【課題】ミラーの変位量を大きくでき、作製が容易で小型化可能なデフォーマブルミラーを提供する。
【解決手段】デフォーマブルミラー１は、ミラー面２ａを有するミラー基板２と、ミラー基板２を支持する支持部材３と、支持部材３のミラー基板２を支持する面３ａの裏面側に形成される電極部４と、支持部材３に形成される貫通穴３ｂに挿入されて電極部４に接合保持されるアクチュエータ５と、を備える。ミラー面２ａの変形は、アクチュエータ５が伸縮することによって行われる。 （もっと読む）

【課題】ミラーがアクチュエータとは異なる角度で回転することができるようにするＭＥＭＳミラーデバイスを提供する。
【解決手段】微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）ミラーデバイスが、（１）ミラー、（２）ミラーの一方の半部に連結された第１の群をなすばね要素、（３）第１の群をなすばね要素に連結された第１のビーム、（４）第１のビームに連結された第１のばね、及び（５）第１のばねに連結された第１の静止パッドを有する。このデバイスは、（６）ミラーのもう一方の半部に並列に連結された第２の群をなすばね要素、（７）第２の群をなすばね要素に連結された第２のビーム、（８）第２のビームに連結された第２のばね、及び（９）第２のばねに連結された第２の静止パッドを更に有する。このデバイスは、第１のビーム及び第２のビームが一斉にミラーを回転させるようにこれらビームを剛性的に相互に連結する第３のビームを更に有する。 （もっと読む）

【課題】多層反射膜の成膜により基板に応力が加わっても、基板が変形せず平坦度を良好とできるＥＵＶマスクブランクの多層反射膜の成膜方法の提供、およびバッファ層及び吸収層の成膜により基板に応力が加わっても、基板が変形せず平坦度を良好とできるＥＵＶマスクブランクの製造方法の提供。
【解決手段】スパッタリング法を用いて、基板上にＥＵＶリソグラフィ用反射型マスクブランクの多層反射膜を成膜する方法であって、多層反射膜の成膜により基板に加わる応力と逆方向の応力を前記基板が有するように、前記基板を変形させた状態で前記多層反射膜の成膜を実施し、前記多層反射膜の成膜後、前記基板を変形前の形状に戻すことを特徴とするＥＵＶリソグラフィ用反射型マスクブランクの多層反射膜の成膜方法。 （もっと読む）

【課題】製造容易な構成でありながら反射面の高精度化・微細化が可能であり、しかも反射面を大きく変形させることの可能な形状可変ミラーと光ピックアップ装置を提供する。
【解決手段】形状可変ミラー１は、表面に反射層５を有する弾性変形可能な膜状のミラー部２と、そのミラー部２を保持するホルダー部３とを備えている。ミラー部２は、高弾性膜４の表面に反射層５が形成された構成になっている。ミラー部２の裏面とホルダー部３との間には空気で満たされたキャビティ６ａがあり、そのキャビティ６ａ内の空気の量の増加又は減少によりキャビティ６ａの体積が膨張又は収縮し、その際のミラー部２の弾性変形により反射層５が凸形状又は凹形状の反射面を構成する。ホルダー部３には、その外部とキャビティ６ａとの間で流体を移動させるためのチャネル６ｂが形成されている。 （もっと読む）

【課題】高輝度、軽量且つ低コストな液晶パネル照明装置を提供する。
【解決手段】本発明の液晶パネル照明装置は、導光板１と、この導光板１の一側面に隣接して配置された冷陰極管２と、導光板１の背面を覆うとともに、折り曲げられて冷陰極管２を取り囲む白色の反射シート３とを備え、その反射シート３の内面における冷陰極管２を取り囲む領域３ａに銀色のシート材９が貼り付けられており、この銀色のシート材９は基板に銀又はアルミニウムを蒸着して形成する。 （もっと読む）

【課題】打ち抜きや曲げ加工時に表面保護フィルムが浮いたり剥がれたりせず、かつ表面保護フィルムを剥離する際に反射層が剥離しない、優れた反射率を有する反射シートを提供することにある。
【解決手段】酸化チタン、酸化セリウム、酸化ネオジム、酸化イットリウム、酸化ニオブ、酸化ビスマスから選ばれた少なくとも1つを含む金属酸化物層との間の剥離強度が、特定の値を満たす表面保護フィルムを用いることにより、反射層表面の高屈折率層に全く影響することなく、優れた反射率を有する反射シートが得られる （もっと読む）

【課題】 薄型のプロジェクタやプロジェクタ用の光源装置としてリフレクタの一部を切り欠いた際、切り口が鋭利にならず、応力集中や熱の集中を防止できるリフレクタの製造方法と、当該リフレクタを用いた光源装置及び当該光源装置を用いたプロジェクタを提供すること。
【解決手段】 本体部146の上下に突出した膨出部147と、本体部146の後方に突出したランプ固定部135とを有した形状にガラスをプレス加工し、この鋳造した造形物の内面に反射面を形成し、膨出部147を切断除去することにより切断面が平面形状で、反射面から切断面にかけて立ち上がり面148を有する上切り込み部133と下切り込み部134を形成して製造するものであり、又、プロジェクタ10は、このリフレクタ65を有する光源装置63を用いたものである。 （もっと読む）

【課題】より少ない材料量およびより低いコストにて、効果的にかつ確実にミラーに対して必要な補強を行うことを可能にする。
【解決手段】厚さ５ｍｍのミラー１に対して、厚さ１ｍｍ×幅１６ｍｍの矩形状の補強部材２を、同じく矩形状のミラー１の反射面１ａ側に１ｍｍ突出させて反射面側突出部２ａとし、ミラー１の裏面１ｂ側に１０ｍｍ突出させて裏面側突出部２ｂとし、補強部材２の中間部２ｃをミラー１の側面１ｃに貼り付ける。 （もっと読む）

【課題】より少ない材料量およびより低いコストにて、効果的にかつ確実にミラーに対して必要な補強を行うことを可能にする。
【解決手段】矩形状のミラー１に対し、矩形状の補強部材２を、ミラー１の反射面１ａ側の反射面側突出部２ａと、裏面１ｂ側の裏面側突出部２ｂとの突出量を等しくし、補強部材２の中間部２ｃをミラー１の側面１ｃに貼り付ける。このように補強部材２の質量をバランスさせて配置することにより、ミラー１の反射面が捻じれるような低周波数モードの振動の発生を防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】マイクロ構造を製造する方法を提供すること。
【解決手段】マイクロ構造を製造する方法であって、基板上に第１の構造部分を形成することと、該第１の構造部分上に犠牲材料を配置することと、該犠牲材料および該基板上に第１の構造材料の層を堆積させることと、該犠牲材料の少なくとも一部を除去して、第２の構造部分を該第１の構造材料の層に形成することであって、該第２の構造部分は、該基板に接続され、該第２の構造部分が該第１の構造部分から分離される第１の位置と、該第２の構造部分が該第１の構造部分と接触する第２の位置との間で移動可能である、ことと、該第２の構造部分の表面および該第１の構造部分の表面のうちの少なくとも１つにカーボン層を形成することによって、該第２の構造部分と該第１の構造部分との間のスティクションを減少させることとを包含する、方法。 （もっと読む）

【課題】形状自由度の大きい樹脂材料の利点を生かしつつ温度上昇による変形を防ぐことのできる反射板及びそれを用いた液晶パネル用照明装置を提供する。
【解決手段】反射板２は、液晶パネル（図示せず）の背面と略平行に並置される複数本の直管形の放電ランプ１の軸方向に沿って樋状に形成されるとともに各々１本の放電ランプを内側に納めるための複数の反射部２１を有し、これら複数の反射部２１同士が、隣り合う２本の放電ランプ１の間において結合されてなり、これら結合箇所における反射部２１の背面側にそれぞれ形成された複数の凹部２１ａを埋めるリブ２４を備えた。 （もっと読む）

【課題】優れた回動特性を発揮する光学デバイスを提供すること。
【解決手段】光反射部２１１を備えた質量部２１と、質量部２１を支持するための支持部２２と、質量部２１と支持部２２とを連結する弾性変形可能な１対の弾性部２４、２５と、質量部２１を回動駆動させる駆動手段とを有し、前記駆動手段を作動させることにより、弾性部２４、２５を捩れ変形させながら、質量部２１を回動させ、光反射部２１１で光を反射させ走査するように構成された光学デバイスであって、質量部２１を冷却する冷却手段を有し、前記冷却手段は、吸熱部４２および発熱部４３を備え、吸熱部４２を質量部２１の光反射部２１１と反対の面側に設けたペルチェ素子４１と、ペルチェ素子４１に電力を供給する電力供給手段とを有し、前記電力供給手段の電力によりペルチェ素子４１を作動させ、質量部２１を冷却するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、光学反射素子において、その小型化の実現を目的とする。
【解決手段】この目的を達成するために本発明は、固定端１Ａと、この固定端１Ａにその一端が実質的に固定された可撓性基板１と、この可撓性基板１の他端から一端側方向へスリット６を設けることにより形成された光学反射部４Ａと、この光学反射部４Ａ外の可撓性基板１の上方に設けられた電極３と、この電極３の上方に設けられた圧電体４と、この圧電体４の上方に設けられた電極５Ｂ、５Ｃとを備え、光学反射部４Ａは、弾性体部４Ｂ、４Ｃを介して可撓性基板１の他端部に支持された構成としたものである。 （もっと読む）

【課題】形状可変ミラーの量産に適した製造方法を提供する。
【解決手段】支持基板２の素になる第１ウエハ２０の一方の面、ミラー基板３の素になる第２ウエハ３０の一方の面に、個々の形状可変ミラー１となる領域それぞれの境界に沿って第１溝２１、第２溝３１を形成する。第１ウエハ２０と第２ウエハ３０を、第２溝３１が形成されている面が内向きにされた状態で、互いの前記領域がそれぞれ重なる状態に配置し、第１ウエハ２０と第２ウエハ３０との間における前記各領域内に支柱５、圧電体４を挟み込み、第１ウエハ２０と支柱５、圧電体４、及び、第２ウエハ３０と支柱５、圧電体４を互いに接合する。第２ウエハ３０の外面全域を第２溝３１に到達するまで平坦化加工してミラー基板３に分断する。第１ウエハ２０を第１溝２１に沿って破断して支持基板２に分断する。ミラー基板３の外面上に反射膜６を形成する。 （もっと読む）

【課題】安定した駆動を行うことができる光学デバイスを提供すること。
【解決手段】本体部２１１および光反射部２１２を備えた板状の質量部２１と、質量部２１を支持する支持部２２と、支持部２２に対し質量部２１を回動可能とするように、質量部２１と支持部２２とを連結する弾性変形可能な１対の弾性部２４、２５と、質量部２１を回動駆動させるための駆動手段とを有し、前記駆動手段を作動させることにより、弾性部２４、２５を捩れ変形させながら、質量部２１を回動させ、光反射部２１２で光を反射させ、走査するように構成された光学デバイス１であって、質量部２１は、本体部２１１の光反射部２１２とは反対側の面に本体部２１１の構成材料よりも熱伝導率の高い材料で構成された放熱部４を有する。 （もっと読む）

【課題】ハーフミラーを薄くでき、かつ割れにくくした可動ミラー装置とそれを有するデジタルカメラを提供する。
【解決手段】入射光束の一部を反射し、残りを反射するハーフミラー４０１と、このハーフミラー４０１をその周縁部にて保持するミラー枠４０３の受け部４０３aとミラー押さえ４０３ｂからなる保持機構と、この保持機構と一緒にハーフミラー４０１を回動させる駆動機構からなる可動ミラー装置を具備しており、ハーフミラー４０１の周縁部４０１ｂは入射光束領域４０１aよりも厚い。 （もっと読む）

反射光学系を製作する方法であって、（ａ）少なくとも第１のマンドレル及び第２のマンドレルを用意するステップを有し、マンドレルは各々、伸長軸線を備えると共にその一端に、反射面を負の形状で構成する凹状端面を有し、（ｃ）第１のマンドレルと第２のマンドレルを互いに剛性的に且つ解除可能に取り付け、それによりマンドレル組立体を形成するステップを有し、（ｄ）マンドレル組立体を電鋳浴中に位置決めし、所定期間にわたり電鋳作業を実施し、それにより光学系をマンドレル組立体上に形成するステップを有し、（ｅ）マンドレル組立体を光学系から分離するステップを有し、それにより光学系は、少なくとも第１及び第２の細長い中空部分を有し、各中空部分は、それぞれのマンドレルの伸長軸線に一致した軸線を有し、各中空部分は、それぞれのマンドレルの凹状端面に対応した反射面が設けられた第１の端部及び開口している第２の端部を有し、少なくとも第１及び第２の細長い中空部分の軸線は、光路が反射面のところでの反射によって第２の端部相互間に定められるように差し向けられていることを特徴とする方法。この方法は、第１のマンドレルと第２のマンドレルとの間に設けられた中間マンドレルを用意するステップを有するのが良い。この方法によって得ることができる反射光学系も又、開示され、この反射光学系は、少なくとも第１及び第２の電鋳された細長い中空部分を有し、各中空部分は、開口端部を有すると共に開口端部とは反対側のその端部に反射面を有し、反射面は、光路が開口端部相互間に定められるように配置されると共に差し向けられている。製作された光学系は、アフォーカルリレーとして使用でき又は多くの像形成又はリソグラフィー用途に使用できる。
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【課題】放射により発生する熱による損傷を防止できるミラーアレイ装置を提供する。
【解決手段】複数の個別に調節可能な反射素子１２０を支持するように構成されたキャリア１１０を備えるミラーアレイ装置。少なくとも１つのアクチュエータが各反射素子１２０と対応付けられており、該アクチュエータは、関連付けられた反射素子１２０の向きまたは位置を調節するように構成されている。該装置は反射素子１２０の少なくとも一部と接触する液体２００をさらに備える。 （もっと読む）

【課題】例えばカード類、葉書類、カタログ類等に用いられ、光散乱反射性を持ち、且つ、印刷可能である可印刷性光散乱反射蒸着シートを提供する。
【解決手段】本発明の可印刷性光散乱反射蒸着シートは、印刷物の片面に蒸着フィルムが積層され、該蒸着フィルムの表面にアンカー層が形成され、蒸着フィルムは光散乱反射性を持つことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 表面粗さを高い精度で制御可能な光学素子を提供する。

【解決手段】 基板10、基板10上に配置され、磁場の強さに応じて膜厚が変動する磁歪膜11、及び磁歪膜11上に配置され、光を反射する反射膜12を備える。 （もっと読む）