【課題】検出時間を短縮でき、しかもコストを抑えることができるガス検知システムを提供する。
【解決手段】検知素子Ｓと温度補償素子Ｒとにより構成された接触燃焼式の水素センサ１０において、水素濃度が所定水素濃度未満の場合には、切替スイッチＳＷを固定抵抗Ｒｍ３側に切り替えて、温度補償素子Ｒを熱伝導式で作動させて水素濃度を検出し、水素濃度が所定水素濃度以上の場合には、切替スイッチＳＷを検知素子Ｓ側に切り替えて、温度補償素子Ｒおよび検知素子Ｓを接触燃焼式で動作させて水素濃度を検出する制御装置１９を備える。 （もっと読む）

【課題】水素濃度を測定するガス濃度測定装置において、水素濃度の測定精度の低下を抑制する。
【解決手段】燃料ガスに含まれる水素のガス濃度を測定するガス濃度測定装置であって、燃料ガスの温度を検知する温度検知部として機能する温度補償抵抗体４４と、通電されて発熱する発熱部として機能する加温抵抗体４３と、加温抵抗体４３の温度が温度補償抵抗体４４の温度よりも一定温度高くなるように、加温抵抗体４３への通電量を制御する測定用制御回路５１と、温度補償抵抗体４４および加温抵抗体４３それぞれを収容する収容室４１ａが内部に形成された収容部４１と、水素流路１０４ａを流れる燃料ガスを収容室４１ａへと導く細孔部４１ｂと、を備え、細孔部４１ｂは、その流路断面積が水素流路１０４ａの流路断面積および収容室４１ａの流路断面積よりも小さい。 （もっと読む）

【課題】高精度な測定ができるガスセンサを提案する。
【解決手段】ガスセンサ１００は、外界雰囲気の検知量を検知する検知用感温素子１０と、温度補償する参照用感温素子２０と、検知用感温素子１０及び参照用感温素子２０を作動温度に加熱するヒータ３０とを有する検出部５０と、検出部５０が形成される基板６０とを備える。検知用感温素子１０及び参照用感温素子２０は、ヒータ３０を介して逆側の位置に形成されており、検知用感温素子１０は、検出部５０が外界雰囲気に面する側に形成されており、参照用感温素子２０は、検出部５０が基板６０に面する側に形成されている。 （もっと読む）

可燃性ガス検出器は、電子回路と電気的に接続された、例えば２０μｍ未満の平均直径を有する第１導体要素を備える少なくとも第１検出要素を含む。可燃性ガス検出器は、第１固定端と、第２固定端と、第１固定端と第２固定端との間の延長中間部分とを有する第１支持要素をさらに含み、延長中間部分は第１導体要素に対して支持を提供する。別の可燃性ガス検出器は、第１検出要素および第２検出要素を含む。第１検出要素は、５００μｍの直径を有する球よりも小さい体積を有する第１触媒支持部材を含む。第２検出要素は、５００μｍの直径を有する球よりも小さい体積を有する第２触媒支持部材を含む。可燃性ガス検出器は、第１検出要素がより高い電力モードで動作し第２検出要素がより低い電力モードで動作する第１モードと、第２検出要素がより高い電力モードで動作し第１検出要素がより低い電力モードで動作する第２モードとの間でサイクルするように適合された電子回路をさらに含む。 （もっと読む）

【課題】気体熱伝導度式ガスセンサにおいて、製造が容易なガスセンサを提供する。
【解決手段】雰囲気中のガス濃度を検知する検知素子Ｒｓ、および検知素子の温度補償を行う補償素子Ｒｒがブリッジ回路に組み込まれ、検知素子の抵抗値の変化によってガス濃度を検知する気体熱伝導度式ガスセンサ１において、検知素子Ｒｓを白金コイルに高熱伝導材料でコーティングし、放熱速度によって抵抗値が変化する第一の発熱体で構成され、補償素子Ｒｒを白金コイルに低熱伝導材料でコーティングして形成して、第一の発熱体と熱伝導率の異なる材質で形成された第二の発熱体で構成されている。それらをブリッジ回路１０に組み込んで気体熱伝導度式ガスセンサ１を構成する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、半導体基板に形成された空洞部に設けられることによって半導体基板から熱的に絶縁された薄肉部にヒータとなる抵抗体が形成された計測素子において、スクリーニングを容易に行うことができ、ダイシング工程において破壊しにくい構造を提供することにある。
【解決手段】半導体基板２と、半導体基板２上に形成された電気絶縁膜３と、電気絶縁膜３上に形成されたヒータを構成する抵抗体４と、抵抗体４の本体部４ａが形成された領域に対応する半導体基板２部分を除去して形成した空洞２１とを備え、抵抗体本体部４ａが形成された領域を空洞２１により薄肉部１１とし、薄肉部１１の一部に薄肉部１１の厚さ方向に貫通した開口７を形成した計測素子において、開口７の領域を覆う膜９を形成した。 （もっと読む）

【課題】従来の酸化物半導体ガスセンサの製作時に、工程が複雑であるという問題を解決すると共に、高感度、高選択性、速い応答速度及び長期安定性のような優秀なガス反応特性を有する静電容量型環境有害ガスセンサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明による静電容量型環境有害ガスセンサは、絶縁基板と、前記絶縁基板の同一平面上に一体形に形成された金属電極及びマイクロ薄膜ヒータ加熱線と、前記金属電極及びマイクロ薄膜ヒータ加熱線上にコーティングされた酸化物感知層とを備え、これは、金属層を蒸着した後、金属電極とマイクロ薄膜ヒータ加熱線が互いにインタデジタルトランスデューサを成すように金属層をエッチングし、引き継いで、酸化物感知層を形成することによって製造される。このような静電容量型環境有害ガスセンサは、製造時に工程優秀性を確保することができ、高感度、高選択性、高安定性及び低電力の優秀な特性を有することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、熱応力変形に強い接触燃焼式ガスセンサを提供する。
【解決手段】支持基台２２に設けられた陥没部２７と、ダイアフラムＤと、を連結し、ダイアフラムＤを支持する複数のブリッジ１４のうち、電極端子１３への電圧の印加に応じてヒータ素子２６からの熱を第二ブリッジ１４Ｂに伝導するダミー部材Ｃを第二ブリッジ１４Ｂに搭載することにより、第一ブリッジ１４Ａと第二ブリッジ１４Ｂの膜構成の違いによる応力のバランスを緩和できる。また、電極端子１３に電圧を印加すると、ヒータ素子２６が加熱し第一ブリッジ１４Ａ及び、第二ブリッジ１４Ｂに伝達する熱を均等化することにより、経時変化によるブリッジ１４の反りやねじれ等の歪みによる破損を緩和できる。 （もっと読む）

【課題】ガス検出素子のリード線と基台のステーとの接続部に絶縁皮膜を形成すること
【解決手段】リード線５を介してガス感応部４２に通電してジュール熱により昇温させてガスを検出するガス検出素子４と、リード線５を介してガス感応部４２に通電するとともにガス検出素子４を固定する導電性のステー３を備えた基台２とからなるガス検出器の製造方法において、ガス検出器１を高分子蒸気を含有する環境に収容して高分子の薄膜１０を形成する工程と、リード線５を介してガス感応部４２に通電してガス感応部４２を高分子の薄膜が気化、または分解する程度に加熱する工程とを備える。 （もっと読む）

本発明の態様は、一種以上のガスを検知するためのガスセンサ及び方法に関する。一態様では、デバイスの感度及び種選択性が検出電極の別々の対の間で調整できるように、同一または異なる温度に保持された検出電極アレイを含む。具体的な態様では、燃焼排ガス及び／または化学反応副生成物をモニターするためのガスセンサアレイに関する。本発明に関連するデバイスの態様は高温で操作し、且つ化学的に過酷な環境に耐えることができる。デバイスの態様は、単一基板上に作られる。デバイスはこれらが単一基板上の一つのアレイの一部であるかのように、個別の基板上に作り、個々にモニターすることもできる。本デバイスは、同一環境内に検出電極を含むことができ、これにより電極を同一平面上とすることができるので、製造コストを低く維持できる。本デバイスの態様は、表面温度制御により、感度、選択性及び信号干渉に対し改良点を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】消費電力が少なく熱絶縁性・熱衝撃に優れた耐久性を有するガス検知素子を提供する。
【解決手段】ガス感応部１１および加熱手段を設けた被支持基板部１０が、複数の架橋部２０によって支持基板部３０に支持してあるガス検知素子Ｘであって、１つの架橋部２０では、被支持基板部１０に対する架橋部２０の延出方向と、支持基板部３０に対する架橋部２０の延出方向とを、異なる方向に設定してある。 （もっと読む）

【課題】アルコール検知に際して、時間的な拘束を受けることによる煩わしさを軽減することが可能なアルコール検知器を提供すること。
【解決手段】呼気吹き込み口４から吹き込まれた呼気は、一旦呼気室８内に閉じ込められるとともに、その一方で吸気口６から導入された空気は、空気室９内に閉じ込められる。そして、空気室９内に閉じ込められた空気に含まれるアルコールがアルコールセンサ３１により検出される。その後、呼気室８内の呼気及び空気室９内の空気は、呼気室８と空気室９とを含む閉領域内から流出しないように配慮されつつ、該閉領域内で互いに混じり合って混合気となる。そして、このように前記閉領域内に閉じ込められた混合気に含まれるアルコールが前記アルコールセンサ３１により検出される。そして、アルコールセンサ３１による都合２回のアルコール検出の結果を解析することで、アルコール被験者が飲酒状態にあるか否かが特定される。 （もっと読む）

【課題】水による誤作動を防止するガスセンサを提供すること。
【解決手段】本発明のガスセンサ１は、外部からガス導入用開口部３ｂを介して被検知ガスが導き入れられるガス検出室３ａを有する素子収納部３と、素子収納部３のガス検出室３ａに配置されたガス検出素子５と、ガス導入用開口部３ｂに設けられた熱伝導性メッシュ部材６と、熱伝導性メッシュ部材６に固定され、熱伝導性メッシュ部材６を水の蒸発温度以上に加熱するヒータ８と、ヒータ８の発熱を制御するヒータ制御手段１０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】液体（溶液）中に溶解しているガスの濃度を短時間に正確に測定することができる溶存ガス濃度測定方法および装置を実現する。
【解決手段】予め、ガスが溶解している液体１０の液流を溶存ガスセンサー１の気体透過膜７に作用させて気化分離してガス検出器３によってガス濃度を検出する測定をガス分圧が平衡状態になるまで行って測定経過時間と対にして保持する基準データ取得を行い、ガス濃度の実測では、被測定液体１０を通水ポンプによって基準データ取得時の液流と等しい流速に速めて溶存ガスセンサーの気体透過膜に作用させてガス検出器にガス濃度を検出する実測の途中において、実測データと基準データから比濃度を求めて比較し、両比濃度が整合したときには実測データに基づいて平衡状態における溶存ガス濃度を推定する。 （もっと読む）

【課題】被検出雰囲気中の被検出ガスの濃度が湿度に基づき変動することを考慮して、被検出ガスを精度よく検出するようにしたガス検出装置およびガス検出方法を提供すること。
【解決手段】まず、環境温度を検出し（Ｓ１５，Ｓ２０）、続いて、異なる目標温度となるように通電制御された２つの発熱抵抗体における各端子電圧を検出する（Ｓ２５）。Ｓ２５で検出した２つの端子電圧と、Ｓ１５において検出された環境温度とから、２つの端子電圧に対応する各熱伝導率を熱伝導率演算値として演算する（Ｓ３０）。続いて、Ｓ３０で求めた２つの熱伝導率演算値に基づき、湿度を演算する（Ｓ３５，Ｓ４０，Ｓ４５）。そして、Ｓ３０で求めた２つの熱伝導率演算値のうち少なくともいずれか一方と、Ｓ４５で求めた被検出雰囲気の湿度とに基づき、被検出ガスのガス濃度を演算する（Ｓ５０，Ｓ５５，Ｓ６０）。 （もっと読む）

【課題】接触燃焼式ガス検出部および熱伝導式ガス検出部を用いて可燃性ガス検出を行うにあたり、測定対象ガスの温度範囲が低温から高温という広範囲にわたる場合においても、可燃性ガスを精度良く検出できる可燃性ガス検出装置を提供する。
【解決手段】可燃性ガス検出装置１は、ガス検出処理において、雰囲気温度Ｔが通電状態制御基準下限温度Ｔ１よりも低い場合（Ｓ１４０で肯定判定）には、接触燃焼式用発熱抵抗体２１１への通電を停止して（Ｓ１６０）、熱伝導式用発熱抵抗体２２１の電気抵抗値に基づいて可燃性ガス濃度を検出する（Ｓ１９０）。測定対象ガスの温度（雰囲気温度Ｔ）が通電状態制御基準下限温度Ｔ１以上となる場合には、発生した水分は残留することなく拡散するため、水分が凍結して残留することがない。可燃性ガス検出精度の低下を誘発する水分が残留することを防止でき、検出精度が低下するのを抑制できる。 （もっと読む）

【課題】被測定ガスのガス温度の影響を受けずに正確にガス濃度を検出することができるガス濃度検出装置を提供する。
【解決手段】第１抵抗／電圧変換回路２０が、測温抵抗体Ｒｓの温度が周囲温度よりも高くなるような大きさの電流を測温抵抗体Ｒｓに供給して測温抵抗体Ｒｓの抵抗値に応じた電圧ΔＶ１１を発生させる。第２抵抗／電圧変換回路２１が、測温抵抗体Ｒｔの温度が周囲温度と等しくなるような大きさの電流を測温抵抗体Ｒｔに供給して測温抵抗体Ｒｔの抵抗値に応じた電圧ΔＶ２１を発生させる。ＣＰＵ２５ａが、第１、第２抵抗／電圧変換回路２１、２１が発生した測温抵抗体Ｒｓ、Ｒｔの抵抗値に応じた電圧ΔＶ１１、ΔＶ１２を検出して、これら電圧ΔＶ１１、ΔＶ１２に基づいてガス濃度を検出する。 （もっと読む）

【課題】破断及び／又はクラック（ひび割れ）を高い信頼性で確実に検出できると同時に信頼性の高いエラー識別も達成できるように改善を行うこと。
【解決手段】流体センサがさらに付加的にセンサチップ上に配設されている少なくとも１つの破損検出素子と破損検出回路を有し、前記破損検出回路をセンサチップ内及び／又はセンサチップ上の特に測定面と固定面の間の境界領域における破断及び／又はクラックを識別できるように調整する。 （もっと読む）

【課題】 隙間腐食を防止して正確な電気化学測定を行うことができる実用的な露点腐食モニタリング用プローブを提供する。
【解決手段】 この露点腐食モニタリング用プローブ１は、酸露点腐食環境に露出する電極面１１をそれぞれ有する一対の電極部材１０と、これら一対の電極部材１０を隣接した状態で埋設して保持するホルダ１２とを備えている。酸露点腐食環境において電極面１１の間に結露水の液絡を形成する液絡形成部１６が形成されている。電極部材１０の温度を調整するプローブ温度調整機構５６，５８，６４が設けられている。 （もっと読む）

【課題】例えば携帯型やシステム組み込み型のように回路基板を内蔵する必要のあるガスセンサにおいて、良好な出力安定性が達成できるガスセンサを提供することを目的とする。
【解決手段】検出素子を覆う金属製の有孔キャップと、この有孔キャップの孔９と対向しない位置に設けたガス導入口８を形成した金属製のケース４と、検出素子を実装した回路基板２とからなり、有孔キャップをガス導入口８近傍に固着するとともに、回路基板２をケース４に緩衝材２１を介して固定した構成とすることにより、回路基板２は有孔キャップを介してケース４と１か所のみで固着されることになるため、周囲温度が変化して回路基板２の熱膨張が起こっても緩衝材２１が吸収し、回路基板２に実装した部品の定数が変化することがなくなるので、出力安定性のよいガスセンサを提供できる。 （もっと読む）