【課題】ノイズ光を確実に遮断して、測定精度の向上を図る。
【解決手段】検査対象板を背面から照らして検査を行う検査装置である。前記検査対象板をその周縁部で支持するパネル受け部と、当該パネル受け部に支持された前記検査対象板をその背面を照らすバックライトと、前記パネル受け部に支持された前記検査対象板の周縁部の前記バックライト側に位置して前記検査対象板の表示エリアの外側へ漏れる光を遮る遮光部材とを備えた。前記パネル受け部に支持された前記検査対象板と前記バックライトとの間に、前記バックライトからの光を拡散させる拡散板を備えた。前記遮光部材は前記拡散板の周縁部に一体的に取り付けた。 （もっと読む）

【課題】複数の基板を並行して検査することが可能で、しかもより作業性に優れた基板の検査システムを提供する。
【解決手段】基板Ｐを検査する複数の検査機１，１’・・と、この複数の検査機１，１’・・に対して共通に設けられた目視判定機（兼検査機）１とを備えた基板の検査システム１０において、上記目視判定機１は、上記複数の検査機１，１’・・によりそれぞれ不良品と判定された基板Ｐの画像を集中的に表示する表示手段（４）と、この表示手段（４）に表示された画像に基づいて基板Ｐの目視判定を行う作業者がその判定結果を入力するための入力手段（４）とを有する。そして、上記検査機１，１’・・は、上記目視判定機１での判定結果を読み出してその結果に応じた所定の動作を行う。 （もっと読む）

【課題】周波数領域で分割された画像を用いて、アライメントと画像補正を統合化した、画像劣化が少なく、設定パラメータも少ない、効果的な画像補正に基づく画像検査装置を提供する。
【解決手段】検査基準画像と被検査画像を比較検査する画像検査装置において、検査基準画像と被検査画像に対して複数の周波数領域に分割した周波数分割画像を作成する画像分割部と、各周波数分割画像について、検査基準画像と被検査画像の２次元線形予測モデルを用いてモデルパラメータを同定するモデルパラメータ同定部と、同定されたモデルパラメータに基づいて、モデル画像を生成するモデル画像生成部と、各周波数分割画像について、モデル画像と被検査画像を比較検査する比較処理部と、を備える、画像検査装置。 （もっと読む）

【課題】軽微な欠陥の検出及び欠陥の誤検出を抑制することを可能とする円筒体検査装置及び円筒体検査方法を提供する。
【解決手段】円筒体検査装置１の制御部３は、撮像部２によりロール６の１周強分の検査画像を取得して欠陥を検出する。制御部３は、設定済のマスク領域以外で検出された検出欠陥の欠陥画像を表示し、検出結果から除外してリセットする場合には、検出幅位置の全長に渡って検査画像にマスク領域を設定する。制御部３は、マスク領域における検出欠陥数がリセット数を超えない場合、当該マスク領域における欠陥画像を表示しない。制御部３は、マスク領域における検出欠陥数がリセット数を超える場合、当該マスク領域における欠陥画像を全て表示し、リセット数を超える検出欠陥を検査結果から除外してリセットする場合には、リセット数を更新する。制御部３は、マスク幅位置及びリセット数をマスクリセット情報２２として記憶部１３に保持する。 （もっと読む）

【課題】高解像度の撮像機構を用いた欠陥検出において、被検査領域中の欠陥を容易に検出する。
【解決手段】主面上の複数のダイのそれぞれに所定の単位パターンが形成された基板９がステージ２上に保持され、撮像機構３では、ラインセンサ３１３を基板９の主面に沿う移動方向に基板９に対して相対的かつ連続的に移動することにより、移動方向に垂直な方向に関して幅がダイの幅よりも狭い帯領域の多階調の画像が高解像度にて取得される。記憶部５３では、ダイの全体を実質的に示すとともに欠陥検出の基準とされる基準画像が記憶されており、欠陥検出の際には、基準画像から被検査領域に対応する部分を含む部分画像が抽出されるとともに、被検査領域を示す被検査画像が撮像機構３により取得され、部分画像と被検査画像とを比較することにより、被検査領域中の欠陥が容易に検出される。 （もっと読む）

【課題】被写体の画像に基づいて欠陥の有無を検査する検査装置で、精度の良い欠陥検査を実現する。
【解決手段】被写体１１の画像に基づいて欠陥の有無を検査する検査装置において、画像取得手段１〜８が被写体１１の画像を取得し、枠設定手段８が画像取得手段により取得された画像に含まれる所定パターン毎に枠を設定し、比較手段８が枠設定手段により設定された２つ以上の異なる枠の画像について、各枠に含まれる所定パターンが一致するように調整した状態で比較し、欠陥検出手段８が比較手段による比較結果に基づいて欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】 省スペースな部材を用い、検査条件の変化に対応してノイズ光を低減できる表面検査装置を提供する。
【解決手段】 被検物１１を照明する照明部１３と、この照明部によって照明された被検物を観察する観察部１４とを備える。また、照明部から観察部へ至る光路には絞り２４,２８が配置される。さらに、この絞りは、複数に分割された遮光部材の相対位置を変えることにより開口部の形状が可変である。 （もっと読む）

【課題】異物検出装置を小型にするとともに角柱状容器の照明された内底部を適正に撮影できるようにし、異物の検出の精度を高める。
【解決手段】有底で上部が開放された状態の角柱状容器Ａの内底部Ｅにおける異物の検出を行なう異物検出装置１を、角柱状容器Ａの対向する側面板Ｄの間で反射して内底部Ｅを間接照明する四つの面光源体８を配した照明部４と、照明部４による間接照明時に角柱状容器Ａの内底部Ｅ側を撮影する撮影部６と、照明部４の間接照明を行なわせ、撮影部６が撮影した内底部撮影画像と基準画像との対比を行なう制御部７とを備えるものとした。 （もっと読む）

【課題】基板上に付着した異物をより確実に除去し、基板の欠陥を正確かつ迅速に特定することができる検査装置を提供する。
【解決手段】本発明にかかる検査装置は、検査対象となる被検査基板１を載置する基板ステージ２と、基板ステージ２と所定間隔を隔てて配置され被検査基板１の欠陥を検出する検出部３と、被検査基板１上にエアーを噴出するエアー噴出手段６と、エアー噴出手段６から噴出されたエアーの拡散を防止する整流板７とを有する。 （もっと読む）

【課題】光学条件や欠陥の検出条件等といった、外観検査装置及び外観検査方法に用いられる検査条件を、実際の検査対象の試料に応じて適切に設定する。
【解決手段】外観検査装置１を、所定の光学条件で試料２の表面を撮像した画像を検査することにより試料２の表面に存在する欠陥を検出するように構成し、かつ外観検査装置１に、画像に現れる欠陥を所定の検出条件で検出する欠陥検出部２４と、所定の光学条件及び所定の検出条件の少なくとも一方を検査対象である試料２の被検査面に予め設けられた既知の標準欠陥９を欠陥検出部２４にて検出しうる条件に定める検査条件決定部５０と、を設ける。 （もっと読む）

【課題】 異物検査方法及び異物検査装置に関し、大型基板表面の１００μｍサイズの異物を精度良く検出する。
【解決手段】 光源からのレーザビーム２を被測定対象の基板１の表面に対し、レーザビーム２の光軸方向においてレーザビーム２が基板１の前端から後端までを照射するように光軸を基板１の表面に平行な方向から傾斜させて照射し、レーザビーム２と基板１を相対的に移動させながら基板１からの反射光３に含まれる散乱光成分をイメージセンサ７で撮像し、取得した画像における２次元光量パターンの変動から異物を検出する。 （もっと読む）

【課題】漏れなく、定量的に検査することができる赤外カットフィルタの検査装置を提供する。
【解決手段】赤外カットフィルタ１０が遮断すべき波長の赤外光を、照明部１３から赤外カットフィルタ１０の検査部分に照射する。そして、欠陥によって赤外カットフィルタ１０を透過した赤外光で、撮影部１６は赤外カットフィルタ１０の欠陥を撮影する。このとき得られるデジタルな画像をもとに、評価部８１は赤外カットフィルタ１０の検査部分に欠陥があるか否かを評価し、欠陥がある場合には、その欠陥の位置、大きさ、形状などの欠陥の状態をＨＤＤ８２に記録する。また、赤外カットフィルタ１０の全面を検査が完了すると、記録した欠陥の状態をもとに、評価部８１は、検査した赤外カットフィルタ１０の良否を評価する。 （もっと読む）

【課題】
ディスクの表裏面の検査効率を向上させることができ、ディスク検査装置の小型化が可能なディスク搬送機構，ディスク検査装置，ディスクの検査方法を提供することにある。
【解決手段】
この発明は、所定距離離れたそれぞれの初期位置に、ディスク検査のためにスピンドルが設定される検査位置を挟んで直線状に配置された第１，第２のスピンドルを有し、検査位置の前側あるいは後ろ側のいずれか一方にディスク反転機構が設けられ、第１のスピンドルに装着されたディスクが検査位置の位置に移送されるときに、同時に第２のスピンドルに装着されたディスクが検査位置の位置から自己の初期位置に戻され、第２のスピンドルに装着されたディスクが検査位置の位置に移送されるときに、同時に第１のスピンドルに装着されたディスクが検査位置の位置から自己の初期位置に戻されるものである。 （もっと読む）

【課題】検査の効率化を図ることが可能な検査装置を提供すること。
【解決手段】被検査物（半導体ウエハ）１０を支持して回転させる回転支持部（回転テーブル）２０と、前記被検査物の中心と前記回転支持部の回転中心との間の偏心状態を検出する偏心状態検出部３２，３３と、前記被検査物の周縁部位１０ａにおける欠陥を検出する欠陥検出部４０と、前記偏心状態に基づいて前記被検査物の前記周縁部位と前記欠陥検出部との相対的位置関係を調整する調整部（位置合わせ機構３０）とを備える。 （もっと読む）

【課題】ステージの左右の歪みを短時間で補正する。
【解決手段】互いに平行となるように離間配置し、移動体２の対向する面に配された一対のガイド軸２２，３２と、ガイド軸２２，３２のうち一方のガイド軸２２に設けられ移動体２の一側部２ａを一方のガイド軸２２に沿って移動させる第１の搬送機構２０と、ガイド軸２２，３２のうち他方のガイド軸３２に設けられ移動体２の他側部２ｂを他方のガイド軸３２に沿って移動させる第２の搬送機構３０と、移動体２の一側部２ａを一方のガイド軸２２に沿って基準位置まで移動させたとき、移動体２の他側部２ｂの所定位置からのずれ量を検出する検出部４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】検査工程における検査結果を製造工程に反映して、製品の品質を高めること。
【解決手段】軸受２４をカメラ２６で撮像し、この撮像に伴う画像を画像処理ユニットで処理し、この処理結果を管理装置１４で管理するに際して、カメラ２６の撮像に伴うビデオ信号のレベルが、しきい値を示す上限レベル１０２を超えていないが、規格値１０４を超えて上限値１０２に漸次近づく傾向を示すときには、製造工程における組み立て装置１０の組み立て方法を変更するか、あるいは組み立て装置１０の駆動を停止する。 （もっと読む）

【課題】装置自身の異常を検出することができる欠陥検査装置及び欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】記憶部２０７には、予め基準被写体を撮像して得られた基準情報が保存されている。欠陥抽出部２０５は、基準情報の取得後に基準被写体を撮像して得られた比較対象情報と、記憶部２０７に保存されている基準情報とを比較し、両者が異なる部分を欠陥として抽出する。欠陥判定部２０６は、欠陥の抽出結果に基づいて、装置自身の異常の有無を判定する。 （もっと読む）

【解決手段】コンベア３上に２列の錠剤列を形成し、直立姿勢で並送する２列の扁平錠剤ｔを外側から撮影して各錠剤の一面側（表面）の画像を取り込み、両錠剤搬送路３３内の錠剤を互いに外側へ横転させて、直立姿勢の際に内側面であった未撮影の他面（裏面）を上にした平伏状態とし、これを上方から撮影して他面側（裏面）の画像を取り込むように構成した錠剤の表裏面外観検査装置を提供する。また、回転自在な多数のローラ５１でドラム５の外周面を構成し、このローラ５１の隣り合う２本の間に円形扁平錠剤ｔを直立姿勢で保持して搬送し、このローラ５１を回転させることにより、錠剤を自転させるようにした側面外観検査装置を提供する。
【効果】比較的単純な機構により高精度で信頼性の高い外観検査を行うことができ、しかも従来のベルト搬送方式に比べて、処理能力の向上を図ることができ、また設置面積の縮小化を図ることも可能である。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハに付着した異物を検査する異物検査装置において、気圧および気温といった気象条件の変化によって感度変動が生じた場合、高感度を維持するために行う煩雑な焦点調整作業を不要とし、常に最高の感度を維持し、装置の稼働率の向上を実現する。
【解決手段】信号強度が最大となる最適なＺ座標を探索し、その時点の気圧（気圧基準値）と、気温（気温基準値）と、最適なＺ座標（Ｚ基準値）の３つを基準値とする。任意の時点での気圧と、気温を計測し、各々基準値との変動分をとって、予め求めておいた換算係数を掛けて、変動分をＺ座標に換算する。変動分のＺ座標換算値を、Ｚ基準値に足しこめば、変動を補正して最大感度を得ることができる。これにより、単に気圧と気温の変動を補正してＺ座標を安定化するという点にとどまらず、常に最大感度を得るようにＺ座標を補正し続ける。 （もっと読む）

【課題】コヒーレント光を使用した照明装置において、干渉を低減し、均一な照明光を得ること。
【解決手段】コヒーレント光の光束を反射により複数に分割する第１分割部と、分割された光束が通り、可干渉距離以上の光路差を有する複数の第１迂回光路と、少なくとも１つの第１迂回光路の一部に配置され、配置されない該第１迂回光路との間で可干渉距離以上の光路差を生じさせる光路差形成材と、第１迂回光路を通過してきた複数の光束を一体にする第１合成部と、を備え、一体になった光束を照明対象物に照射する、照明装置。 （もっと読む）