【課題】従来よりも少ない検査タクトで、表面異物と裏面異物と内部異物と不良画素とを識別することが可能な検査装置を実現する。
【解決手段】検査装置１００は、表面異物に対応する領域を検出する表面異物検出部１２２と、表面異物、裏面異物、内部異物、または、不良画素のうちの何れかに対応する領域を検出する欠陥候補検出部１２３と、検出された領域を参照して、液晶パネルにおいて裏面異物、内部異物、または、不良画素のうちの何れかが存在する部位を特定する欠陥部位特定部１２５とを備えている。不良画素判定部１２７と裏面異物判定部１２８とを含む画像処理部１２０は、裏面異物、内部異物、または、不良画素のうちの何れかに対応する欠陥部位を識別すればよいので、検査タクトが少なくてすむ。 （もっと読む）

【課題】教示が簡単で低廉なコストの３次元クリームはんだ印刷自動検査を実現する。
【解決手段】水平姿勢の基板と、その上方から１次元イメージセンサカメラの横長視野に沿って幅広く基板を照明する拡散光光源と、基板に対してカメラ視軸が斜め角度を取る姿勢に設置した１次元イメージセンサカメラとが構成する３次元撮像幾何光学配置において、カメラのピクセル配置に直交する方向に基板を移動することによって、基板全面の３次元画像を獲得し、検体クリームはんだ印刷基板の３次元画像と基準クリームはんだ印刷基板の３次元画像との差分画像処理を行い、クリームはんだの広がりや高さの異常によって生じた教示閾値を超える差分のある画素を、異同画素として検出する。 （もっと読む）

【課題】欠陥検査装置において、複数の角度方向に出射される基板からの光を用いて、効率的に検査を行うことができるようにする。
【解決手段】基板２１を載置して照明領域Ｌの長手方向と直交する方向に相対移動させる移動ステージ１３と、照明領域Ｌに照明光を照射する第１照明部１０、第２照明部１１、第３照明部１２と、照明領域Ｌからの光を結像する結像光学系２５と、基板２１の像を取得する１次元撮像部２７と、各照明部からの照明光の入射角度を互いに異なる角度に設定する角度設定部とを備え、各照明部は、照明光として互いに異なる波長の光を照射し、１次元撮像部２７は、互いに異なる波長の光をそれぞれ選択するダイクロイックミラー３０、３１と、選択された波長の光をそれぞれ受光する第１受光部２０１、第２受光部２０２、第３受光部２０３とから構成される。 （もっと読む）

【課題】複数の検査対象部品の移動速度を遅くせずに一定速度で移動している状態で、高精度で良否の検出を行うことができる検査方法及び検査装置を提供する。
【解決手段】移送手段13は複数の被検査品11を一定間隔で保持する支持部材12を載置する載置部16を備え、モータ15により駆動される。検査手段14は載置部16上に載置されて支持部材12と共に一定速度で移動する被検査品11を順次検査する。モータ15は、載置部16が支持部材搬入部17と対応する位置で停止した状態から移送手段13の駆動を開始して、支持部材12が検査手段14の検査領域に到達するまでに支持部材12が予め設定された所定速度に達するとともにその所定速度で検査領域を通過し、その後、支持部材12が支持部材取り出し部18と対応する状態で停止するように、制御装置20により制御される。検査手段14による検査時に不良品が存在した場合、制御装置20がその不良品を特定する。 （もっと読む）

【課題】ムラのない観察画像を得ることが可能な微細パターン修正装置を提供する。
【解決手段】この微細パターン修正装置では、ガラス定盤９を、各々が水平方向に移動可能に設けられた２枚の副ガラス定盤１０，１１に分割する。観察位置Ｐの下に副ガラス定盤１１のリフタピン孔２２がある場合は、副ガラス定盤１１を移動させてそのリフタピン孔２２を観察位置Ｐから離間させる。したがって、リフタピン孔２２などに起因する観察画像のムラを無くすことができる。 （もっと読む）

【課題】ウエハ等の被検査試料の製造装置や検査装置において、被検査試料に形成された各種パターンの位置合わせを短時間で容易にできるようにする。
【解決手段】板状に形成された被検査試料Ｔの外周縁Ｔ１，Ｔ３の形状と、該被検査試料Ｔと同様の外周縁形状を有する板状の基準試料Ｒの外周縁Ｒ１，Ｒ３の形状とが相互に略一致する位置に前記被検査試料Ｔを配置する試料位置決め手段と、これら被検査試料Ｔ及び基準試料Ｒの外周縁Ｒ１，Ｒ３，Ｔ１，Ｔ３の形状を相互に一致させた状態で、前記被検査試料Ｔに形成された被検査パターンＴ５の位置と、前記基準試料Ｒに形成された基準パターンＲ５の位置とのずれ量を算出するずれ量計測手段とを備えるパターン検査装置を提供する。 （もっと読む）

【解決手段】 素材ガラス２が割断されたか否かを検査する検査装置１５は、素材ガラス２に検査光Ｌ１を照射する検査光照射手段３２と、素材ガラス２からの反射光Ｌ２を受光する受光手段３３とを備えている。
素材ガラス２が割断されると割断面２Ｃ、２Ｄが生じ、検査光Ｌ１は素材ガラス２内に進入してから内部の裏面２Ｂと表面２Ａとによって交互に反射されてから割断面２Ｃによって反射されてから外部へ出て受光手段３３によって受光される。この受光手段３３によって反射光Ｌ２が受光されない場合には、素材ガラス２が完全に割断されていないと判定する。
【効果】 検査光照射手段３２と受光手段３３を近接させて素材ガラス２の表面側に配置できるので、検査装置１５の構成を小型化できる。 （もっと読む）

【課題】 ワークを搬送する各種の回転ディスとその駆動手段の安定姿勢が確保され、しかも、ワークの移送路に搬送異常が生じても素早く対応可能なように、ワークの全搬送状態を観察しながら検査することができるようにする。
【解決手段】 上記搬送ライン６に、搬送用回転ディスクＤ１，Ｄ２，Ｄ３が水平に配され、上記ワーク検査部２１に検査用回転ディスク２２が水平に配され、これらの回転ディスクＤ１，Ｄ２，Ｄ３，２２は、駆動軸Ｊ１，Ｊ２，Ｊ３，Ｊ２２が上方に向けられた駆動手段Ｍｄ１，Ｍｄ２，ＭＤ３，Ｍ４と連結されている。 （もっと読む）

【課題】紫外線観察装置において、複数の材質で構成された基板の画像情報を効率よく観察することができるようにする。
【解決手段】複数の波長を有する紫外光を発生する光源２ａと、光源２ａで発生された紫外光で半導体ウエハ８に照射する照明レンズ２ｂと、照明光により半導体ウエハ８の像を取得する観察光学系と、半導体ウエハ８の像を光電変換して輝度データを取得する撮像部Ｃ_１、…、Ｃ_ｎと、波長分離部３ａと、波長分離部３ａにより分離された紫外光によって撮像部Ｃ_１、…、Ｃ_ｎで取得された複数の波長ごとの輝度データに対して、それぞれ異なる可視色の色度を割り付けて複数の単色画像に変換する彩色処理部と、彩色処理部で生成された複数の単色画像を合成して可視色画像を形成する画像合成部と、画像合成部で形成された可視色画像を表示する画像表示部１０を備える。 （もっと読む）

【課題】いわゆる片面撮像方法を採用しつつも、光学部材の二つの表面に関する各画像のずれを補正して欠陥そのものの像と該欠陥の映り込み像とを対応づけることができる、光学部材の良否判定に関する観察に好適な光学部材の表面観察方法を提供すること。
【解決手段】光学部材の表面観察方法は、撮像部によって、被検物である光学部材における第一および第二の表面像をそれぞれ含む第一および第二の画像を撮像する工程と、各画像の倍率を調整する倍率調整工程と、第一の画像と第二の画像の相対位置を粗調整する粗調整工程と、スキャン領域設定工程と、第一のスキャン領域と第二のスキャン領域のそれぞれにおいて検出領域をそれぞれ同一経路かつ同一速度で移動させる検出領域移動工程と、検出領域移動工程中に検出された各光像を関連づけて組とする関連づけ工程と、検出結果に基づき第一の画像と第二の画像の相対位置を微調整する微調整工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】いわゆる片面撮像方法を採用しつつも、平板状の光学部材の表面に存在する異物そのものの像と該異物の映り込み像とを簡易にかつ正確に区別することができる光学部材の表面観察方法を提供すること。
【解決手段】光学部材の表面観察方法は、第一の表面に関する画像内の光像と第二の表面に関する画像内の光像のうち、同一の異物に起因する二つの像が、該異物そのものの像と該異物の映り込みによる像のいずれであるかを、各光像の輝度情報および面積情報の少なくとも一方を用いて算出される第一の判定値に基づいて判定する第一の判定工程と、第一の判定工程によって異物そのものの像と判定された光像の輝度情報および面積情報に基づいて算出された第二の判定値と、表面毎に設定された基準値とを比較することにより、光学部材の良否判定を行う。 （もっと読む）

【課題】基板検査装置をコンパクト化すること、好ましくは作業性の良いもにすること。
【解決手段】基板検査装置１は、プリント基板Ｐを保持し移動させる基板保持機構、基板Ｐを撮像する撮像機構、画像データに基づいて良否判定を行うコントローラ６３および検査結果を表示する液晶表示パネル４等を共通のベースフレーム１０に組み込み、これらをケーシングＣａにより外側から覆った一体構成を有する。また、基板Ｐの出し入れ口６と基板Ｐの検査部（撮像ユニット５０による基板Ｐの撮像位置）とが前後方向に並び、かつ検査部が出し入れ口６よりも上方に配置される。そして、被検査面が上向きになるように基板Ｐをテーブル３０により保持した状態で、当該テーブル３０を斜め方向に移動させるように基板保持機構が構成されている。 （もっと読む）

【課題】検査ユニット毎の位置調整等の便宜を図る一方で、複数の検査手段の位置の一括制御をも可能とした検査ユニット群の制御システムを提供する。
【解決手段】複数の検査ユニット（１ａ〜１ｃ）に対して共通して設けられ、オペレータの操作に対応して各ユニット内の駆動機構に対する動作指示及び被検査物ＢＴの種類を各検査ユニットに向けて出力するスイッチボックス３０と、オペレータの操作に対応してカメラ３の位置調整に関する指示を出力するユニット毎のタッチパネル２０と、スイッチボックス３０からの指示に応答して、カメラ３が被検査物ＢＴの種類に対応付けられた検査位置に配置されるように駆動機構の動作を制御するとともに、タッチパネル２０からの指示に応答して駆動機構の動作を制御するユニット毎の個別制御装置２２と、を制御システムに設ける。 （もっと読む）

【課題】基板の外観を高精度に検査する。
【解決手段】層の特徴部分を白色領域とし、層の非特徴部分を黒色領域として、ＣＡＤデータから基板の各層の層画像データを取得する層画像データ取得部１３１２と、各層の層画像データを重ね合わせ、深さ方向の可視範囲内の白色領域及び黒色領域に基づいて積層構造データを作成する積層構造データ作成部１３１４と、基板製造データに基づいて色データベース１４４０から各層の特徴部分に対応する色データを取得する色データ取得部１３４２と、積層構造データと色データとに基づいて基板の各領域の色特徴値を表す領域色特徴データを作成する領域色特徴データ作成部１３９２と、基板の撮像画像データと領域色特徴データとに基づいて基板の外観を検査する検査部１３９４とを有する。 （もっと読む）

【課題】高価な２次元ステージを用いることなくサファイアインゴット等の被測定物内に存在する欠陥等散乱体の位置と大きさ等を観察できる光散乱観察装置を提供する。
【解決手段】レーザ光源１からのレーザ光線を被測定物５へ照射し被測定物から出射されるレーザ光線をＣＣＤカメラ７で撮影して被測定物内に存在する散乱体を観察する光散乱観察装置であって、レーザ光源と被測定物との間の光路上に、直線偏光の方位を回転させる２分の１波長板２とガルバノミラー３および反射ミラー４が配置されると共に、２分の１波長板を透過したレーザ光線がガルバノミラーと反射ミラーにより平面状に走査されて被測定物断面の散乱像が観察されるようになっていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】表面検査装置において、被検体の表面の法線に対して光軸が傾いた観察光学系により撮像や観察を行う場合に、像の歪みや画像の解像度の低下を低減像の歪みや画像の解像度の低下を低減して検査精度を向上することができるようにする。
【解決手段】表面検査装置１において、光源４と、光源４から出射される光により基板２を照明する照明手段と、照明手段で照明された基板２の表面からの光を撮像する撮像素子８と、基板２の表面の法線Ｎに対して光軸６ａを傾けることで、基板２から斜め方向に放射される光を撮像素子８に導く観察光学系６を有し、観察光学系６は、光軸６ａの傾き角θ_ＸＺに応じて、直交する２軸方向に異なる倍率を有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】欠陥検出感度が高く、電磁波照射方向の欠陥寸法も検出できる方法及び装置を提供すること。
【解決手段】検査対象部材を透過する波長のテラヘルツパルス光を該検査対象部材に照射する照射工程と、前記検査対象部材を透過した前記テラヘルツパルス光の電場振幅時間分解波形を検出する検出工程と、を有し、前記電場振幅時間分解波形の位相情報及び或いは振幅情報から前記検査対象部材の内部欠陥を検査することを特徴とする内部欠陥検査方法。 （もっと読む）

【課題】透過照明を用いて検査を精度良く行えるようにする。
【解決手段】基板検査装置の基板ホルダ３は、ホルダ枠１１の開口部１２を覆うようにガラス板１５が装着されている。ガラス板１５には、複数の貫通孔２０が設けられており、貫通孔２０の形成位置に合わせて桟２１がガラス板１５の下側面側に渡されている。桟２１は、一対の帯状板２２の間にブロック２３を挟んだ構成を有し、ブロック２３に基板Ｗを吸着保持するための吸着装置１７が固定されている。 （もっと読む）

【課題】多大な開発費、開発期間を必要とせず、歩留まりを低下させることなく高速な検出器を提供し、欠陥検査装置の検査速度を向上させる。
【解決手段】検出器１２は複数のイメージセンサ１００を備え、画素方向に間隔を空けて複数個配列されたイメージンセンサ１００が２列配置され、各イメージンセンサ１００はスキャン方向では互い隣接しないように配置され、千鳥配置されている。画素数が多い大面積のイメージセンサの製作には多大な開発費等が必要であり、画素欠陥発生頻度が多くなる。本発明は、小面積のイメージンセンサ１００を複数配置している。一個のイメージンセンサ１００を取り付ける場合、取り付けに要する領域が必要であり、個々のイメージセンサ１００同士では、互いに一定距離を空けて配置しなければならず、空白領域ができてしまう。この空白領域を解消するため複数のイメージンセンサ１００が千鳥配置されている。 （もっと読む）

【課題】半導体回路パターンにおける欠陥検出において、最適な差分画像フィルタを容易に設定できるようにして欠陥の検出精度を向上させること。
【解決手段】検査対象の検出画像と比較用の参照画像から得られる差分画像にフィルタ処理を行い半導体ウエハの欠陥検査方法において、フィルタ処理を行う際に、フィルタ処理前後の差分画像それぞれについて、グレイレベルに関する情報を表示してこれを参照してフィルタ処理を行う。グレイレベルに関する情報として、ファイル処理前後の差分画像に対するグレイレベルと画素数に関するヒストグラムが含まれる。欠陥検出装置としては、検出画像、参照画像、差分画像、フィルタ処理後差分画像、フィルタ処理前後の差分画像それぞれについてのヒストグラムが表示される。フィルタを設定する毎にヒストグラムは、更新表示される。 （もっと読む）