【課題】放射温度計による正確な温度測定を簡便に行うことが可能な温度測定装置を提供する。
【解決手段】温度測定装置は、被測定物１の温度を測定する放射温度計６と、被測定物１の放射率を測定する放射率測定装置１０と、放射温度計６で測定された温度を放射率測定装置１０で測定された放射率を用いて補正する補正処理部と、を備えている。放射温度計６は、被測定物１から放射される複数波長の放射光のうち予め定めた単一波長の放射光のみを検出する。放射率測定装置１０は、放射率測定用光を被測定物１に照射する光源３と、被測定物１の表面で反射した反射光の全てを集光する集光部２と、反射光を検出する検出器４と、検出された反射光の光量に基づいて放射率を算出する演算処理装置５と、を備えている。光源３は、放射温度計６の検出波長と同波長の単色光を放射率測定用光として出力する。集光部２は、回転楕円面の内側を反射面とする凹面鏡２ａを有する。 （もっと読む）

【課題】トッププレート上の鍋の材質、底の状態の影響を受けることなく鍋温度を精度良く検出する。
【解決手段】調理鍋の温度を検出する鍋温度検出装置には、トッププレートに対して略水平に配置した電子回路基板と、電子回路基板の下面となる裏面に載置し調理鍋へ赤外線を放射する赤外線ＬＥＤと、電子回路基板の上面となる表面に載置し赤外線ＬＥＤの配置位置と同一鉛直軸上に配置して調理鍋より反射した赤外線を受光する赤外線フォトトランジスタと、表面に載置し調理鍋の放射する赤外線を検出するサーモパイルと、電子回路基板の裏面に配置し赤外線ＬＥＤを焦点として配置し該赤外線ＬＥＤより照射した赤外線を反射する放物面反射鏡とを備え、電子回路基板には、放物面反射鏡で反射した赤外線を表面側へ通過する開口部を設け、赤外線ＬＥＤと赤外線フォトトランジスタを開口部の略中心に配置したものである。 （もっと読む）

【課題】トッププレート上の鍋の材質，底の状態の影響を受けることなく鍋温度を非接触で高精度かつ安定に応答性良く検出する。
【解決手段】鍋を戴置するトッププレートと、その下にある加熱コイルと、加熱コイルを固定する部材に設け、鍋からの赤外線を導光する導光筒と、その赤外線を検出する赤外線検出手段と、同導光筒を通しトッププレートに概垂直な赤外線平行光線束を投光する赤外線投光手段と、赤外線投光手段が投光し、鍋で反射される赤外線光線を受光する受光手段とを備え、受光手段の出力で赤外線検出手段の出力を補正して鍋温度を検出する鍋温度検出手段を持つ誘導加熱調理器。 （もっと読む）

【課題】被検物を高温に加熱することなく、被検物の放射率を測定する放射率測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】第１放射エネルギの赤外光を被検物に照射する赤外光照射工程と、前記赤外光を照射された前記被検物からの反射赤外光から第２放射エネルギを測定する測定工程と、前記第２放射エネルギと前記第２放射エネルギとに基づいて前記被検物の放射率を算出する算出工程と、を含む放射率測定方法である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、高価な光学素子を使用することなく、被測定面の放射率分布に影響されずに正しく被測定面の高速に変化する表面温度を測定することができる測定方法及び測定システムを提供することを課題とする。
【解決手段】放射率分布を持つ被測定面と、該被測定面の輝度分布を測定する放射計と、該被測定面に関して該放射計から鏡面反射位置に設置された補助熱源とを用意し、該被測定面の放射率の異なる２か所の輝度を２つの異なる補助熱源温度で測定し、該放射率の異なる２か所のそれぞれ２つの輝度測定値に基づいて該放射率の異なる２か所の反射率比を算出し、該放射率の異なる２か所の輝度測定値と該反射率比を用いて該被測定面の温度を求めることを特徴とする表面温度の測定方法及び測定システム。 （もっと読む）

【課題】近年導入が進んだ、合金化の前段で誘導加熱を使用し保熱帯内で鋼板が徐冷されながら合金化されるプロセスであっても合金化位置をより正確に決定すること。
【解決手段】本発明に係る合金化位置決定方法は、鋼板の溶融亜鉛めっきラインの保熱帯近傍に保熱帯の鋼板搬送方向に沿って設置され、搬送される鋼板の放射輝度を測定する複数の放射温度計それぞれから、放射輝度の測定結果に関する情報を取得するステップと、保熱帯内部における搬送方向位置の変化に伴う鋼板の温度低下パターンに関する情報と、放射温度計の設置位置に関する情報を利用して、放射温度計が設置された位置での鋼板温度を推定するステップと、放射温度計が設置された位置における推定鋼板温度と、放射輝度の測定結果に関する情報を利用して、放射温度計が設置された位置における放射率を算出するステップと、算出された放射率に基づいて合金化位置を決定するステップと、を含む。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の表面形状に起因した反射成分による温度測定誤差を局部的に補正をすることができる赤外線温度測定装置を提供する。
【解決手段】赤外線エネルギと可視光線とから測定対象物Ｄの温度分布を演算する温度分布演算部３０を備えた赤外線温度測定装置１０であって、可視光線から可視光画像を生成する画像生成部と、可視光画像の各画素の輝度値の度数分布を演算し度数分布の度数のピークとなる輝度値を基準輝度値として演算する基準輝度値演算部と、基準輝度値よりも輝度値が大きい可視光画像の画素を抽出する画素抽出部と、抽出画素の輝度値に対する基準輝度値の比を輝度比として演算する輝度比演算部と、抽出された画素に輝度比を割り当てその他の画素に輝度比として１を割り当てマスクを作成するマスク生成部と、マスクを用いて赤外線画像の各画素の温度に輝度比を乗じて赤外線画像の各画素の温度を補正する温度補正部とを備える。 （もっと読む）

【課題】ワークピースの熱処理のための方法およびシステムを提供する。
【解決手段】１つの方法は、ワークピースの第１の表面から熱的に放射される放射の現在の強度を測定することと、現在の強度および第１の表面の少なくとも１つの先の熱特性に応答して、第１の表面の現在の温度を識別することと、を含む。ワークピースは半導体ウェハを含み、第１および第２の表面はそれぞれウェハの装置および基板側を含む、ことが望ましい。装置側の現在の温度は、装置側が、例えばウェハの熱伝導時間より短い持続時間を有する照射フラッシュによって照射されている間に識別されることが望ましい。装置側温度は、先の装置側温度に応答して識別してもよく、先の装置側温度とは異なる基板側の先の温度およびウェハの温度履歴に応答して識別してもよい。 （もっと読む）

【課題】連続焼鈍設備の加熱炉の温度を送り込まれる冷延鋼板の放射率に応じて適切にフィードフォワード制御することができ、鋼板温度のばらつきに起因する品質不良を抑制することができる連続焼鈍設備の加熱炉の板温度制御方法を提供する。
【解決手段】連続焼鈍設備の加熱炉１の入側に設置されたルーパ５よりも手前側において測定器６により鋼板表面の反射率を測定し、測定された反射率から鋼板表面の熱吸収特性を示す放射率を演算する。その値をトラッキングし、冷延鋼板の測定部位が加熱炉１に入るタイミングに同調させてバーナ３の出力を制御する。 （もっと読む）

【課題】シリコンウエハの表面温度を放射率に依存することなく精密に放射温度計測することを可能にする。
【解決手段】高温高速放射温度計用参照光源装置であって、光源用材料として貴金属箔からなるリボン２を使用し、このリボンに電流を流して光源とすると共に、該光源の前方部に、２枚のレンズ３をそれぞれの焦点距離の和の間隔を置いて配置し、かつそれぞれのレンズの焦点位置にチョッパ４を配置することを特徴とする光源装置。次世代ウエハ熱処理工程として開発中のフラッシュランプアニール法（ＦＬＡ）やレーザーアニール法（ＬＡ）において処理されるシリコンウエハの表面温度を放射温度計測するための高温高速放射温度計用参照光源装置を提供することが可能である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、サーモリフレクタンス法による温度測定が製造現場で可能な表面温度の非接触測定方法及び装置を提供することを課題とする。
【解決手段】測定対象の基板表面に楕円偏光を入射するステップと、基板表面による反射光を、回転検光子をとおして検出し、基準温度で回転周波数の２倍の信号がゼロになるように入射楕円偏光を調整するステップと、基準温度からの温度変化に伴う回転周波数の２倍周波数の信号を検出するステップとを含み、回転周波数の２倍周波数の信号に基づいて測定対象の基板表面の温度を算出することを特徴とする基板表面温度の計測方法及び装置。 （もっと読む）

【課題】温度検知の被測定物である調理用容器が非灰色体に属する鍋、灰色体に属する鍋、または低放射率系の鍋であっても、例えば低温度から高温度の範囲において、調理用容器の温度を高精度で測定することを目的とする。
【解決手段】第１赤外線受光素子１９から出力される赤外線強度信号の値（赤外線強度“Ａ”）、第２赤外線受光素子２１から出力される赤外線強度信号の値（赤外線強度“Ｂ”）を使用して得られる温度Ｔ１、温度Ｔ２、赤外線受光素子２８から出力される受光パルス信号の電圧値“Ｖｏｕｔ”と第２しきい値“ＳＨ２”との比較結果に基づき、五徳７上に載せられている調理用容器２が有機シリコン系塗装鍋、アルマイト鍋などの非灰色体に属する鍋、黒色塗装鍋、銀色塗装鍋などの灰色体に属する鍋、またはステンレス鍋などの低放射率系に属する鍋のいずれかであるか判定して、調理用容器２の材質に適した温度演算方法にて温度を演算し検出する。 （もっと読む）

【課題】従来の手法では、検出対象物の放射率に合わせサーモパイル型赤外線検出装置にて出力調整を行う事で検出温度を算出する為、検出対象物が変わる事により、放射率が変化すると検出対象物の測温精度が低下するという課題がある。
【解決手段】フォトリフレクタ等の反射率計測素子、及び、反射率計測回路を同一基板上に実装具備し、反射率計測回路より計測された出力により、サーモパイル型赤外線検出装置からの検出出力に放射率補正処理を行った構成である事を特徴としている。 （もっと読む）

【課題】該当個所の日射反射率を、簡単に且つ短時間で割り出せるようにする。
【解決手段】測定対象部１における該当個所Ｓ０の表面の反射率を割り出す反射率割出方法において、予め、表面の反射率が異なる既知の値である少なくとも二つ以上の指標体Ｓ１，Ｓ２を用意し、各指標体Ｓ１，Ｓ２を、測定対象部１上に表面を暴露させた状態に配置し、該当個所Ｓ０と各指標体Ｓ１，Ｓ２とを含む範囲を赤外線サーモグラフィ装置２によって撮影し、その撮影結果から、各指標体Ｓ１，Ｓ２の温度と、該当個所Ｓ０の温度とを求め、その結果から、各指標体Ｓ１，Ｓ２の温度と反射率との相関性をもとにして、該当個所Ｓ０の温度に相関する反射率を求める。 （もっと読む）

【課題】従来の手法では、検出対象物の放射率に合わせサーモパイル型赤外線検出装置にて出力調整を行う事で検出温度を算出する為、検出対象物の変化、あるいは検出対象物の放射率が変化すると検出対象物の測温精度が低下するという課題がある。また、別基板にて具備されたフォトインタラプタにて検出対象物の反射率を測定する事により検出対象物の放射率を算出し、サーモパイル型赤外線検出装置からの検出出力への補正を行う手法に於いては、別々の領域を測定している事から、片方の測定領域が汚れ等により、放射率が変化した場合、補正にズレが発生し、誤検出が問題となっている。
【解決手段】本発明は、検出対象物の反射率を測定する事により検出対象物の放射率を算出する為のフォトインタラプタをサーモパイル型赤外線検出装置と同一基板上に具備しサーモパイル検出領域と同一の領域を検出する事により測温精度を向上する事を特徴としている。 （もっと読む）

【課題】被加熱物底面の状態如何にかかわらず、精度良く被加熱物底面温度を検出し、良好な調理加熱制御が実現できる加熱調理器を提供することを目的とする。
【解決手段】投光手段１５、１６は受光手段１７、１８の周囲に順次投光するように複数個設け、反射率換算手段１９は、投光手段１５、１６の投光タイミングに同期して入力した複数個の反射光強度から赤外線センサ１４の視野部の反射率を換算するようにした。これによって、特定方向の反射光強度のみを検出するのではなく、順次投光する複数個の反射光強度で赤外線センサ１４の視野部の反射率が換算されるため、被加熱物１１底面の状態如何にかかわらず、精度良く被加熱物１１底面温度を検出し、良好な調理加熱制御が実現できる。 （もっと読む）

【課題】熱応答性を良好とし、正確な制御を可能とした誘導加熱調理器を提供すること。
【解決手段】トッププレート２１にはめ込まれた赤外線透過材２４を介して調理容器２０の底面の温度を検出する放射温度検出手段２５を設け、またトッププレート２１を介して調理容器２０の底面に向けて光を放射する発光手段２６の光が調理容器２０の底面に反射した光を検出する受光手段２７と、前記受光手段２７の出力により調理容器２０の反射率から放射率を演算して調理容器の放射温度を補正し、正確な温度制御を可能とする。 （もっと読む）

【課題】基板処理チャンバ中の基板の温度を測定するためのプローブで、自己較正ができるようにする。
【解決手段】プローブは、一方の端部が処理チャンバ中に挿入されている光導体を含み、光導体の他の端部は、二またの光ファイバに結合されており、光源が光ファイバの１つの支線に光学的に結合され、高温計が他の支線に光学的に結合されていて、プローブを自己較正するために、安定した反射率の物体、たとえば金メッキされたウェハがチャンバ中に挿入され、光源が起動され、そのウェハから反射した光の強度を高温計によって測定している。 （もっと読む）

【課題】 アニール対象物のレーザビーム入射位置の溶融部分の表面温度を計測する技術を提供する。
【解決手段】 放射光検出器が、アニール対象物の表面のうち、パルスレーザビームが入射した領域内の被測定領域からの放射光の強度を検出する。反射率測定器が、被測定領域の反射率を測定する。制御装置が、反射率測定器による反射率の測定結果、及び放射光検出器による放射光の強度の測定結果に基づいて、アニール対象物の表面の温度を算出する。 （もっと読む）

【課題】放射温度測定装置において、灰色体、非灰色体、平面、凸凹面に拘わらず、非接触にて高精度に温度を測定できるようにする。
【解決手段】被測定物Ｗに対して複数の異なる波長領域を含む赤外線を照射する赤外光源１０、赤外光源をオフにした状態で被測定物からの放射光における複数の異なる波長領域での赤外線強度を検出する放射光検出手段３０、４０、赤外光源をオンにした状態で被測定物からの放射光及び反射光の重畳光における複数の異なる波長領域での赤外線強度を検出する重畳光検出手段３０，４０、放射光検出手段及び重畳光検出手段の検出情報に基づいて被測定物の温度を演算する演算手段８０を備え、赤外光源１０は、被測定物の測定表面側Ｗｓから観て、放射光検出手段及び重畳光検出手段を取り囲むように形成されている。これにより、測定表面が凸凹状であっても高精度に温度を測定できる。 （もっと読む）