【課題】物質を優れた精度で、かつ、確実に検知することのできる、物質検知センサを提供する。
【解決手段】絶縁層２を、電極４および導電性層５が内側に向き、かつ、端子部６の膨出部１０が外側に向くように、略円筒状に丸めるとともに、絶縁層２の重複領域２０を厚み方向に重ねる。このガス検知センサ１では、絶縁層２に突出部を形成しないので、重複領域２０におけるシール性を高めることができるとともに、絶縁層２の内側の電極４と電気的に接続される端子部６を、絶縁層２の外側に露出させることができる。そして、絶縁層２の内部に特定のガスを流し、特定のガスの漏出を防止しながら、端子部６から、１対の電極４間における導電性層５の電気抵抗値の変化を検知する。 （もっと読む）

【課題】センサ部と基準部を有するセンサチップ基板とＩＣ基板とを同一の支持基板に接着固定した容量型湿度センサ及びその製造方法において、ワイヤボンディング部及びＩＣ基板の衝撃による損傷や腐食を防止でき、さらに、基準部の封止性を向上させる。
【解決手段】センサチップ基板上にセンサ部の外周を覆う保護部材を設け、この保護部材で囲まれた領域を除いて支持基板を封止樹脂で覆い、保護部材で囲まれた領域でセンサ部を雰囲気に曝露させるとともに、保護部材で囲まれた領域の外側で基準部、パッド部、導通ワイヤー及びＩＣ基板を封止した。 （もっと読む）

【課題】実装する際の外部との配線の自由度を高めるとともに、外部との接続端子（アウトリードや電極ピン）に加わる力による破損を防止し得るガスセンサを提供する。
【解決手段】スペーサ４は、電極ピン７ａ、８ａをスペーサ４に設けられた貫通孔４ａに挿通するようにして配置されている。そしてこの電極ピン７ａ、８ａの先端部は、スペーサ４に設けられた溝４ｂの底面に突出した状態で配置されている。この電極ピン７ａ、８ａの先端部には、アウトリード５ａ、５ｂ、５ｃが溶接等の手段によって接続されている。このアウトリード５ａ、５ｂ、５ｃは、スペーサ４の面に平行な方向に延出されると共にこの面と平行な方向に曲げ加工された折り曲げ部を少なくとも一ヶ所設けた構成である。そして、このアウトリードはスペーサ４の表面に形成された溝部４ｂ内に配置された構成である。 （もっと読む）

【課題】雨水の性質等によらず降雨を検出し、降雨の検出精度を向上できる雨センサ装置を提供する。
【解決手段】電極設置面２２が形成され、該電極設置面２２を濡らした雨水の電気的作用を利用して降雨を検出する第１雨検出手段１２と、第１雨検出手段１２の直下近傍位置に設置され少なくとも第１雨検出手段１２の電極２０部分を流下した雨水を収束する収束部３４を有し、収束した雨水の重量を利用して降雨を検出する第２雨検出手段１４と、を備えたことを特徴とする雨センサ装置１０から構成される。 （もっと読む）

【課題】薄膜熱感知体に発生する熱応力を分散させて薄膜熱感知体を搭載する絶縁膜なる保持部材のクラック発生を防止する。
【解決手段】絶縁膜で構成する保持部材上に搭載する薄膜熱感知体４６を、湾曲した折り返し部Ｄを有する九十九折りのパターン形状に形成し、そのパターン幅ｗの断面を、両端に傾斜面４６ｄをもたせた台形形状に形成する。九十九折りの折り返し部やパターンの幅の両端部に直角や鋭角なる角部がなくなり、熱応力が分散して小さくなり、保持部材への熱の影響を抑制して、保持部材のクラック発生を抑える。 （もっと読む）

【課題】保持部材にかかる機械的応力や、ガスの燃焼による熱応力などにより、ガスセンサの検出素子は、損壊してしまっていた。
【解決手段】ガスのセンサ領域Ｒを円形または角部を有しない形状に形成する。また、薄膜熱感知体及びガス感知体を保持する保持部材の上部、中央領域に薄膜熱感知体、ガス感知体を設ける。また、保持部材には、薄膜熱感知体の搭載部を避けて、複数の貫通孔を分散して設ける。このような構成により、支持基板に熱応力や保持部材に機械的応力がかかっても、クラックなどによる損壊の発生を抑える効果が得られる。また、これによって、ガスセンサの寿命も向上する。 （もっと読む）

【課題】過度の発熱が起きず、検知感度の良いガス検知素子を提供する。
【解決手段】センサ領域Ｒ内に複数の梁部で構成する保持部材を、支持基板４１から延設して設ける。梁部に設ける薄膜熱感知体は、センサ領域Ｒの中心領域Ｂから外れた位置に複数設ける。それぞれの薄膜熱感知体は、センサ領域Ｒの中心点Ｃに対して点対称にしてもよく、中心点Ｃから等距離の位置にしてもよい。こうすることで、ガスの到来時に熱が集中せず、また、複数の薄膜熱感知体は同一形状、同一大きさにして熱容量が同一になるようにすれば、ガスの検知の際の感度特性や反応速度特性も向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】ガス検知素子の薄膜熱感知体の電気特性の劣化を防止し、検知精度を向上させると共に、長寿命を図る。
【解決手段】薄膜型ガスセンサにおいて、保持部材である梁部４３上に設ける薄膜熱感知体４６の両側に、ガス感知体４８を焼結する焼結用ヒータ５６，６６を薄膜熱感知体４６に近接して、平行に設ける。ガス感知体４８は、薄膜熱感知体４６と焼結用ヒータ５６，６６とに平面的に重なって設けており、焼結用ヒータ５６，６６でガス感知体４８を焼結する。また、薄膜熱感知体４６と焼結用ヒータ５６，６６とは、九十九折りの形状に形成することで、配設スペースを小さくすることができ、薄膜型ガスセンサ自体も小型化することができる。 （もっと読む）

【課題】サージ電圧等の印加に対しても破壊されることがなく、安定で信頼性の高い薄膜ガスセンサを提供する。
【解決手段】図は薄膜ガスセンサの平面図であり、感知膜電極７間にバリスタ（R）等の非直線性抵抗素子を形成した例である。つまり、感知膜電極７を形成する際に、ニードル状に突起のあるパターンを図示のように対向させる。そして、上層のSnO₂層を形成する際に、図示のようにSnO₂を形成する部分に窓開けし、ここにバリスタ（R）等の非直線性抵抗素子10を形成したものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、センサの製造方法に関する物で、センサの特性を安定させることを目的とする。
【解決手段】そしてこの目的を達成するために本発明は、樹脂フィルム１と、この樹脂フィルム１上に成膜した金属薄膜２とからなるセンサの製造方法であって、樹脂フィルム１に金属薄膜２を成膜する第１の工程と、この金属薄膜２を成膜した樹脂フィルム１を、加熱アニール処理する第２の工程と、前記加熱アニール処理した金属薄膜２を、センサに加工形成する第３の工程とを順次実施する構成とした。 （もっと読む）

ある相中の種の混合物から一つ又は複数の種を検出する検出システム及び方法。この検出システム及び方法は、種によって誘起されるコンダクタンスの変化を検出する。コンダクタンスは、一部が導電性を有し、第1の導電構成部材を形成する頂面を有する剛性構造を有するセル構造を含む。第2の導電構成部材が、第1の導電構成部材に実質的に重なり、絶縁構成部材によって第1の導電構成部材から間隔を置いて配置される。一つ又は複数の流路が、化学及び/又は生物種が流れることができるように第1の導電構成部材と第2の導電構成部材との間に存在する。第1の導電構成部材、第2の導電構成部材、及び絶縁構成部材は、1メートルを超える幾何学的増幅係数をもたらすように選択された構造を有し、幾何学的増幅係数は、電流が流れることのできる距離に対する、電流が流れることのできる表面積の比に関する係数である。時間依存応答を誘起する時間依存電気信号が、第1及び第2の導電構成部材の少なくとも一方に印加され、第1及び第2の導電構成部材の少なくとも一方に結合された信号検出器が時間依存応答を測定する。信号検出器に接続されたマイクロプロセッサが、該相中に化学及び/又は生物種が存在することによって生じるコンダクタンスの変化を判定する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、半導体基板に形成された空洞部に設けられることによって半導体基板から熱的に絶縁された薄肉部にヒータとなる抵抗体が形成された計測素子において、スクリーニングを容易に行うことができ、ダイシング工程において破壊しにくい構造を提供することにある。
【解決手段】半導体基板２と、半導体基板２上に形成された電気絶縁膜３と、電気絶縁膜３上に形成されたヒータを構成する抵抗体４と、抵抗体４の本体部４ａが形成された領域に対応する半導体基板２部分を除去して形成した空洞２１とを備え、抵抗体本体部４ａが形成された領域を空洞２１により薄肉部１１とし、薄肉部１１の一部に薄肉部１１の厚さ方向に貫通した開口７を形成した計測素子において、開口７の領域を覆う膜９を形成した。 （もっと読む）

【課題】 バリアフィルム以外から感湿膜に侵入する水分による無用な誤差要因を排除して測定精度を高め、極微量な水分であっても高い精度で測定可能にするとともに、コストアップ及びサイズアップを回避する。
【解決手段】 感湿膜３及びこの感湿膜３の両面３ｕ，３ｄにそれぞれ面接触する一対の電極層４ｕ，４ｄを有するとともに、感湿膜３の一方の面３ｄを基板５の上面５ｕに付設した水分センサ部２と、感湿膜３の他方の面３ｕに直接又は樹脂層６ｒを介して他方の面Ｆｓを重ねたバリアフィルムＦの一方の面Ｆｆの全部又は一部を除き、当該バリアフィルムＦから基板５の上面５ｕの間における少なくとも感湿膜３の側方を覆う樹脂被覆部６とを備える。 （もっと読む）

【課題】内燃機関等の吸入空気の湿度計測が可能な、高応答で高精度の湿度センサを提供すること。
【解決手段】湿度センサ１は、基板２の空洞部５内に複数本の支持腕６ａ〜６ｄ、６ｅ〜６ｈを介して第一および第二の薄膜支持体４ａ、４ｂを支持し、その第一および第二の薄膜支持体４ａ、４ｂに第一および第二の発熱体３ａ、３ｂを形成する。そして、第一および第二の発熱体３ａ、３ｂに対して加熱電力を供給して第一の発熱体３ａを第一の温度Ｔ１に制御しかつ第二の発熱体３ｂを第一の温度Ｔ１よりも高温である第二の温度Ｔ２に制御し、第一および第二の発熱体３ａ、３ｂの加熱電力に基づいて周囲気体の湿度を演算する （もっと読む）

【課題】使用する材料に左右されることなく、変形、寸法変化等を抑えることができ、寸法精度に優れた品質の高いセラミックシートを得ることができるセラミックシートの製造方法及びセラミック積層体の製造方法を提供すること
【解決手段】セラミックシートの製造方法は、シート原料を用いてセラミックシートを成形して乾燥させた後、ペースト材を印刷して乾燥させ、シート原料の分散剤添加量とセラミックシートの印刷乾燥収縮率との関係（グラフａ、ｂ）を求める印刷乾燥収縮率測定工程と、その関係（グラフａ、ｂ）から印刷乾燥収縮率が最小となる極小点ｐ１を求め、極小点ｐ１における分散剤添加量を含む一定の分散剤添加量範囲を選定する分散剤添加量選定工程と、分散剤の添加量を分散剤添加量範囲内としたシート原料を用いてセラミックシートを成形して乾燥させるシート成形工程と、セラミックシートにペースト材を印刷して乾燥させる印刷工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】電極と導電性溶液の間にある界面を調査するためのシステムおよび技術を提供すること。
【解決手段】一態様では、装置が、一対の出力導体を介して時間変動電力を出力するように構成された時間変動電力源と、上記導体のうちの第１のものに接続された電極と、上記出力導体の対の間に接続された外部誘導性インピーダンスと、上記出力導体の一方または両方に接続され、上記時間変動電力出力から出力される既知の電流または電圧に基づいて上記出力導体の対の間の正味インピーダンスを測定するように構成されたインピーダンス・センサとを備えることができる。上記測定された正味インピーダンスは上記外部誘導性インピーダンスおよび上記界面のインピーダンスを含む。上記電極は導通溶液内に浸漬され、該導通溶液との界面を形成するよう構成される。
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【課題】ダイアフラム構造の薄膜ガスセンサにおけるガス選択性を、従来のものより向上させる。
【解決手段】感知層７を、第１層としてドナーとなる＋５価または＋６価の元素を添加したＳｎＯ２層９、その上の第２層として触媒となる元素を添加したＳｎＯ２層１０の、２層構造とするものは既に公知であるが、ガス選択性の点でいまだ不十分なので、この発明では、第２層１０における触媒添加量を１０ｗｔ％を超え６０ｗｔ％以下とすることにより、水素ガス選択性，メタンガス選択性ともに向上させる。 （もっと読む）

【課題】導電性層が均一な厚みで形成されることにより、物質を優れた精度で検知することのできる、物質検知センサを提供すること。
【解決手段】絶縁層２を形成し、絶縁層２の上に、互いに間隔を隔てて対向配置される１対の電極配線６を備える電極パターン３を形成し、絶縁層２の上に、１対の電極配線６と電気的に接続されるように、ガスの種類および／または量に応じて、膨潤する割合が変化する導電性層４を、１対の電極配線６間において、第１導電性層４Ａおよび第２導電性層４Ｂとに複数分割形成されるように、設ける。 （もっと読む）

【課題】従来から、薄膜型ガスセンサにおける薄膜熱感知体は、ドライエッチング加工によって形状に不均一が生じ、センサチップによってガス検知感度がばらつくという問題があった。このばらつきを補正するため、実装段階で補正アンプを搭載しているが、これによりガスセンサパッケージが肥大化するという問題があった。
【解決手段】本発明の薄膜型ガスセンサは、梁部に複数の薄膜熱感知体、電極パッドを設け、それらを金属薄膜抵抗体で繋いでいる。薄膜熱感知体を選択することにより、ドライエッチング加工の不均一によって生じる薄膜熱感知体の抵抗値を補正することができる。したがって、ガス検知感度のばらつきを、センサチップ上で補完し、個体差を解消することができる。 （もっと読む）

【課題】導電性構造体に接している、導電性の低い領域を製造する方法を提案すること
【解決手段】導電率の低い、導電性の構造体に接する領域を製造する方法であって、ａ）導電性構造体を設けるステップと；ｂ）当該導電性構造体を物質Ａと接触接続させるステップと；ｃ）導電性構造体と接触接続している物質Ａに刺激を加えるステップとを有している形式の方法において、ステップｃ）において刺激を加えることによって少なくとも部分的に物質Ａが物質Ａ１と物質Ａ２に変化するように、物質Ａを選択し、前記物質Ａ１が前記導電性構造体によって取り入れられ、前記物質Ａ２は前記導電性構造体によって取り入れられず、前記導電性構造体および物質Ａよりも低い導電率を有している方法。 （もっと読む）