【課題】 比較的大きな塗膜形成ムラを簡単に早く検出することが出来る塗膜形成ムラ検査装置を提供する。
【解決手段】 塗膜形成ムラ検出装置１００は、表面に膜を塗布した基板Ｗを保持し回転する回転テーブル５と、基板Ｗに光を照射する光照射手段２と、光照射手段２による基板Ｗ表面からの正反射光を受光し、撮像画像の信号出力する光電変換手段４と、を備える。そして、基板Ｗの回転中心を含んで回転中心から半径方向の一走査分の電気信号の同一の距離の一週分の検出値を加算して複数の同心円加算値を求め、複数の同心円加算値から変化点を判断する。したがって、全基板Ｗ上においてムラ領域を簡単に判断することができ、処理効率の良い塗布ムラの検出が可能になる効果を奏する。 （もっと読む）

【課題】 記録装置における画像劣化を好適に検出する。
【解決手段】 撮像部301は、所定の速度で移動する媒体205上に形成された画像を所定の露光パターンによって撮像する。補正パラメータ算出部304は、媒体205の移動速度および露光パターンから補正パラメータを算出する。画像補正部305は、撮像によって得た撮像画像を補正パラメータによって補正する。検出部307は、画像のデータと補正した撮像画像のデータから画像劣化を検出する。 （もっと読む）

【課題】篩の編み目、コンクリート、地質、アスファルトの表面状態の品質を分析・評価することができる品質検査方法および品質検査装置に関する。
【解決手段】編み目または表面に微細開孔を有する被測定部材４４が予め決められた大きさのものであるか否かをパーソナルコンピュータ４１に予め記憶されたデータと比較することによって品質を判断することができる。デジタルカメラ４２は被測定部材４４を撮影し、微細開孔の大きさ、分布等により品質を分析することができる。デジタルカメラ４２は、被測定部材４４をデジタルカメラによって撮影し、画像データとしてパーソナルコンピュータ４１に読み込み込まれる。パーソナルコンピュータ４１はデジタルカメラ４２によって予め読み込まれている基準スケールの画像データに被測定部材４４の画像データを重ね１ピクセル毎に比較される。 （もっと読む）

【課題】
フィルム上の突起、窪み、折れなどの平面異常による不良を高速に検査するにあたり、反射率や透過率から検査する方式の表面検査装置では平面異常だけを選択的に検出することは非常に困難であった。またレーザ光を使った凹凸測定による検出方法では検査範囲がレンズの大きさにより制限されていた。
【解決手段】
光源より出射された光を、前記平面に対してライン状に走査する光走査手段と、該走査光による該平面および平面異常部からの透過光または反射光を受光する拡散板と、拡散板に投影された光点を結像レンズを介して受光する反射光位置検知手段と、該検知手段からの検知信号により該平面異常部の角度を算出して平面異常の検査を行う角度検査測定部と、を有する光走査式平面検査装置とした。 （もっと読む）

【課題】ＴＤＩセンサ等のセンサのラインレート以上のスキャン速度で検査した場合、ＴＤＩセンサのラインレートとスキャン速度が非同期となり画像がボケてしまうため、ＴＤＩセンサのラインレート以上のスキャン速度では使えないという課題についての配慮がされていなかった。
【解決手段】ＴＤＩセンサのラインレートとステージスキャン速度を非同期で制御し、且つＴＤＩセンサの電荷蓄積による画像加算ずれの課題を解決するため、被検査物に細線照明を照射し、ＴＤＩセンサの任意の画素ラインのみに被検査物の散乱光を受光させる。また、ＴＤＩセンサのラインレートとステージスキャン速度の速度比によって、検出画素サイズの縦横比を制御する。 （もっと読む）

【課題】欠陥が暗部に存在する場合であっても、欠陥を精度よく確実に検出することが可能な外観検査方法及び外観検査装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る外観検査方法は、検査対象物２２を撮像して撮像画像Ｐ１を取得する工程と、処理領域Ａ２を第１〜第Ｋの区画に区分し、第ｋの区画に含まれる各画素の輝度値の平均値である第ｋの平均輝度値ＭＢｋを算出する工程と、記第１〜第Ｋの平均輝度値のうち最も大きい値を最高値ＭＢｍａｘとして選択する工程と、第ｋの区画に含まれる各画素の輝度値を、下記の式（１）
Ｉｋ（ｘ，ｙ）×ＭＢｍａｘ／ＭＢｋ・・・（１）
によって得られた値でそれぞれ置換して、置換画像Ｐｒを生成する工程と、置換画像Ｐｒに対して基準となる基準画像Ｐ２を生成する工程と、基準画像Ｐ２を用いて、撮像画像Ｐ１をシェーディング補正する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】金属帯の表面に発生する疵に対する、金属帯の両面からの情報に基づいた検査精度を、更に向上させることができる表面欠陥検査装置及び表面欠陥検査方法を提供すること。
【解決手段】搬送される金属帯Ｆ表面の疵を検査する表面欠陥検査装置１０を提供する。この表面欠陥検査装置１０は、金属帯Ｆの第１面及び第２面を撮像する第１撮像部１０１及び第２撮像部２０１と、撮像した第１画像又は第２画像に基づいて、第１面側又は第２面側の疵候補の位置情報を含む特徴情報を抽出する第１抽出部１０３及び第２抽出部と、第１及び第２面側の疵候補の位置情報に基づいて、第１及び第２面側いずれか一側の疵候補に対して最近接の他側の疵候補を特定して対応付ける最近接特定部１３１と、対応づけられた両側の疵候補の特徴情報に基づいて、一側の疵候補の種類及び程度の少なくとも一方を判定する一側判定部１３２と、を有する。 （もっと読む）

【課題】被検査体の個々の領域に対しノイズの大きさに応じて領域毎に異なる閾値を設定することで表面状態の変化に対応でき検出感度向上を図ることにある。
【解決手段】領域毎に検査閾値を設定する機能を搭載し且つ、空間的に独立した複数の検出器毎に検査閾値を設定する機能を搭載する。被検査体からのノイズの大きさは同じ領域でも空間的な方向によって異なる。よって、検出器毎，被検査体の領域毎に被検査体からのノイズの大きさに応じて最適な信号演算処理による検出信号ＳＮ比の最大化と最適な閾値設定を行うことで、検出感度の最大化を図る。 （もっと読む）

【課題】検出感度の校正を容易に行うことができる表面検査装置及びその校正方法を提供する。
【解決手段】照明光学系２により標準異物ウエハ１１０の表面に照明光を照射しつつ、その照射光により標準異物ウエハ１１０の表面を走査し、検出光学系３の検出器３１〜３４により標準異物ウエハ１１０の表面からの散乱光を検出し、その散乱光の検出結果と予め定めた基準値とを用いて検出器３１〜３４の光電子増倍管３３１〜３３４の検出感度を補正するための補正パラメータＣｏｍｐを算出し、その補正パラメータＣｏｍｐを経時劣化パラメータＰ、光学的特性パラメータＯｐｔ、及びセンサ特性パラメータＬｒに分離して管理する。 （もっと読む）

【課題】 固形製剤の印字検査を正確に行うことができる固形製剤の印字検査方法を提供する。
【解決手段】 固形製剤の印字を検査する方法であって、固形製剤に照射する照明手段の設定発光量を取得する発光設定ステップを備え、前記照明手段は、発光波長が異なる複数の単色光源を備え、前記各単色光源は発光量を個別に設定可能とされており、前記発光設定ステップは、前記各単色光源の発光量を仮決めした後、画像データの印字色と背景色とのコントラストが最大となるように、発光量を個別に調整して前記設定発光量を決定する。 （もっと読む）

主支持部材（２１８）であって、第１の端部と第２の端部とを有するベース部材（２２２）と、近位端部と遠位端部（２３４）とを有する第１の部材（２２８）であって、近位端部が、ベース部材（２２２）の第１の端部の第１の端部と接続され、第１の部材が、光源（２０６）を支持するように適合される、第１の部材（２２８）と、近位端部と遠位端部とを有する第２の部材であって、近位端部が、ベース部材の第２の端部と接続され、第２の部材の遠位端部が、カメラ（２０４）を支持するように適合される、第２の部材と、を含む、主支持部材（２１８）と、第１の端部（２９０）と第２の端部（２８６）とを有する位置合わせ（augment）部材（２４０）であって、第１の端部（２９０）が、第１の部材の遠位端部（２３４）と解放可能に接続可能であり、第２の端部（２８６）がベース部材（２２２９と解放可能に接続可能である、位置合わせ部材と、を含み、位置合わせ部材（２４０）が、第１の部材（２２８）と平行な少なくとも１つのスロットを含む、撮像装置を支持するための装置（２０２）。
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【課題】少ない学習用のサンプルで人の判断に近い判定基準を定めることを可能とした官能検査装置及び方法を提供すること。
【解決手段】擬似サンプル特徴量生成部１０と、擬似サンプル表示部８と、判定入力部９を備え、良品と不良品の境界付近の擬似サンプル重点的に発生させ、それを検査員が判定し、その結果をパターン認識で学習することにより、パターン認識で有効なサンプルを効率よく取得することができるので、少ないサンプルで人に近い判定が可能な官能検査となる。 （もっと読む）

【課題】 ウェーハを検査するための方法。
【解決手段】 この方法は、基準画像を作り出すためのトレーニングプロセスを備える。トレーニングプロセスは、未知の品質の第１のウェーハの複数の画像を収集するステップを含み、第１のウェーハの複数の画像の各々が所定のコントラスト照明で収集され、および第１のウェーハの複数の画像の各々が複数の画素を備える。トレーニングプロセスはさらに、第１のウェーハの複数の画像の各々の複数の画素の各々に対する複数の基準強度を決定するステップと、第１のウェーハの複数の画像の各々の複数の画素の各々の複数の基準強度に対する複数の統計的パラメータを算出するステップと、算出された複数の統計的パラメータに基づいて第１のウェーハの複数の画像から複数の基準画像を選ぶステップとを含む。ウェーハを検査するためのこの方法は、第２のウェーハの画像を収集するステップであって、第２のウェーハが未知の品質であるステップと、複数の基準画像から第１の基準画像を選ぶステップと、第２のウェーハ上の欠陥の存在およびタイプの少なくとも１つをそれによって決定するために第１の基準画像と第２のウェーハの収集画像を比較するステップとを更に含む。
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【課題】紡績準備において繊維のベールから取り出される（開繊される）例えばコットンの繊維フロックの中からポリプロピレンバンド、布、フィルム等のプラスチック材料の異物を検出することが可能な装置を提供することを目的とする。
【解決手段】少なくとも１台の検出装置（カメラ）４６と協働する偏光源４１、４２が繊維材料（繊維フロック、繊維フロック、ウェブ）に作用し、繊維材料は、明るい又は透明なプラスチック材料の薄板状異物を通過する偏光で照射され、検出装置４６は、その分解能に基づいて繊維状部分から薄板状異物を区別することができる。 （もっと読む）

本発明は、たばこの製造及び／又は包装の際に検査すべき対象（２４）（検査対象）を検査する方法であって、特に、たばこパッケージ又はたばこパッケージのブランク上の、又はこれらに対する印刷及び／又は印刷用紙を検査する方法であり、少なくとも一つの検査対象（２４）が、適当な光センサー（３１）、特にカメラのような光電子検査機器によって、光学的検査を行われる方法と装置に関する。検査対象（２４）及び／又は検査対象背景（１１）は、波長変更可能な照明装置（３４）の光を照射され、その際、検査対象（２４）と検査対象背景（１１）の間のコントラストを改善するために、照射装置（３４）から発せられる光の波長は、好ましくは自動的に調整され、より好ましくはこれが、生産されるべきパッケージタイプ（１０）及び／又は検査対象（２４）の少なくとも一つの特徴及び／又は検査対象背景（１１）の少なくとも一つの特徴に応じて行われる。
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【課題】パターンの異なるウェハに対して自動学習機能を備えたウェハパターン検査方法及び装置を提供する。
【解決手段】ウェハパターン検査方法及び装置は、検査対象であるウェハのパターン又はチップの検査画像を入力し、入力した検査画像と予め記憶されたリファレンス画像とを比較し、比較画像の相違量よりパターン又はチップの良否を判定する段階を備える。検査中に良品率が所定の閾値以下に低下した場合、ずれたパターン又はチップの画像をリファレンス画像として学習処理を再度行う。そして学習処理でパターンを学習した後に均一なパターンを探し、均一なパターン部分であれば、パターン検査以外のピッチ検査などの検査でウェハの検査を行うか、あるいは均一パターン部分でパターン検査とピッチ検査を同時に行ない、パターン検査の感度を決定し、決定した感度でウェハ全面のパターン又はチップを検査する。 （もっと読む）

【課題】カメラ受光感度の機種差及び個体差等によらず、カラーで構成された印刷物を高精度に検査するのに好適な撮像方法を提供すると共に、リアルタイムに高い信頼性の下で検査を行なうことが可能な検査装置を提供するする。
【解決手段】印刷物表面に白色光を照射する第１の照明段階と、印刷物表面に少なくとも１種類以上の所定の波長域の光を照射する第２の照明段階と、印刷物裏面に白色光を照射する第３の照明段階と、印刷物を、搬送と同期を取るかまたは所定時間間隔で、印刷物表面を撮像する撮像段階と、撮像段階にて得られた印刷物の表面の画像データを用いて、印刷物に存在する欠陥を判定する画像処理・欠陥判定段階とを有する印刷物の検査方法および検査装置を提供する。 （もっと読む）

本発明は、基板（２）の透明な、または鏡のような表面を分析するための分析装置（１）に関し、前記装置は、測定されるべき基板表面に対向して位置決めされるラスタ（１０）と、測定される基板によって変形されるラスタの少なくとも１つの画像を取得するためのビデオカメラ（３）と、ラスタの照明システム（４）と、ビデオカメラ（３）へ接続される画像処理およびデジタル分析手段（５）とを備える。本発明によれば、ビデオカメラ（３）はマトリクスアレイカメラであり、ラスタ（１０）は、矩形形状を有しかつ基板の第１の方向に沿って、かつ基板の最小の広がりに沿って延びる第１のパターン（１０ａ）を有することにおいて二方向性である基板（１１）上に設けられ、第１のパターンは最小の広がりに対して横断方向に周期的であり、かつ第２のパターン（１０ｂ）は第１のパターンに垂直な第２の方向に、かつ基板の最大の広がりに沿って延びる。
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【課題】コストを上げることなく、撮像素子のダイナミックレンジ内で、計測光の偏光計測を行うことができ、偏光計測の精度を高めることができる感度調整方法を実現する。
【解決手段】本発明の感度調整方法は、バイアス光として、無偏光をカメラへ照射するバイアス光照射工程と、計測光を、特定の偏光成分に限定して、撮像素子へ入射させる偏光成分限定工程と、特定の偏光成分の強度の計測値と、撮像素子のダイナミックレンジにおける上限閾値または下限閾値とを比較し、この比較結果に基づいて、計測値がダイナミックレンジ内になるように、既知の偏光または上記バイアス光の光量を調整する光量調整工程（Ｓ００３〜Ｓ００６）とを含むので、撮像素子のダイナミックレンジ内で、計測光の偏光計測を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】撮像画像に基づいて算出された評価値を利用しながらも、安定した校正が可能な評価装置を実現する。
【解決手段】
撮像装置１１０は、所定のパタンで配置された複数の撮像位置から特定評価対象物２００を撮像する撮像動作を、撮像位置全体をシフトしながら繰り返す。制御装置１２０は、複数組の撮像画像群の各々から高解像度画像を生成し、生成した高解像度画像の各々に基づいて評価値を算出する。そして、算出した評価値群と基準評価値群とを比較して、校正のために評価値乗じる係数を設定する。 （もっと読む）