【課題】 パフォーマンスボード上の所定配線を流れる信号の波形観測を容易にすると共に、波形データの再現性を高めることができるようにした配線板及びＩＣ検査装置、信号引出し方法を提供する。
【解決手段】パフォーマンスボード２０とプローブカードとの間に配置されるリング状の配線板３０であって、パフォーマンスボード２０上の所定配線と接触するポゴピン３３と、一端はポゴピン３３に接続され、かつ他端はパフォーマンスボード２０とプローブカードとの間から引き出された配線３４とを有するものである。配線３４に例えばオシロスコープを接続することで、パフォーマンスボード２０上の所定配線を流れる信号の波形（時間的変化）を観測することができる。 （もっと読む）

【課題】多数の光ファイバケーブルのコネクタを効率よく、且つ安全に接続することができる試験装置を提供する。
【解決手段】電子デバイスに試験パターンを印加するテストヘッドと、複数のフレーム側コネクタが設けられ、フレーム側コネクタを介して制御信号をテストヘッドに供給するメインフレームと、フレーム側コネクタとテストヘッドとを光接続し、制御信号をテストヘッドに伝送するケーブルユニットとを備え、ケーブルユニットは、制御信号を伝送する複数の光ファイバケーブルと、光ファイバケーブルの端部に設けられ、複数のフレーム側コネクタに対応して設けられた複数のユニット側コネクタと、メインフレームに対してケーブルユニットを固定するユニット固定部と、それぞれのユニット側コネクタを、対応するフレーム側コネクタに対してそれぞれ独立して挿抜可能に保持するコネクタ保持部とを有する試験装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】 試験装置のメインフレーム及びテストヘッド間で光ファイバケーブルを適切に束ねて配線する。
【解決手段】メインフレームとテストヘッドとを光接続する光接続部を備え、光接続部は、複数の光ファイバケーブルと、複数の光ファイバケーブルにおけるテストヘッド側の一部の非収納部分及びメインフレーム側の一部の非収納部分を除いた収納部分を束ねて収納するケーブル収納チェーンと、テストヘッド側の非収納部分及び収納部分の境界部に設けられ、テストヘッド側の非収納部分を内部に収納する長さを調節可能とするテストヘッド側ケーブル収納部と、メインフレーム側の非収納部分及び収納部分の境界部に設けられ、メインフレーム側の非収納部分を内部に収納する長さを調節可能とするメインフレーム側ケーブル収納部とを有する試験装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】 照度分布が均一でありながら色度・光量がコントロール可能で、テストヘッドのスコープホールがないテストシステムにも対応が可能な超小型のパッケージに集約した光源装置を提供する。
【解決手段】 検査用光源装置は、異なる分光輝度分布を持つ複数の発光素子と、前記複数の発光素子による光束を概ね同一照度分布となるように合成する光学系を具備し、撮像素子に前記光束を照射することにより当該撮像素子の特性を検査する検査用光源装置であって、前記複数の発光素子は、ＲＧＢの３原色の発光素子の他に、白色発光素子からなり、
前記白色発光素子には可視光の波長域において連続して均一な輝度強度が得られるよう設計された誘電体多層膜フィルタを組み合わせて、分光輝度分布的に均一な白色が得られるようにしたことである。 （もっと読む）

【課題】 離間距離が小さくて高さレベルにバラツキがある電極でも、電極間に必要な絶縁性が確保された状態で電極の各々に対する電気的接続が確実に達成される異方導電性コネクターおよびアダプター装置並びにこれを具えた回路装置の電気的検査装置の提供。
【解決手段】 本発明の異方導電性コネクターは、複数の開口を有する樹脂製の絶縁性シート、絶縁性シートの各開口を塞ぐよう配置され、絶縁性シートに支持された弾性高分子物質よりなる絶縁膜、および、絶縁膜に固定支持され、絶縁性シートの開口内に位置するよう配置された、絶縁膜の厚み方向に伸びる複数の剛性導体よりなる複合導電性シートと、複合導電性シートの一面および他面に配置された第１の異方導電性エラストマーシートおよび第２の異方導電性エラストマーシートとを具え、剛性導体の各々は、絶縁膜の弾性によって絶縁性シートの厚み方向に変位可能とされている。 （もっと読む）

【課題】複数の被測定デバイスを同時に電源供給、入力信号の印加をする場合において、複数の被測定デバイスの中から電源電流、入力電流の不良デバイスを特定する。
【解決手段】テスター１の１つの信号ドライバー３からの信号線を、プローブカード２上のドライバー配線分岐点５で分岐させ、それぞれの分岐路に対応して第１，第２被検査デバイス４ａ，４ｂを接続し、分岐点５と第１，第２被検査デバイス４ａ，４ｂとの間に電流電圧変換素子１７ａ，１７ｂを直列に挿入したものであり、信号ドライバー３から印加された信号を用いて検査を行い、第１，第２被検査デバイス４ａ，４ｂへの流入電流を電圧に変換したものをテスター１に返し、それぞれの各第１，第２被検査デバイス４ａ，４ｂの良否結果を第１被検査デバイス検査回路１２ａ，第２被検査デバイス検査回路１２ｂで判定し、結果をテスター内検査結果管理回路１３に蓄える。 （もっと読む）

ＩＣソケットが載置されたパフォーマンスボードと、ＩＣソケットに保持される電子デバイスを試験する試験装置とを電気的に接続する接続ユニットであって、パフォーマンスボードと対向して設けられる保持基板と、保持基板上における位置が変更可能に保持基板上に設けられ、パフォーマンスボードが備えるパフォーマンスボード側コネクタと接続されるべき接続ユニット側コネクタとを備えることを特徴とする接続ユニットを提供する。
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【課題】 ワイピング機能を有する導電性のシートを提供する。
【解決手段】 押圧する際に導電性のシートの相手部材の表面で摺動する構造を有する。例えば、押圧力が必ずしも相手表面に対して垂直にのみ作用するわけではなく、該シート及び対象電極界の互いの表面間でせん断応力が働くような構造を有する。このとき、摺動され得る摺動部近傍には、アブレッシブ材がリッチに含まれる。このようなアブレッシブ材としては、例えばニッケル、炭素繊維等を用いることができる。 （もっと読む）

【課題】電子回路試験システムにおいて低価格で設置面積が小さく柔軟性のある電磁妨害遮蔽を与える。
【解決手段】本発明の実施態様に含まれる電子試験システムにおける負荷基板電磁妨害（ＥＭＩ）遮蔽は、実質的に平坦な構造（１４０）であって、第１面上の外縁リム（１４５）と、前記平坦な構造（１４０）を貫通して延長する少なくとも１つの開口（１４１）と、を具備する実質的に平坦な構造（１４０）、を有する。被試験デバイス（ＤＵＴ）（１２６）はハンドラ（１３２）からソケット（１２４）に挿入される。 （もっと読む）

【解決手段】 少なくとも１つの実施形態では、本発明は、少なくとも１つの熱交換器と、吸入マニホルドと、少なくとも１つの多重チップモジュールと、を含んでいる熱交換装置である。更に、吸入マニホルドは、各熱交換器と流体連通しており、吸入マニホルドは、熱交換媒体を、各熱交換器に別々に供給することができる。更に、各多重チップモジュールは、少なくとも１つの熱交換器に少なくとも隣接して配置されていて、各多重チップモジュールと少なくとも１つの熱交換器の間で、熱を伝達することができるようになっている。 （もっと読む）

本発明は、１つの半導体試験素子装置の１つのロック装置およびロードボード・アセンブリへの道を教える。ロードボード・アセンブリは、試験中の１つの素子、およびプリント基板の底に固定された１つのインタフェース・ボードを含む１つのプリント基板を含む。インタフェース・ボードは、両者間に１つの空間を有する２つの部材を有する。複数のスペーサは、部材を接続して、１つの試験ヘッド上の複数の接触ピンのための開口を形成する。ロードボード・アセンブリは、試験ヘッドの上面上に取り付けられる１つのロック装置の上に置かれる。ロック装置上のロードボードの位置決めは、インタフェース・ボードおよびロードボード・アセンブリのプリント基板の中の２つの穴を通して伸びる異なる断面の二本のピンによって行われる。ロードボード・アセンブリがロック機構上に置かれたとき、インタフェース・ボード上に取り付けられたローラは、ロック装置の１つのカム部材の複数のカム溝中に受容れられる。これらのローラは、カム部材が動くに連れてカム溝をたどる。カム溝のプロファイルに基づいて、ロードボード・アセンブリは、徐々に下がることができ、試験ヘッド上でプリント基板と接触ピンとの間の接触を実現し、インタフェース・ボードをロックする。
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複数の光ファイバケーブルの曲率制限を満足させることができるケーブル布設技術を提供するを目的とする試験装置１００は、被試験デバイスにテストパターンを印加する複数のテストボードを有するテストヘッド１０２と、テストヘッド１０２によるテストシーケンスを制御するメインフレーム１０４と、テストヘッド１０２とメインフレーム１０４とを光接続する複数のフラット型ケーブル２００を有する光ファイバケーブルユニット１０６及び複数の光ファイバケーブル１０８と、光ファイバケーブルユニット１０６と複数の光ファイバケーブル１０８とを接続するダム１０７と、光ファイバケーブルユニット１０６が有する複数のフラット型ケーブル２００間の周長差を吸収する周長差吸収装置１１０と、メインフレーム１０４が有するテストボード６１２に接続される光ファイバケーブル１０８を湾曲させて保持するケーブルガイドユニット１１２とを備える。 （もっと読む）

負荷を支持する第１支持構造体（６０）と負荷を支持する第２支持構造体（４）とを備える、負荷を取り扱い操作する装置（１）であり、この装置は、また、第１支持構造体（６０）と第２支持構造体（４）との間に結合されたカップリング（３）を有し、カップリング（３０）は、負荷の重心が回転軸から離れて位置する回転軸の軸周りのコンプライアント動作範囲を負荷に対して与えるコンプライアント機構（３４０ａ）を有しており、この回転軸は非垂直の軸である。

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負荷を支持するための装置は、空気装置と負荷の対向側面に連結される連結器を備える。連結器は、空気装置の作動に応答して、第１の軸と平行に負荷を移動させる。少なくとも１つの連結器は、第１の軸と直角の第２の軸を回転支点として負荷を回転させる。負荷は第１の軸方向に沿って移動するとともに第２の軸の回りにコンプライアント動作する。少なくとも１つの空気装置が第１の軸方向に沿った移動とともに第２の軸の回りのコンプライアンスを提供する。

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【課題】ＬＳＩ開発の初期評価で使用するために、高額なＬＳＩテストシステムを必要とせずにＬＳＩ検査システムの構築を可能にする。
【解決手段】ＬＳＩ検査プログラムおよびＬＳＩ検査結果データを格納する不揮発性メモリとＬＳＩ検査プログラムを実行するＣＰＵとを内蔵するＬＳＩテストチップ１１１をプローブカード装置１０１に搭載し、ＬＳＩ検査プログラムはパーソナルコンピュータ１０３に接続した専用治具を介してＬＳＩテストチップにロードし、ＬＳＩテストチップは検査開始信号および検査終了信号によりウエハ検査搬送機１０２を制御してＬＳＩ検査プログラムを実行する。 （もっと読む）