【課題】 例えば、製造工程等において搬送されつつあるフィルムように、移動途中の測定対象物についても精度良く膜厚を測定し得るような膜厚測定方法を提供することを一の目的とする。
【解決手段】 薄膜表面に光を照射し、該薄膜からの反射光を分光して分光スペクトルを取得し、該分光スペクトルから前記薄膜の膜厚値を算出する膜厚測定方法であって、
１）取得した前記分光スペクトルから仮の膜厚値を求めるステップと、
２）前記仮の膜厚値の近傍から選択された複数の膜厚値毎に、前記薄膜に係る屈折率の波長分散式モデルを作成するステップと、
３）前記薄膜について別途得た所定波長に対する屈折率と、前記複数の膜厚値毎に作成された前記屈折率の波長分散式モデルから求められる該所定波長に対する各屈折率とをそれぞれ比較するステップと、
４）前記３）のステップで比較した屈折率の差を評価して最終的な膜厚値を求めるステップとを有することを特徴とする膜厚測定方法による。 （もっと読む）

【課題】温度センサーを基板内に配置することなく、かつ基板内のマイクロ流路に対する照明光の高精度の位置合わせを必要としない液体温度計測装置を提供する。
【解決手段】液体温度計測装置は、内部にマイクロ流路が形成された基板６に向けて略平行光を照射するレーザー光源１及びビームエクスパンダー３を備えた照明手段を備えている。液体温度計測装置は、前記略平行光を、マイクロ流路の側壁面で偏向してからマイクロ流路内を透過した平行光である第１の平行光と、それ以外の平行光である第２の平行光とに分離する光分離プリズム７を有している。液体温度計測装置は、さらに、第１の平行光を受光する位置に配置された撮像素子８と、撮像素子８上における第１の平行光の受光位置に基づいて基板６及び前記マイクロ流路内の液体の温度を求める温度検出手段としての制御回路９とを有している。 （もっと読む）

【課題】測定条件の異なるデータを比較可能にするとともに、初心者などの経験の浅い作業者であっても、フィッティングデータの初期値の設定を極めて簡単に行う。
【解決手段】実測データと比較の対象となるリファレンスデータを格納するリファレンスデータ格納部Ｄ１と、前記実測データ又は前記リファレンスデータを、それらが比較可能となるように変換する変換演算部７３と、前記変換演算部により比較可能にされた実測データ及びリファレンスデータを比較して、一致度を判定する比較判定部７４と、を具備している。 （もっと読む）

【課題】射温度分布計測手段の計測領域内に尿流以外の物体が侵入した場合であっても、正確な尿温の測定を行うことのできる尿温測定装置を提供する。
【解決手段】被験者の排泄する尿の温度を測定する尿温測定装置において、被験者の排泄時の局部近傍に設定した所定の計測領域内の物体から放射される赤外線を受けて当該計測領域内の温度分布を計測する放射温度分布計測手段と、前記温度分布に予め用意された性状判定基準を適用することにより、前記計測領域内の温度分布状態を識別して尿流以外の物体が存在する非尿流状態を検知する排泄状態識別手段と、前記温度分布に基づいて被験者の排泄直後の尿の温度である尿温を算出する尿温算出手段と、を有し、前記尿温算出手段は、前記放射温度分布計測手段が計測した温度分布から、前記排泄状態識別手段が前記非尿流状態を検知したときの温度分布を除外して、前記尿温の算出を行うこととした。 （もっと読む）

【課題】細胞の運動状態を定量的に把握可能な手段を提供する。
【解決手段】細胞観察の画像処理プログラムは、撮像装置により撮影され観察領域内に複数の細胞を含む第１画像及び第１画像よりも所定時間前に撮像装置により撮影された前記観察領域の第２画像を取得するステップ（Ｓ４０，Ｓ４５）と、第１画像に含まれる複数の細胞から一の細胞を注目細胞として選択するステップ（Ｓ３０）と、注目細胞の周辺に位置する細胞を周辺細胞として指定するステップ（Ｓ３５）と、第１画像及び第２画像における注目細胞と周辺細胞の相対移動量に基づいて注目細胞に対する周辺細胞の運動統計量を算出するステップ（Ｓ５０）と、算出された各周辺細胞の運動統計量を外部に出力するステップ（Ｓ５５）とを備えて構成される。 （もっと読む）

【課題】シングルチャネル和周波分光法を高機能化し、赤外光と可視光の波長を可変にしたＳＦＧ分光装置及びその測定方法を提案する。
【解決手段】パルスレーザ光源と、その出力光を分岐し、分岐の一部を波長変換する波長可変の長波長励起光発生器と、他の一部を波長変換する波長可変の短波長励起光発生器と、長波長励起光を試料に照射する第１光学系と、短波長励起光を試料に照射する第２光学系と、遅延器と、試料からの光から和周波光を選択する第３光学系と、光検出器とを備える。長波長励起光発生器は、波長帯域を掃引し、短波長励起光発生器では試料ごとに出力波長を変える。第１光学系と第２光学系および遅延器は、長波長励起光と短波長励起光とを試料で空間的および時間的に重なるように照射する。第３光学系は、和周波光の光路を調整して光検出器に入射させ、選択された和周波光以外の光を抑制する。 （もっと読む）

【課題】製造工程内でフイルムの複屈折特性を正確に測定し、工程条件にフィードバックする。
【解決手段】含水率測定部８１が試料１６の含水率を、厚み測定部８２が試料１６の厚みを、第１の偏光特性測定部１１および第２の偏光特性測定部１７が試料１６の複屈折特性の測定を行う。軸／レタデーション算出手段６１は、第１の偏光特性測定部１１および第２の偏光特性測定部１７の測定結果から試料１６のレタデーションを算出する。さらに、含水率測定部８１で測定された含水率を厚み測定部８２で測定された厚み値で規格化し、あらかじめ求めておいた含水率とレタデーションの相関式を用いて、算出したレタデーションを補正する。算出したレタデーションに基づいて、工程条件にフィードバックする。 （もっと読む）

【課題】導波モード共鳴格子の構造が設計通りでない場合でも、未知試料の屈折率の絶対値を精度よく算出する。
【解決手段】屈性率が制御された複数の屈折液を用意し（Ｓ１）、それらの屈折率を精度よく測定する（Ｓ２）。各屈折液を導波モード共鳴格子に接触させ、θ−２θ光学系で測定光の入射角を変えながら反射光の強度を測定して角度スペクトルを算出し、その角度スペクトルに現れるピークの入射角を共鳴入射角とする（Ｓ３、Ｓ４）。屈折率と共鳴入射角との複数の関係が分かるので、これを用いたフィッティングを行い、これを校正曲線として記憶する（Ｓ５、Ｓ６）。未知試料を導波モード共鳴格子に接触させ、同様にして共鳴入射角を測定し（Ｓ７）、校正曲線を参照して共鳴入射角から屈折率を求める（Ｓ８）。 （もっと読む）

【課題】
油系での粉体の光活性触媒を評価でき、また疎水性粉体にも適用可能な光触媒活性の評価方法を提供すること。
【解決手段】
粉体をカロテノイド系色素溶液に分散させて粉体分散液を調製する工程と、該粉体分散液を光照射処理する工程とを含み、光照射処理によるカロテノイド系色素の褪色度合を指標とすることを特徴とする粉体の光触媒活性評価法である。 （もっと読む）

【課題】赤外反射法を用いて、ヘビードープＳｉ基板上に３Ｃ−ＳｉＣ層が形成されたウェーハについて、３Ｃ−ＳｉＣ層のフォノンスペクトルを非破壊で、かつ、高確度・高分解能で、簡便に測定することができるヘビードープＳｉ基板上の３Ｃ−ＳｉＣ層のフォノン波数の測定方法を提供する。
【解決手段】反射鏡にＰ偏光を斜め入射した際の赤外反射スペクトルと、前記Ｓｉ基板上に３Ｃ−ＳｉＣ層が形成されたウェーハ表面に、前記入射角と同一角度でＰ偏光入射した際の赤外反射スペクトルを測定し、前記反射鏡の赤外反射スペクトルに対する前記Ｓｉ基板上に３Ｃ−ＳｉＣ層が形成されたウェーハの赤外反射スペクトルの比率である反射率スペクトルを算出して、波数ベクトルｋ≒０のＴ₂フォノンのＴＯモードおよびＬＯモードの波数を求める。 （もっと読む）

【課題】計算の繰り返しをできるだけ排除して時間の無駄を排除しながら、より正確な分析結果を求めることが出来、しかも、その解を求めるための操作過程においてオペレータが使いやすい分光エリプソメータを提供する。
【解決手段】各フィッティングデータの実測データに対する一致度を選択可能に一覧表示し、選択された一致度に対応するフィッティングデータと実測データとを同一グラフ上に比較可能に表示するようにした。 （もっと読む）

【課題】作業員の負担を軽減させるとともに、製造効率と歩留まりを向上させることができ、さらに、膜質の計測を高精度で行うことができる結晶質シリコン膜の膜質計測装置、結晶質シリコン膜の膜質計測方法、及び結晶質シリコン膜の膜質評価方法を提供する。
【解決手段】結晶質シリコン膜が形成された基板Ｗに対して結晶質シリコン膜の形成された膜面側から白色光を照射する光源装置１１と、白色光が照射されている状態での基板Ｗからの反射光を検出するカラーラインカメラ１２と、カラーラインカメラ１２の検出結果に基づいて反射光の輝度に係るパラメータを計測し、この反射光の輝度に係るパラメータに基づいて基板Ｗ上の結晶質シリコン膜の膜質を計測する演算装置１３と、カラーラインカメラ１２の周囲を覆う遮光部材１４とを設け、遮光部材１４の基板Ｗに対向する部位に、反射光の通過を許容する反射光通過部１４ａを設ける。 （もっと読む）

【課題】鼓膜からの放射光を用いて生体成分濃度を高精度に測定することができる生体成分濃度測定装置を提供する。
【解決手段】鼓膜から放射された赤外光を検出する赤外線検出器と、耳孔内を撮像する撮像部と、前記鼓膜における第１の領域に対応する前記撮像部からの第１の撮像情報と前記鼓膜における第２の領域に対応する前記撮像部からの第２の撮像情報との差を算出する撮像情報演算部と、前記撮像情報演算部により算出された前記第１の撮像情報と前記第２の撮像情報との差及び前記赤外線検出器の出力を用いて生体成分の濃度を算出する生体成分濃度演算部とを備える生体成分濃度測定装置。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、低ペディスタルな、あるいはペディスタルの抑制されたパルスレーザ発生装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 パルス光を発生するレーザ部とファイバ増幅部とパルス圧縮部とを含み構成されるパルスレーザ装置であって、前記ファイバ増幅部が、前記レーザ部におけるレーザ光の波長において正常分散である希土類ドープファイバから構成されている。更に、前記ファイバ増幅部においてチャープされた前記レーザ光の波長スペクトルの内、前記希土類ドープファイバのゼロ分散波長の波長領域もしくは該ゼロ分散波長以上の長波長領域のエネルギー成分に対して損失を与える手段を有する。 （もっと読む）

【課題】光コヒーレンストモグラフィーの２次元ｅｎ−ｆａｃｅ像と２次元断層血流像を用い、簡便に網膜血管の抽出し、定量的にその血流量を求めることを可能とする眼底血流量の定量測定装置を実現する。
【解決手段】ドップラー光コヒーレンス血管造影手段によって網膜血管構造の抽出を行い網膜血管の血流量の定量化が可能とし、ドップラー光コヒーレンス血管造影手段は、光コヒーレンストモグラフィーにより、ｅｎ−ｆａｃｅ血管像および血流像を形成し、ｅｎ−ｆａｃｅ血管像と血流像の２枚とから血管の直径、方向及び位置を得て、これにより血流量を決め、複素OCTデータの周波数シフトを解析することで、眼底血流の流速を計測可能とする。 （もっと読む）

【課題】静電場印加によって誘電分極した被検出対象粒子を観測視野内に集中させる。
【解決手段】浮遊粒子状物質測定装置は、粒子に偏光ビームが入射したことによる散乱光のうち散乱角が略１０度の散乱光を偏光方向が直交する２本の光ビームに分割するプリズムと、光ビームが粒子に入射する前に、粒子を散乱平面の法線方向に向ける粒子配向手段と、２本の光ビームを電気信号に変換する受光部と、粒子形状を識別する粒子識別手段とを有する。粒子配向手段は、電極ブロック２３０ａ，２３０ｂからなり、電極ブロック２３０ａ，２３０ｂ間に散乱平面の法線方向を向いた静電場を形成するものであり、電極ブロック２３０ａ，２３０ｂは、導流路側表面が平面で互いに平行な平板状か、導流路側表面が曲面で対向する電極ブロックに向かって互いに凸の形状である。 （もっと読む）

【課題】発生させた超音波によって反応容器内の液体を攪拌する分析装置において、反応容器内の液体が正常に攪拌されているか否かを検出することができる分析装置を提供すること。
【解決手段】本発明によれば、圧電基板に複数の櫛歯状電極（ＩＤＴ）２３ｂからなる振動子が形成された音波発生素子２３を有する反応容器５を使用し、音波発生素子２３に電力を供給して超音波を発生させ反応容器内の液体を攪拌する分析装置１において、音波発生素子２３による超音波発生前に液面で反射または液面を透過した光量である攪拌前光量と、音波発生部材による超音波発生中に液面で反射または液面を透過した光量である攪拌中光量との変化量をもとに、音波発生素子による超音波発生中に反応容器５内の液体が正常に攪拌されているか否かを判定するため、超音波の透過状態を検出しなくとも反応容器５内の液体が正常に攪拌されているか否かを検出することができる。 （もっと読む）

【課題】パターンドメディアの検査方法において、ナノインプリントのプロセス管理を目的とした場合には、パターンの正確な形状を計測する必要があり、製品の品質管理が目的の場合には、製品全数を検査する必要があるが、ＳＥＭやＡＦＭを用いた方法では、これらの要求を満たすことができない。
【解決手段】磁性体のパターンが形成されたハードディスクメディア表面に複数の波長を含む光を照射し、ハードディスクメディアからの反射光の強度を波長毎に検出する(S102)。次に、検出した反射光の強度から分光反射率を算出し(S104)、算出した分光反射率に基づいてハードディスクメディア上に形成されたパターンの形状を検出する(S110)。 （もっと読む）

【課題】小型化および低価格化を図ることが可能な屈折率センサおよび液位センサを提供する。
【解決手段】屈折率センサ１０１は、測定対象４を入れるための容器１と、容器１内の測定対象４に光を照射する発光素子２と、容器１内の測定対象４を介して発光素子２から受けた光の強度を検出する受光素子５と、発光素子２の発光強度および受光素子５が検出した光の強度に基づいて測定対象４の屈折率を算出する演算回路８とを備える。 （もっと読む）

【課題】原料米サンプルが所定の品質基準値を満たしていないものであっても原料米の米飯品質の予測を行うことができ、かつ、原料米サンプルを事前に炊飯することなく当該原料米の米飯品質の予測が行える米飯品質予測方法（装置）を提供する。
【解決手段】
原料米サンプルの品位的因子及び／又は成分的因子の光学的測定値を取得し、該光学的測定値を食味因子総合評価検量線及び／又は食味因子総合評価検量線に代入することによって原料米評価値ＤＥ２（１）及び／又は食味因子総合評価ＤＥ３（１）・・・を算出・表示する方法（装置）を講じる。これにより、前記原料米評価値及び／又は食味因子総合評価を基に原料米の米飯品質を予測判定するための任意の規格を策定し、原料サンプルの実測値と対比して米飯品質レベルを予測判定することができる。 （もっと読む）