【課題】光学補償フィルム等の僅かな厚みムラや塗工ムラを検出できるようにする。
【解決手段】連続的に搬送される検査対象フィルム７の下側の面に光源部１５を配してあり、検査対象フィルム７に光を照射する。検査対象フィルム７からの透過光を受光する受光器１６は、検査対象フィルム７を俯瞰するように配置されており、その光軸Ｐとフィルム７に垂直な基準線（法線）Ｌｎと交差角度θ１が与えられ、基準線Ｌｎを回転中心として液晶層の遅相軸Ｌｍを基準に回転角度θ２だけ回転してある。撮影レンズ１６ａと、検査対象フィルム７との間に凸レンズ２１を配してあり、撮影レンズ１６ａとともにテレセントリック光学系を構成する。 （もっと読む）

【課題】画像検査機における照明装置の劣化や故障を安価に且つ確実に検査することが可能な検査方法を提供する。
【解決手段】照明装置１０と、カメラ２０と、コンピュータ３０とを有する画像検査機１において照明装置１０の検査を行う方法であって、照明装置１０の照明照度を検査するための照明照度検査工程（Ｓ１）と、照明装置１０の照明色を検査するための照明色検査工程（Ｓ２）とを備えている。照明照度検査工程（Ｓ１）と照明色検査工程（Ｓ２）とを任意のタイミングで実施することにより、照明装置１０の劣化等による照明照度及び照明色の変化に起因した画像検査機１における被検査対象物の誤検査を防止して、検査品質の信頼性を向上させることができる。 （もっと読む）

【解決手段】本発明は、試料の検査に用いられる検査システムの検出範囲を拡張する検査システムと方法に関する。一実施態様に準じ、検査システムは、散乱光を受け取り、出力信号に変換するように結合された複数のステージを有する光検出器と、少なくとも一つのステージを飽和させることで、それによって光検出器が非線形領域で作動するように強制し、光検出器の検出範囲（従って、検査システムの検出範囲）を拡張するように接続された電圧分割ネットワークを備え得る。このことは、光検出器が非線形的に作動することを強制する。しかしながら、測定の不正確さは、少なくとも一つのステージを意図的に飽和させることで生成され得るあらゆる非線形効果を除去するように光検出器の出力を較正することで避けられる。一例に於いて、光検出器の出力を散乱光の実際量に変換するように較正中に値表を生成可能である。 （もっと読む）

【課題】
複数の増幅器を配設してレンジ毎に切り替えて信号検出を行う検出回路において、レンジ切替えによる検出誤差を抑制し、高精度な高ダイナミックレンジ検出方法を提供する。
【解決手段】
検出部３は、基準電圧生成部１０３により基準電圧を印加した際に、複数の検出系データから補正データを算出する減算部１１５、補正データを保持するデータ保持部１１７、検出データに補正処理を行う加算部１１６、検出データと切替えデータを比較する比較部１２１、比較部出力により補正データを含む複数の検出系データを切り替えるセレクタ１２２などを有する。 （もっと読む）

【課題】監視対象物のスペクトル特性、光の偏光特性、時間変化特性に合わせて柔軟に監視画像の撮影条件を変えることで、通常のカラーカメラで観測するよりも識別能力を高めた状態監視、異常監視、異物監視、遠隔監視を行う。
【解決手段】本発明に係る構造物の監視装置１は、構造物である監視対象物３０を監視する装置である。構造物の監視装置１は、監視部２と、操作部３と、を備え、監視部２は、光源部４と、撮影部５と、監視部支持部材６と、を備え、操作部３は、撮影部コントロールユニット７と、システム制御用計算機８と、光源部ドライバ９と、表示装置１０と、入力装置１１と、を備え、光源部４は、光源４Ａを備え、撮影部５は、カメラ５Ａを備え、カメラ５Ａは、レンズ光学系５Ｂと、モノクロ撮像素子５Ｃとを備えている。 （もっと読む）

【課題】本発明は検査対象の色に拘わらずに食品に混入した細くて小さな異物の高精度な検出を容易且つ低コストで可能にした異物検査方法を提供する。
【解決手段】本発明の異物検査方法は、食品に対して水分および脂肪酸を含有する物質内に存在するＯＨ結合の高調波および結合音によって吸収ピークと裾を示す１０００ｎｍ−１５００ｎｍの波長域内の波長光を光源から照射し、前記光源から食品に対して照射された前記波長光が食品及び食品に含まれた異物から反射した反射光をハーフミラーを介して１０００ｎｍ−１５００ｎｍの波長域における複数の波長域の分光した反射光と透過した透過光とに分離させて受光し、この受光した前記波長域の反射光及び透過光に基づいて反射光画像及び透過光画像を撮影し、この撮影した前記波長域の反射光画像及び透過光画像を画像処理することによって異物を強調した画像を生成して食品に含まれた異物を検出可能とする。 （もっと読む）

【課題】被検査物品に印刷されたマークの検査において、被検査物品の下地の色に依存する検査の困難性を低コストの構成で軽減する。
【解決手段】コンベアによって搬送される飲料パックに追加印刷されているマークの印刷不良の有無を検査するにあたり、ＲＧＢのＬＥＤ２０Ｒ，２０Ｇ，２０Ｂを備えた照明ユニット２０は、飲料パックの品種毎に予め設定された照明条件に従ってＬＥＤ２０Ｒ，２０Ｇ，２０Ｂの発光強度が制御されることで、照明条件に応じた照明色の照明光を検査対象の飲料パックに照射し、モノクロＣＣＤカメラ１８は検査対象の飲料パックのうちマークが追加印刷された部分を検査用のモノクロ画像として撮像する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェーハ全体又はチップ単位での異物の検出感度を低下させることなく、虚報の発生を抑制する方法の提供。
【解決手段】レーザー装置１０は光ビームを半導体ウェーハ１の表面へ斜めに照射し、光電変換素子２０は半導体ウェーハ１の表面で発生した散乱光を受光して画像信号を出力する。処理装置１００の画像処理装置１２０は、隣接するチップ相互の画像信号を比較して、その差分を出力する。係数テーブル１３２，１３３は、座標管理装置１４０からの座標情報を入力して、座標情報に対応付けて格納されている係数を出力する。判定回路１３１は、予め定められた値に係数テーブル１３２，１３３から入力した係数を掛け算して得たしきい値を用いて、異物の判定を行う。予備検査の結果に基づいて係数を変更し、虚報が多く発生した領域の検査では予備検査時よりしきい値を大きくする。 （もっと読む）

支持層の表面の品質を測定する方法が説明される。この方法は、画像取得装置を使用して支持層の表面の一部分のデジタル画像を取得するステップと、取得されたデジタル画像の１つまたは複数の物理的特徴を測定して、支持層の表面の品質の示唆を与えるステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、物体、特にその表面形態を検査するための方法及び装置（０１，１７）に関する。
【解決手段】
装置（０１，１７）は検査対象の物体の表面部分の上に、とりわけ手によって配置される移設可能な箱体（０２）と、少なくとも３つの光源（０６）と、検査対象の物体の表面部分を基準に傾斜した入射角で伸びる光線軸と、から構成される。光源（０７）は箱体の内部に配置され、箱体（０２）にある光アパーチャ（０８）を通過し検査対象の表面部分を照らす。装置（０１，１７）はさらには検査対象の表面部分で反射した光を検出するための少なくとも１つ以上の光センサー（０９）と、光源（０６）と光センサー（０９）に接続される制御評価ユニットと、から構成される。光源（０６）は、光線軸（０７）が異なった非平行の基準面に伸びるように配置される。
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【課題】クリームはんだ印刷の低廉なコストの３次元自動検査と３次元計測を実現する。
【解決手段】斜めの撮像角度で基板を撮像する１次元カラーイメージセンサカメラと、ほぼ真上からクリームはんだ上面を照明する第１色相光光源と、撮像角度よりも浅い斜め角度でクリームはんだ側面を照明する第２色相光光源とが構成する３次元撮像幾何光学配置において、カメラのピクセル配置に直交する方向に基板を移動することによって、基板全面の３次元画像を獲得し、検体クリームはんだ印刷基板の３次元画像と基準クリームはんだ印刷基板の３次元画像との差分画像処理を行い、設定閾値を超える差分のある画素を異同画素として検出し、異同画素が検出された領域の基準基板画像と検体基板画像に関して、第１色相光反射領域と第２色相光反射領域から、クリームはんだの３次元計測値を算出する。 （もっと読む）

【課題】複数の撮像ユニットの調光を短時間で行う。
【解決手段】本発明の制御装置９は、撮像対象物Ｗを撮像するときに、第１撮像ユニット２によって撮像対象物Ｗを撮像するための照明制御値である「AS_Work」と、撮像対象物Ｗを撮像するときに、第２撮像ユニット３によって撮像対象物Ｗを撮像するための照明制御値である「LS_Work」との比が、記憶装置１０に格納されている第１撮像ユニット２によって撮像対象物Ｗを撮像したときの照明制御値である「AS_table」と、上記検査用の撮像ユニットによって撮像対象物Ｗを撮像したときの照明制御値である「AS_table」との比に等しいことから、「AS_Work」、「AS_table」、および「AS_table」に基づいて「LS_Work」を算出する検査処理部２３を備えているので、複数の撮像ユニットの調光を短時間で行うことができる。 （もっと読む）

【課題】打抜装置により打ち抜かれた後の位置で検査でき、空きスペースが確保しやすいＰＴＰシート打ち抜き後外観検査装置を提供すること。
【解決手段】包装用透明フィルムが成形されてなるポケット部に錠剤等が収容され、ポケット部を塞ぐカバーフィルムがシールされ、打抜装置により打抜かれたＰＴＰシートの中の錠剤等の外観不良を検査する装置であって、少なくとも錠剤等に対して光を照射する照明手段と、照明手段により照射された検査対象ＰＴＰシートを撮像する撮像手段と、撮像手段から出力される映像信号を処理する画像検査処理装置とを備え、照明手段は、検査対象ＰＴＰシートの長手方向とバー方向が平行である２本のバー型照明を有するものであり、かつ、錠剤等の収容された検査対象ＰＴＰシート面と照明光の照射角度が５０〜７０°の範囲内で、さらに検査対象ＰＴＰシート内の錠剤等について８００ルックス以上で照射をする構成とされてなるＰＴＰシート外観検査装置。 （もっと読む）

【課題】撮像素子の感度特性を適切に評価して入力値を高精度に算出することができる撮像手段の出力値補正方法、シェーディング補正方法、欠陥検出方法、欠陥検出プログラムおよび欠陥検出装置を提供すること。
【解決手段】欠陥検出装置は、背景画像補正工程ＳＴ３にて撮像手段の感度特性に基づいて背景画像の出力輝度値を補正することで、露光時間を長くして輝度値が極端に低い背景用画像を撮像した場合でも、その出力輝度値を入力値に近似させることができ、背景画像の補正が実行できる。そして、背景画像を撮像手段の感度特性に基づいて補正することで、背景画像と検査画像とのシェーディングカーブを精度よく合致させることができ、シェーディング補正を高精度に実行することができ、液晶パネルにおける表示欠陥の検出精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】 複数台のカメラを用いても装置が大型化せず、全てのカメラで同一の画像ずらし量を実現できる欠陥検査装置を実現する。
【解決手段】 複数のエリアに分割された検査対象の各分割エリアを、レンズ系及び所定数の画素からなるエリアセンサを備える複数台のカメラで撮像した画像情報を処理し、計算された特徴量に基づいて前記エリアの欠陥を識別する欠陥検査装置において、
前記複数台のカメラを固定配置するカメラボードと、
このカメラボードを、Ｘ，Ｙ方向の所定範囲で周期的に移動操作するアクチュエータ手段と、
を備える。 （もっと読む）

【課題】 異なる複数の撮像系において、共通の閾値設定で安定した検査ができ、各カメラでのゲイン調整を不要とした欠陥検査装置を実現する。
【解決手段】 所定の被検査エリアを有する検査対象を、複数のエリアセンサにより撮像した画像情報を処理し、前記エリア内の輝度変化から計算した特徴量に基づいて欠陥を識別する欠陥検査装置において、
前記複数のエリアセンサ間の同一欠陥に対する特徴量の差を補正する、特徴量撮像系間補正手段を前記エリアセンサ毎に備える。 （もっと読む）

【課題】適切な検査領域毎に適切な感度ランクを設定して欠陥検査を行うことができる欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】回路パターンが形成されたウェーハの欠陥検査を行う領域を複数の分割検査領域に分割する検査領域分割部２と、前記回路パターンの設計データに基づいて前記分割検査領域毎のパターン密度を算出するパターン密度算出部３と、
それぞれ複数の前記分割検査領域を有する複数の検査実行領域に前記パターン密度に基づく感度ランクを設定する検査実行領域・感度ランク設定部４，５と、前記検査実行領域の感度ランクに基づいて検査パラメータを設定し、前記検査実行領域の欠陥検査を行う欠陥検査部６と、を備える （もっと読む）

【課題】複数のカメラを用いても正確に光学特性の不均一性を検査することができる検査画像取得方法。
【解決手段】複数のカメラ(2,3)を用いて１つの検査対象物(1)のそれぞれ異なる一定の領域(4,5)を撮像する際に、重複したオーバーラップ領域(6)が撮像されるよう撮像し、撮像された一方の画像のうち前記オーバーラップ領域の中心軸である接合部から一定距離離れた位置と、撮像された他方の画像のうち前記接合部から一定の距離離れた位置のそれぞれの輝度に基づいて、補正を行うべき補正範囲を決定し、前記一方の画像において前記接合部から前記補正範囲をとるものとし、当該補正範囲は前記接合部から遠ざかる方向に段階的に前記一方の画像の輝度に近づくように補正がなされ、前記他方の画像において前記接合部から前記補正範囲をとるものとし、当該補正範囲は前記接合部から遠ざかる方向に段階的に前記他方の画像の輝度に近づくように補正がなされる。 （もっと読む）

【課題】画像処理を行う場合には、レンズの歪みであるシェーディング補正を参照面が平面を条件に達成することを必要とした。また、この用途ではカメラのレンズ設定を実際の用途に合わせることが重要であるために、画角設定を簡単に行える必要があった。
【解決手段】２次元の均一性を目的に製造された板状光源を、さらに、均一度を高める目的で箱形の筐体内で最大限の拡散状況をつくり、散乱光源に近づけることで理想に近い均一光源を発明したもので、さらに、目的に対しての画角設定を紙を含む安価な手法で対応した。 （もっと読む）

【課題】表面粗さや接合形状にばらつきがある接合部を精度よく検査可能にする。
【解決手段】照射方向及び照射光量を変化させながら接合部４ａに光を照射して接合部４ａの画像を複数撮像し、撮像された複数の画像を比較することにより接合部４ａのエッジ画像が最も明確に撮像されている画像を選別し、選別された画像を用いて接合部４ａの良否を判断する。 （もっと読む）