【課題】欠陥検査の目的や欠陥の特性等に応じて、最適なカラー表示を行うことができる欠陥検査装置及び画像表示方法を提供する。
【解決手段】フォトマスクの画像を種々の照明条件のもとで撮像し、Ａ／Ｄ変換器からの出力信号を用いてフォトマスクの欠陥を検出し、検出された欠陥を含むフォトマスクのカラー画像を出力する信号処理装置とを具える。信号処理装置は、輝度／カラーに関する変換テーブル作成手段２３と、フォトマスクの輝度／カラー変換手段２４とを有する。変換テーブル作成手段２３は、２種類のマスクパターンにそれぞれ割り当てた第１及び第２の２つの階調値、及び、前記第１の階調値と第２の階調値との間の輝度階調中に割り当てられるＲＧＢのカラー数又は階調スパンを含むパラメータに基づいて変換テーブルを作成する。 （もっと読む）

【課題】検査負荷を軽減すること。
【解決手段】検出装置は、画像表示装置が色を表示する際に用いる原色ごとに、全表示領域にわたって原色を点灯した該画像表示装置の画像を撮像する。そして、検出装置は、原色ごとに撮像された画像である第一の撮像画像各々から、画像表示装置の各画素のうち周辺より暗い画素である暗点の位置を検出する。そして、検出装置は、検出した各暗点の位置に対応する前記画像表示装置の対応領域を撮像時の点灯色で点灯させる点灯パターンを作成する。そして、検出装置は、作成した点灯パターンに基づいて点灯した前記画像表示装置の画像を撮像し、撮像した画像である第二の撮像画像のうち対応領域に対応する画像部分から、暗点の位置または該暗点の個数を検出する。 （もっと読む）

【課題】面の機械的な測定を行うことなく、面、特に肌理のある面を客観的に評価する。
【解決手段】被検査面（１０）上に放射線を照射する工程と、面（１０）上に照射され、面（１０）で反射した放射線の少なくとも一部による画像を受ける工程と、記録画像の位置分解評価および画像を特徴付ける少なくとも１つの値（Ｋ）の決定を行う工程と、を含む肌理のある面（１０）の光学的検査のための方法であって、面を特徴付けるパラメータ（Ｇ）は、特徴値（Ｋ）を使用しながらおよび面の（既知または決定された）少なくとも１つのさらなる特性（Ｅ）を使用しながらに決定されることを特徴とする方法。 （もっと読む）

【課題】撮影環境からの外乱を受ける場合、および抽出対象領域とそれ以外の領域との間の色属性の差が相対的に小さい場合のいずれであっても、目的とする領域を正確に特定することが可能な画像処理装置および画像処理方法を提供する。
【解決手段】座標点Ｇ１は相対的に原点Ｏから離れた位置にある一方、座標点Ｇ２の各々は相対的に原点Ｏに近い位置にある。そのため、それぞれの座標軸において、抽出対象領域を定義するための上下限値をそれぞれ設定することで、しきい領域を設定することができる。すると、このしきい領域外に存在する座標点Ｇ２に対応する画素を、しきい領域内に存在する座標点Ｇ１に対応する画素から区別することができる。 （もっと読む）

選別装置は、物品の流れを自由飛行状態で選別ゾーンへと送る供給システムを具備し、選別ゾーンのエジェクターは選択的に作動して上記流れから物品を排除し、カメラは選別ゾーンの上流のイメージ化ゾーンに配されてコンピューター処理されるイメージデータを生成し、該コンピューター処理により１つ或いは複数の選別基準に従って選別ゾーンで排除するべき物品が識別され、該コンピューターが処理データに基づいてエジェクターに指示を出す。また該コンピューターは、グラフィカルユーザーインターフェースに接続されていて、該インターフェースにイメージ化ゾーンの生産物の流れのイメージを表示すると共に、作動したエジェクターと生産物の流れとの交差エリアを示す。また、排除パラメーターを調整して交差エリアの境界を移動させることができる。 （もっと読む）

【課題】検査コストを小さくする。
【解決手段】検査対象物を撮像して撮像画像を得る撮像装置と、検査対象物を撮像装置により撮像した撮像画像における検査対象外とすべき領域を含むマスクデータを生成する生成装置と、撮像画像および生成装置の処理結果に基づいて、検査対象物を検査する検査部とを備え、生成装置は、検査対象物の３次元モデルを記憶する記憶部と、検査対象物の３次元モデル上における非検査箇所および検査対象物の３次元モデルの背景の少なくとも一方を撮像画像に投影して、マスクデータを生成する生成部と、を備える検査装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】溶接部の色相むらを精度よく判定することができるレーザ溶接部評価方法を提供する。
【解決手段】まず、レーザビームの照射でワークに形成された溶接部の画像データを取得する（Ｓ３１）。続いて、画像データをＲＧＢ分離して判定用ＲＧＢ値を算出する（Ｓ３２）。判定用ＲＧＢ値をグレースケール変換し、グレースケール値を算出する（Ｓ３３）。判定用ＲＧＢ値をグレースケール値で除算し、判定用除算値を算出する（Ｓ３４）。判定用除算値からマハラノビスの距離を算出する（Ｓ３５）。そして、このマハラノビスの距離が所定値よりも小さい場合、溶接部の色相むらが正常と判定する（Ｓ３６→Ｓ３７）。 （もっと読む）

【課題】防湿剤が適切に塗布されているかどうかを検査する基板検査装置を提供する。
【解決手段】紫外線が照射されることにより蛍光を発する蛍光剤を含む防湿剤の塗布されたプリント基板を検査する基板検査装置１であって、プリント基板に紫外線を斜めに照射する紫外線照射部１１と、プリント基板の画像を撮影する撮影部１３と、防湿剤の塗布されるべき領域を示す基準情報が記憶される基準情報記憶部１５と、撮影部１３が撮影した、紫外線照射部１１からの紫外線が照射されたプリント基板の画像から、蛍光領域の画像を取得する蛍光領域画像取得部１４と、取得された蛍光領域の画像の輝度を所定のしきい値と比較した結果と基準情報とを用いて、防湿剤の塗布されるべき領域に防湿剤が塗布されているかどうか判断する判断部１６と、その判断結果を出力する判断結果出力部１７と、を備える。 （もっと読む）

【課題】演算数を抑えつつ局所的な異常と大局的な異常を充分な精度で検出できる画像処理装置を提供する。
【解決手段】検査対象品を撮影して多数の画素からなる画像を取得する撮影部２０と、撮影部２０で取得した画像に基づき検査対象品が良品であるか不良品であるかを判別する判別部２１とを備え、記憶部２４の算出パラメータは、良品画像群を構成する各画像の各画素における輝度値と、良品画像群を構成する各画像の各画素における当該画素と隣接する画素との間の輝度の差分値と、良品画像群を構成する各画像の各画素における当該画素及び周囲の画素との輝度の積分値との、相関係数行列から算出され、判別部２１は、検査対象品の画像について、良品画像群のデータとの統計的距離を算出し、該算出された統計的距離が所定範囲にあるか否かを判別する。 （もっと読む）

【課題】色調まで含め、表面性状変動が大きい鋼板を検査対象にして、過検出・未検出を抑えた、欠陥部（異常部）の検出を行うことができる、鋼板表面欠陥検査方法および装置を提供することを課題とする。
【解決手段】光を照射した鋼板表面をカラーカメラにより撮像し、撮像したカラー画像のＲＧＢ各成分の平均輝度、最大輝度、最小輝度、輝度の分散の少なくとも一つの値を算出し、算出した値を所定の設定値と比較して、鋼板表面の欠陥の有無および／または程度を判定する。 （もっと読む）

【課題】プリント回路基板上における測定対象物の測定方法を提供すること。
【解決手段】プリント回路基板上の測定対象物を測定するために、第１照明ユニットを利用して格子パターン光をプリント回路基板に照射して撮影された第１画像を利用してプリント回路基板の３次元高さ情報を取得する。その後、取得された高さ情報を利用してプリント回路基板上に基準高さ以上で突出した第１領域を測定対象物として確定する。その後、第２照明ユニットから発生した光をプリント回路基板に照射して撮影された第２画像を利用して、プリント回路基板のカラー情報を取得する。取得されたプリント回路基板のカラー情報のうち、測定対象物に確定された第１領域の第１カラー情報を基準カラー情報に設定する。その後、基準カラー情報と第１領域以外の領域でのカラー情報とを比較して第１領域以外の領域で測定対象物が形成されているかを判断する。 （もっと読む）

【課題】
賞味期限・消費期限などの日付の印字や製造番号・ロット番号などの印字は商業印刷で90％以上を占める黒色の印字色と可視光域の環境下での印字検査が行われており、依然として印字のもれやかすれなどの印字異常や不良を検知するには不十分である。また、出荷製品の包装の素材・色・形の多種多様化と製造工程の自動化機械の高速化も印字異常を検知しないまま見落としてしまう原因となっている。
【解決手段】
印字色に黒色以外の分光上の特性がある青、緑、赤、紫などのインクを用いて、印字色と包装色との間の反射率の差、透過率の差が最大の波長帯もしくはそれに準ずる波長帯やその他の効果的な波長帯を特定することにより、最適な明暗差・輝度差が得られる波長の照明を照射して印字異常の検知を確実にする。 （もっと読む）

【課題】透過サブストレートの欠陥を検出するための方法とシステム。
【解決手段】本願発明のシステムは、複数の検出チャネルを備え、その各々が、該サブストレートに照明を提供するための照明コンポーネントと、前記サブストレートの画像を提供するために前記サブストレートをスキャンする画像形成コンポーネントと、該サブストレートと該照明コンポーネントと複数の検出チャネルに含まれる画像形成コンポーネントの間の相対運動を生成するための移送モジュールと、前記複数の検出チャネルに含まれる前記照明コンポーネントと前記画像形成コンポーネントを制御するための制御モジュールと、を含む。前記複数の検出チャネルに含まれる前記照明コンポーネントの内の少なくとも２つの照明コンポーネントが、交替に照明を前記サブストレートに提供しその検出チャネルに含まれる前記照明コンポーネントが前記サブストレートを照明する場合には、前記複数の検出チャネルのいずれかに含まれる画像形成コンポーネントが、前記サブストレートをスキャンするようになっている。ここで、複数の検出チャネルの少なくとも２つの検出チャネルに含まれる前記画像形成コンポーネントが、同一の画像形成コンポーネントである。本願発明によって記述される方法とシステムは、実際の欠陥を検査されたサブストレートをクリーニングする必要がない疑似欠陥から識別することができる。 （もっと読む）

【課題】欠陥検査装置において、欠陥の生じた膜を特定することにより、欠陥発生の原因分析を迅速化し、生産性の低下を防止する。
【解決手段】複数種の膜が積層された被検査対象の基板Ｗを撮像し、撮像データＤを取得するステップと、取得した撮像データから欠陥の有無を検出するステップと、検出された欠陥の領域の色情報を、所定の表色系に準ずる値として抽出するステップと、データベースに記録された全ての膜種の教示データから、前記検出された欠陥の領域と同領域の色情報を、前記所定の表色系に準ずる値として膜種ごとに抽出するステップと、前記検出された欠陥の領域の色情報と、前記教示データから抽出された色情報との相違度を膜種ごとに算出するステップと、相違度が所定値より小さい場合に、その色情報を有する教示データにおいて成膜されていない膜と同種の膜に欠陥を有すると判定するステップとを実行する。 （もっと読む）

【課題】検査対象物に関する外観検査の前工程または外観検査装置自体で発生した変化を検知可能な外観検査装置を提供する。
【解決手段】外観検査装置（１）は、検査対象物を撮影した検査画像を取得する撮像部（３）と、検査画像から、検査対象物に関する特徴量を抽出する特徴量抽出部（５１）と、特徴量と予め設定された判定基準に従って検査対象物の良否を判定し、その良否判定結果を記憶部（４２）に記憶する良否判定部（５２）と、記憶部（４２）に記憶された良否判定結果に基づいて、所定期間内に検査された検査対象物の総数あるいは所定数量の検査対象物に対して不良品と判定された比率を表す不良品率が、判定基準の作成時において想定される不良品率よりも高い場合、外観検査装置自体または外観検査装置による検査工程の前工程の何れかに変化が発生したと判定する変化検知部（５４）とを有する。 （もっと読む）

【課題】基板上に塗布された着色膜に生じる微小な濃度変動を光学フィルターによって強調することでＳ／Ｎ比を向上させ、きわめて小さな濃度変動の良否判定を行う基板検査装置および基板観察装置を提供すること。
【解決手段】撮像素子をもつカメラ２２と、基板を把持するステージと、ステージ後方から基板を照明する照明手段２４と、カメラのシャッターを制御する制御手段と、カメラの撮像レンズ又は／及び照明手段の前面に、基板の光透過率の低い波長域のみを透過する光学フィルター２１と、カメラから得られた画像を蓄積、保存する記録手段と、画像を元に良否判定を行う判定手段とを有すること。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の不良品が誤って良品と判定される可能性を低減可能な外観検査装置を提供する。
【解決手段】外観検査装置（１）は、検査対象物を撮影した検査画像を取得する撮像部（３）と、検査画像から、検査対象物に関する特徴量を抽出する特徴量抽出部（５１）と、特徴量をサポートベクターマシンとして構成される識別器に入力することにより、検査対象物の良否を判定する良否判定部（５４）とを有する。そしてその識別器が不良品と判定する検査対象物から抽出される特徴量が含まれる領域である不良品特徴量領域が、サポートベクターマシンの学習により決定された不良品特徴量領域よりも広くなるように、不良品特徴量領域の境界が修正されている。 （もっと読む）

【課題】 たばこ加工産業の被覆紙テープの光学的検査方法を提供する。
【解決手段】 本発明は、たばこ加工産業の被覆紙テープ２１、５０の光学的検査方法であって、被覆紙テープの内側または外側が難燃材料を有するゾーン５１、６１、６１（「ＬＩＰ」ゾーン）を備え、被覆紙テープ２１、５０の上のまたはその中のＬＩＰゾーン５１、６１、６１’の存在および／または別の特性が点検される方法に関する。本発明による方法は、被覆紙テープ２１、５０の光学的検査が、被覆紙テープ２１、５０で被覆されたたばこ加工産業のたばこ連続体２８で、または被覆紙テープ２１、５０で被覆されたたばこ加工産業の棒状物品３２、５６で行われることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 対象物を検査するシステム構築時において効率的に検査環境を設定することができる画像処理システムを提供する。
【解決手段】 対象物を撮像した画像データを識別番号に対応付けて記憶し、識別番号の一部を構成する部分識別番号を入力して画像データを読み出す記憶装置１２と、画像データを用いて、予め設定された複数種類の画像処理を施すことが可能な画像処理部１３と、画像処理が施された処理後画像を用いて、当該処理後画像に含まれる対象物の検査を行う検査処理部１４とを備える。記憶装置１２に記憶された画像データの識別番号は、当該画像データの撮像状況を特定する部分識別情報、対象物を特定する部分識別情報又は検査結果を特定する部分識別情報が結合されてなり、部分識別情報を指定し、当該部分識別情報を含む識別情報に対応付けられた画像データを読み出す。 （もっと読む）

【課題】試料表面のパターン形状の良否を、環境温度変化の影響を受けることなく短時間で判定できる表面検査装置及び表面検査方法を提供する。
【解決手段】ウエハ１０欠陥を検査する表面検査装置１００は、偏光子７ａ及び対物レンズ９を含み、これらを介してウエハ１０の表面に形成されたパターンを光源１の光により照明する照明光学系２１と、照明による試料の表面からの反射光を対物レンズ９を介して集光し、更に、偏光子７ａとクロスニコル条件を満たすように配置された検光子１２を通して対物レンズ９の瞳面の像を検出する検出光学系２２と、対物レンズ９の環境温度を検出する温度測定部２０と、環境温度に対応付けてクロスニコル条件を維持するための偏光子７ａの光軸回りの回転量を記憶する記憶部２４と、温度測定部２０から出力される環境温度に対応する回転量を記憶部から抽出し、当該回転量となるように偏光子７ａを回転させる検出部２３と、を有する。 （もっと読む）