【課題】ミクロ検査装置に目視用のマクロ検査装置を組み込むことで、省スペースで安価なマクロ、ミクロ検査併用の基板検査装置を提供する。
【解決手段】基板検査装置１は、基板Ａを水平に載置するミクロ検査ステージ５と、ミクロ検査ステージ５に載置された基板Ａをミクロ検査する検査ヘッド１９と、ミクロ検査ステージ５上に設けられ、ミクロ検査ステージ５に載置された基板Ａを受け取って目視によるマクロ検査に適した角度に回動するマクロ検査用ステージ６と、マクロ検査用ステージ６に保持された基板Ａを照明するマクロ照明部９で構成されている。
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【課題】ＰＤＰを製造する際に、基板上の突起の検出を高精度に行うことができる欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】基板を載せるステージ２２と、そのステージ２２の上面に対して平行にレーザー光を照射するレーザー照射装置２３およびレーザー光を受光する受光装置２４を有する検出装置とを備えた欠陥検査装置２１を用い、基板上に誘電体層が形成されてなるＰＤＰ用基板２０をステージ２２上に載せて、レーザー照射装置２３からレーザー光を照射しながら、ＰＤＰ用基板２０がレーザー照射装置２３と受光装置２４との間を通過するように、少なくともＰＤＰ用基板２０または検出装置を移動させてレーザー光を受光装置２４で受光し、その受光による信号レベルの変化から突起の大きさを求めるステップ１と、前記突起の大きさを用いて良否判定を行うステップ２とを有する。 （もっと読む）

【課題】基板などの被検体から必要な情報を素早く抽出して検査を速やかに実施できる欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】欠陥検査装置１は、被検体の表面画像を一軸方向にスキャンするようにして取得するカメラ２５を有し、カメラ２５の出力は、制御部３の画像取り込み回路３１に受け渡すように構成されている。画像取り込み回路３１は、カメラ２５から取り込む画像データを撮像開始トリガと、キャプチャ開始画素位置とキャプチャ終了画素位置とを区切って取得することで、欠陥領域の画像のみを作成し、画像処理等を行う。 （もっと読む）

【課題】半田検査において求められた検査結果情報を有効に活用し、印刷検査の有用性を向上させることができる半田検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】基板に印刷された半田の印刷状態の検査を行う半田検査において、検査によって得られた判定結果を基板の各電極について各基板毎に累積記憶し、検査結果情報を参照する際には、累積された判定結果を画面３４の半田印刷位置マップ上に、バルーンマーク３６の位置および大きさによって、ＮＧ発生位置および発生頻度を表示し、さらに必要に応じて印刷方向との関連やＮＧ種類などの詳細情報を表示させる。 （もっと読む）

【課題】基板検査装置および方法において、簡素な手段によって縦筋ノイズを除去することができるようにする。
【解決手段】ライン照明ユニット３と、ラインセンサカメラ６と、それらと基板とを副走査方向に相対移動する基板保持移動ユニット４と、基板保持移動ユニット４の移動動作およびラインセンサカメラ６の撮像動作を制御することにより基板の２次元の走査画像を取得せしめる装置制御部１３と、走査画像の画像データを演算処理することにより縦筋ノイズを検出する縦筋ノイズ検出手段と、縦筋ノイズ検出手段が検出した縦筋ノイズを除去処理して補正画像を生成する縦筋ノイズ除去手段とを有する画像ノイズ処理部１５と、補正画像から欠陥抽出を行う欠陥抽出処理部１６を備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】校正サンプル、パターン検査装置および方法において、被検物に形成されるパターンに応じて、適切な検出感度が得られるように校正を行うことができるようにする。
【解決手段】パターン検査装置５０に、被検物である基板２０に形成されるべきパターンに応じて複数の校正用パターンを基板２０と同様の製造方法により形成したキャリブレーションサンプル１を検査位置に移動するサンプル移動機構２と、検査位置を照明する照明光学系３と、キャリブレーションサンプル１を撮像する撮像光学系５を設ける。そして統合制御手段１０により、キャリブレーションサンプル１の画像読取条件を調整できるようにする。 （もっと読む）

【課題】 周期構造の欠陥を容易かつ迅速、確実に測定できる周期構造欠陥測定装置を提供すること。
【解決手段】 被検査物３の周期構造３−１のｘ方向、ｙ方向の並び方向から光源１からの光を照射し、前記被検査物３の周期構造３−１へ前記光が照射されたときの前記被検査物３の周期構造３−１のｘ方向、ｙ方向の並び方向からの反射回折光を光検出器４で同時に検出し、前記検出した反射回折光をもとに前記被検査物３の周期構造３−１の欠陥を画像処理装置により容易かつ迅速、確実に測定し判定する。 （もっと読む）

中心点（M）、軸方向（z）での幅（B₁、B₂）、及び軸方向（z）と直交するタイヤ面（RME、RME₁、RME₂、MBE）での直径（D₁、D₂）を持つタイヤ（10）を試験する装置はタイヤ（10）の走査に利用可能な走査ヘッド（20）を含む。その装置は、走査ヘッド（20）を観察場所に配置して観察方向に向けるのに利用可能な位置決め手段（30）も含む。位置決め手段（30）は制御／表示手段（40）で制御可能である。制御／表示手段（40）は、走査ヘッド（20）の位置の座標を入力するのに利用可能なユーザ領域（44、45、45、47）を少なくとも１つ含む。それとは別に、又はそれに加えて、制御／表示手段（40）は、走査ヘッド（20）の位置の座標の表示に利用可能な表示領域（44、45、45、47）を少なくとも１つ含む。その座標は、タイヤ（10）の中心点（M）を通って軸方向（z）に延びる回転軸（R）とタイヤ面（RME、RME₁、RME₂、MBE）との交点に原点（0）を置く座標系で定義される。 （もっと読む）

【課題】メモリ用フォトマスクのような微細ピッチの周期性パターンを高精度に検査することができる周期性パターンの欠陥検査方法および欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】基板上の周期性パターンに光源から固有波長の光を照射してその主要回折光ピークの回折角度を測定し、測定した回折角度から前記周期性パターンのピッチ寸法を算出するか、または、前記周期性パターンの図面情報から該周期性パターンのピッチ寸法を取得し、前記得られたピッチ寸法と、検査に用いる光源波長に対して予め定めた回折角度算出用波長とから、前記周期性パターンの正常部とムラ部の回折光光強度のコントラストが取れるように、光源から出射される光の周期性パターンに対する入射角度を算出し、該入射角度で前記光源から前記周期性パターンに光が入射するように前記光源と前記基板とを相対位置合わせし、前記光源波長の光を前記周期性パターンに照射して検査する。 （もっと読む）

【課題】光学式異物検査装置または光学式外観検査装置で検出した欠陥を電子顕微鏡で詳細に観察する方法およびその装置において、観察対象の欠陥を確実に電子顕微鏡等の視野内に入れることができ、かつ、装置規模を小さくできる方法およびその装置を提供する。
【解決手段】光学式欠陥検査装置で検出した欠陥を観察する電子顕微鏡５において、欠陥を再検出する光学式顕微鏡６を搭載し、この光学式顕微鏡６の焦点合わせを行う時に、試料１に対して光学式顕微鏡６の照明位置と検出位置を変化させない構成とする。 （もっと読む）

【課題】製品検査等に好適なＬＥＤ照明装置を備えた自動撮影装置を提供すること。
【解決手段】自動撮影装置は、ＣＣＤカメラユニット１４、３次元ロボットアーム１５〜２１、照明装置１２、カメラと照明装置との距離を変化させる移動手段１３、撮影対象物の複数の撮影箇所と対応して位置、角度、照明パラメータを記憶し、記憶内容に基づいて複数の撮影箇所を順に撮影する制御手段を備える。照明装置は、ＬＥＤを使用したそれぞれ照射方向の異なる複数の照明装置を内蔵し、照射方向および色を選択可能である。制御手段は、撮影された画像が目的とする被検査領域の画像か否かを判定する判定手段、撮影された画像から欠陥を検出する欠陥検出手段を備えていてもよい。任意の位置にある任意の表面状態のチェック箇所の欠陥やラベルの文字などを最良の照明状態で撮影することができ、製品検査の精度が向上する。 （もっと読む）

【課題】長く延びる帯状の塗布部分を連続して検査でき、発光源の数を少なくして省エネが図れ、安定した検査が可能な塗布剤の塗布状態検査装置の提供。
【解決手段】ウィンドシールド１０に対して相対移動自在に刷毛２６を位置させ、その相対移動方向後端側に発光源２７ａ，２７ｂとＣＣＤカメラ２８を設け、発光源２７ａ，２７ｂから照射された光の乱反射光をＣＣＤカメラ２８によって捉えるようにした。これにより、プライマの塗布後にそのまま連続してプライマ塗布部３６の塗布状態を検査できる。また、発光源が２つで済むので省エネが図れる。さらに、乱反射光を捉えるので、プライマ塗布部３６を安定して検査することができる。 （もっと読む）

【課題】ステージ上に載置する液晶基板を検査する液晶基板検査装置において、加熱による変形量を定量化する。
【解決手段】液晶基板検査装置の装置内に撮像装置を設け、この撮像装置によって、液晶用ガラス基板上に設けられた基板アライメントマークを撮像し、この基板アライメントマークの座標に基づいて基板の変形量を測定することによって、加熱による変形量を定量化する。基板の変形量測定方法は、撮像装置によって、基板上に設けられた基板アライメントマークを撮像し、座標算出部によって、撮像装置の撮像画像に基づいて、基板アライメントマークの座標を撮像装置に固定した座標系上において算出し、変形量算出部によって、基板アライメントマークの座標に基づいて基板の変形量を算出する。 （もっと読む）

【課題】搬送ステージと撮像デバイスとを同期させて移動し、ワークを停止させることなく撮像することができる外観検査装置を提供する。
【解決手段】検査用のワーク１を所定の検査位置へ搬送する搬送ステージ３と、上記ワークが上記検査位置へ到達するまでに上記ワークの所定の２点における光軸方向の高さを検出する変位センサ４と、上記検査位置において光軸方向の位置が焦点深度内に保持され、上記ワークの外観を撮像するシャッタ速度1/20000以上の撮像デバイス５と、上記撮像デバイスによって撮像された画像を処理する画像処理装置８と、上記ワークの所定の１点から他の１点に向けて上記搬送ステージを移動させると共に、上記搬送ステージの移動と同期して上記撮像デバイスの光軸方向の位置を調整する制御装置９とを備えた構成とする。 （もっと読む）

【課題】画像上の対象物の明るさに左右されることなく、対象物の抽出精度を確保する。
【解決手段】カラーハイライト照明を用いた基板検査装置において、リード先端部を検査のために抽出するに際し、処理対象のカラー画像を構成するＲ，Ｇ，Ｂの各色データをそれぞれ所定の係数により重み付けし、重み付け後の各色データの総和Ｉを濃度とするグレイスケール画像を生成する。ここで各係数のうち、検査対象のリード先端部を抽出するのに適した色データであるＲ，Ｇの係数には正の値が設定され、残りのＢには負の値が設定される。さらに生成されたグレイスケール画像について、判別分析法によりしきい値を特定した後に、そのしきい値による２値化処理を行って、リード先端部を抽出する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、検出感度が高く、感度のばらつきを少なくし、座標精度を向上させ、膜種、厚さ、結晶方位、反り量の異なる多種多様なウェハに対応できるウェハ表面検査装置を提供することにある。
【解決手段】本発明は、被検査物に光を照射する光照射手段と、該被検査物から散乱される光を検出する光学系の第１光検出手段と、前記光照射手段から前記被検査物上に照射される光の位置が変るように該被検査物を縦横に移動させる被検査物移動手段と、前記被検査物を保持する被検査物保持手段と、前記光照射手段から前記被検査物上に照射される光の反射光を検出し、前記被検査物表面の高さ情報を取得し、前記情報を用いて前記光学系の光検出手段の焦点位置を補正する焦点位置補正手段と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 レンズパターンを有する原版から複版されたレンズシート体の検査必要性の有無を検査員へ教示するシート体検査支援システムを提供すること。
【解決手段】 サーバのソフトウェア部１３が、製造情報入力端末１１から検査ルールとレンズシート体の原版情報を記憶装置１２へ書き込むためのソフトウェア、作業情報入力端末１７から作業単位とレンズシート体の原版情報を記憶装置１２へ書き込むためのソフトウェア、記憶装置１２から原版情報、検査ルール、検査履歴を読み出すためのソフトウェア、原版情報、検査ルール、検査履歴から検査必要性の有無を判断し、パトライト１５及び検査情報入力端末１６へ検査必要性の有無を出力するためのソフトウェアを備えている。 （もっと読む）

平板表示パネルアセンブリーを備えた平板表示装置の検査システムにおいて、前記平板表示パネルアセンブリーを整列配置する検査ステージと、前記検査ステージの上方に配置され、前記平板表示パネルアセンブリーの測定領域に対して透過した透過光のスペクトルを測定する測定装置と、前記測定装置を前記検査ステージ上で等加速度で移送させる移送装置と、前記測定装置と電気的に連結され、前記測定装置から伝達されたスペクトルの電気的信号を処理して欠陥の有無、欠陥の種類、欠陥の不良程度を知らせる欠陥情報装置を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】大量生産される段ボールに印刷されるデザインの品質の劣化を検査する。
【解決手段】段ボール検査装置１０は、段ボール１に印刷されるデザインを示す基準デザインデータＤ０を記憶するための記憶部１５と、印刷前画像データＸ１を取得するための第１データ取得部１１と、印刷後画像データＹ１を取得するための第２データ取得部１２と、印刷後画像データＹ１から印刷前画像データＸ１を引き算処理してデザインデータＤ１を求めるための演算部１３と、記憶部１５に記憶されたデザインデータＤ０と、演算部１３により求められたデザインデータＤ１とを比較する比較部１６と、比較の結果、両者が不一致の場合には、エラー信号を出力する出力部１７とを備える。 （もっと読む）

【課題】一台の装置で反射及び透過検査を順次行うことができ、しかも検査姿勢の変更及び光源切換えを自動的に行うと共に、さらに反射検査の下敷き部に黒色スクリーンを自動的に張り出して、検査環境を最適にできるフィルム目視検査装置を提供する。
【解決手段】検査種別に応じて姿勢変更可能の検査台たるボックスを有し、前記ボックスの一側部に設けられ、前記ボックスの前記半透明板に沿って張り出し又は退却可能の黒色スクリーンと、この黒色スクリーンを前記半透明板に沿って自動的に張り出し又は退却させるスクリーン駆動装置と、を設けたことを特徴とするフィルム目視検査装置。 （もっと読む）