【課題】被試験電子部品とパフォーマンスボードとの電気的な接触の信頼性を向上させることが可能な電子部品試験装置を提供する。
【解決手段】電子部品試験装置１は、ウェハＷ上に形成されたＩＣデバイスを試験するためのテストヘッド１０と、ＩＣデバイスとテストヘッド１０とを電気的に接続するプローブカードと、試験に際してウェハＷをプローブカード５０に押し付けるプローバ７０と、を備え、テストヘッド１０は、プローバ７０の開口７２の周囲を押圧する押圧装置２０ａを有している。 （もっと読む）

【課題】 熱変形によるプローブ位置の変位が小さい簡単な構造のカードホルダの実現。
【解決手段】 プローブカード24を取り付けるカードホルダ23であって、カードホルダ23をプローバ10に固定するための略環状の周辺部分51と、周辺部分の内側の、プローブカードが取り付けられる略環状の薄い板状部分52と、板状部分の中心に設けられ、プローブカードのプローブが設けられた部分が配置される穴53と、周辺部分と板状部分の間の、被検査物Wが配置されるのと反対側の表面に設けられた略環状の溝54と、を備える。 （もっと読む）

【課題】試験デバイスを効率よく試験する。
【解決手段】試験装置は、被試験デバイスとの間で信号を授受する試験モジュールを内蔵するテストヘッドと、被試験デバイスを搭載するソケットを有するデバイス搭載部と、テストヘッドの上に載置され、試験モジュールの各端子をデバイス搭載部を介して被試験デバイスの各端子に接続するパフォーマンスボードとを備え、パフォーマンスボードは、試験モジュールおよび被試験デバイスの間を接続する複数の配線の一部ずつをそれぞれ含む複数のサブボードと、複数のサブボードを一体に固定して前記テストヘッドに取り付ける固定部とを有する。 （もっと読む）

【課題】 検査対象の回路基板が微細ピッチの電極を有するものであっても信頼性の高い電気検査を行うことができる回路基板の検査装置および回路基板の検査方法を提供する。
【解決手段】 中継ピンユニット３１が、中間保持板３６と、第１の絶縁板３４と中間保持板３６との間に配置された第１の支持ピン３３と、第２の絶縁板３５と中間保持板３６との間に配置された第２の支持ピン３７とを備えるとともに、第１の支持ピンの中間保持板に対する第１の当接支持位置と、第２の支持ピンの中間保持板に対する第２の当接支持位置とが、中間保持板の厚さ方向に投影した中間保持板投影面において異なる位置に配置されている。また、基板に形成された複数の貫通孔に、弾性高分子物質からなる絶縁部６２と、導電性粒子を含有する弾性高分子物質からなり絶縁部６２を厚み方向へ貫通する導電路形成部６１とが形成された中継基板２９を設置し、ピッチ変換用基板２３と被検査回路基板１との電気的接続を中継するようにした。 （もっと読む）

【課題】 検査対象の回路基板が微細ピッチの電極を有するものであっても信頼性の高い電気検査を行うことができる回路基板の検査装置および回路基板の検査方法を提供する。
【解決手段】 中継ピンユニット３１が、中間保持板３６と、第１の絶縁板３４と中間保持板３６との間に配置された第１の支持ピン３３と、第２の絶縁板３５と中間保持板３６との間に配置された第２の支持ピン３７とを備えるとともに、第１の支持ピンの中間保持板に対する第１の当接支持位置と、第２の支持ピンの中間保持板に対する第２の当接支持位置とが、中間保持板の厚さ方向に投影した中間保持板投影面において異なる位置に配置されている。また、基板に形成された複数の貫通孔に、弾性高分子物質からなる絶縁部６２と、導電性粒子を含有する弾性高分子物質からなり絶縁部６２を厚み方向へ貫通する導電路形成部６１とが形成された中継基板２９を設置し、ピッチ変換用基板２３と被検査回路基板１との電気的接続を中継するようにした。 （もっと読む）

【課題】 各ユニットに対して十分な待ち時間を設定することが可能になるとともにプログラムの内容および作成の手間を簡略化することができる半導体試験装置を提供すること。
【解決手段】 被測定デバイスに対して試験を行う複数のユニットと、複数のユニットのそれぞれを制御するテスタプロセッサ１００と、テスタプロセッサ１００から複数のユニットに対して送信される動作指示を中継するローカルブリッジ回路１２０とを備えている。ローカルブリッジ回路１２０は、テスタプロセッサ１００から送られてくる動作指示を格納して該当する各ユニットに向けて入力順に出力するライトバッファ１２２、順番待ちバッファ１２４と、順番待ちバッファ１２４を経由して起動されて所定時間経過を検出するタイマ１３０と、タイマ１３０が起動された後に所定時間経過が検出されるまで順番待ちバッファ１２４からの動作指示の出力を停止する転送制御部１２６とを備える。 （もっと読む）

【課題】パフォーマンスボード２００の異種コネクタを一括接続できる半導体試験装置２０を提供する。
【解決手段】被試験デバイス１０を試験する試験信号を発生する信号モジュール１１０を含むテストヘッド本体１００と、プレート本体２１０および信号モジュール１１０に電気的に接続され且つプレート本体２１０上に配置された複数のレセプタクルを有しテストヘッド本体１００に装着されたインターフェースプレート２００と、レセプタクルに嵌合して電気的に接続されるコネクタを一面に有しコネクタに電気的に結合され且つ被試験デバイス１０に結合される試験用ソケット３３０を他面に有し、コネクタをレセプタクルに嵌合させることによりインターフェースプレート２００に装着されたパフォーマンスボード３００とを備え、レセプタクルに対するコネクタの挿抜方向について、プレート本体２１０に対して変位する昇降レセプタクルまたは昇降コネクタを含む。 （もっと読む）

【課題】 ポゴピン２９をプローブカード４３の接触端子に確実に接触させて信頼性を向上させるとともに、部品点数を減らしてコスト低減を図る。
【解決手段】 ピンカード１６と、当該ピンカード１６が接続されるバックボード１７と、プローブカード４３の接触端子に接触するポゴピン２９が複数取り付けられたポゴピンヘッド２６とを備えた試験装置用テストヘッド１１である。上記バックボード１７が上記ピンカード１６とポゴピンヘッド２６との間に位置して上記コネクタ２２で上記ピンカード１６に接続されると共に、上記バックボード１７のコネクタ２２と上記ポゴピンヘッド２６の各ポゴピン２９とがケーブル２３で接続された。上記ポゴピンヘッド２６の移動を許容する可動接続機構２７と、上記ポゴピンヘッド２６を上記プローブカード４３に対して正確に位置決めして接触させる案内ガイド３３，４７とを備えた。 （もっと読む）

【課題】コネクタ接点の数を最小化して高速伝送信号の信号無欠性を向上させ、半導体テストインタフェースを単純化して半導体テスト装置のメンテナンス性を向上させ、お互い異なるＤＵＴのテストにも簡便に対応することが可能な半導体テストインタフェースを提供。
【解決手段】ＤＵＴを装着するためのテストソケット３１５と前記ケーブル３４０との電気的連結のための一つ以上の第１コネクタ３２５および前記テストソケット３１５と前記第１コネクタ３２５間の電気的連結のための回路配線を備えるＤＵＴボード３２０と、両端部に前記第１コネクタ３２５との電気的連結のための第２コネクタ３３５、および前記ピンカード３７０との電気的連結のための第３コネクタ３４５を備えるケーブル３４０とを含む半導体テストインタフェースを提供する。 （もっと読む）

【課題】同軸コネクタを介して接続されたテストヘッドとプローブカードとの接続解除を容易に行うことを目的とする。
【解決手段】 テストヘッド１３に設けられ当該テストヘッド１３にプローブカード１０を接続するためのインターフェース１００であって、インターフェース本体１と、インターフェース本体１に支持される同軸コネクタ２と、インターフェース本体１に支持され、同軸コネクタ２とプローブカード１０に設けられた相手同軸コネクタ１５とが嵌合した状態でプローブカード１０を嵌合が外れる方向に付勢する付勢機構３とを備える。 （もっと読む）

【課題】テストヘッドを正確且つ繰り返してドッキングできるマニピュレータを提供する。
【解決手段】ケーブル１０４の一端部に接続されたテストヘッド用１０８のマニピュレータ１０２である。マニピュレータ１０２は、テストヘッド１０８を支持しかつ一つの方向へのテストヘッドの細かい運動を可能にする手段であって、一対のアームと、複数の往復台であって、各々がアームの一つに摺動可能に取り付けられ、テストヘッドが複数の往復台の各々に結合される往復台とを備え記テストヘッドを支持する手段と、テストヘッド１０８を支持する手段に結合されていて、一つの方向へのテストヘッドの大まかな運動を可能にする手段と、大まかな運動を可能にする手段の一部に連結され、ケーブルの一部を、大まかな運動中にテストヘッドがケーブル力に影響されないように、大まかな運動を可能にする手段に固定するケーブル鎧金物１１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 同軸コネクタを介してテストヘッドとプローブカードとを接続する場合において、テストヘッドとプローブカードとの間に導入されテストヘッド内に漏れる乾燥ガスのテストヘッド外部への排出を防ぐ乾燥ガス封入装置の提供。
【解決手段】インターフェース本体１と、インターフェース本体１に支持される同軸コネクタ２とを有するインターフェース２０と、同軸コネクタ２とプローブカード１０に設けられた相手同軸コネクタ１５とが嵌合した状態において、テストヘッド１３とプローブカード１０との間に導入されインターフェース２０が形成する隙間を通じてテストヘッド１３内に漏れる乾燥ガスを封入するケーシング５とを備える。これにより、テストヘッド１３とプローブカード１０との間に導入された乾燥ガスが漏れたとしても、その漏れた乾燥ガスを封入することができるため、乾燥ガスのテストヘッド１３外部への排出を防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】広い温度範囲にわたって高い信頼性をもって半導体集積回路デバイスの試験を行える試験装置及び方法を提供する。
【解決手段】本発明のデバイス試験用のプローブシステムは、試験時に試験対象デバイスの端子の形状調整も行って端子の高さの均一性を高め、試験後のパッケージングにおけるデバイス端子の接続の信頼性を向上させる。また、試験対象のデバイスと同一または類似の材料の基板から形成されたプローブカードを用いてデバイスとカードとの熱特性を一致させることで、広い温度範囲にわたってプローブカードのテストピンとデバイス端子との適切な接触を維持できるようにしている。また、このプローブカードはテストヘッド上での交換が容易に行えるように構成され、試験対象のデバイスの変化に応じたプローブカードの交換に取られる時間を最小限とすることができる。
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【課題】第１の複数の信号線を第２の複数の信号線に接続するシステムを提供する。
【解決手段】試験中のデバイスアセンブリは、ＤＵＴボードの平面から出てその上に配置された複数の尾根部アセンブリを有するＤＵＴボードを含む。各尾根部アセンブリは第１外側面等の少なくとも１つの上の第１信号線のサブセットと電気的に接触する。コネクタアセンブリは、複数の尾根部アセンブリを受け取るよう配置された複数のクランプアセンブリを含む。各クランプアセンブリは、第１内側面等の少なくとも１つの上の第２信号線のサブセットと電気的に接触する。これらの電気的接続は、各クランプアセンブリの第１第２内側面が、対応する尾根部アセンブリの第１第２外側面にクランプされるときに形成される。
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【課題】ノイズの多い環境で、テスタを、被測定対象をハンドリング・プロービングする装置と共に使用する場合に、ノイズの影響を低減するテストシステム及び電源・接地の接続箱を提供する。
【解決手段】テスタの第１の接地端子１６６をプローバの第２の接地端子に接続する第１の接地線１６４と、テスタの底面とプローバの底面を覆い、第１の接地端子に第２の接地線１６２によって接続されたグラウンドプレーン１６０と、テスタとプローバにそれぞれ電源を供給し、配電盤からの第１の電源線１７２を受けてテスタ用とプローバ用の第２及び第３の電源線（１５６、１５８）に分岐する電源端子台１４４と、配電盤からの第３の接地線１７４を受けて第１の接地端子に第４の接地線１５４で接続した接地端子台１４８とを備えた接続箱とを備えたテストシステム１００。 （もっと読む）

【課題】ＦＰＧＡなどのハード構成をプログラマブルに構築可能なコンフィギュアラブルデバイスを用いて構成された半導体検査装置において、複数の被測定デバイスに対して最適なハード構成を構築して装置の汎用性を向上させる。
【解決手段】コンフィギュアラブルデバイスであるＦＰＧＡ１２と、ＦＰＧＡ１２をコンフィギュレーションするためのインターフェイスと、ＦＰＧＡ１２のハード構成を規定するプログラムが書き込まれ、装置本体Ａの外部に配置され、インターフェイスを介して接続される記憶素子２１とを備える。記憶素子２１からＦＰＧＡ１２にコンフィギュレーションするプログラムをフレキシブルに変更することで、装置本体Ａを被測定デバイスＢの検査に適したハード構成にて動作させる。 （もっと読む）

【課題】冷却装置及び被冷却装置との接続信頼性を向上させた伝熱板を提供する。
【解決手段】被冷却部材が発生する熱を冷却装置に伝導する伝熱体であって、それぞれ弾性を有し、積層して設けられる複数の伝熱板と、それぞれの伝熱板の間に設けられ、それぞれの伝熱板を摺動可能に保持する、熱伝導性を有する粘着部材とを備える伝熱体を提供する。それぞれの伝熱板は、略同一の形状を有することが好ましい。また、それぞれの伝熱板は、冷却装置に固着される冷却装置固定部と、冷却装置固定部からそれぞれ延伸して設けられ、被冷却部材にそれぞれが独立して固着される複数の延伸部とを有してよい。 （もっと読む）

【課題】弾性体材料の弾性を利用して、電気回路基板の配線による厚み方向の段差や、電気回路部品の電極部分の厚み方向に於ける精度のばらつき等の要因による、厚み方向の段差を吸収しながら、位置精度による平面方向のズレを生じず、安定した電気的接触を得ることができる異方導電性シートを提供する。
【解決手段】絶縁体中に導電性粒子を厚み方向に連鎖させて導電部を形成し、該導電部分以外の場所は、弾性を有する絶縁体で構成される異方導電性シートであって、異方導電性シートの周辺部に、位置決め用の金属板を備え、記位置決め用の金属板が、位置決め用の金属板の端部を用いて位置決めするように構成され、異方導電性シートを伸張した状態で、異方導電性シートの周辺部と、位置決め用の位置決め穴が形成された金属板と、が複合化されており、金属板は、金属板の一部が前記異方導電性シートの中に埋め込まれた状態となるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】検査装置によって生成される電気信号中に含まれうる不規則信号を検査対象の破壊の有無にかかわらず迅速に検出することが可能な信号検出装置を実現する。
【解決手段】検査装置本体４によって生成された電源電圧信号を入力する信号入力部８と、所定強度の電圧値を有する電圧成分を抽出する成分抽出部９と、成分抽出部９によって抽出された電圧成分における電圧値の時間変化率を導出する変化率導出部１１と、変化率導出部１１によって導出された時間変化率が正の値を有する期間中の所定のタイミングと、時間変化率が負の値を有する期間中の所定のタイミングとの間の時間間隔を導出する計時部１２と、計時部１２によって導出された時間間隔に基づき抽出された電圧成分が不規則信号に該当するか判定する判定部１３と、判定結果を告知する告知部１４とを備える。 （もっと読む）

被試験デバイスを試験するための試験信号を被試験デバイスに与えると共に、被試験デバイスから出力された出力信号を受け取るデバイスインターフェース装置であって、ピンエレクトロニクス基板と、ピンエレクトロニクス基板の端部に設けられた基板側コネクタであって、複数の基板側芯線、及び基板側シールドを有する基板側コネクタと、被試験デバイスを保持するソケットと、複数のソケット側芯線、及びソケット側シールドを有するソケット側コネクタと、ソケット及びピンエレクトロニクス基板の間で、伝達信号を伝送するケーブルユニットとを備え、ケーブルユニットは、基板嵌合コネクタと、ソケット嵌合コネクタと、複数の伝送ケーブルとを有する。
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