【課題】 計測対象領域の横幅方向の全幅又はほぼ全幅にわたって粒状体の選別処理を適切に行うことが可能なように適正光量範囲を設定することを煩わしさの少ない状態で行うことが可能となる粒状体選別装置を提供する。
【解決手段】 粒状体群を横拡がり状態で計測対象領域Ｊを通過させ、計測対象領域Ｊからの光を受光する複数の受光部毎に受光する光の受光量が適正光量範囲から外れているか否かを判別して適正光量範囲から外れていると判別された粒状体を他の粒状体群とは異なる経路に分離させる粒状体選別装置において、複数の光量設定単位のうちの特定のものについての適正光量範囲を目標光量範囲調整用情報に基づいて求め、且つ、他の光量設定単位についての適正光量範囲を、粒状体判別処理を実行するに伴って得られる受光量が適正光量範囲から外れる判別頻度に基づいて、特定の光量設定単位における判別頻度と同じ又は略同じになるように自動的に変更調整して求める。 （もっと読む）

【課題】プリント配線基板の変形や搬送速度変動に起因する検査の誤りが無い外観検査装置を提供する。
【解決手段】画像取得部１１０は、移動ステージ２０１上を移動するプリント配線基板２０２の撮像データＤ１を取得する。変形解析部１３０は、撮像データＤ１の変形状態を解析する。データ変換部１４０は、ＣＡＤデータ格納部１２０から読み出したＣＡＤデータを、撮像データＤ１と同じ変形状態の画像データに変換し、基準画像データＤ２として出力する。検査部１５０は、撮像データＤ１と基準画像データＤ２とを用いて、プリント配線基板２０２の外観検査を行う。 （もっと読む）

【課題】高速に動作する物体の検査を行う場合に、特殊なインターフェースを用いたり画像情報量を減らすことなく、撮像された画像を高速に出力させる。
【解決手段】検査対象物を撮像した被検査画像と欠陥のない参照画像を比較することにより欠陥の抽出を行なう場合において、撮像部１１で被検査画像を撮像し、撮像された被検査画像データを１フレーム毎に分割して順次記憶部１４に記憶させ、記憶部１４に記憶された被検査画像データを所定のタイミングで１フレームずつ読み出して、各フレームをそれぞれ別の出力部１５へ出力するようにした。 （もっと読む）

【課題】一様なパターンを有する複数の矩形領域が隙間を空けて縦横に整列して設定される基板上の複数の矩形領域に亘って伸びる筋ムラを容易に検出する。
【解決手段】ムラ検査装置の対象画像生成部６１では、基板を撮像して取得される多階調の元画像において基板上の矩形領域間の隙間に対応する領域をマスクして対象画像が準備され、筋ムラ要素特定部６３では対象画像を２値化した２値画像において長手方向における長さと長手方向に垂直な方向における幅との比が所定値以上となる複数の筋ムラ要素領域が複数の筋ムラ要素線分にてそれぞれ特定される。そして、筋ムラ検出部６４において、複数の筋ムラ要素線分のうち、長手方向（線分が伸びる方向）が同一であり、長手方向に配列され、かつ、隣接する矩形領域内に存在する２つの筋ムラ要素線分が検出されることにより、複数の矩形領域に亘って伸びる筋ムラを容易に検出することができる。 （もっと読む）

【課題】欠陥候補領域が筋ムラ領域または点欠陥領域の少なくとも一部と重複する場合において、欠陥候補領域および筋ムラ領域または点欠陥領域を的確に検出する。
【解決手段】ムラ検査装置では、基板から得られる対象画像において筋ムラ欠陥を示す筋ムラ領域、および、点欠陥を示す点欠陥領域が検出される。部分ムラ検出部６４では、対象画像を所定の閾値にて２値化することにより、部分ムラ欠陥の候補を示す部分ムラ候補領域が検出される。判定部６６では、部分ムラ候補領域が筋ムラ領域線分または点欠陥領域の少なくとも一部と重複する場合に、部分ムラ候補領域における部分ムラ欠陥の強度に関する評価値と、筋ムラ領域線分における筋ムラ欠陥の強度に関する評価値、または、点欠陥領域における点欠陥の強度に関する評価値とを比較して部分ムラ候補領域の削除の要否を判定することにより、これらの領域を的確に検出することができる。 （もっと読む）

本発明は、半導体ウェハ、光学薄膜、ディスプレイスクリーンなどの基体における欠陥の物理的特性を決定して、特定して位置を定める方法に関する。方法は、基体を撮像するためにＰＣスキャナの使用を伴う。特に、透過モード撮像において用いられるＰＣスキャナは、基体の体積に関する情報を決定することを可能にする。方法は、干渉法技術の使用により、層厚、曲率および光学定数などの特性の決定を可能にし、偏光撮像の使用により、複屈折率および歪みの決定を可能にする。方法はまた、例えば、光ルミネセンスおよびエレクトロルミネセンスなどの基体におけるルミネセンスに刺激を与え、ルミネセンスマッピングのために刺激を与えた基体を走査することに関する。
（もっと読む）

【課題】その設置スペースを小さなものとすることができる成形容器の検査装置、および成形容器の検査に必要なスペースを小さなものとすることができる成形容器の検査方法を提供する。
【解決手段】成形容器Ｃの検査装置は、射出成形機１０により生成された成形容器Ｃを保持し、この射出成形機１０から成形容器Ｃを取り出すための取出機２０と、取出機２０に保持された成形容器Ｃが移し換えられ、この移し換えられた成形容器Ｃを搬送するための搬送部４０，９０と、搬送部４０，９０により搬送された成形容器Ｃを保管するための保管部６０と、を備えている。射出成形機１０と搬送部９０との間に第１の検査部３が設けられている。成形容器Ｃが取出機２０により射出成形機１０から搬送部９０まで搬送される間に第１の検査部３が成形容器Ｃの内面を撮像して当該内面の検査を行うようになっている。 （もっと読む）

【課題】集積回路の撮像または処理あるいはその両方を行うためにイオン／電子ビーム・ツール内に含まれる光ファイバ・ベースの光チャネル・システムを提供する。
【解決手段】光学チャネル・システムは、イメージ収集部分と、光ファイバ・イメージ伝送部分と、検出器部分とを含む。イメージ収集部分は、微小光学コンポーネントを含み、ミリメートル未満の寸法を有し、したがって、イオン／電子ビーム・ツールの作動距離内に容易に収容される。 （もっと読む）

【課題】周期的なパターンを持つ対象物を撮影する場合、使用するカメラの分解能と対象物のパターン周期の値が近いと、撮影した画像にモアレが見られることがある。画像の不鮮明化をほとんど生じさせることなく、モアレを解消した画像を得る観察方法およびそのモアレを解消した画像を利用する観察装置や欠陥検査装置を提供することを課題とする。
【解決手段】周期的パターンを持つ対象物を撮像することによって周期的パターンの観察を行う観察方法であって、対象物からの入射光を、対象物のパターン周期の概ｎ＋１／２倍（ｎは整数、０を含む）だけシフトさせた半周期シフト画像を取得し、対象物からの入射光を、対象物のパターン周期の概ｍ倍（ｍは整数、０を含む）だけシフトさせた全周期シフト画像を取得し、前記半周期シフト画像と前記全周期シフト画像を重ね合わせた合成画像を観察することで、周期的パターンを持つ対象物を観察する観察方法。 （もっと読む）

【課題】めねじ成形部品のめねじの成形良否を正確かつ迅速に判定することができるめねじ成形部品の良否判定装置の提供。
【解決手段】本発明は、少なくとも一端が開口する穴部壁面にめねじが形成されためねじ成形部品のめねじの成形良否を判定するものであり、照明手段４によりめねじ内部を照明して当該めねじを開口端側斜め上方から撮像手段５により撮影することによりめねじ開口端から複数リード分のねじ山の画像を撮像し、前記ねじ山の画像を明度に応じて二値化処理し、これにより得られた二値画像のねじ山を含むエリアにおける各数値の割合に応じてめねじ成形の良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】 表面欠陥の良否判別をより詳細に実施する表面検査装置を提供する
【解決手段】 本発明の表面検査装置は、偏光観察状態では、偏光方向の異なる２つの偏光素子を照明光路と受光光路にそれぞれ設け、照明光の振動面に対して被検基板のパターンを斜め向きに設定する。この状態で受光光路の光束を結像して光強度信号を生成する。この光強度信号の第１信号レベルを、予め記憶する良否の判定条件（第１条件）で良否判定する。一方、本発明の表面検査装置は、偏光素子の少なくとも一方を光路から外してオープン観察状態とする。この状態で得られる光強度信号の第２信号レベルを、予め記憶する良否の判定条件（第２条件）で良否判定する。この２種類の良否判定によって被検基板の良否判定を一段と詳細に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】高倍率での検査を精度よく行う。
【解決手段】本願発明の装置調整方法は複数の大きさの欠陥の少なくとも１つの大きさの欠陥の個数がピークを有するウェハを用いて、フォーカスを変化させて各フォーカス値での欠陥検出数を取得し、所定の欠陥の大きさについて欠陥検出数がピークとなるフォーカス値を取得し、このフォーカス値を用いて装置のフォーカスの調整を行なう方法である。 （もっと読む）

【課題】印刷装置の異常等による作業状況の変動を判別することができ、とくに、清掃直後とそれ以外の期間とに応じて適切に判別を行うことができるようにする。
【解決手段】印刷装置によりマスクシートを通して被処理基板上にペーストが印刷された後にその基板を撮像するカメラ５２と、撮像された基板の画像に基づき、印刷されたペーストの面積の測定値を算出するする測定値算出手段６２と、上記面積についての作業状況判定用の基準範囲を設定する設定手段６４と、上記測定値と上記基準範囲と比較して、上記測定値が上記基準範囲内にあるか否かにより上記印刷装置の作業状況が正常か否かを判定する比較判定手段６５とを備える。上記設定手段６４は、マスクシートの清掃が行われた直後の所定期間にある場合はそれ以外の期間にある場合と比べて基準範囲をペースト量が少ない側に設定する。 （もっと読む）

【課題】基板に悪影響を与えることなく、修正部を迅速に焼成または硬化させることが可能なパターン修正装置を提供する。
【解決手段】このパターン修正装置では、修正部２４を焼成する場合、まず予備加熱装置３０をオンして基板２０上の修正部２４を含む広い範囲にレーザ光αを照射し、温度センサ３１の検出温度が焼成温度よりも若干低い所定の温度になるように予備加熱した後、スポット加熱装置３２をオンして基板２０上の修正部２４を含む微小範囲にレーザ光βを所定時間照射し、修正部２４を焼成する。したがって、基板２０に影響を与えることなく修正部２４の温度を短時間で上昇させることができる。 （もっと読む）

【課題】点灯及び消灯を繰り返しても寿命の劣化が少なく、均一な面照明が可能で、且つ照明光の色光の選択が容易な照明手段を使用して目視検査をする。
【解決手段】検査対象物５を保持して直交する２軸１３，１４を中心に回動可能とされた保持部７と、前記保持部７の直交２軸１３，１４のうち軸１４を支持して伸縮可能とされた伸縮支持部材８と、前記保持部７を前記２軸１３，１４を中心に回動させると共に、前記伸縮支持部材１７を伸縮させる駆動機構９と、前記保持部７に保持された前記検査対象物５に対して上方又は後背から光を照射可能に配設され、表示素子の像をレンズにより前記検査対象物５上に拡大投影するカラー表示可能な第１〜第１又は第２のプロジェクター１０，１１と、前記各プロジェクターによる投影状態を制御する制御手段１２と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】注射液剤中の異物を自動検出し、外乱要因のない環境下において当該異物の同定を的確に行なうことができる、ラマン分光測定法による注射剤中の異物自動測定方法およびその装置を提供する。
【解決手段】顕微ラマン分光装置のステージ下に置いた検査チップに注射液剤を注入し、低倍率の対物レンズによって検査チップの液材収容部をマッピングして画像を撮影し、撮影画像をコンピュータで二値化処理し、当該異物の重心の二次元座標を記録し、顕微ラマン分光装置の対物レンズを高倍率の対物レンズに切り替えて、異物が存在する座標位置にステージを移動し、ラマン分光測定法によって異物のスペクトルを取得し、前記スペクトルをコンピュータに記憶されているライブラリーと対比して、異物の物質名の同定を行なう。検査チップには、マイクロ流路を形成したものと、プール部を形成したものがある。 （もっと読む）

【課題】本発明では、目視検査によって、シート状物全面にわたって素早く、異なる種類の欠陥を一台の装置で検出することができる照明装置を提供することを目的とする。
【解決手段】照明装置１０を、フィルムやシートなどの検査対象物を照明するための３台のライトガイド１と、これらライトガイド１の上方に配置され、検査対象物を載せるとともに、ライトガイド１から出射された光を拡散する機能を備えた検査板２と、３台のライトガイド１を固定したステージ３とによって構成し、このステージ３を昇降機構５によって上下方向に進退可動に昇降させる。
（もっと読む）

【課題】実際の検査に用いられた画像を用いて、検査結果の確認に適した見本画像を簡単に登録できるようにする。
【解決手段】部品実装後の検査のための検査装置１Ａと、はんだ付け後の検査のための検査装置１Ｂと、情報処理装置２とによる基板検査システムにおいて、各検査装置１Ａ，１Ｂから情報処理装置２に、検査に使用した画像や検査結果を被検査部位毎に送信する。情報処理装置には、あらかじめ、良品や不良品の見本画像が表すべき内容を示す指標データが複数登録されており、指標データ毎に、検査装置１Ａ，１Ｂから送信された画像の中から当該指標データに最も適合するものを抽出し、見本画像として登録する。 （もっと読む）

【課題】ＰＤＰを製造する際に、基板上の突起の検出を高精度に行うことができる欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】基板を載せるステージ２２と、そのステージ２２の上面に対して平行にレーザー光を照射するレーザー照射装置２３およびレーザー光を受光する受光装置２４を有する検出装置とを備えた欠陥検査装置２１を用い、基板上に誘電体層が形成されてなるＰＤＰ用基板２０をステージ２２上に載せて、レーザー照射装置２３からレーザー光を照射しながら、ＰＤＰ用基板２０がレーザー照射装置２３と受光装置２４との間を通過するように、少なくともＰＤＰ用基板２０または検出装置を移動させてレーザー光を受光装置２４で受光し、その受光による信号レベルの変化から突起の大きさを求めるステップ１と、前記突起の大きさを用いて良否判定を行うステップ２とを有する。 （もっと読む）

【課題】基板などの被検体から必要な情報を素早く抽出して検査を速やかに実施できる欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】欠陥検査装置１は、被検体の表面画像を一軸方向にスキャンするようにして取得するカメラ２５を有し、カメラ２５の出力は、制御部３の画像取り込み回路３１に受け渡すように構成されている。画像取り込み回路３１は、カメラ２５から取り込む画像データを撮像開始トリガと、キャプチャ開始画素位置とキャプチャ終了画素位置とを区切って取得することで、欠陥領域の画像のみを作成し、画像処理等を行う。 （もっと読む）