【課題】内燃機関の燃焼状態の異常を好適に検出する。
【解決手段】エンジン１１の排気管１４にはＰＭセンサ１７が設けられている。ＰＭセンサ１７は、ガス中に含まれるＰＭ（導電性粒子状物質）を付着させる被付着部と、被付着部に互いに離間して設けられる一対の対向電極とを有し、一対の対向電極間の抵抗値に応じたセンサ検出信号を出力する。マイコン４４は、エンジン１１の運転状態に基づいて、エンジン１１から排出されるＰＭ量を推定排出量として算出し、その推定算出量とセンサ検出信号とに基づいて、エンジン１１の燃焼状態の異常診断を実施する。 （もっと読む）

【課題】基板上で脂質二分子膜の成長を任意に制御する技術、あるいはその脂質二分子膜に埋め込んだ分子・粒子の運動を制御する技術、あるいはそれらの技術を用いて作製したバイオデバイスを提供する。
【解決手段】本発明のバイオデバイスは、基板と、基板表面に設けられ、脂質二分子膜を自発展開させるための親水部と、親水部に設けられた第１ナノギャップ電極と、第１ナノギャップ電極に対し、脂質二分子膜が通過する幅のナノギャップを有して親水部に設けられた第２ナノギャップ電極とを備える。 （もっと読む）

【課題】インピーダンス測定に基づき細胞の挙動として細胞の増殖の他に細胞間の接着状態の変化などを検出することのできる細胞挙動検出方法及び装置を提供する。
【解決手段】細胞が接触する面に作用電極が平面的に配置され、その上方に一定の間隔をおいて対電極が配置された第１の測定セルと、細胞が接触する面に一定の間隔をおいて作用電極と対電極とが平面的に配置された第２の測定セルと、を用い、これら第１及び第２の測定セルの両方において細胞を培養してインピーダンスを測定する。この２種類の測定セルにおいてインピーダンスの変化をモニタすることで、細胞の挙動として細胞の増殖の他に細胞間の接着状態（接着強さ、接着割合など）の変化、電極が細胞で覆われた時間などを評価することができる。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハ面内における金属配線の抵抗分布のばらつきを抑え、得られるデバイスの特性や精度を面内で均一化させることが可能なマスクを提供する。
【解決手段】本発明のマスクは、金属配線を有するデバイス１０を基板２の一面上に多数形成する際に、該基板の一面に対向配置されて用いられるマスクであって、個々の前記デバイスが配される前記基板上の位置に応じて、それぞれのデバイスが有する前記金属配線に対応する部位の形状を変えたこと、を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高精度かつ生操作を繰り返すことに対する耐久性及び均一な温度上昇が可能なセンサ素子を提供する。
【解決手段】第１面１３及び第２面１５を有するセラミックスからなるセンサ基板１１Ａと、このセンサ基板１１Ａの第１面１３上に配設されるとともに、一対の電極１７ａ，１７ｂからなるセンシング用電極１７と、センサ基板１１Ａの第２面１５上に配設され、センサ基板１１Ａを加熱可能な加熱用導体１９と、を備えている。そして、センサ素子１００Ａは、センシング用電極１７の厚さに対する、センサ基板１１Ａの第１面１３における少なくともセンシング用電極１７が配設された部分の表面粗度の割合が、０．２〜４％であり、加熱用導体１９の厚さに対する、センサ基板１１Ａの第２面１５における少なくとも加熱用導体１９が配設された部分の表面粗度の割合が、１〜３％であるセンサ素子１００Ａ。 （もっと読む）

【課題】複数の発熱抵抗体を有する可燃性ガス検出装置において、発熱抵抗体の異常の検知精度を向上させる。
【解決手段】通常動作期間（０〜Ｔ１，Ｔ３〜Ｔ１’）は、第１発熱抵抗体３４１を使用して、被検出雰囲気の可燃性ガスのガス濃度Ｘ１を検出し、判定動作期間（Ｔ１〜Ｔ３，Ｔ１’〜Ｔ３’）だけ、第２発熱抵抗体３４２も使用してガス濃度Ｘ２を検出し、両検出結果Ｘ１，Ｘ２を比較することで、第１発熱抵抗体３４１の異常の有無を判定する。しかも、通常動作期間では、第１発熱抵抗体３４１のみ通電し、判定動作期間では、第１発熱抵抗体３４１および第２発熱抵抗体３４２を、一方への通電時には他方が非通電（通電停止）となるように、交互に通電制御を行う。 （もっと読む）

【目的】簡易な構成により被測定ガス中に含まれる導電性の微粒子の濃度を検出するガスセンサにおいて、広い検出範囲を有するガスセンサを提供する。
【解決手段】セラミックス基板３０の表面に形成した検出部１０、２０に捕集、堆積する導電性微粒子ＰＭの堆積量Ｑによって変化する抵抗値Ｒ_１０、Ｒ_２０を測定して被測定ガス中のＰＭの濃度を検出するガスセンサ１であって、検出範囲の異なる複数の検出部１０、２０を具備すると共に、これらの複数の検出範囲ＤＲ_１０、ＤＲ_２０の一部が互いに重なるように設定する。 （もっと読む）

【課題】製造コストが低いと共に、センサの特性のばらつきを抑制しながら、センサの感度を向上させることが可能なセンサ等を提供する。
【解決手段】本発明に係るセンサ１は、半導体基板３と、半導体基板３上に設けられた半導体領域５と、半導体領域５の上面に設けられたソース電極７及びドレイン電極９と、半導体基板３の裏面３ｂ上に設けられたバックゲート電極１１とを備え、半導体基板３と半導体領域５とはｐｎ接合Ｊを構成し、半導体領域５の上面５ｕの少なくとも一部５ｅには、複数の孔部１５が形成されており、複数の孔部１５は、それぞれ、半導体領域５の上面５ｕから半導体基板３に向かって延びると共に、半導体基板３には至っておらず、半導体領域５の上面５ｕの少なくとも一部５ｅ及び複数の孔部１５の側面１５ｓは、オープンゲート５ｇを構成していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】超高純度の液体の導電率をきわめて高い精度で測定するための装置の製造を可能にするとともに、さらに他の利点ももたらす構成を提供する。
【解決手段】本発明は、液体、特に超純水の導電率を測定するための装置の製造方法であって、超高純度の液体の導電率の測定を可能にするセル定数を定めるために適した２つの導電率測定電極を備え、絶縁材料の基板上に導電性材料からの電極パターンを形成することによって、各電極を製造することを含むことを特徴とする方法に関する。
さらに、本発明は、この方法によって得られる導電率測定装置、およびこの導電率測定装置を備える全有機体炭素（ＴＯＣ）量を測定するための装置に関する。 （もっと読む）

【目的】被測定ガス中に含まれる導電性の微粒子の濃度を検出するガスセンサにおいて、不感期間がなく、断線異常を速やかに検出できる信頼性の高いガスセンサとその断線検出方法を提供する、
【解決手段】検出部１１と抵抗測定手段６０との間を繋ぐ導通経路（１１１〜１１７、１２１〜１２７）の断線の有無を検出する断線検出手段として、所定の抵抗値Ｒ_{ＯＦＦＳＥＴ}を有する断線検出抵抗１３を一対の検出電極１１０、１２０を導通すると共に、検出電極（１１０、１２０）間に形成される検出抵抗Ｒ_ＳＥＮに対して並列となるように反抵抗測定手段側に設ける。 （もっと読む）

【課題】ガス感度が高く、長期にわたって安定な感度特性を維持する接触燃焼式ガスセンサを提供する。
【解決手段】基板１上に形成した凹部１０を跨ぐように形成された支持用絶縁膜２と、支持用絶縁膜２上に形成され通電から生じる熱によって燃焼する検知対象ガスの燃焼熱に応じて電気抵抗値が変化する検知抵抗体３Ａと、この検知抵抗体３Ａの近傍で検知抵抗体３Ａの長手方向に沿って保護膜４および支持用絶縁膜２を貫通する複数の開口部１１と、開口部１１を通して支持用絶縁膜２の両面側に一体的に設けられ、支持用絶縁膜２の凹部１０と反対側の面で検知抵抗体３Ａを覆い、支持用絶縁膜２の凹部１０側の開口部１１の開口領域よりも広く膨出した膨出部１２Ａが形成された触媒層１２を備える。 （もっと読む）

【課題】検出感度を向上させること。
【解決手段】基板１０と、前記基板１０上に設けられ多孔質構造を備え、前記多孔質構造内にセンシング対象物質を吸着する物質またはセンシング対象物質と反応する物質が化学修飾または含侵している酸化シリコン膜１６と、前記酸化シリコン膜１６の静電容量を測定する電極１４および１８と、を具備するセンサ装置。 （もっと読む）

【課題】湿度センサ素子と同一の基板に備えた電子部品から発せられた熱の影響を受けにくく、正確な湿度測定が可能な湿度センサを提供する。
【解決手段】湿度変化を測定する湿度センサ素子と、動作時に熱を発する電子部品を含む周辺回路と、湿度センサ素子及び周辺回路を外部回路に接続させるコネクタとを同一の基板に搭載した湿度センサにおいて、湿度センサ素子と電子部品を互いに平面的に重複しない位置で配置して、基板上に、湿度センサを設けたセンサエリアと、電子部品を設けた放熱エリアを設定し、放熱エリアの放熱性をセンサエリアの放熱性より高める放熱手段と、センサエリアと放熱エリアを熱的に分離する熱分離手段との少なくとも一方を設けた。 （もっと読む）

【課題】薄型で防水機能を有する湿度センサモジュールを提供する。
【解決手段】複数の配線導体２１を絶縁層２２で被覆し、該複数の配線導体２１と導通接続する複数の電極パッドを絶縁層２２から露出させた状態で設けた配線基板２０と、湿度センサ素子、ＩＣ回路基板、湿度センサ素子に外気を導く吸湿口３１、ＩＣ回路基板を封止する封止樹脂、及び、ＳＭＤ端子を有し、複数のＳＭＤ端子と配線基板２０の対応する複数の電極パッドとの電気的接続により該配線基板２０に表面実装された湿度センサパッケージ３０と、センサ周辺回路部品と、配線基板上で、センサ周辺回路部品を覆い、かつ、吸湿口を開口させたまま湿度センサパッケージ３０の複数のＳＭＤ端子及び配線基板２０の複数の電極パッドを覆う防水樹脂５０とを備えた。 （もっと読む）

バイオセンサの試験チャンバの充填十分性を、試験チャンバの静電容量を測定することによって決定するための方法及びシステムが提供される。 （もっと読む）

【課題】 高湿度の環境下などのであっても、確度高く塩害の予測監視できる技術を提供することを目的とする。
【解決手段】 絶縁体からなる基板上に所定の間隔を置いて平行に配置され、印加される電圧に基づいてマイグレーションを起こす監視電極対と、監視電極対が形成された側の基板上に、監視電極対の間に監視電極対それぞれと間隔を置いて平行に配置される監視測定電極と、監視測定電極と一方の監視電極との間の電圧を監視電圧値として測定する測定手段と、監視電圧値に基づいてマイグレーションの進行の度合いを検出する検出手段と、を備える。 （もっと読む）

脂質二重層に埋め込まれたナノ細孔内の分子を操作するための技法を述べる。一例では、脂質二重層にわたって獲得用電気的刺激レベルが印加され、ここで、ナノ細孔を含有する脂質二重層の領域は抵抗によって特徴付けられ、獲得用電気的刺激レベルは、周囲の流体からナノ細孔に分子を引き込む傾向があり、ナノ細孔内への分子の少なくとも一部の獲得により生じる脂質二重層の抵抗値の変化が検出され、獲得用電気的刺激レベルが保持用電気的刺激レベルに変えられ、獲得用電気的刺激レベルが保持用電気的刺激レベルに変化した後に分子の一部がナノ細孔に残る。 （もっと読む）

【課題】信頼性が向上するガスセンサ用基板、ガスセンサ用容器、およびガスセンサを提供する。
【解決手段】設置対象物２１に取り付けることにより検出対象ガスを検知するガスセンサ１に用いられるガスセンサ用基板であって、第１主面２ａ、および第１主面２ａの反対側に位置しておりかつ設置対象物２１に取り付けられるべき第２主面２ｂを有する基体２と、基体２の第１主面２ａに設けられており、かつ検出対象ガスに対して活性であるガス感応体４を載置するための載置部３と、を備える。 （もっと読む）

本発明は、細胞変異の無標識による検出と分類、特に、細胞球状体の生成と特性解析及び細胞球状体の状態のリアルタイム観察のための統合型培養・測定装置に関し、ａ）培養チャンバープレート用の取付機器と、ｂ）取付機器内の微小電極用接点と接続された増幅器ボードと、ｃ）増幅器ボードと培養チャンバープレート用の取付機器を上に載せたロータリーシェーカーと、ｄ）増幅器ボード及びロータリーシェーカーと接続された制御ユニットとが配備されており、この制御ユニットによって、データの記録と解析並びにロータリーシェーカーの動きの制御が可能である。培養チャンバープレーは、複数の培養リザーバーを備えており、各培養リザーバーの底部が一つの微小空洞を形成し、各微小空洞が微小空洞の壁面に複数の微小電極を備えている。取付機器は複数の微小電極用接点を有する。本発明では、有利には、球状体の自動的な生成、培養及び特徴解析、並びに組織サンプルの培養と特徴解析が可能である。
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【構成】 Si基板の空洞を架橋するように脚により支持された架橋部に、下層の第１層パターンと上層の第２層パターンとから成るヒータパターンを設ける。第１層パターンと第２層パターンとの間に中間絶縁膜が有り、第１層パターンと第２層パターンは、中間絶縁膜が無い部分で、電気的に直列に接続されている。第１層パターンの一端と第２層パターンの一端とが、Si基板上で第１及び第２のパッドに接続されている。
【効果】 ヒータ抵抗を約２倍にできる。 （もっと読む）