【課題】赤外線センサを用いた赤外線式炭酸ガス検出装置における赤外線センサの温度が安定した温度になるまでの時間を短縮する。
【解決手段】赤外線光源１６は、駆動回路１９を介して制御コンピュータＣの通電制御を受ける。赤外線光源１６に通電が行われると、赤外線光源１６は、赤外線を放射する。赤外線光源１６から放射された赤外線のうち、ガス導入筒１３内のガスに吸収されずにバンドパスフィルタ１８を透過した赤外線は、サーモパイル型赤外線センサ１７に受光される。制御コンピュータＣは、通常の点滅信号Ｅｏの供給による通常放射時の点滅放射とは異なるように、予熱用信号Ｅ１１の供給によって赤外線光源１６から赤外線を放射させてサーモパイル型赤外線センサ１７を予熱する予熱制御を行なった後に、通常の点滅制御へ移行する。 （もっと読む）

光学的劣化の程度を判断するためのＥＵＶミラーの原位置モニタリングの方法を開示する。本方法は、ＥＵＶスペクトル外の波長を有する光でミラーの少なくとも一部を照射する段階／行為と、光がミラーから反射した後に光の少なくとも一部を測定する段階／行為と、測定値及びミラー劣化と光反射率の所定の関係を用いて多層ミラー劣化の程度を推定する段階／行為とを含むことができる。同じく開示するのは、金属質基板を準備する段階と、基板の表面をダイヤモンド切削する段階／行為と、物理蒸着を用いて表面の上に重なる少なくとも１つの中間材料を堆積させる段階／行為と、中間材料の上に重なる多層ミラーコーティングを堆積させる段階／行為とを含むことができる近垂直入射ＥＵＶミラーを調製する方法である。 （もっと読む）

【課題】光量が周期的に変動する被測定光を短時間で適切に測定することができる光量測定装置を提供する。
【解決手段】測定期間にフォトダイオード１２８が発生及び蓄積した電荷は、複数回に分けて読み出され、制御演算部１２２は、測定期間ＭＰを分割した複数個の蓄積期間ＳＰ（１），ＳＰ（２），・・・，ＳＰ（Ｍ）の各々にフォトダイオード１２８が発生及び蓄積した電荷の量Ｑ（１，ｉ），Ｑ（２，ｉ），・・・，Ｑ（Ｍ，ｉ）（ｉ＝１，２，・・・，Ｎ）に応じた画素データＤ（１，ｉ），Ｄ（２，ｉ），・・・，Ｄ（Ｍ，ｉ）を取得する。さらに、制御演算部１２２は、複数の画素データＤ（１，ｉ），Ｄ（２，ｉ），・・・，Ｄ（Ｍ，ｉ）を積算し、測定期間ＭＰにフォトダイオード１２８が発生及び蓄積した電荷の量Ｑ（１），Ｑ（２），・・・，Ｑ（Ｎ）に応じた画素データＤ（１），Ｄ（２），・・・，Ｄ（Ｎ）を算出する。 （もっと読む）

【課題】フォトトランジスタで受けた入力光の波形の特性を劣化させずに光信号を電気信号に変換する。
【解決手段】入力光が入力端子に供給され、該入力光が増幅されて電気信号を発生するフォトトランジスタと、上記フォトトランジスタの出力端子と基準電位間に接続された第１の負荷素子と、上記フォトトランジスタの出力端子が入力端子に接続され、出力の一方の端子と前記基準電位間に第２の負荷素子が接続され、出力の他方の端子が交流的に接地され、上記一方の端子から出力信号が導出された出力トランジスタとを有することにより、入力光のデューティ比を変えずに、高速で動作することができる。 （もっと読む）

【課題】偏波ダイバーシティ構成を用いずに強度相関信号の偏波依存性を無くす。
【解決手段】波長の異なる複数系列の光信号を波形測定の対象となる被測定光信号とし、該複数系列の被測定光信号を一括サンプリングするためのサンプリング光パルスを出力しうるサンプリング光出力部１３と、該複数系列の被測定光信号および該サンプリング光出力部からの該サンプリング光パルスによる非線形光学効果を生じさせて、該被測定光の一括サンプリング結果となる光を出力しうるサンプリング結果出力部４４と、サンプリング結果出力部４４において出力される光を用いて該波形測定を行なうことができるように、サンプリング結果出力部４４において出力される光のパワーレベルに基づいて該サンプリング結果出力部に入力される被測定光信号の偏波状態を個別に制御しうる偏波状態制御部４７と、をそなえる。 （もっと読む）

【課題】簡易で安価な構成で且つ高いサンプリング効率で光信号をサンプリングでき、高速な光信号の波形情報を安定に得ることができるようにする。
【解決手段】光サンプリング装置２２のサンプリング用素子としてカーボンナノチューブ素子２３を用い、その一方の光端子２３ａに監視対象の光信号Ｐｘを入射させ、サンプリングパルス用光パルス発生器２１から出射されたサンプリング用光パルスＰｓを、光カプラ２５を介してカーボンナノチューブ素子２３の他方の光端子２３ｂへ入射させ、そのサンプリング用光パルスＰｓが入射したときに生じる過飽和吸収特性により光信号Ｐｘに対する吸収率を低下させて他方の光端子２３ｂから出射させて、サンプリングを行っている。 （もっと読む）

【課題】外乱光による影響をさらに低減し、検出精度の高い物体検出回路を実現する。
【解決手段】パルス変調された光を照射する発光素子１２と、被検出物体の有無に応じて発光素子１２からの出力パルス光を受光する受光素子１３とを備える。さらに、受光素子１３にて検知されたパルス光が、発光素子１２から照射されるパルス幅に一致するか否かをパルス幅検知回路１６によって判定し、一致しない場合にはその検知光が外乱光を誤検知したものであると判定する。 （もっと読む）

【課題】トランスインピーダンスアンプのような逆バイアス電圧を受光素子に印加せずに受光素子からの電流を電圧に出力する回路を用いて、パルス光を検出することができる光電センサ、光電センサの受光ユニットおよび光電センサの投光ユニットを提供する。
【解決手段】ＬＥＤ（Ａ）１１は、検出領域に向けてパルス光を投光する。ＬＥＤ（Ｂ）１３は、直流光を直接フォトダイオード５２に向けて投光する。フォトダイオード５２は、検出領域から入射される、パルス光を直流光でバイアスした光を受光する。トランスインピーダンスアンプ５３は、フォトダイオード５２に逆バイアスを印加せずに、フォトダイオード５２から出力される電流を電圧に変換する。ハイパスフィルタ５４は、トランスインピーダンスアンプ５２から出力される電圧から直流光の成分を除去する。 （もっと読む）

【課題】計測対象が発光部による発熱の影響を受けにくい光センサを提供する。
【解決手段】本体１３は、少なくとも一部が反射面とされた凹状の内面を備えている。発光部１１は、本体１３の内面上に配置されている。光通路１４は、発光部１１から発せられた光を外部に送り出すものである。受光部１２は、発光部１１から発せられ、かつ、外部を通過した光を受光するものである。発光部１１を、本体１３の内面側に計測対象から離して配設することにより、計測対象への熱の影響を低く抑えることができる。また、発光部１１に対向する位置に反射部１７を設けることができる。 （もっと読む）

【課題】
光位相変調信号のジッタ量の測定を可能にしたジッタ測定装置を提供する。
【解決手段】
２つのアームのいずれか一方にビット遅延器を含んで構成され、入力光として光搬送波がデータ信号で位相変調されてなる光位相変調信号を受けてそれぞれの前記アームを通る２つの光に分波するとともにそれぞれのアームを通った２つの光を合波して干渉させ２つの互いの位相の１８０°異なる光強度変換信号を出力するビット遅延干渉計２と、ビット遅延干渉計から出力される２つの光強度変換信号の少なくともいずれか一方を電気信号に変換し、得られた電気信号波形を順次ディジタル変換してその波形データを順次メモリ（６ｂ、７ｄ）に記憶する光波形測定部（１５、７）と、波形データから光強度変換信号のジッタを光位相変調信号のジッタとして算出するジッタ算出部（８）とを備えたことを特徴とするジッタ測定装置。 （もっと読む）

【課題】 高精度の計測を行うことができるビームプロファイル計測装置を提供する。
【解決手段】 ビームプロファイル計測装置は、受光面上の光強度分布を測定する光強度分布測定器と、第１の面を通過した光ビームが入射し、光ビームの第１の面上の断面の第１の方向に関する寸法を、第１の倍率で拡大または縮小し、該断面の、第１の方向と交差する第２の方向に関する寸法を、第１の倍率と異なる第２の倍率で拡大または縮小して、該断面を、光強度分布測定器の受光面上に結像させるレンズ光学系とを有する。 （もっと読む）

【課題】検出条件の設定変更又は調整の際に、設定変更又は調整がなされている本体部に対応するヘッド部を良好に把握できる構成を提供する。
【解決手段】光ファイバセンサユニット１は、検出ヘッド部５０と、本体部３１とを備え、投光部１７からの光を検出ヘッド部５０を介して検出領域に出射し、かつ検出ヘッド部５０を介して検出領域からの光を受光部１８へ導くヘッド分離型の光電センサとして構成されている。本体部３１は、予め設定される検出条件に基づいて検出動作を行う検出手段と、外部から検出条件を設定変更可能な条件設定手段とを備えている。さらに、条件設定手段による検出条件の設定変更又は調整の際に、検出時の投光部１７の点灯状態とは識別可能な状態でヘッド部５０から可視光を出射する可視光出射手段を備えている。 （もっと読む）

【課題】プローブ光の位相バイアスを抑制せず、かつ回路が飽和することもなしに、ＴＨｚ電磁波によって変調されたプローブ光の変調量を検出可能な光電変換装置を提供する。
【解決手段】２つのフォトダイオード１，２と、フォトダイオード１、２に生じる光電流の差を出力信号に増幅する増幅器６と、各々のフォトダイオードに対応して設けられ、対応するフォトダイオードへの入射光を、その入射光が有する特定の物理量に応じた強度で、異なる特性に従って透過する２つのフィルタを備える。 （もっと読む）

【課題】非線形光学結晶を通過した被測定光信号及びサンプリング光パルスの少なくとも一方を有効活用することができる光サンプリング波形観測装置を提供する。
【解決手段】光サンプリング波形観測装置１０は、被測定光信号Ｌ１とサンプリング光パルス光源１１からのサンプリング光パルスＬ２とを非線形光学結晶１３に入射させ、非線形光学結晶１３で発生する和周波光Ｌ３を受光器１４で受光して被測定光信号Ｌ１の波形を観測する。受光器１７は非線形光学結晶１３を通過したサンプリング光パルスＬ２を受光し、パルスタイミング制御回路１８は受光器１７からの受光信号に基づいてパルスタイミング制御回路１８がサンプリング光パルス光源１１から射出されるタイミングを制御する。 （もっと読む）

本発明は、マイクロリソグラフィー投影露光装置用の照明システムに関するものであって、その場合に照明システムが、射出瞳面（１２１）を照明するための、波長領域≦１００ｎｍ、特にＥＵＶ波長領域内の光を放出する、光源、および射出瞳面（１２１）内で少なくとも１つの第１の照明（２２）を第２の照明（２４）へ変化させることができる素子と光を検出するための少なくとも１つの検出器（１０６．１、１０６．２）を有し、その場合に、照明システムが、検出器（１０６．１、１０６．２）の少なくとも１つの光強度信号を記録して、少なくとも記録した光強度信号に従って制御信号（１６６）を提供する装置（１６４）を有しており、前記制御信号によって、マイクロリソグラフィー投影露光装置の像面（２２１）内で感光性の物体のスキャン速度を調節することができることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】一列状に配列された複数の受光手段から出力された受光信号を一つの受光制御手段で受光処理する多光軸光電センサにおいて、投受光器の長さに係わらず適切に受光処理することのできる多光軸光電センサを提供すること。
【解決手段】受光制御回路２３には、各受光素子２２ｅ〜２２ｌと受光制御回路２３との間に配される距離に対応した受光信号Ｓ２，Ｓ３の入力遅れ時間に関する遅延データを記憶する遅延データ記憶部２９が設けられている。受光制御回路２３は、遅延データに基づいて受光素子２２ｅ〜２２ｌから出力された受光信号Ｓ２，Ｓ３を検出する検出タイミングを遅延させる。 （もっと読む）

【課題】投影システムの放射ビームの位相分布および／または瞳分布を測定する放射分布測定システムを提供する。
【解決手段】波面センサ１０は、透明なキャリアプレート２０と、透明なキャリアプレートの第１面で構成された格子２２と、透明なキャリアプレートの反対側の面のカメラ２４，２６とを含む。測定システムはまた、透明なキャリアプレートとカメラとの間に、フィルタの中央で最も低く、フィルタの外側に向かって徐々にかつ同心円的に増大する透過率を有する放射フィルタ３０を含む。特有の透過率を有するフィルタを配置することにより、波面センサ１０全体にわたる強度の差異（すなわち、強度の勾配）が補正される。カメラに入射する光の強度はより均一にされ、その結果、測定システムの性能が改善される。 （もっと読む）

【課題】投光素子の投光量をより短時間で安定させることができる検出センサを提供する。
【解決手段】光電センサ１０は、被検出物へ向けて所定周期のパルス光を照射する投光素子１１と、投光素子から被検出物へ向けて照射された光を受光する検出用受光素子１３と、投光素子から照射される光を直接受光するモニタ用受光素子２３と、所定周期ごとの検出用受光素子の受光量に基づいて被検出物の検出を行い、その検出結果の出力を行う受光回路１４と、投光素子へ投光電流を供給して所定のデューティ比にて該投光素子をパルス駆動するとともに、モニタ用受光素子の受光量が一定レベルとなるように、投光素子へ供給される投光電流を調整する投光回路１２及び制御回路１５とを備える。駆動開始時の所定期間において、投光素子は、所定のデューティ比よりも大きなデューティ比でパルス駆動される。 （もっと読む）

【課題】同期検波用遅延器を使用せずに測定対象からの反射波を観測することのできる波形観測装置を提供する。
【解決手段】進行波を所定の周期で繰り返し送出する送信器１０２と、測定対象Ｍで反射する反射波を受波する受信器１０３と、反射波の振幅値をその反射波を受波する毎に記憶していく反射波形観測手段１０４とを移動体に設けた波形観測装置であって、前記移動体と測定対象Ｍとの相対速度を検出する相対速度検出手段１０６と、測定対象Ｍと受信器１０３との間の伝播経路の経路変化量を、前記相対速度度に基づいて受信器１０３が反射波を受波する毎に算出する経路変化量算出手段１０７と、この経路変化量算出手段１０７が算出する経路変化量に基づいて、前記反射波のサンプリング点間隔を算出するサンプリング周期算出手段１０８とを備え、このサンプリング周期算出手段１０８が算出したサンプリング点間隔と、このサンプリング点間隔に対応する前記振幅値とから反射波の波形を観測する。 （もっと読む）

【課題】投光周期の変更に柔軟に対応することのできる光電センサを提供すること。
【解決手段】制御回路には、内部基準周期ｔを計時（カウント）する内部カウンタが設けられるとともに、その内部基準周期の初期値は、入力される同期信号の送信周期Ｔ´に設定され、制御回路は、この内部カウンタのリセットタイミングから所定時間ｔ０遅延したタイミングで上記投光信号及び送信信号を出力する。そして、制御回路は、同期信号の受信検出タイミングと内部カウンタのリセットタイミングとを比較することにより、随時、内部基準周期ｔを送信周期Ｔ´と等しく補正する。 （もっと読む）