【課題】 特に１μｍの波長帯域において、レーザ装置の発生する光パルスをモニタすることができる光パルスのモニタ方法を提供する。
【解決手段】 光パルスのモニタ方法は、光パルスを発生させる光源と、光サーキュレータと、分散補償量を変化できる可変型分散補償器と、光パルスを周期的に強調する干渉計と、２光子吸収を利用した受光器と、Ａ／Ｄコンバータと、受光器で受光した信号の時間的変化をモニタに表示するソフトウエアを備えたコンピュータとで、構成される光パルスモニタ装置を用いて実施される。 （もっと読む）

【課題】 特に１μｍの波長帯域において、レーザ装置の発生する光パルスをモニタすることができる光パルスモニタ装置を提供する。
【解決手段】 光パルスモニタ装置は、光パルスを発生させる光源と、光サーキュレータと、分散補償量を変化できる可変型分散補償器と、光パルスを周期的に強調する干渉計と、２光子吸収を利用した受光器と、Ａ／Ｄコンバータと、受光器で受光した信号の時間的変化をモニタに表示するソフトウエアを備えたコンピュータとで、構成されている。 （もっと読む）

【課題】テラヘルツ電磁波の検出精度を向上させることができるテラヘルツ放射顕微鏡、これに用いられる、光伝導素子、レンズ及びデバイスの製造方法を提供すること。
【解決手段】光伝導素子は、基材と、電極と、膜材とを具備する。前記基材は、光源から発生したパルスレーザーが、観察対象であるデバイスに照射されることにより発生するテラヘルツ電磁波が入射する入射面を有する。前記電極は、前記基材に形成され、前記基材の入射面に入射された前記テラヘルツ電磁波を検出する。前記膜材は、前記基材の前記入射面に形成され、前記テラヘルツ電磁波を透過させ、前記パルスレーザーを反射させる。 （もっと読む）

【課題】 エレベータの出入口で紐状の異物や乗客などがドアに挟み込まれたことを検出する装置などに使用されるセンサを効率的に検査する装置の提供。
【解決手段】 センサ１１を取り付けるセンサ取付治具４０と、センサ１１から所定距離離れた位置に配置され前記センサ１１から出射した光ビームＢを反射する反射板１１２と、取付治具４０と反射板１１２との間に、移動可能に配置された紐１４０と、センサ１１が紐１４０を検出したか否かを知らせるブザー１３２を備えたものである。これにより、効率的にセンサ１１の検査を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】入射光の入射位置及び入射方向を同時に検出することができるようにした光検出装置を提供する。
【解決手段】第一の平面内にマトリックス状に配置した複数個の光検出素子から成る第一の光センサアレイ１１と、第一の平面の光入射側と反対側にて所定間隔ｄで平行に隔置した第二の平面内にマトリックス状に配置した複数個の光検出素子から成る第二のセンサアレイ１２と、スポット状の入射光による第一及び第二の光センサアレイ１１、１２からの検出信号に基づいて、当該入射光の第一及び第二の光センサアレイ１１、１２上における入射位置Ｐ１，Ｐ２を演算すると共に、演算した入射位置間の偏位量ΔＰから当該入射光の入射角度θを演算して、当該入射光の入射位置及び入射方向を決定する信号処理部１４と、を含むように、光検出装置１０を構成する。 （もっと読む）

【課題】光源装置を大型化することなく、光源装置の異常を検出可能とすること。
【解決手段】励起光源１６、光ファイバ１８、波長変換ユニット２０を順に接続して構成された光源装置と、該光源装置の正常な動作を確認する動作確認装置１４と、からなる照明システムは、光源装置における波長変換部を備える光信号射出端３２と動作確認装置とを直接物理的に接続するための接続部４０と、該接続部により光信号射出端と動作確認装置とが接続された状態で、光信号射出端から射出された光信号を検出する光量センサ２８と、該光量センサでの検出結果に基づき、励起光源と光ファイバと波長変換ユニットの動作を判定する判定回路を有する光源制御器２２と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】安価な装置構成により、高感度に第１の波長領域の光を検出できる光検出装置を提供する。
【解決手段】光検出装置２は、被対象物４から輻射される第一の波長領域の光を結像する光学系１と、第一の波長領域の光を吸収することにより第二の波長領域の光に対する応答が変化する光学フィルタ６と、第二の波長領域の光を発する光源８と、第二の波長領域の光の周波数を変調する光周波数変調手段１０と、第二の波長領域の光を検出する光検出手段１２と、第二の波長領域の光を二つの光路に分離し、一方の光を光学フィルタ６に導き、光学フィルタ６による反射光と他方の光とを光検出手段１２上で重ね合わせる光学系２と、光検出手段１２により取得した情報から第一の波長領域の光の強さを算出する光学応答解析手段１４とを有する。 （もっと読む）

【課題】
パルス光のピークパワーの状態をリアルタイムにモニターできる、ピークパワーモニター装置およびピークパワーのモニター方法を提供する。
【解決手段】
測定対象であるレーザーパルス光を２つの光に分波する分波器と、分波された２つの光をそれぞれ受ける、第１光検出器および第２光検出器と、信号演算処理器と、出力器と、を有し、前記第１光検出器は１光子吸収を利用して受けた光のエネルギーを第１信号に変換するとともに、前記第２光検出器は２光子吸収を利用して受けた光のエネルギーを第２信号に変換しており、前記信号演算処理器は、前記第２信号を前記第１信号で除した商を求め、前記商より前記パルス光のピークパワーの状態を表す演算機能を有しており、前記パルス光のピークパワーの状態を表す信号を、前記出力器に出力しモニターすることを特徴とするピークパワーモニター装置である。 （もっと読む）

【課題】
パルス光の時間幅の状態をリアルタイムにモニターできる、パルス光のモニター装置およびパルス光のモニター方法を提供する。
【解決手段】
測定対象であるレーザーパルス光を２つの光に分波する分波器と、分波された２つの光をそれぞれ受ける、第１光検出器および第２光検出器と、信号演算処理器と、出力器と、を有し、前記第１光検出器は１光子吸収を利用して受けた光のエネルギーを第１信号に変換するとともに、前記第２光検出器は２光子吸収を利用して受けた光のエネルギーを第２信号に変換しており、前記信号演算処理器は、前記第２信号を前記第１信号の２乗で除した商を求め、前記商より前記パルス光の時間幅の状態を表す演算機能を有しており、前記パルス光の時間幅の状態を表す信号を、前記出力器に出力しモニターすることを特徴とするパルス光のモニター装置である。 （もっと読む）

【課題】基準ファイバならびに測定対象である光ファイバが無くともＡＰＤの増倍率の補正が容易に出来る光パルス試験器およびその調整方法を提供することを目的とする。
【解決手段】光パルスではなくタイミング制御不要な連続光を試験対象の光ファイバを接続するための外部接続部に向けて射出し、当該連続光の後方散乱光よりレベル大きい反射光をアバランシェフォトダイオード（ＡＰＤ）で受光し、ＡＰＤの増倍率を決定するＡＰＤバイアス電圧を変化させ、ＡＰＤの増倍率とＡＰＤバイアス電圧の組み合わせを複数検出することによってＡＰＤの増倍率の補正を行う。 （もっと読む）

【課題】高強度の高エネルギー放射光の束の断面におけるパラメータの空間分解測定方法を提供する。
【解決手段】本発明は、高エネルギー、高強度放射光のビーム束の断面全体にわたって測定データを空間的に取得する方法および装置に関する。高強度のビーム束の断面内で、検出器の飽和または劣化による測定精度の低下を発生させることなく、高空間分解測定データを取得する放射光測定の新しい可能性を見出すという目的は、本発明によれば、ビーム束（２）の全断面（２１）が遮蔽要素（３）上に結像され、断面（２１）が、少なくとも１つの開口部（３１）の移動を通じて、断面積が小さく、強度が弱い部分ビーム束（２２）へと連続的に分離され、開口部（３１）を通過する部分ビーム束（２２）の測定値が、時間的および空間的に開口部（３１）の位置に関連付けられるように取得され、記憶されることにより達成される。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成によって偏波間のパワー偏差を測定すること。
【解決手段】変調部は、複数の光にそれぞれ異なる周波数の各信号を重畳する。偏波合成部は、変調部によって各信号を重畳された各光を偏波多重する。受信部は、偏波合成部によって偏波多重されて送信された偏波多重光の伝送路上に設けられた測定装置で測定された各信号の強度に基づく所定情報を受信する。制御部は、受信部によって受信された所定情報に基づいて偏波多重光の偏波間の強度偏差を制御する。 （もっと読む）

【課題】 プロセス稼動状態において熱変形などがあった場合においても常に光軸を一定に保つことができ、安定した測定ができるレーザガス分析計を実現することを目的とする。
【解決手段】 測定ガス１１中にレーザ光１５を照射し、そのレーザ光１５の光吸収による光量変化からガス濃度を測定するレーザガス分析計において、レーザ１１から出射されるレーザ光１５を平行光にするレンズ１２と、このレンズ１２から出射されるレーザ光１５が測定ガス１を透過した後の光量を検出する検出器と、前記レンズ１２の焦点位置にある移動平面内で前記レーザ１１を移動するアクチュエータ１３と、前記検出器からの信号に基づいてアクチュエータ１３を駆動するアクチュエータ制御部１６とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】検出器の両端に必要とされるバイアスを増大させずに単一光子による信号の存在を強調するため、従来より高い周波数で動作させることができる光子検出システム。
【解決手段】単一光子を検出するように構成された光子検出器５１と、光子検出器の出力信号を、第１の部分が第２の部分と実質的に同一である第１の部分と第２の部分とに分配する信号分配器５５と、第２の部分を第１の部分に対して遅延させる遅延手段５６と、信号の第１の部分と遅延させた第２の部分とを、遅延させた第２の部分が出力信号の第１の部分における周期的変動を打ち消すために使用されるように合成する合成器６１とを備える光子検出システム。 （もっと読む）

【課題】
微小な欠陥を検出すること、検出した欠陥の寸法を高精度に計測することなどが求められる。
【解決手段】
光源から出射した光を、調整する照明光調整工程と、前記照明光調整工程により得られる光束を所望の照明強度分布に形成する照明強度分布制御工程と、前記照明強度分布の長手方向に対して実質的に垂直な方向に試料を変位させる試料走査工程と、照明光が照射される領域内の複数の小領域各々から出射される散乱光の光子数を計数して対応する複数の散乱光検出信号を出力する散乱光検出工程と、複数の散乱光検出信号を処理して欠陥の存在を判定する欠陥判定工程と、欠陥と判定される箇所各々について欠陥の寸法を判定する欠陥寸法判定工程と、前記欠陥と判定される箇所各々について、前記試料表面上における位置および前記欠陥の寸法を表示する表示工程と、を有することを特徴とする欠陥検査方法。 （もっと読む）

【課題】極紫外線（ＥＵＶ）光源のための測定機器を提供する。
【解決手段】「ＥＵＶ光源」測定のためのシステム及び方法。第１の態様では、ＥＵＶ光源電力出力を測定するためのシステムは、ＥＵＶ光経路に沿って配置された光電子原料物質を含み、この物質を露出させてある一定量の光電子を発生させることができる。システムは、更に、光電子を検出してＥＵＶ電力を示す出力を生成するための検出器を含むことができる。別の態様では、ＥＵＶ光強度を測定するためのシステムは、ＥＵＶ光経路に沿って配置可能な多層ミラー、例えばＭｏ／Ｓｉを含み、このミラーを露出させてミラーに光電流を発生させることができる。電流モニタをミラーに接続し、光電流を測定してＥＵＶ電力を示す出力を生成することができる。更に別の態様では、オフラインＥＵＶ測定システムは、光特性を測定するための計器、及びＭｏＳｉ₂／Ｓｉ多層ミラーを含むことができる。 （もっと読む）

【課題】常に安定にレーザ光の出力を検出可能な紫外線レーザ装置用エネルギー測定装置を提供する。
【解決手段】レーザ光の出力を検出する光検出器(37)と、光検出器(37)の前方に配置され、光検出器(37)に入射するレーザ光を拡散させる拡散板(36)とを備えたレーザ装置用エネルギー測定装置において、紫外線光を予め照射し、拡散板(36)の透過率の変化を略飽和させた拡散板を用いることを特徴とする、レーザ装置用エネルギー測定装置。 （もっと読む）

【課題】製作が容易で、低コスト、高精度化を実現した光学センサ及びセンサチップを提供する。
【解決手段】発光素子は、絶縁基板の法線方向に出射光を出射する面発光型であり、前記受光素子は、前記絶縁基板の面と水平な方向からの散乱光を端面で受光する端面入射型であり、前記キャップは、前記発光素子の出射光の方向を前記絶縁基板の面と水平な方向へ変換する光路変換素子をさらに有しており、前記キャップの前記第一開口部は、前記発光素子の出射光が前記キャップの前記光路変換素子で変換された光路方向にあり、前記キャップの前記第二開口部は、前記受光素子に対して前記受光素子が散乱光を受光できる方向にあることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】積分動作におけるチャージインジェクションによる検出信号の劣化を高精度に補償し、微弱光を高Ｓ／Ｎで検出する。
【解決手段】光の光量に応じた大きさの電流信号を出力するＰＤ１と、ＰＤ１とにより出力された電流信号に応じた電荷を蓄積するコンデンサ１３を含み、電流信号を積分してコンデンサ１３に蓄積されている電荷の量に応じた積分値を出力する積分回路３と、コンデンサ１３による電荷の蓄積と蓄積された電荷の放電とを切り替えるリセットスイッチ１５と、積分回路３から出力された電流信号の積分値のうち、積分期間の略開始時の電流信号の積分値と略終了時の電流信号の積分値との差分を演算して出力する差分演算部７とを備える光検出回路１０を提供する。 （もっと読む）

【課題】走査光学系の光学異常を容易且つ高精度に検査するための走査光学系光量測定方法を提供する。
【解決手段】光走査装置１のレーザダイオード１１１より射出された走査ビームを連続点灯させて走査している状態で、フォトセンサ３及びスリット２を移動ステージ４により走査速度よりも遅い速度で主走査方向に移動させ、フォトセンサ３の移動中にフォトセンサ３を走査ビームが通過するよりも短いサンプリング周期で測定を行う。 （もっと読む）