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Fターム[2H025AD01]の内容

フォトレジストの材料 (104,520) | 像形成モード (7,639) | ネガ型 (4,448)

Fターム[2H025AD01]に分類される特許

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【課題】フォトレジスト組成物、該組成物を使用したフォトレジストパターンを形成する方法、パターン化樹脂組成物及びフォトリソグラフィーの形成方法を提供する
【解決手段】 エチレン性不飽和二重結合を有する重合性水溶性化合物A、エポキシ基含有不飽和化合物B及び下記一般式(1)


で示される化合物Cを重合して得られるポリマー、並びに溶媒を含むフォトレジスト組成物であって、モノマー成分の合計量中、化合物Aの割合が0〜90重量%、化合物Bの割合が0〜50重量%及び化合物Cの割合が15〜100重量%であるフォトレジスト組成物 (もっと読む)


【課題】高い顔料分散性とその安定性に優れたカラーフィルタ用着色組成物を提供し、高いコントラストを有し、現像で残渣の少ないカラーフィルタ、及び該カラーフィルタの製造方法を提供し、色特性の良好な液晶表示装置、固体撮像素子を提供する。
【解決手段】(A)平均一次粒子径10nm〜35nmの有機顔料、(B1)ポリアリルアミン構造又はポリアルキレンイミン構造を有する主鎖部と、ポリエステルからなる側鎖部を有する重量平均分子量が3000〜15000の範囲であるグラフトポリマー、(B2)ポリアリルアミン構造又はポリアルキレンイミン構造を有する主鎖部と、ポリエステルからなる側鎖部を有する重量平均分子量が20000〜60000の範囲であるグラフトポリマー、(C)アルカリ可溶性樹脂、(D)多官能性単量体、(E)光重合開始剤、および(F)有機溶剤を含有するカラーフィルタ用着色組成物。 (もっと読む)


【課題】本発明は、層間電気絶縁材料、光導波路、プリント配線板、特にフレキシブルプリント配線板用途でのフォトソルダーレジストまたはカバーレイフィルムとして要求される、ポリイミド、銅基盤への密着性、ファインパターンを実現できる現像性、ハンダ耐熱性、絶縁性、耐薬品性等の諸物性と、可撓性・耐折性を両立した感光性難燃樹脂組成物の提供を目的とする。
【解決手段】カルボキシル基とエチレン性不飽和基とを有するウレタン樹脂(A)と、
体積平均粒子径が0.1〜1μmの範囲であるホスフィン酸塩(B)をウレタン樹脂(A)100重量部に対して、5〜50重量部含んでなることを特徴とする感光性難燃樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】高い粘度を有すると共に、現像残渣の発生を抑制することのできる感光性組成物を提供することにある。また、良好な形状のパターンを有する焼成体を容易に得ることのできる焼成体の形成方法および良好な形状の構成要素を容易に形成することのできるフラットディスプレイパネルの製造方法を提供することにある。
【解決手段】感光性組成物は、(A)少なくともガラス粉末を含有する無機粒子、(B)アルカリ可溶性重合体、(C)特定の多官能アクリレート化合物および(D)光重合開始剤を含有してなることを特徴とする。また、この感光性組成物は、官能基数2〜3のアクリレート化合物を含有することが好ましい。焼成体の形成方法およびフラットディスプレイパネルの製造方法においては、上記の感光性組成物を材料として用いることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】現像液分散安定性に優れ凝集物を発生せず、良好なエッジフューズ性と追従性、高いめっき耐性を有する感光性樹脂組成物、及び該組成物からなる感光性樹脂層を有する感光性樹脂積層体を提供すること、ならびに、該積層体を用いたレジストパターンの形成方法、及び導体パターンの製造方法を提供する。
【解決手段】(a)カルボキシル基含有量が酸当量で100〜550であり、かつ、重量平均分子量が5000〜500000であるアルカリ可溶性高分子:20〜90質量%、(b)エチレン性付加重合モノマー:3〜70質量%、(c)特定の2,4,5−トリアリ−ルイミダゾ−ル二量体:0.1〜20質量%、及び(d)下記一般式(III)で表されるリン酸アリル化合物:1.0〜15質量%を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
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【課題】透明基板上に少なくとも赤色(R)、緑色(G)、および青色(B)の3色の着色画素を備えたカラーフィルタの表面を平坦化させるために塗布される、熱硬化性オーバーコート層との密着性が良好で、剥離試験によっても全く剥がれの無い、カラーフィルタ着色層用感光性樹脂組成物およびカラーフィルタを提供することを課題としており、また、液晶配向乱れのない表示特性良好な液晶表示装置を提供する。
【解決手段】光重合性モノマーと非感光性樹脂および/又は感光性樹脂との含有質量比率(モノマー/樹脂)が、0.35以上、1.2以下であり、光照射及び/又は焼成によって硬化した後の塗布膜の水との接触角が、80度以上、100度以下となる緑色感光性着色組成物を用いる。 (もっと読む)


【課題】製造ラインを改造することなく、また工数も大きく増加させることなく、高い精度および良好な視認性を有するアライメントマークを簡単に形成し、さらに低コストで生産性よくフラットパネルディスプレイを製造する。
【解決手段】フラットパネルディスプレイ用感光性ペーストは、黒色材料とガラス粉末とを含む無機材料成分と、感光性ポリマーと感光性モノマーと光重合開始剤とを含む有機材料成分からなり、黒色材料は平均粒径が1μm以下であって、ガラス基板21上に塗布して感光性膜bxを形成した後、露光することによりアライメントマーク51を形成する。 (もっと読む)


【課題】感光性組成物の粘度上昇、ゲル化の抑制をより簡便かつ汎用的な手段で可能とする感光性組成物を提供すること。
【解決手段】(A)酸性基を有する樹脂を有する感光性有機成分、(B)少なくともアルカリ金属またはアルカリ土類金属を有する無機粉末、(C)有機溶剤を混合して得られる感光性組成物、および(D)少なくとも1種の油溶性キレート形成化合物を含有することを特徴とする感光性組成物。 (もっと読む)


【課題】高価な合成石英フォトマスクを用いることなく高精細な感光性樹脂凸版を製造することができ、かつ、有機電子デバイスの製造コストを低減することを可能とすること。
【解決手段】本発明は、基材101と基材101の上に形成されている感光性樹脂層102とを具備するパターン転移媒体100を用意する工程と、光照射手段及401及び光変調手段402を具備する露光ユニットとパターン転移媒体100とを相対的に移動させて予め入力された情報に基づいて光照射手段401から放たれる光を光変調手段402により変調することで露光光のパターンを形成して感光性樹脂層102に対し照射を行う露光工程と、感光性樹脂層102のうち前記露光工程において露光光が照射されない領域を除去して感光性樹脂凸版を形成する現像工程と、を具備する。 (もっと読む)


【課題】レジスト材料として用いた場合に低温で分解除去することができ、未分解成分の残存量が極めて少ないネガ型感光性組成物を提供する。また、本発明は、該ネガ型感光性組成物を用いる導電パターンの形成方法を提供する。
【解決手段】非環状アセタール構造単位を有する(メタ)アクリル化アセタール樹脂(A)と、光重合開始剤(B)とを含有するネガ型感光性組成物であって、前記非環状アセタール構造単位を有する(メタ)アクリル化アセタール樹脂(A)は、特定の構造単位を有する樹脂であり、(メタ)アクリル化アセタール樹脂(A)中の酸素原子数に対する炭素原子数の比は、2.3〜6.0であるネガ型感光性組成物。 (もっと読む)


【課題】着色剤を高濃度に含有する場合であっても、高感度で硬化し、未硬化部の良好な現像性を維持しつつ、支持体との優れた密着性と耐現像性に優れた硬化部を形成しうる、パターン形成性に優れた硬化性組成物、該硬化性組成物を用いて着色パターンを形成してなる解像力に優れたカラーフィルタ、それを高い生産性で製造しうる製造方法高及び解像度の着色パターンを有するカラーフィルタを備えた固体撮像素子を提供する。
【解決手段】(A)分子内に2つ以上の重合性基と2つ以上の水酸基とを有する重合性化合物、(B)光重合開始剤、及び、(C)着色剤、を含有する硬化性組成物。 (もっと読む)


【課題】ノンハロゲン組成で環境負荷が少ないと共に難燃性及び保存安定性が共に優れ、可撓性に富む硬化皮膜を形成できる難燃性光硬化性樹脂組成物、そのドライフィルム及び硬化物、並びにこれらによりソルダーレジスト等の難燃性硬化皮膜が形成されてなるプリント配線板を提供する。
【解決手段】難燃性光硬化性樹脂組成物は、(A)カルボキシル基含有樹脂、(B)上記カルボキシル基含有樹脂(A)又はそのワニスに5wt%以上可溶である可溶性ホスファゼン化合物、及び(C)光重合開始剤を含有する。好ましくは、上記カルボキシル基含有樹脂(B)はカルボキシル基含有ポリウレタン樹脂である。好適にはさらに(D)光重合性モノマーを含有し、あるいはさらに(E)熱硬化性樹脂を含有する。このような難燃性光硬化性樹脂組成物、特に熱硬化性樹脂(E)を含有する光硬化性・熱硬化性樹脂組成物は、ソルダーレジストとして好適に用いることができる。 (もっと読む)


【課題】乾燥塗膜の指触乾燥性に優れ、高感度かつ柔軟であり、特に高温加湿時の絶縁抵抗の高い硬化皮膜を形成できる光硬化性樹脂組成物、そのドライフィルム及び硬化物、並びにこれらによりソルダーレジスト等の硬化皮膜が形成されてなるプリント配線板を提供する。
【解決手段】(A)下記一般式(I)で示される構造を含む感光性樹脂、(B)カルボキシル基含有樹脂、及び(C)光重合開始剤を含有する。好適には、さらに(D)熱硬化性成分を含有し、好ましくはさらに着色剤(F)を含有する光硬化性樹脂組成物。
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【課題】印刷汚れ及び版面汚れが少なく、且つ印刷耐久性が高い凸版印刷用版材及びその製造方法を提供する。
【解決手段】凸版印刷用版材10は、版材の凹部11及び凸部12側面がフッ化炭素基を含む膜物質の形成する撥水撥油性被膜13で被覆されている。凸版印刷用版材10は、(1)バック露光工程と、(2)凸部12を形成する部分を被覆するマスク材17を選択的に除去する工程と、(3)露光工程と、(4)マスク材17が除去された部分を水溶性樹脂の被膜20で被覆する工程と、(5)現像工程と、(6)仕上げ露光工程と、(7)凹部11及び凸部12の表面に撥水撥油処理液を接触させ、撥水撥油性被膜13を印刷面側の表面全体に形成する撥水撥油処理工程と、(8)樹脂の被膜が可溶な洗浄液で水溶性樹脂の被膜20を洗浄除去する洗浄工程とを有する方法により製造される。 (もっと読む)


【課題】画像位置バラツキのないFMスクリーニング再現性に優れ、微小画像部の耐刷性や耐薬品性に優れた感光層を作製するための感光性組成物およびその感光層を設けたサーマルネガ版用平版印刷版原版を提供する。
【解決手段】式(I)で表わされる単量体単位を有するアルカリ可溶性樹脂、1−アミノ−2−フェノキシ−4−ヒドロキシアントラキノン(フェノキシ基に置換基を有してもよい)である特定の赤色染料、赤外線吸収剤、ラジカル重合性開始剤とエチレン性二重結合を有する重合性化合物とを含有する感光性組成物。
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【課題】レジスト材料の溶解性に優れた液浸露光用レジスト組成物、該液浸露光用レジスト組成物を用いたレジストパターン形成方法および当該液浸露光用レジスト組成物に用いる添加剤として有用な含フッ素化合物を提供すること。
【解決手段】酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が変化する基材成分(A)、露光により酸を発生する酸発生剤成分(B)および含フッ素樹脂成分(F)を有機溶剤(S)に溶解してなり、含フッ素樹脂成分(F)は、フッ素原子を含む構成単位(f1)と、親水性基含有脂肪族炭化水素基を含む構成単位(f2)と、第3級アルキル基含有基又はアルコキシアルキル基を含むアクリル酸エステルから誘導される構成単位(f3)とを有することを特徴とする液浸露光用レジスト組成物。 (もっと読む)


【課題】乾燥塗膜の指触乾燥性に優れ、高感度であり、特に高温加湿時の絶縁抵抗の高い硬化皮膜を形成できる光硬化性樹脂組成物、そのドライフィルム及び硬化物、並びにこれらによりソルダーレジスト等の硬化皮膜が形成されてなるプリント配線板を提供する。
【解決手段】(A)下記一般式(I)で示される構造を1分子中に5個以上15個以下含む感光性オリゴマー、(B)カルボキシル基含有樹脂、及び(C)光重合開始剤を含有することを特徴とするアルカリ現像性の光硬化性樹脂組成物が提供される。好適には、さらに(D)熱硬化性成分を含有し、好ましくはさらに着色剤(F)を含有するアルカリ現像性の光硬化性樹脂組成物。
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【課題】十分な感度を有すると共に、高い透過率の塗膜又はパターンを形成し得る感光性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】バインダー樹脂(A)、光重合性化合物(B)、光重合開始剤(C)及び溶剤(D)を含有し、光重合開始剤(C)が、アセトフェノン骨格を含有する化合物(C1)と、少なくとも2個のチオール基を有する化合物(C2)とを含んでなる光重合開始剤である、感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】解像性に優れ、低コストで、塩基性物質によって又は塩基性物質の存在下での加熱によって最終生成物への反応が促進される高分子前駆体の構造上適用可能な選択肢の範囲が広い感光性樹脂組成物及びその様な感光性樹脂組成物に利用可能な塩基発生剤を提供する。
【解決手段】塩基性物質によって又は塩基性物質の存在下での加熱によって最終生成物への反応が促進される高分子前駆体、及び、特定の構造を有し、電磁波の照射と加熱により、塩基を発生する塩基発生剤を含有することを特徴とする、感光性樹脂組成物、並びに特定の構造を有し、電磁波の照射と加熱により、塩基を発生することを特徴とする、塩基発生剤。 (もっと読む)


【課題】凹凸の大きい遮光性レリーフ層を有するフォトマスクに適用する場合であっても、表面平滑性に優れた透明保護膜を形成しうるフォトマスク用ハードコート組成物、該組成物を用いてなるハードコート層を有するフォトマスクを提供すること。
【解決手段】重合性化合物(A)と、フッ素含有化合物及び/又はシリコン含有化合物(B)と、重合開始剤(C)と、を含有し、フッ素含有化合物及び/又はシリコン含有化合物(B)の含有量が組成物の総量に対して0.1質量%〜3.0質量%である、紫外線硬化型或いは熱硬化型のフォトマスク用ハードコート組成物、並びに、パターニングしてなる遮光性レリーフ層上に、前記フォトマスク用ハードコート組成物を塗設してなるハードコート層と、を有するフォトマスク。 (もっと読む)


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