【課題】設置が容易な機構を用いてかつ小さい力で、反射部材の反射面を種々の形状に変形可能とする。
【解決手段】照明光ＩＬを反射するデフォーマブルミラー５０であって、照明光ＩＬを反射する凹面鏡よりなるミラー２２と、ミラー２２の反射面２２ｄの裏面２２ｅに設けられた凸状のミラーポスト２４と、ミラーポスト２４の先端部をミラーポスト２４が延びる方向に交差する方向に変位させる荷重付与系５８と、ミラーポスト２４の先端部の変位を計測する位置センサ６０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】変形可能である光学素子と電極を備える圧電セラミック製の能動素子とを備えるバイモルフ光学装置に関し、１組の第１素子に関して圧縮運動を、１組の第２素子に関しては伸張運動を生じさせるよう、前記素子が対で反対に制御される。
【解決手段】装置は、光学素子１が光学活性の第１主表面６と、第１主要面に対向する第２主表面７とを、少なくとも第１および第２の対向する側面２，３と共に備えることと、セラミック能動素子が、前記第１および第２側面上で相互に対面する少なくとも２組の圧電セラミック棒（２１、２２；３１、３２）を備え、各組が光学素子の中立軸をなす中央面のいずれかの側で第１および第２側面の一方に配置される２つの棒（２１、２２；３１、３２）を備える。 （もっと読む）

【課題】投射された映像の輝度ムラを抑制することができるとともに、視野角を任意に変更することが可能なスクリーンを提供すること。
【解決手段】スクリーン１００は、投射された映像を表示するスクリーンであって、可撓性を有し、反射膜１１と支持膜１２とで構成されたスクリーン本体１０と、スクリーン本体１０の映像を表示する支持膜１２に設置され、当該支持膜１２に向かって凸状となるよう形成された凸部２４を有する複数のアクチュエータ１０と、を有し、アクチュエータ２０は、電気刺激により変形し、凸部２４をスクリーン本体１０の裏面に押し当てるよう構成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高分解能で鏡面変位を操作することが可能でありながら、鏡面を変歪させる際の過大な応力によって鏡を破損することを防止できる可変形鏡を提供すること。
【解決手段】可変形鏡は、変形可能な弾性体の鏡１と、鏡の裏面に接続され、鏡の変形を行う複数の駆動機構ユニット２とを備える。駆動機構ユニットのそれぞれは、ユニット移動端４と、ユニット固定端５と、アクチュエータ３と、第一の弾性体６及び第二の弾性７とを含む。第一の弾性体は、その一端がユニット移動端に接続され、他端がユニット固定端に接続されている。第二の弾性体は、その一端がアクチュエータの可動端に接続されており、他端がユニット移動端に接続されている。第一の弾性体の剛性は、第二の弾性体の剛性よりも高い。弾性体の鏡は、第一の弾性体と、第二の弾性体と、弾性体の鏡との三者の剛性の組み合わせによって定まるユニット移動端の移動によって変形される。 （もっと読む）

【課題】リアルタイムで映像に特殊効果を施すことができ、レンズユニットの交換により着脱する必要がない撮像機器を提供すること。
【解決手段】撮像レンズユニット機器１は、被写体Ｗを撮影する撮影カメラ５０に着脱自在に装着され所定のレンズ９を設けたユニットフレーム２の入射口から前記撮影カメラの撮像素子５１までの光路中に配置される波面制御機構５を有する撮像レンズユニット機器であって、前記波面制御機構は、前記光路中に配置され波面制御面となる薄膜ミラー６と、この薄膜ミラーの裏面に当接して当該薄膜ミラーを凹面、凸面あるいは凹凸面に変形させる複数の押動凸部７と、この押動凸部のそれぞれを出没駆動させる駆動手段８とを備え、前記被写体の光の方向を前記薄膜ミラーで反射して前記被写体の光を前記光路に沿って送り出すことで前記被写体の光を制御する構成とした。 （もっと読む）

【課題】対象物の変位量を簡易な構成で計測することができる変位センサ、駆動装置、露光装置、及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】凹面鏡４１の変位量を計測可能に構成され、圧電部材５３に対する電圧の印加に伴って、圧電部材５３から駆動力が伝達されて凹面鏡４１に対して接触する接触位置まで変位する接触部材５８と、接触部材５８の変位量を計測する受光素子６２と、受光素子６２の計測結果に基づき、接触部材５８が接触位置まで変位したか否かを判別すると共に、接触部材５８が接触位置まで変位した旨を判別した時点での接触部材５８の位置を、凹面鏡４１の変位量を計測する際の基準となるスケール６０の原点として設定する制御装置６４とを備えた。 （もっと読む）

ファセットミラー（６；１０）は、マイクロリソグラフィにおける使用に向けて役立つ。ファセットミラー（６；１０）は、ＥＵＶ照明光（３）の部分ビームを導くための照明チャンネルを予め定義する複数のファセット（７；１１）を有する。ファセット（７；１１）の少なくとも一部は、アクチュエータ（３１；３５）を有する調節デバイス（３０；３４）を用いて、ファセット反射平面（ｘｙ；ｘ’ｙ’；ｘ’’ｙ’’）に垂直な移動成分（３２；ｄｚ’；ｄｚ’’）を伴って変位可能である。これは、ファセットミラーの使用中に達成すべき望ましい照明事前定義に準拠するように作られた所定の要件が従来技術と比較して低い製造費用で達成されるファセットミラーをもたらす。 （もっと読む）

【課題】
熱膨張係数の異なる材質の積層構造で、ミラー製造時の温度差に起因する歪による表面形状の加工誤差と、ナノ集光作業時の設置環境条件に起因する歪による表面形状の誤差を解消し、ｎｍオーダーの形状精度を実現し、Ｘ線ビームを理想波面に変更し、また焦点距離可変な反射面形状制御ミラー装置を提供する。
【解決手段】
基板１の表面中央部に帯状のＸ線反射面２を形成し、Ｘ線反射面の両側に沿って基準平面３を形成し、基板の両側部で少なくとも表裏一面に複数の圧電素子４をＸ線反射面の長手方向に並べて基板に接合した反射面形状制御ミラーと、各圧電素子に電圧を印加する多チャンネルのコントロールシステムとからなる。 （もっと読む）

【課題】反射鏡を支える支持脚の長さや平面度の精度を向上させる必要がなく、反射面の曲率を変えることが可能で、焦点距離やビーム径、ビームモードの調整が可能な曲率可変鏡を提供することを目的としている。
【解決手段】曲率可変鏡１は、円形反射鏡２と、円形反射鏡２の裏面２Ｂ側に距離を隔てて配置される構造部材３と、裏面２Ｂと構造部材３との間に裏面２Ｂの中心を挟んで配置された一対の固定部材４と、一端が裏面２Ｂに垂直に固定され、他端が２本を一組として固定部材４にそれぞれ固定される二組の反射鏡支持脚５と、一端が固定部材４の中間位置に固定され、他端が構造部材３に固定される固定部材支持脚６と、裏面２Ｂの中心２Ｅ付近に一端が固定され、他端が構造部材３に固定される距離変更手段であるピエゾアクチュエータ７と、を備えている。反射面２Ａの曲率を変更することができる。 （もっと読む）

【課題】全長の短い小型の撮像装置を提供する。
【解決手段】ＣＣＤ１２とレンズユニット８１と、を具備する撮像装置１であって、レンズユニット８１が、入射光をＣＣＤ１２の周囲に導光するレンズ群８２と、レンズ群８２が導光した光を光軸Ｏ方向に反射し、中央部にＣＣＤ１２が配置されたリングミラー２２と、リングミラー２２が反射した光をＣＣＤ１２に導光する、ＣＣＤ１２と対向する光軸Ｏ上の位置に配置された形状可変ミラー４０と、を有し、レンズユニット８１が格子状に配置された複数のレンズユニット８１を有するレンズユニット基板８０から個片化されたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光学部材の光学特性を高精度に調整することができる光学部材変形装置、光学系、露光装置、及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】凹面鏡４１の形状を変形させるミラー変形装置５３において、凹面鏡４１に固定される第２永久磁石７２と、第２永久磁石７２に対向して配置される第１永久磁石７１と、アクチュエータ６１から伝達される駆動力に基づいて、第１永久磁石７１を第２永久磁石７２に対して相対距離が変化するように変位させる変位機構８０とを備える。 （もっと読む）

【課題】光学部材の光学特性を精度よく調整することができる光学部材変形装置、光学系、露光装置、及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】凹面鏡４１の形状を変形させるミラー変形装置５３において、凹面鏡４１に対して当接する当接部材７０と、当接部材７０に連結され、アクチュエータ６１から伝達される駆動力に基づいて変位する変位部材６５と、アクチュエータ６１からの駆動力に基づき変位する連結部材５７，６３を有し、該連結部材５７，６３の変位量を拡大して変位部材６５に伝達する変位拡大機構７３と、当接部材７０と変位部材６５との間に設けられ、変位拡大機構７３から伝達される変位部材６５の変位量を縮小して当接部材７０に伝達するコイルスプリング６９と、変位部材６５の変位量を計測する変位センサ６７と、変位センサ６７の計測結果に基づき、変位部材６５の変位量を制御する制御機構６８とを備える。 （もっと読む）

液体または気体の流体を含む保持部（１）に取り付けるための区域（２．３）と、非動作位置から可逆的に変形できる中央区域（２．１）とを含む変形可能ダイアフラム（２）と、取付け区域（２．３）と中央区域（２．１）との間の中間区域のダイアフラム（２）を動かして流体（４）を移動させるための作動手段とを有する光学デバイスに関する。作動手段は、複数のアクチュエータを受け取り、中央区域（２．１）を囲む連続圧電冠状部を含み、少なくとも中間区域（２．２）でダイアフラム（２）に取り付けられ、作動手段（５）と、それが取り付けられているダイアフラム（２）とが、少なくとも１つの圧電バイモルフ（Ｂ）を形成し、作動手段（５）が、ダイアフラムの中間区域（２．２）から中央区域（２．１）の方にまたは逆の方に流体（４）の移動をもたらし、中央区域（２．１）をその非動作位置に対して変形させるように作動の間半径方向に収縮または拡大する。
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光学装置が第１のメンブレン、第２のメンブレン及び少なくとも１つの電磁的に変位可能なコンポーネントを有する。第１のメンブレンは、光学的活性領域を有する。第１のメンブレンと第２のメンブレンは、リザーバ内に設けられた充填材によって互いに結合される。少なくとも１つの電磁的に変位可能なコンポーネントは、少なくとも１つの電磁的に変位可能なコンポーネントの変位が充填材の動きによる第１のメンブレンの光学的活性領域の変形を生じさせるように第２のメンブレンを介して充填材に結合されている。 （もっと読む）

【課題】装置全体の温度が変化した場合であっても、可変形ミラーを所望の形状に変形することができる可変形ミラー装置を得る。
【解決手段】可変形ミラー１と、先端部が可変形ミラー１の裏面に向かって設けられ、駆動することで可変形ミラー１を変形させるアクチュエータ２と、可変形ミラー１の裏面に接合され、磁性体から構成された接合パッド４と、アクチュエータ２の先端部に設けられ、磁力によって接合パッドを引き付ける接触アタッチメント５とを備え、可変形ミラー１の線膨張係数と接合パッド４の線膨張係数とがほぼ同等である。 （もっと読む）

【課題】コイルに巻回された導線の巻数を増加させて、磁石体とコイルとの間に発生する力を大きくすることができるとともに、コイルの温度上昇を抑制し、また、容量性センサが検出する駆動対象体の変位量に誤差が生じることを抑制することができるアクチュエータを得る。
【解決手段】磁石体２と、磁石体２に嵌合され、一端部がミラー１に取り付けられる第１のシャフト４と、第１のシャフト４に対向して設けられた第２のシャフト５と、第１のシャフト４に取り付けられた第１のセンサ電極１３と、第２のシャフト５に取り付けられた第２のセンサ電極１４と、磁石体２の軸線方向の外側に配置された円筒形状のコイル３と、コイル３を保持したコイル保持手段６と、コイル保持手段６の熱を外部に排出する排熱手段１０と、スペーサ７を介してコイル保持手段６を支持し、第２のシャフト５を支持したベース８とを備えている。 （もっと読む）

【課題】小型化した可変形状鏡を提供する。
【解決手段】可変形状鏡は、薄膜２１１と、薄膜２１１を全周にわたって保持している第１枠２１４と、第１枠２１４に固定された光学的に透明な第１基板２２２と、第１枠２１４に固定された第２枠２１９と、第２枠２１９に固定された第２基板２５１とを有している。薄膜２１１は上面に反射膜２１２を有し、下面に薄膜電極２１３を有している。第１基板２２２は、薄膜２１１から離れて反射膜２１２の側に位置している。第２枠２１９は、薄膜電極２１３の側に位置している。第２基板２５１は、薄膜２１１から離れて薄膜電極２１３の側に位置し、薄膜電極２１３に対向する駆動電極２５２を有している。薄膜２１１と第１枠２１４と第１基板２２２は第１封止室２２３を規定し、薄膜２１１と第１枠２１４と第２枠２１９と第２基板２５１は第２封止室２２４を規定している。可変形状鏡は、第１封止室２２３と第２封止室２２４をつなぐ気体流路２０１を有している。 （もっと読む）

【課題】ミラーに振動を伝えることなくミラーを裏面側から効率的に変形及び／又は冷却できる装置を提供する。
【解決手段】ミラー装置は、ミラーＭ１の裏面に隔壁部３５ｄによって区分けされた複数の穴部３５ｃと、複数の穴部３５ｃの底面にそれぞれ固定された複数の薄膜圧電素子４１と、穴部３５ｃに差し込まれる複数の突部３６ａを有する放射温調板３６と、ミラーＭ１を変形させるために、その複数の薄膜圧電素子４１に加える電圧を個別に制御するミラー制御系４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 望遠鏡のミラーの光学的欠陥を修正するための装置を提供する。
【解決手段】 本発明は、重量、信頼性、稼動寿命、費用、及び極端な温度に対する抵抗性の判定基準が重要な、宇宙環境での使用に適合する、望遠鏡のミラーの光学的欠陥を修正するための装置に関し、それが少なくとも１つの制御可能な長さの要素（２）、この要素の長さを制御する手段（４）を備え、この要素は、直径方向に又は対角線上に反対で、ミラーの周囲に近い領域において、その端部でこのミラー（１）に接続され、制御可能な長さの要素とそのミラーとの間の接続が、これら２つの取付け領域を結合する軸の上では剛性であり、他の自由度においては柔軟性のある取付け具を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】保持する光学素子の光学特性を容易に調整できる光学素子保持装置、光学系、露光装置、光学特性調整方法及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】投影光学系１６の第２鏡筒２５内に収容された第１ミラー２６は、光学素子保持装置４０に保持される。この光学素子保持装置４０は、第２鏡筒２５の内壁２５ａに支持される調整機構４１と、該調整機構４１に支持される駆動機構４２と、該駆動機構４２に支持される保持機構４４とを備える。調整機構４１は、駆動機構４２の位置を調整することにより第１ミラー２６の位置を調整すべく駆動する。また、駆動機構４２は、保持機構４４において第１ミラー２６に取付けられている取付部６２に駆動力を与えることにより、第１ミラー２６の形状を変形させる。 （もっと読む）