【課題】
異物欠陥検査装置で、光検出器としてＣＣＤセンサを用いる場合、光電変換により内部に発生した信号電荷を電圧に変換して読み出す際に電気的なノイズが発生し、微小な異物や欠陥からの反射散乱光を検出して得られる微弱な検出信号が電気的なノイズに埋もれてしまい、より微小な異物や欠陥を検出する上で障害となっていた。
【解決手段】
光検出器として電子増倍型ＣＣＤセンサを用い、光電変換によって生じた電子を増倍した後に読み出すことにより、電気的なノイズに対して入力光による信号が相対的に大きくなるようにして、従来のＣＣＤと比較してより微弱な光を検出することを可能にし、従来と比べて、より微小な異物や欠陥を検出できるようにした。 （もっと読む）

【課題】 検査対象からの反射光もしくは回折光が検査対象のパターン密度に応じて変化する光学条件においても検出視野内でのイメージセンサの感度を均一にする。
【解決手段】 検査対象からの反射光もしくは回折光成分の分布を変更可能な複数の光学条件を任意に選択可能で、かつ、一次元もしくは二次元の光電変換イメージセンサを有し、検査対象を搭載したステージを走査するかもしくはイメージセンサを走査することにより光学的に画像を取得し、画像処理等により検査対象の欠陥等を検査する検査装置において、光学条件（照明光学系、検出光学系、走査方向等）毎に検査対象試料を撮像して取得したイメージセンサ検出視野内での光量分布とコントラストから、イメージセンサ出力補正データを生成し、イメージセンサ出力の補正を行う。 （もっと読む）

【課題】 欠陥の位置に関係なく安定した高精度の欠陥検査を行うことができる透光性シート状物の欠陥の検査装置を提供する。
【解決手段】 一対の主表面を有する透光性シート状物を保持するシート状物保持部と、シート状物の一方の端面から照明光を主表面に対して傾いた角度で入射させる光源と、前記シート状物の主表面の少なくとも一方から出射する光を受光する受光部と、前記受光部によりシート状物の検査範囲が全て走査されるようにシート状物と受光部との相対的な位置関係を変更する移動装置と、シート状物の光入射端面と検査位置との距離を算出する距離算出手段と、その距離に応じて各検査位置に対応する閾値を調整する閾値調整手段と、前記閾値に基づいて受光部の各受光素子からの出力を二値化処理することにより、前記シート状物中の欠陥を光学的に検出する信号処理部とを有する透光性シート状物の欠陥検査装置。 （もっと読む）

【課題】 画像を動的に最適化するためのイメージング・システムを提供する。
【解決手段】 本イメージング・システム（１０）は、放射線源（１２）と、シンチレータ組立体（２４）への放射線入射に基づいて画像信号を発生するように構成された検出器組立体（１４）とを含む。発生した画像信号の少なくとも１つ又はそれ以上の特性は、検出器組立体への放射線入射により決定される。画像信号の１つ又はそれ以上の特性はまた、１つ又はそれ以上の検出器動作パラメータ（４０）により決定することができる。イメージング・システム（１０）はまた、生成した画像信号（５０）に基づいて１つ又はそれ以上の検出器動作パラメータ（４０）を調整するように構成された検出器調整回路（３４）を含む。 （もっと読む）

【課題】様々な光学濃度における電気泳動表示装置用前面板をデジタル画像情報として高速に入力し、その入力画像を元に各光学濃度における電気泳動表示装置用前面板の粒状度を短時間で評価する粒状度評価装置を提供することを目的とする。
【解決手段】電気泳動表示装置用前面板の、ざらつきの程度を客観的に測定した数値で評価する物理評価と補正係数を結合させて、任意の中間調を表示した電気泳動表示装置用前面板のざらつきとして感じる粒状度を求める電気泳動表示装置用前面板の粒状度評価装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】製品や物品などの試料が多種にわたって不規則に入り混じって流れてくるような場合においても、合否判定を容易に且つ確実・迅速に行うこと。
【課題を解決するための手段】試料の光学特性値を測定する測色計５、試料に個別に取り付けられた識別票ＳＢの属性識別情報を読みバーコードリーダ４、試料に関する光学特性管理情報を各試料の属性識別情報と対応付けて記憶する記憶部２２、制御部２１を備え、制御部２１は、試料から読み取った属性識別情報に対応する光学特性管理情報を記憶部２２から読み出し、それと当該試料について測定した光学特性値とを比較し、それらが許容される範囲内であるか否かを判定してその判定結果を出力するように制御する。 （もっと読む）

【課題】 数種類の透過率を有し、かつ各々の種類の透過率において寸法の異なるパターンを有するテストマスクにより半透明欠陥に対する欠陥検査装置の検出感度調整することを目的とする。前記テストマスクの製造方法とテストマスクを用いた欠陥検査装置の検出感度調整方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 テストマスクは、数種類の透過率を有し、かつ各々の種類の透過率において寸法の異なるパターンを有するようにしたものであり、テストマスクの製造方法は、ガラス基板上の遮光膜のパターン形成を行う工程と、パターンの遮光膜の膜厚を変える工程と、を備え、前記遮光膜の膜厚を変える工程を繰り返し、テストマスクを作製する。テストマスクをウェハーへ転写し、各種欠陥の保証欠陥寸法と決定し、欠陥検査装置にて、テストマスクにより半透明欠陥に対する欠陥検査装置の検出感度調整する。 （もっと読む）

【課題】 鋼板の疵でない部分を疵と認定することを防止して、鋼板表面の画像の輝度を均一にする方法を提供すること。
【解決手段】 鋼板表面に照射した照明光の反射光をラインセンサーカメラにて撮像し、これに基づいて鋼板表面の画像を構成し、当該鋼板表面の画像を処理して疵検出をするにあたり、ラインセンサーカメラが時々刻々捉える線画像の対応する画素ごとに輝度の線画像の加算平均処理を実施して得られる画像輝度情報をつくり、対応する画素ごとに当該画像輝度で基準輝度値を割った値をラインセンサーカメラが時々刻々捉える線画像の対応する画素ごとに乗じた線画像情報を用いて鋼板表面の画像を構成する方法であって、対象鋼板の切り替え時においては、前記加算平均処理における加算回数を少なくし、鋼板中央部分においては、前記加算平均処理における加算回数を多くする。 （もっと読む）

【課題】 固定パラメータによらないで、機器や部品の諸特性の経時的変動に追従してホワイトバランスパラメータをリアルタイムで調整する欠陥検査装置を得る。
【解決手段】 検査対象に隣接して基準板１１を設け、この基準板の白領域と黒領域を検査対象の撮像と同時に撮像し、基準板の画像データをＲＧＢ毎に抽出して、基準板画像入力部１２を介してホワイトバランスパラメータ算出処理部１３にてホワイトバランス補正データを生成し、ＲＧＢ濃度変換部にて各色信号のホワイトバランスを調整する。 （もっと読む）