【目的】検査処理時間を短縮させる基板検査装置を提供することを目的とする。
【構成】本発明の一態様の基板検査装置１００は、基板１０１を検査する基板検査装置１００において、水平方向に移動するＸＹステージ１２１と、前記ＸＹステージ１２１上に配置され、上下方向と回転方向に移動するＺ・θステージ１２２と、基板１０１の検査面の高さ位置が、Ｚ・θステージ１２２の重心高さ位置に配置されるように基板１０１を保持する保持具１０２と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】レンズ作用面を有する透明体が設置されたワークの透明体に対面する内部が鮮明に撮像でき、また、透明体に傷をつけることなく検査することができる検査機構および被検査物搬送検査装置ならびに検査方法を提供することを課題とする。
【解決手段】レンズ作用を有する透明体Ｗ１が設けられた被検査物Ｗを、搬送機構２０により保持して検査位置Ｔまで搬送し、当該検査位置の被検査物を撮像カメラにより撮像して画像を解析して検査する検査機構２０であって、光を透過して前記撮像カメラからの前記被検査物の撮像を可能とする透光板３１およびゲル体３２と、を有する透光介在板３０と、この透光介在板のゲル体に対面する前記検査位置に前記被検査物が保持されて前記搬送機構により搬送されたときに、前記ゲル体を前記被検査物の透明体に当接あるいは離間させるように前記透光介在板を移動させる透光介在板移動機構２０ＡＢと、を備える構成とした。 （もっと読む）

【課題】印刷された加熱前のクリームはんだの印刷態様を検査して不合格の場合はその位置で修正作業を行う。
【解決手段】印刷はんだ検査装置は、基板１２の上方を移動自在に配置されて基板１２上に印刷されたクリームはんだ１３の位置と高さを検出する検査ヘッド２０を備えた検査手段と、検査ヘッド２０と一体に設けられた印刷はんだの除去手段２４と、検査ヘッド２０と一体に設けられたクリームはんだの補充手段２６を備え、基板１２上に印刷された加熱前のクリームはんだ１３を検査して修正を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】バックライトユニットのビジョン及び輝度検出システムにおいて、カメラにより、ＬＣＤ用バックライトユニット（ＢＬＵ）の映像を獲得して、ＢＬＵの欠陥を検査するビジョン検査装備に上／下輝度測定器を取り付けることによって、ＢＬＵのビジョン検査過程で上／下輝度を同時に測定し得るようにする。
【解決手段】システムは、検査室の備えられた本体と、本体のガイドレールに沿って往復移動され、ＢＬＵが点灯可能に装着される点灯治具と、検査室を経由するＢＬＵを垂直にラインスキャニングする垂直映像獲得用カメラと、検査室を経由するＢＬＵを傾斜角でラインスキャニングする視野角映像獲得用カメラと、カメラにより得られた映像を処理し、ＢＬＵの欠陥を検出する映像処理手段と、映像処理手段により検出されたＢＬＵの欠陥を表示する出力手段とから構成され、さらに、検査室の出口側上部に取り付けられ、点灯治具に装着されてガイドレールに沿って検査室を通過するＢＬＵの上部輝度を測定する上部輝度測定器を含む。 （もっと読む）

【課題】 マクロ検査とミクロ検査と連続して行える基板検査装置の大型化を防ぎ、検査効率を向上させることである。
【解決手段】 基板検査装置１は、ベース本体３上に基板Ｗをエアー浮上させる浮上ステージ４が敷設されている。さらに、ベース本体３の一端部から他端部に至る間に、自動マクロ検査部２１と、ミクロ検査部２２とが順番に配設されている。自動マクロ検査部２１は、ライン状の照明光を基板Ｗに照射する照明部２４を有し、照明光の反射光を反射部２５で折り返した後に、撮像部２６に入射するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】電子部品の方向を回転できず、方向性のあるような電子部品の整列には、別途方向を回転させるための回転手段が必要であった。
【解決手段】磁性体材料を含む電極２５を有した電子部品２４が搭載されるとともに、非磁性体の部品整列板２７と、この部品整列板２７の表面に設けられた整列溝２９と、部品整列板２７に対して前記整列溝２９の反対側に設けられるとともに電子部品２４の電極２５へ磁力を供給する磁石３２と、この磁石３２と部品整列板２７とのうちのいずれか一方に連結された磁力線方向変化手段３３とを有し、磁力線方向変化手段３３は、電子部品２４の電極２５に対する磁力線の方向を部品整列板２７に垂直な方向と整列溝２９に平行な方向とへ交互に変化させるものである。
これにより、磁石３２から発する磁気は、電子部品２４を電極２５における磁気抵抗が小さくなる方向へと回転させて移動して整列溝２９に整列する。 （もっと読む）

【課題】欠陥検出に用いるレーザ光の光量が低減することなく、パターン欠陥の検出を高感度にて行うことができる欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】パターン欠陥検査装置は、試料を移動させるためのステージと、レーザ光源からのレーザ光を試料に照射する照射系と、試料からの光を検出するＴＤＩ（Time Delay Integration：遅延積算）イメージセンサと、イメージセンサの検出感度を補正するための感度補正回路と、感度補正回路の出力より試料の欠陥を判定する欠陥判定回路と、を有する。イメージセンサに隣接して試料からの光を受光する光量検出器を設け、レーザ光源の光量変動情報を得る。感度補正回路は、ステージの速度変動情報とレーザ光源の光量変動情報に基づいて、イメージセンサの検出感度を補正する。 （もっと読む）

【課題】接着安定・低温化後の接着検査が行え、充填容器が高速移動しても間欠移送を行って接着・外観検査のための高精度な静止画像を得る。
【解決手段】複数の充填容器１０１を治具袴１２２に搬入する容器転送手段４００と、治具袴１２２を一定間隔で移動・停止させる間欠移相手段１２０と、充填容器１０１の接着端部の充填詰物透視画像を撮像する遠赤外光ヒータ６０３ａ・６０３ｂ及び遠赤外光電子カメラ６０２ａ・６０２ｂ並びにそれらによる充填詰物透視画像と基準透視画像とを比較して接着異常の有無を判定する遠赤外光画像処理手段を有した接着検査手段６００と、充填容器１０１の外観画像を撮像する可視光電子カメラ群７０２ａ〜７０３ｃ・７０４ａ〜７０５ｃ及びそれらによる容器外観画像と基準外観画像とを比較して外観異常の有無を判定する可視光画像処理手段を有した外観検査手段７００とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 平面状基板の異常状態を感度よく検出することができる光学式の異物検出装置およびこれを搭載した処理液塗布装置を提供すること。
【解決手段】 ステージ２上に水平状態に載置された被処理基板１と、前記基板１の幅方向に延びるスリット状吐出開口１１ｂを有する処理液供給ノズル１１とを相対的に移動させて処理液供給ノズル１１から帯状に吐出される処理液を、基板１の表面に塗布するように構成される。前記基板１に対して相対移動する処理液供給ノズル１１の移動方向の前方に投光部５と受光部６からなる光透過形センサユニットが搭載されている。前記センサユニットは、受光部６における光ビームの受光出力が所定値以上であるか否かを検出する第１検出手段と、前記受光出力の単位時間における変化量が所定値以上であるか否かを検出する第２検出手段とが具備され、前記第１検出手段と第２検出手段による検出出力の論理和に基づいて異物の存在を検知するように構成される。 （もっと読む）

【課題】
簡単な構造でありながら、板材を撓ませることなく簡単に保持することができる板材の自立補助機構を提供することである。
【解決手段】
板材Ｗが載置される載置部材６に当該板材Ｗの下端Ｗ２を載置して立て掛けられ、その板材Ｗが鉛直に起立した状態で、その一方の面Ｗａの上端部Ｗａ１を支持する支持部材７と、前記板材Ｗの他方の面Ｗｂの上端部Ｗｂ１に接触して前記支持部材７との間で前記板材Ｗを挟み込み、前記板材Ｗが前記支持部材７から離れないように保持する保持部材８とを備えている。 （もっと読む）

【目的】 適正な精度で試料検査を行う装置、方法およびプログラムを提供することを目的とする。
【構成】 パターン形成された同一被検査試料の、複数の部分光学画像データ同士を比較する試料検査装置において、前記被検査試料の、光学画像データを取得する光学画像データ取得部１５０と、前記複数の部分光学画像データ同士の比較を行なう比較回路１０８とを備え、比較回路１０８において、所定の領域を示す領域パターンの情報に基づいて生成される領域画像データを入力し、前記複数の部分光学画像データ同士の比較を行なう場合に、前記領域画像データを参照して判定条件を変更し、試料上の欠陥の有無を判定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 高精度な外観検査を行うことができる照明装置を提供する。
【解決手段】 この発明に係る外観検査用照明装置２０は、暗視野用の発光ダイオード群６８と、明視野用の発光ダイオード群７０とを、備える。暗視野法による外観検査時には、暗視野用の発光ダイオード群６８のみが有効化され、明視野法による外観検査時には、明視野用の発光ダイオード群７０のみが有効化される。それぞれの発光ダイオード群６８または７０から発せられた照明光は、拡散板７４または７８によって拡散されてから、検査対象物であるコンタクトレンズ５０に照射される。従って、コンタクトレンズ５０は、一様な明るさで照明され、いわゆる照度むらは生じない。このため、当該コンタクトレンズ５０全体にわたって、一様な精度で外観検査を行うことができる。なお、暗視野法による外観検査時には、明視野用拡散板７８の上方は、シャッタ板８０によって覆われる。 （もっと読む）

【課題】
検査対象物の被検面の詳細な仕様を事前に把握する必要なく、被検面から検査能力に適さない部分を設定する手間を軽減することである。
【解決手段】
検査光Ｌが照射された検査対象物Ｗの被検面Ｗ１から生じる反射散乱光ＬＳを検出して、前記被検面Ｗ１の欠陥Ｓを検査する欠陥検査装置１であって、
前記反射散乱光ＬＳを用いて、所定の検査能力により検査できる領域である検査対象領域Ｗ１１と、前記所定の検査能力により検出できない領域である検査除外領域Ｗ１２とを設定する検査領域設定部５３を備え、
前記検査領域設定部５３により設定された検査対象領域Ｗ１１を、前記所定の検査能力により検査するものである。 （もっと読む）

【課題】 繰り返しパターンを含む２つの検査画像の対応する画素同士のグレイレベル差を検出し、グレイレベル差が欠陥検出条件を満たすとき２つの検査画像のうちいずれかの画素が欠陥であると判定する画像欠陥検査において、様々な繰り返しパターンに対して、検査画像の各部に応じて欠陥検出条件の変更を容易に行うことを可能にする。
【解決手段】 画像欠陥検査装置１０を、検査画像を繰り返し周期の整数倍毎に分割した画素ブロックのいずれかについて、その各画素を複数グループに分類する分類部２１と、この分類結果をこの画素ブロック内における各画素のそれぞれのブロック内位置に対応して記憶する記憶部２２と、他の画素ブロック内の各画素についてのそれぞれの分類結果を、各画素のブロック内位置に対応して記憶部２２から読み出して決定する決定部２３と、を備えて構成し、各画素について決定した分類結果に応じて欠陥検出条件を変更する。 （もっと読む）

【課題】 ２画像の対応する各画素同士の画素値の差分を検出して、この差分が検出閾値を超えるとき画素部分を欠陥として検出する画像欠陥検査において、検出された真欠陥と疑似欠陥とを区別する。
【解決手段】 画像欠陥検査装置１０を、２つの検査画像の対応する画素同士のグレイレベル差を検出する差分検出部６と、そのグレイレベル差が検出閾値を超えるとき２つの検査画像のうちいずれか一方の上記画素の部分が欠陥として検出する欠陥検出部８と、グレイレベル差が検出された画素の座標値の分散値をその画素のグレイレベル差によって重み付けして算出する分散値算出部２１と、分散値の増大に応じて欠陥の検出を抑制する検出抑制部２２、２５と、を備えて構成される。 （もっと読む）

【課題】 磨耗しやすいローラの表面を適正に撮像する。
【解決手段】 ローラ３の表面に光を照射する光源７と、ローラ表面からの反射光を受光してローラ表面の画像を撮像するカメラ８とを具備した撮像装置において、ローラ表面の磨耗による変位を検出する変位検出センサ１８と、変位検出センサからの変位データに基づいてカメラ位置の補正量を演算し出力する制御部２０と、制御部からの出力によりカメラ位置を補正する位置補正機構とを具備する。シートの製造等に伴いローラの表面が磨耗しても、位置補正機構でカメラの位置を調整することができ、従ってカメラは十分な光量によってローラ表面の明確な画像を撮像することができ、例えば製造するシートの良否を正確に判定することができる。 （もっと読む）

【課題】 パネルの輝点等を容易に且つ正確に一致させて高精度の欠陥検出を可能にする。
【解決手段】 表示面に輝点２が規則的に並んだＬＣＤパネル１等の表示面の画像を処理して欠陥を検出する欠陥検出方法である。ＬＣＤパネル１の表示面の画像を基準画像２５として取り込んで、当該基準画像２５を１ピッチ分だけシフトさせた画像２６を上記基準画像２５から減算する第１工程と、上記基準画像２５を３ピッチ分だけシフトさせた画像２６を上記基準画像２５から減算する第２工程とを備えて構成した。上記各工程においては、上記基準画像２５を一定方向に沿ってそのプラス方向とマイナス方向に同じピッチ数だけそれぞれシフトさせた各画像２６を、上記基準画像２５からそれぞれ減算する。 （もっと読む）

【課題】粉粒体中に混入した異物を高精度に検出することができる粉粒体検査装置を提供する。
【解決手段】粉粒体検査装置１は、粉粒体Ｆを供給する供給機構１０と、供給機構１０から供給された粉粒体Ｆの層厚を調整して落下させる落下機構２０と、落下する粉粒体Ｆ内に異物が混入しているか否かを検査する検査機構３０と、異物を回収する異物回収機構５０と、落下経路の下端部まで落下した粉粒体Ｆを回収する良品回収機構５５とからなる。検査機構３０は、落下中の粉粒体Ｆに向けてレーザ光を走査しながら照射する投光部３１と、レーザ光を拡散反射させる光拡散部材３７と、粉粒体Ｆや光拡散部材３７によって拡散反射されたレーザ光を受光して電気信号を生成する光検出部４０と、生成した電気信号を基に異物混入の有無を判定する判定部４５とを備える。 （もっと読む）

【課題】 回折光を確実に除去して表面欠陥の検査に必要なＳＮ比を確保できる表面欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】 被検面５ａを直線偏光によって照明する照明ユニット１０と、直線偏光によって照明されたときに被検面５ａから出射される散乱光のうち、直線偏光の振動面に垂直な偏光成分を受光する受光ユニット２０とを備える。また、受光ユニットは、直線偏光によって照明されたときに被検面から出射される正反射光の出射角をθｏ、正反射光の開口角をδθｏ、正反射光の光軸Ｃ３から受光ユニットの光軸Ｃ４を見込む角度をθｒ、受光ユニットの開口角をδθｒとして、条件式「δθｏ＜（θｒ−δθｒ）」「θｒ≦１０度」「θｏ≦６０度」を満足するように設定される。 （もっと読む）

【課題】 ２画像の対応する各画素同士の画素値の差分を検出して、この差分が検出閾値を超えるとき画素部分を欠陥として検出する画像欠陥検査装置及び方法において、比較する２画像に明度差がある場合の疑似欠陥の発生を低減する。
【解決手段】 画像欠陥検査装置１０を、本発明では対比される２画像の差画像とこれら２画像のうちの少なくとも一方との間の相関値を算出する相関値算出手段（２０）を備えて構成し、この相関値の増加に応じて欠陥の検出を抑制する。 （もっと読む）