【課題】例えばリフロー実装可能な程度の優れた耐熱性を有する赤外線センサを提供する。
【解決手段】赤外線センサ１は、焦電体層１０と、一対の電極１１ａ、１１ｂとを備える。焦電体層１０は、窒化アルミニウム系圧電体材料からなる。一対の電極１１ａ、１１ｂは、焦電体層１０を狭持している。 （もっと読む）

【課題】 パッケージとパッケージ蓋との確実な接合を、容易な構成で実現する表面実装型の赤外線センサおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】 赤外線を検知する赤外線センサ素子５と、赤外線センサ素子５の出力信号をインピーダンス変換して出力するＦＦＴ６と、赤外線センサ素子５およびＦＦＴ６を収納し一面に開口部４を有するパッケージ１と、開口部４を塞ぐとともに赤外線を透過する手段を有するパッケージ蓋３とを備える赤外線センサ１であって、パッケージ２は、端縁部２ｃの少なくとも一部に、パッケージ２の内部と外部を連通し、封止剤にて封止可能な溝７が設けられ、端縁部２ｃにパッケージ蓋３が接合される。 （もっと読む）

【課題】小型化を実現し、かつ、電極にゆがみが生じない火炎センサを提供する。
【解決手段】網目状の電極３４を設置した紫外線透過物質であるガラス板３３からなる上蓋３１と、電極３８となる金属を設置した下蓋３２とを備え、上蓋３１の電極３４と下蓋３２の電極３８が平行に向かい合うように上蓋３１と下蓋３２を接合し、向かい合う電極間に規定のガスを封入したので、電極にゆがみの生じない火炎センサを容易に実現することができる。 （もっと読む）

【課題】外乱が加わった際にも検出精度が低下しにくい赤外線センサ装置を提供する。
【解決手段】赤外線センサ装置１は、回路基板１０と、赤外線センサチップ１１とを備えている。赤外線センサチップ１１は、回路基板１０に実装されている。回路基板１０の赤外線センサチップ１１が実装された領域の周辺部に貫通孔１０ａが形成されている。 （もっと読む）

【課題】ウェハ１枚当たりの赤外線センサの取れ数の減少を抑えつつ、ウェハごとに２種類の熱電要素のゼーベック係数を管理することが可能な赤外線センサの製造方法を提供する。
【解決手段】半導体基板１の基礎となるウェハ２００の一表面側へのｎ形ポリシリコン層３４（第１の熱電要素）の形成と同時に第１シート抵抗モニタ部２３４を形成し、且つ、ウェハ２００の上記一表面側へのｐ形ポリシリコン層３５（第２の熱電要素）の形成と同時に第２シート抵抗モニタ部２３５を形成するようにし、第１シート抵抗モニタ部２３４のシート抵抗および第２シート抵抗モニタ部２３５のシート抵抗それぞれを測定し、予めデータベース化されているシート抵抗とゼーベック係数との関係に基づいて、第１シート抵抗モニタ部２３４および第２シート抵抗モニタ部２３５のゼーベック係数がそれぞれの管理規格範囲内にある良品か管理規格範囲外にある不良品かを判定する。 （もっと読む）

【課題】支持部材と受光部との間に空間が形成された焦電素子において、焦電素子の機械的強度を向上させる。
【解決手段】焦電素子１０は、受光部６１，６２よりも焦電基板２０の外側を支持する第１支持部３１だけでなく、受光部６１，６２の間を支持する第２支持部３２によっても焦電基板２０が支持されている。このため、第１支持部３１のみで焦電基板２０を支持する場合と比べて、焦電素子１０の機械的強度が向上する。また、焦電基板２０は２つの受光部６１，６２の間に空隙２８を持つように焦電基板２０ａ，２０ｂに分割されており、第２支持部３２は空隙２８を架け渡すように焦電基板２０を支持している。 （もっと読む）

【課題】赤外線用カメラにおいて、赤外センサの真空処理によるセンサの検出面の位置の個体差があっても、合焦可能な赤外線用カメラの後側焦点調整方法の提供を目的とする。
【解決手段】カメラ本体に取り付けられるレンズユニットと、カメラ本体とを備え、カメラ本体は、真空室内に配置され、赤外光を検知する検知面を有する赤外センサと、赤外センサの検知面の光軸方向における位置を測定した検知面位置情報を記憶する記憶手段と、検知面位置情報をレンズユニットに送信する送信手段とを備え、レンズユニットは、カメラ本体の送信手段から送信される検知面位置情報を受信する受信手段と、レンズ群の光軸方向の位置を調整する焦点位置調整手段とを備え、レンズユニットの受信手段において受信した検知面位置情報に応じて、赤外センサの検知面の位置を後側焦点として、レンズ群の光軸方向の基準位置を調整する赤外線用カメラの後側焦点調整システム等を採用した。 （もっと読む）

【課題】二次実装用のフランジ構造を有し、実装基板底面から焦電型赤外線検出器高さを含む総高さを低くする事が可能な表面実装型の焦電型赤外線検出器を提供すること。
【解決手段】本焦電型赤外線検出器は、二次実装用のフランジ構造を有し、低背可能とするために表面実装を可能とするためのパターン６が形成されている。焦電型赤外線センサ素子、ＦＥＴ、抵抗、高周波ノイズ対策用の抵抗、コンデンサが、搭載された上層ベースより、スルーホールにて下層ベース８まで接続されている。下層ベース表面には、二次実装用に金属膜にて形成されたパターンを有し、電気的に接続させ、機械的に固定出来るようにしている。 （もっと読む）

【課題】赤外線センサにおけるＭＯＳトランジスタのしきい値のばらつきを小さくすることが可能な赤外線センサの製造方法を提供する。
【解決手段】半導体基板１の一表面側にシリコン酸化膜３１とシリコン窒化膜３２との積層膜を形成してから、シリコン窒化膜３２のうち熱型赤外線検出部３の形成予定領域Ａ１に対応する部分を残してＭＯＳトランジスタ４の形成予定領域Ａ２に対応する部分をドライエッチングにより除去する。その後、半導体基板１の一表面側に第１のイオン注入を行ってウェル領域４１を形成してから、ＭＯＳトランジスタ４のしきい値電圧を制御するための第２のイオン注入を行う。ウェル領域を形成する工程では、シリコン酸化膜３１のうちＭＯＳトランジスタ４の形成予定領域Ａ２に形成されている部分（シリコン酸化膜５１）の一部をウェットエッチングにより除去してから、シリコン酸化膜３１をマスクとして第１のイオン注入を行う。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構成で、紫外線検知管の自己放電等による故障を早期に検出することができる火炎検出装置を提供する。
【解決手段】 紫外線検知管２０を含む回路が低インピーダンス状態の時に、炎検出回路３０から所定期間連続して第一炎検出信号ＦＳが出力されると、紫外線検知管２０を含む回路を高インピーダンス状態に切替える。その後、診断回路５０から所定期間連続して第二炎検出信号ＲＳが出力されないと、紫外線検知管２０が異常であることを報知する。 （もっと読む）

【課題】熱ノイズを低減することが可能な赤外線センサおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】赤外線センサ１００は、サーモパイル３０ａにより構成される感温部３０を有し半導体基板１の一表面側に形成されて半導体基板１に支持された熱型赤外線検出部３と、半導体基板１の上記一表面側に形成され感温部３０の出力電圧を取り出すためのＭＯＳトランジスタ４とを備える。ＭＯＳトランジスタ４のゲート電極４６が、ゲート絶縁膜４５上の導電性ポリシリコン層４６ａと、導電性ポリシリコン層４６ａを覆うシリサイド層４６ｂとを有している。 （もっと読む）

【課題】サーモパイルの抵抗のばらつきを小さくすることが可能な赤外線センサの製造方法を提供する。
【解決手段】サーモパイル３０ａにおけるｐ形ポリシリコン層３５およびｎ形ポリシリコン層３４の基礎となるノンドープのポリシリコン層を形成した後、ｐ形不純物およびｎ形不純物それぞれを上記ポリシリコン層の互いに異なる所定部位にイオン注入してｐ形ポリシリコン層３５およびｎ形ポリシリコン層３４を形成するようにし、ｐ形ポリシリコン層３５を形成するためのｐ形不純物のイオン注入を行う際のイオン注入量を、ｐ形ポリシリコン層３５のドーピング濃度が固溶限となるイオン注入量よりも高く設定し、かつ、ｎ形ポリシリコン層３４を形成するためのｎ形不純物のイオン注入を行う際のイオン注入量を、ｎ形ポリシリコン層３４のドーピング濃度が固溶限となるイオン注入量よりも高く設定する。 （もっと読む）

【課題】製造歩留まりの向上が可能な赤外線センサを提供する。
【解決手段】赤外線センサ１００は、半導体基板１と、赤外線による熱エネルギを電気エネルギに変換する感温部（熱電変換部）３０を具備し半導体基板１の一表面側に形成されて半導体基板１に支持された熱型赤外線検出部３とを備え、半導体基板１において熱型赤外線検出部３の一部の直下に空洞部１１が形成され、熱型赤外線検出部３に、空洞部１１に連通した複数のスリット１３，１４が形成されている。熱型赤外線検出部３は、複数のスリット１３，１４を通した異方性エッチングにより半導体基板１に空洞部１１を形成する際に半導体基板１において上記一表面からの異方性エッチングが最終的に開始される部位に重なる部分に、当該部分を補強する補強部３８が設けられている。 （もっと読む）

【課題】高感度化が可能な赤外線撮像素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、赤外線検出基板１０１と、対向基板２０１と、を備えた赤外線撮像素子が提供される。赤外線検出基板は、検出素子基板１０５と、検出素子基板の第１主面１０１ａの側に設けられ検出素子基板と離間し赤外線を検出する複数の赤外線検出画素部１１０と、第１主面上において赤外線検出画素部どうしの間に設けられた第１突出部１２０と、を含む。対向基板は、第１主面に対向する第２主面２０１ａを有する。対向基板は、第２主面上に設けられ赤外線検出画素部と離間し赤外線検出画素部に対向する複数のレンズ部２１０と、第２主面上において複数のレンズ部どうしの間に設けられ、第１突出部と当接する第２突出部２２０と、を含む。 （もっと読む）

【課題】紫外線の強度をより正確に測定することができる。
【解決手段】紫外線センサ１０４は、紫外線受光面に照射される紫外線の紫外線強度を測定する。ＣＰＵ１０１は、紫外線センサ１０４の紫外線受光面が所定の方向に向いた場合に紫外線強度を測定するように制御する。 （もっと読む）

【課題】 焦電型検出素子の焦電材料に還元ガスが侵入し難くした構造を有する焦電型検出器、焦電型検出装置及び電子機器を提供すること。
【解決手段】 第１，第２電極２３４，２３６間に配置された焦電材料２３２を有するキャパシター２３０が、温度に基づいて分極量を変化させる焦電型検出素子２２０と、第１面２１１Ａ側に焦電型検出素子を搭載した支持部材２１０と、支持部材の第２面２１１Ｂが空洞部１０２に臨んで配置され、支持部材の一部を支持する支持部１０４とを有し、第１方向Ｄ１に沿って支持部、支持部材及び焦電型検出素子の順で積層され、支持部材は、少なくとも第１面２１１Ａ側に第１絶縁層２１２を有し、第１絶縁層２１２は、第１方向Ｄ１とは逆方向を第２方向Ｄ２としたとき、第１絶縁層２１２よりも第２方向Ｄ２に位置する第２絶縁層（１０４または２１６）よりも水素含有率が小さい。 （もっと読む）

【課題】赤外線センサチップの水分を低減することが可能な赤外線センサおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】半導体基板１の上記一表面側に、サーモパイル３０ａが埋設された薄膜構造部たる熱型赤外線検出部３が形成されるとともに、半導体基板１の上記一表面側において熱型赤外線検出部３の一部の直下に空洞部１１が形成された赤外線センサチップ１００と、赤外線センサチップ１００が収納されたパッケージ１０３とを備え、熱型赤外線検出部３においてＳｉＯ_２系材料により形成された部位の露出表面がＣＨ_３基を含む有機材料により疎水化処理されている。 （もっと読む）

【課題】携帯性に優れ、片手で、容易に操作することのできる赤外線カメラを提供する。
【解決手段】レンズ組立体２と、電気エネルギー源５と、レンズ組立体を介して受取る情報を記録、処理する処理手段６とを有する手持ち式赤外線カメラで、伸長形状のハウジング３を有し、レンズ組立体２はハウジング３の一方端に取り付けられ、他方端４は使用者用ハンドルとして形成され、好ましくは、その長手方向軸線２１は、レンズ組立体の光軸２２に対して相対的に傾いて、角度αをなし、片手操作可能な手動制御手段が提供され、視覚による制御手段はカメラ使用者の目や体から離して保持、操作する時に眺めることができる。このカメラは検査用カメラとなり、またカメラからの情報を無線伝送する手段が設けられている。 （もっと読む）

【課題】信頼性の向上を図れるだけでなく、感度および応答速度の向上を図れる赤外線センサを提供する。
【解決手段】赤外線吸収部３３および当該赤外線吸収部３３の温度変化を検出する感温部３０を有しシリコン基板（支持基板）１ａの一表面側に形成されてシリコン基板１ａに支持された熱型赤外線検出部３を備え、シリコン基板１ａにおいて熱型赤外線検出部３の一部の直下に空洞部１１が形成されている。熱型赤外線検出部３のうち平面視において空洞部１１に重なる赤外線吸収部３３は、厚み方向の両側それぞれに複数の凹凸の高低差が均一で順テーパ状の傾斜面を有する凹凸面が形成された赤外線吸収層３９と、当該赤外線吸収層３９における空洞部１１側の凹凸面に接する形で形成され赤外線吸収層３９を透過した赤外線を反射する赤外線反射膜４０とを有し、赤外線反射膜４０における赤外線入射凹凸面の高低差が赤外線吸収層３９の厚さ寸法よりも小さい。 （もっと読む）

【課題】信頼性の向上を図れるだけでなく感度および応答速度の向上を図れる赤外線センサを提供する。
【解決手段】シリコン基板（支持基板）１ａは、熱型赤外線検出部３の一部の直下に空洞部１１が形成されている。サーモパイル３０ａは、ｎ形ポリシリコン層（第１の熱電要素）３４とｐ形ポリシリコン層（第２の熱電要素）３５とを熱型赤外線検出部３においてシリコン基板１ａの空洞部１１に重なる領域で第１の接続金属部３６により接合することで形成された複数の温接点Ｔ１、ｎ形ポリシリコン層３４とｐ形ポリシリコン層３５とを熱型赤外線検出部３において空洞部１１に重ならない領域で第２の接続金属部３７により接合することで形成された複数の冷接点Ｔ２を有する。ジュール熱により温接点Ｔ１を温める自己診断用ヒータ部１３９は、熱型赤外線検出部３においてシリコン基板１ａの空洞部１１に重な域でサーモパイル３０ａと重ならないように配置されている。 （もっと読む）