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Fターム[2H025CB43]の内容

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Fターム[2H025CB43]に分類される特許

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【課題】感度が高く、液状態での保存性に優れ、かつ成膜後の感光性膜の経時安定性に優れる、パターン構造物や保護膜を形成可能な感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】〔A〕側鎖に、分岐及び/又は脂環構造、酸性基、並びに置換アルキル基を有する樹脂であって、前記置換アルキル基が2個のエチレン性不飽和結合を有する樹脂と、〔B〕エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物と、〔C〕光重合開始剤と、を含有する感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】高耐熱性、高透明性の特性を有し、かつ耐薬品性が良好な硬化膜を得ることができるポジ型感光性組成物、および該ポジ型感光性組成物から形成されたTFT基板用平坦化膜、層間絶縁膜、コアやクラッド材などの硬化膜、およびその硬化膜を有する表示素子、半導体素子、光導波路などの素子を提供する。
【解決手段】(a)下記一般式(1)で表される構造単位を含むカルボキシル基含有アクリル樹脂、(b)ナフトキノンジアジド化合物、(c)溶剤を含有するポジ型感光性組成物。
【化1】


(Rは水素原子またはメチル基、Rは炭素数2から15の2価の有機基を表す。) (もっと読む)


【課題】ポジ型感光性樹脂組成物パターニング工程において、ポジ型感光性樹脂組成物開口部のスカム発生の抑制と感度を両立することにある。
【解決手段】上記目的は、分子量80000以上の成分の含有量が0.5%以下であるアルカリ可溶性樹脂(A)と感光剤(B)と、を含むポジ型感光性樹脂組成物であって、前記アルカリ可溶性樹脂(A)100重量部に対する感光剤(B)の含有量が、10重量部以上40重量部以下であることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物により実現することが可能となる。 (もっと読む)


【課題】本発明の目的は、遠紫外線光、特に波長が193nmのArFエキシマレーザを用いるミクロフォトファブリケーションの性能向上技術の課題を解決することであり、より具体的には、微細なパターン形成においてもパターン倒れがなく、良好な解像性を示すネガ型レジスト組成物を提供することにある。
【解決手段】(A)アルカリ可溶性樹脂、(B)分子内にビニル構造を2つ以上持つ化合物、(C)光カチオン重合開始剤、を含有することを特徴とする、ネガ型レジスト組成物。 (もっと読む)


【課題】撥インク性がより向上した着色感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】光重合性化合物(A)と、撥インク性化合物(B)と、光重合開始剤(C)と、着色剤(D)と、を含有する着色感光性樹脂組成物において、撥インク性化合物(B)として、エチレン性不飽和基及びケイ素原子に結合した少なくとも1つのアルコキシ基を有するケイ素含有モノマー(B1)と、該ケイ素含有モノマー(B1)と共重合可能なフッ素系モノマー(B2)とを少なくとも共重合させた共重合体を用いる。 (もっと読む)


【課題】良好な透明性を有し、硬化状態における弾性回復率が良好なカラーフィルタ用の感光性組成物を提供する。
【解決手段】感光性組成物中に、酸性基とエチレン性不飽和結合を有する基とを側鎖に含有する樹脂(A)と、エチレン性不飽和結合を有する重合性置換基の2つ以上と、前記重合性置換基と結合する2価以上の環構造含有基とを含む重合性化合物(B)と、光重合開始剤(C)と、を少なくとも含有せしめる。 (もっと読む)


【課題】露光・現像後の熱処理に伴なう熱ダレによる形状変化を抑制する。
【解決手段】(A)有機溶剤可溶性染料と(B)光重合開始剤と(C)アミン構造を含む光重合性化合物と(D)有機溶剤とを少なくとも含む染料含有ネガ型硬化性組成物である。光重合性化合物のアミン構造は、3級アミン構造が好ましい。 (もっと読む)


【課題】化学増幅系レジストにおけるかぶりや膜減り現象防止に優れた帯電防止剤、該帯電防止剤を用いた帯電防止膜及び被覆物品を提供することを目的とする。
【解決手段】水溶性導電性高分子、溶媒及びポリペプチド構造を有する水溶性高分子を含み、感荷電粒子線樹脂上に被覆するための帯電防止剤。安価で簡単にレジストへの塗布性を付与できる界面活性剤を用いても、塗布性を維持しながら、レジストへの影響(レジストの溶解やレジストの現像の結果生じるレジストのかぶりや膜べり現象)を抑止できる。界面活性剤を含有させることにより塗布性を向上させた帯電防止剤は、化学増幅系レジスト、および非化学増幅系レジストに対するミキシング抑制に効果がある。 (もっと読む)


【課題】高耐溶剤性、高耐水性、高耐酸性、高耐アルカリ性、高耐熱性、高透明性、下地との密着性等に優れ、アルカリ水溶液で現像することにより得られるパターニングされた有機膜の形成に有用な共重合体及びそれを含有するポジ型感光性組成物とそれからなる有機膜を提供する。
【解決手段】ラジカル重合性を有する特定のビニルケトンフェノールと他のラジカル重合性モノマーとの共重合体と、カルボン酸又はカルボン酸無水物を含有するラジカル重合性モノマーと他のラジカル重合性モノマーとの共重合体と、キノンジアジド化合物とを含有するポジ型感光性組成物とそれからなる有機膜を提供する。 (もっと読む)


【課題】非露光部の溶解速度が小さいポジ型感光性ポリイミドを完成させることによって、本来ポリイミド樹脂が有する耐熱性、電気特性、機械的特性及び不燃性等の特性を有し、かつ屈曲性が高い感光性ポリイミド前駆体組成物を提供する。また、その感光性ポリイミド前駆体組成物を用いた電子部品を提供する。
【解決手段】感光性ポリイミド前駆体組成物は、少なくとも1種のポリイミド前駆体(つまり、ポリイミド前駆体は、ブレンド物であってもかまわない)、感光剤及び極性有機溶媒を含有するものであって、感光性ポリイミド前駆体組成物を構成する1種の芳香族テトラカルボン酸二無水物を含み、かつ感光性ポリイミド前駆体組成物を構成する芳香族ジアミンを含むポリイミド前駆体で構成されている。 (もっと読む)


【課題】特定の波長のエキシマレーザ露光方式において、色素含有量が高い、あるいは膜厚が厚くとも、高感度であると共に、パターン形状に優れた着色組成物、それを用いたカラーフィルタの製造方法、およびその方法により製造されるカラーフィルタとそれを用いたカラーフィルタを提供する。
【解決手段】顔料、透明樹脂、エチレン性不飽和二重結合を有するモノマーおよび光重合開始剤を含有し、かつ、前記透明樹脂の重量(P)に対するエチレン性不飽和二重結合を有するモノマーの重量(M)の比(M/P)が、0.12以上1.35以下の範囲にあり、波長340〜380nmのレーザ照射で硬化可能な着色組成物。 (もっと読む)


【課題】高い感放射線感度を有し、現像工程において最適現像時間を越えても良好なパターン形状を形成できる現像マージンを有し、密着性に優れたパターン状薄膜を容易に形成することができ、しかも高耐熱性、高耐溶剤性、高透過率、低誘電率、耐ドライエッチング性の層間絶縁膜の形成に好適な感放射線性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】不飽和カルボン酸および不飽和カルボン酸無水物よりなる群から選ばれる少なくとも1種、およびこの少なくとも1種の成分と異なる他の不飽和化合物の共重合体、1,2−キノンジアジド化合物、ならびにスチレン系の繰り返し単位を70重量%以上含有してなる重合体を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】表面反射防止膜形成用組成物の低塗布量化を図り、これにより廃液量を減らすことにより、環境への悪影響を防止すると共に、レジストパターン形成時のコストの削減を図る。
【解決手段】少なくとも1種のフッ素含有化合物、下記一般式(1)で表される4級アンモニウム化合物(式中、R1、R2、R3及びR4のうち少なくとも一つはアルカノール基を表し、その他は水素もしくは炭素数1から10のアルキル基を表す。X-は水酸基、ハロゲン化物イオン、硫酸イオンを表す。)、および、必要に応じ、水溶性ポリマー、酸、界面活性剤、水性溶媒からなる表面反射防止膜形成用組成物。
一般式(1):
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【課題】ラミネート性、金属箔との密着性や強伸度に優れ、且つ高感度であるポジ型感光性樹脂組成物及びそれを用いたフレキシブルプリント配線板を提供すること。
【解決手段】(A)成分としてシロキサン骨格を有する可溶性ポリイミドと、(B)成分として下記式(1)で表される化合物と、を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。


(Xに結合しているn個のQは1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル基もしくは水素であり、少なくとも1つは1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル基である。nは、正の実数であり、Xに結合しているQの平均の個数を表す。Xは、分子量300以上の直鎖、分枝鎖、環状鎖又は芳香族炭化水素鎖である。) (もっと読む)


【課題】 解像度に優れ、高精細なレジストパターンを形成すること。
【解決手段】 本発明のフォトレジストフィルムは、所望のパターンを露光した後に、現像液とガスとからなる混合流体を吹き付けて現像することにより、基板上にレジストパターンを形成する方法に用いられる、少なくとも感光性樹脂組成物層を有するフォトレジストフィルムであって、該感光性樹脂組成物層は、カルボキシル基含有ポリマー(A)、エチレン性不飽和化合物(B)、光重合開始剤(C)を含有する感光性樹脂組成物からなり、かつ、該感光性樹脂組成物層の波長365nm及び/又は405nmでの光線透過率が25%以上であることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】
厚み精度も良好でソリのない印刷原版用感光性樹脂積層体を工業的に生産することを可能にし、その結果として新聞印刷適性に優れた印刷原版の提供を可能にするものである。
【解決手段】
(1)少なくとも金属支持体、合成ゴム系感光性樹脂層およびカバーフィルムを有する感光性樹脂積層体において、該感光性樹積層体の厚みが700μm以下であり、且つ前記金属支持体が80〜200μmであって、前記カバーフィルムとして100℃におけるカバーフィルムの加熱収縮率が0.1%未満の厚さ75〜188μmのフィルムを用いることを特徴とする感光性樹脂積層体。(2)該カバーフィルムが100〜125μmのポリエチレンテレフタレートであることを特徴とする(1)の感光性樹脂積層体。(3)該感光性樹積層体の合成ゴム系感光性樹脂層が(A)水分散ラテックスから得られる少なくとも2種の疎水性重合体(B)光重合性化合物、(C)光重合開始剤を含み、また、上記の成分に加えて、(D)親水性重合体などを含有した感光性樹脂組成物からなることを特徴とする(2)の感光性樹脂積層体。(4)(1)〜(3)の感光性樹脂積層体より得られることを特徴とする新聞印刷用感光性樹脂原版。 (もっと読む)


【課題】露光時に436nm付近、408nm付近、365nm付近の波長の光に十分な感度をもち、かつ透過率の高い塗膜またはパターンを形成することができる重合性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】アルカリ可溶性樹脂(A)、重合性化合物(B)、開始剤(C)、開始助剤(D)および溶剤(E)を含有し、開始助剤(D)が式(I−1)および式(I−2)からなる群から選ばれる少なくとも1種で表される化合物を含む化合物である重合性樹脂組成物。
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【課題】アルカリ水溶液で現像可能であり、耐熱性、機械特性に優れる良好な形状のパタ−ンが得られるポジ型感光性樹脂組成物、パターンの製造方法及び電子部品を提供する。
【解決手段】ポジ型感光性樹脂組成物は、(a)一般式(1)及び(2)のいずれかで表される構造単位を有し、かつ条件(i)及び/又は(ii)を満たすポリベンゾオキサゾール又はその前駆体となるポリマーと、(b)活性光線照射により酸を発生する化合物と、及び(c)熱により前記(a)成分と架橋又は重合し得る、一般式(3)で表される構造を有する化合物とを含有してなり、前記(a)成分100重量部に対して、前記(c)成分を20重量部以上含む。 (もっと読む)


【課題】
本発明の課題は、カラーフィルタを製造する際に生ずる、ブラックマトリクス上の重なり部分のツノ段差ができるだけ小さいくなる着色組成物を提供することにある。
【解決手段】
光重合開始剤と、エチレン性不飽和単量体と、樹脂と、色素と、溶剤とを含んでなる着色組成物であって、着色組成物の全量に占める不揮発分の比率が10重量%以上15重量%以下であり、基板上に該着色組成物を塗工した後、乾燥し、溶剤を除去した後の厚さ3.0μmおよび1.8μmである塗膜を、フォトマスクを介して20mW/cm2の超高圧水銀灯を用いて100mJ/cm2の紫外線で露光し、次いでアルカリ現像し、パターニングを行なった後の塗膜の厚さを、それぞれ、t1およびt2とした時、(t1/t2)が0.10以上0.40以下であることを特徴とする着色組成物。 (もっと読む)


【課題】アルカリ水溶液で現像可能であり、耐熱性、機械特性に優れる良好な形状のパタ−ンが得られるポジ型感光性樹脂組成物、パターンの製造方法及び電子部品を提供する。
【解決手段】本発明のポジ型感光性樹脂組成物は、(a)一般式(1)及び特定構造で表される構造単位を有するポリイミド系ポリマ−と、(b)活性光線照射により酸を発生する化合物と、及び(c)熱により(a)成分と架橋又は重合し得る化合物とを含有してなり、(a)成分100重量部に対して、(c)成分を20重量部以上含む。
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