【課題】噴射装置から噴射される流体の噴射方向を精度良く測定することができる噴霧測定方法及び噴霧測定装置を提供する。
【解決手段】制御装置１０は、実空間上で噴口３２から燃料を噴射した際に面状光２０上に形成される噴霧断面画像４０を取得し、噴霧断面画像４０上で抽出した噴霧断面像４０ａに対応する重心算出領域Ｄを可変設定するとともに、可変設定された重心算出領域Ｄ内の各画素の輝度を重みとして当該重心算出領域Ｄの重心位置Ｐｇを算出し、重心算出領域Ｄの重心位置Ｐｇと中心位置Ｐｃとが設定誤差範囲内で一致するときノズル３１から重心位置Ｐｇに向かう方向を噴霧方向として特定する。これにより、インジェクタ３０から噴射される燃料の噴射方向を精度良く測定することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、カラーＬＣＤパネル等の複数の色の絵素を備える表示パネルに表示された画像をカメラで撮像し、表示パネルの欠陥を検出する技術に関し、欠陥が複数の色の絵素を含む場合においても、含まれる色の割合に応じて適切な基準で判断することができる欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】
表示パネルを撮像し、画像データとして取得する撮像部と、前記画像データから欠陥部位候補を抽出する欠陥部位検出部と、前記欠陥部位候補についての対象物である絵素の色を特定する色特定部と、前記色によって異なる補正係数を前記コントラスト値に乗じて欠陥度を算出し、前記欠陥度が判定値より大きい場合に欠陥と判定する良否判定部とを備える欠陥検出装置において、前記良否判定部は、１つの欠陥部位候補が複数種類の色の絵素を含んでいる場合に、前記色毎のコントラスト値に前記色によって異なる補正係数を乗じた後に合計し欠陥度を算出する。 （もっと読む）

【課題】ピンホール検出器に被検出体が存在している様態で、短時間で精度の良い検出感度の校正が可能なピンホール検出器を提供することを目的としている。
【解決手段】走行する被検出板１００ピンホール検出器であって、検出部１は、被検出板の幅方向に並置され、ピンホールの通過光を検出する複数の光電変換ユニット１１と、予め設定された径の校正ピンホールが存在する校正サンプルを固定し、校正ピンホールを通過させる所定のパルス光を発光する校正光源部１２ｃと、校正光源部を被検出板の幅方向に移動させ、予め設定された位置に停止させる校正光源駆動部１２ａとを備える校正サンプル設定部１２とを備え、校正光源部を幅方向に移動し予め設定された複数の校正位置で停止させ、パルス光を発光させ、複数の光電変換ユニットの幅方向の検出感度の校正を行う。 （もっと読む）

【課題】欠陥検出の精度を高めるとともに、生産性の低下を防止する。
【解決手段】受光ユニット１３を、ウェブ１１を正透過したレーザ光２４を遮光するマスク３７と、レーザ光２４の照射範囲内でウェブ１１の両側方に位置する標準板３９Ｌ，３９Ｒと、ウェブ１１や標準板３９Ｌ，３９Ｒを通った光を受光する受光器３０とで構成する。標準板３９Ｌ，３９Ｒに、レーザ光２４の走査線Ｌに対するマスク３７の中心線のずれに応じて走査線Ｌ上での幅が変化する形状のスリット穴４２，４３を形成する。スリット穴４２，４３を通過したレーザ光２４を受光器３０で検出した結果に基づき、走査線Ｌに対するマスクの中心線のずれが補正されるように、受光ユニット１３の姿勢を調整する。これにより、マスク３７の幅を極力細くして欠陥検出の精度を高めることができ、さらに、表面検査と並行してずれ補正を実施できるので生産性の低下が防止される。 （もっと読む）

【課題】対象物が有する視覚的なむらに影響を及ぼしている周期成分を知ることのできる、むらの視認性判定技術を提供する。
【解決手段】判定装置１００は、画像入力部１０、記憶部２０および判定部５０を少なくとも備えている。画像入力部１０は、対象物の画像データＩＭＧの入力を受け付ける。記憶部２０は、周期的なむらに対する人の視認感度を表す感度データ２２を記憶する。判定部５０は、入力された画像データＩＭＧと感度データ２２とに基づいて、対象物が有するむらにおける、人が視認可能なむらの周期成分を判定する。これにより、画像データＩＭＧに含まれる視覚的なむらのうち、どの周期成分が視認性に影響を及ぼしているかを知得することができる。 （もっと読む）

【課題】計測した光学検出器の光電子増倍係数を基に計算した補正印加電圧を用いて光学検出器を駆動して補正値を検査することにより、基準となる試料を必要とすること無く、光学検出器の出力値を補正することが可能な表面検査装置を実現する。
【解決手段】表面検査装置において、個々の光学検出器８ａ〜８ｃの光電子増倍係数を計測し、計測した光電子増倍係数を基に制御部１１が補正印加電圧を計算する。表面検査装置に組み込まれた検出器８ａ〜８ｃのそれぞれについて、計算した補正印加電圧を用いて光学検出器８ａ〜８ｃを駆動して補正値を検査する。これにより、基準となる試料を必要とすること無く、光学検出器の出力値を補正することが可能な表面検査装置を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】
単一の統合条件においては複数の欠陥種を同時に検出することは困難であり、また、多次元の特徴量として扱って複数の欠陥を検出すると、信号処理にかかる計算コストが検出器の増加とともに増大するという問題が発生する。
【解決手段】
被検査対象物に照明光を照射する照明光学部と、前記照明光学部により照射され該被検査対象物から該被検査対象物の表面に対してそれぞれ異なる方位角方向および仰角方向に散乱する散乱光をそれぞれ検出する複数の検出器を備えた検出光学部と、前記複数の検出器により検出した該被検査対象物からの散乱光に基づく複数の信号のそれぞれについて、ゲイン調整および閾値判別に基づく欠陥判別を並列に行い、前記ゲイン調整および欠陥判別された結果に基づき欠陥を抽出する信号処理部と、を有する欠陥検査装置である。 （もっと読む）

【課題】メタリック塗膜の色ムラを目視評価と相関の高い定量値として得ることができるメタリック塗膜の色ムラ評価装置を提供する。
【解決手段】メタリック塗膜１０の色ムラ評価装置１００は、メタリック塗膜１０の色ムラを評価する装置であって、載置部１０１と、測定部１１０とを備える。載置部１０１は、メタリック塗膜１０を載置するための載置面１０２を有する。測定部１１０は、メタリック塗膜１０上の測定点に光を入射し、測定点から反射する光を測定する。測定部１１０では、複数の測定点に対して、入射光軸と受光光軸とを含む測定面が２以上存在するように、２以上の光軸の光を異なったタイミングで入射する。載置部１０２は、測定部１１０に対して相対的に移動可能である。 （もっと読む）

【課題】 マルチフォーカス検査装置及びマルチフォーカス検査方法に関し、１回のスキャンで高速且つ高精度の全面外観検査を可能にする。
【解決手段】 測定対象物を撮像する測定ヘッドと、前記測定対象物と前記測定ヘッドを平面内において互いに相対的に移動させる移動機構と、前記測定対象物に光を照射する光源とを備え、前記測定ヘッドは、前記測定対象物に対向して配置された撮像レンズと、前記撮像レンズの合焦面が、前記測定対象物の移動方向に対して直交する平面内或いは前記直交する平面から±４５°の範囲内で前記測定対象物の移動方向に傾斜させた平面内に存在するように調整する光学部材と、前記光学部材からの光の結像位置に焦点面が位置するよう配置したイメージセンサとを少なくとも有する。 （もっと読む）

画像取り込み装置がウェブ材料から画像データを取り込む技法について記載する。画像データは、画像取り込み装置のウェブ横断視界に対するピクセル値を含む。解析用コンピュータは、画像取り込み装置のウェブ横断背景信号を一般的に望ましい値に正規化するための複数の異なる正規化アルゴリズムのパラメーターを格納する、コンピュータ読み取り可能な媒体を含む。コンピュータ読み取り可能な媒体は、複数の正規化アルゴリズムのそれぞれに対する重み付けを指定する係数を更に格納する。解析用コンピュータは、格納されたパラメーターを使用して少なくとも２つのピクセル正規化アルゴリズムの適用から得た結果の加重和として画像データの各ピクセルの正規化値を計算する。
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【課題】紡糸口金の検査に要する人手や時間を軽減し、簡便に紡糸口金を検査することが可能な紡糸口金の検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】光源部２と、光源からの光を投影レンズ７に導く集光レンズ３と、集光レンズ３を経た光を投影する投影レンズ７を具備するプロジェクタにおいて、光源からの光を通す開口部を有し、かつ集光レンズ３に隣接して光源からの光を遮光する紙または板４を備え、集光レンズ３から投影レンズ７の間に存在し、外部からの光を遮光する筒体６を備えた検査装置にて紡糸口金を検査する。 （もっと読む）

【課題】海苔のように表面が粗く湿気を含むようなシート状物の枚数を精度よく測定するに適したシート状物の枚数検査装置の提供。
【解決手段】マイクロ波発振器２からの電磁波を方向性結合器３で照射波と参照波に分配し、中間周波数発振器８からの局部波をパワーデバイダ９で第１局部波、第２局部波に分配し、アップコンバータ４で照射波と第１局部波とを合波し変調照射波を生成し、これをシート状物Ｓの一側面に入射する。シート状物Ｓを通過した透過波をミクサ１０で参照波を合波し２次合成波を生成する。２次合成波と第２局部波をミクサ１４，１５で合波し、差周波数の３次合成波を生成する。位相遅延検出手段（１６，１７）は３次合成波の電圧値／電流値をＡＤ変換し位相遅延量を検出する。重畳枚数判定手段１７が、位相遅延量に基づきシート状物の重畳枚数を判定する。 （もっと読む）

【課題】塗布膜のスジムラ検査にて品種に対応したＮＤフィルタを自動で選択し、検査能力を低減させずにスジムラ検査を行う塗布膜の検査方法、検査装置を提供する。
【解決手段】塗布膜の光学濃度に対応して照射する検査光の輝度を撮像カメラ１４の入射輝度の範囲に調整するＮＤフィルタ１７を設定する際に、予め、光学濃度を測定しておき、該光学濃度にもとずき複数種のＮＤフィルタから自動で選択し設定する。検査装置はスジムラ検査機３０と膜厚監査計２０で構成され、膜厚監査計は予め測定した光学濃度をスジムラ検査機に伝送し、スジムラ検査機は、検査光の輝度を調整するＮＤフィルタを設定する際、伝送された光学濃度にもとずき複数種のＮＤフィルタから自動で選択し設定。 （もっと読む）

【課題】測定環境が変化しても歯当たり面を精度良く識別すること。
【解決手段】 塗料４０が塗布された歯面４２をカラーで撮像するカメラ１２と、カラー画像５２から歯面４２の色特徴値５４を特定する色特徴値特定処理１６と、歯面４２の各カラー値について色特徴値５４との色差を算出することで色差データ５６を生成する色差データ生成処理１８と、色差データ５６のヒストグラム５８からしきい値６２を算出すると共に当該色差データ５６を二値化することで歯当たり面４６を識別する歯当たり面識別処理２０とを備えた。 （もっと読む）

【課題】製造ライン内に組み込まれたインライン基板検査装置の光学系の校正作業を製造ラインを停止させることなく実施できるようにする。
【解決手段】この発明は、上流ラインから下流ラインヘ基板の受け渡しを行う機能を有する検査ステージもしくは搬送コンベア等の検査エリア以外の場所に光学系の校正作業を実施するための校正作業（メンテナンス）エリアを設け、光学系の移動ストロークをこの校正作業エリアまで移動可能とし、光学系の校正作業を検査エリア外で実施可能とした。校正作業エリアでは、実際の基板の移動と同じ状態で移動する標準粒子付基板を用いて検査することによって光学系の校正作業を正確に行なうようにした。標準粒子付基板の高さを検査エリア内の基板の高さに合わせるようにして、校正作業を正確に行なえるようにした。 （もっと読む）

【課題】欠陥座標精度を向上し、検出欠陥座標誤差を低減可能な光学式欠陥検査装置を実現する。
【解決手段】標準試料に作り込み欠陥が形成され異物欠陥判定機構１１により、欠陥が判定されてデータ処理部１２に欠陥データが供給される。データ処理部１１は、標準試料の作り込み欠陥と検出欠陥との座標ずれ量を算出し、感度（装置感度（輝度、明るさ等））の確認を行い、ハードによる補正の実行に進む、座標ずれが一定値未満であれば、ソフトによる補正を実行する。ソフト補正の場合、標準試料全体の座標補正を行い座標ずれ量を算出し確認する。座標ずれ量が許容外であれば標準試料の分割した領域毎に座標補正を行う。 （もっと読む）

光学検査システム及び方法が提供される。加工対象物輸送機構が加工対象物（１２）をノンストップで移動させる。照明装置（４０）が、ライトパイプを含み、第一及び第二のストロボ照明野タイプを提供するように構成されている。第一（３）及び第二（５）のカメラ（２）アレイが、加工対象物（１２）の立体画像化を提供するために配設されている。第一のカメラアレイ（３）は、第一の照明野を用いて加工対象物（１２）の第一の複数の画像を生成し、第二の照明野を用いて加工対象物（１２）の第二の複数の画像を生成するように構成されている。第二のカメラアレイ（５）は、第一の照明野を用いて加工対象物（１２）の第三の複数の画像を生成し、第二の照明野を用いて加工対象物（１２）の第四の複数の画像を生成するように構成されている。処理装置が、第一、第二、第三及び第四の複数の画像の少なくともいくつかを記憶し、他の装置に提供する。
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【課題】感度個体差のある複数の光電子増倍管の感度調整を、Ｓ／Ｎ比を悪化させることなく行う。
【解決手段】予め光電子増倍管にある一定の光を照射して、印加電圧に対する信号量を記憶部２１０に記憶させ、これを基に、光電子増倍管の増幅率を印加電圧と増幅器の増幅率で信号量を調整し、感度や印加電圧特性の異なる複数の光電子増倍管の信号強度をＳ／Ｎ比を悪化させることなく、感度補正を行う。さらに、経時変化や検出器交換時の調整時間短縮にも対応できるように適切な感度補正パラメータを設定する。 （もっと読む）

【課題】判定サイズの再設定作業を行うこと無く、判定サイズの設定を自動的に行うことが可能な欠陥検査装置における判定条件設定方法及び欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】フラットパネル表示装置に用いられるカラーフィルタの欠陥を検出するための判定条件設定方法であって、カラーフィルタ基板に設けられた判定サイズ調整パターンを撮像部で撮像し、撮像された判定サイズ調整パターンを二値化し、判定サイズ調整パターンの実サイズと、二値化された調整パターンの撮像部のピクセル数との間の散布図による近似直線より、判定サイズの設定を行うことを特徴とする判定条件設定方法。 （もっと読む）

【課題】
多様な欠陥種の高感度検出と高感度化に伴い増加するノイズやNuisance欠陥の抑制が必要である。
【解決手段】
被検査対象物を所定の光学条件で照射する照明光学系と、前記照明光学系により照射された前記被検査対象物からの散乱光を所定の検出条件で検出して画像データを取得する検出光学系と、異なる条件で前記検出光学系により取得された複数の画像データについてそれぞれ欠陥候補を検出する欠陥候補検出部と、前記複数の画像データについての欠陥候補を統合処理して欠陥判定を行う検査後処理部と、を備えた画像処理部と、を有する欠陥検査装置である。 （もっと読む）