の箇所の熱物性情報を同時に取得する。 （もっと読む）