【課題】磁石の剥離を防止することができ、磁路を設けることで磁石に作用する磁界の磁束密度を高くすることができ、可動部を第１の軸の周りに回動（搖動）させることのできるミラーデバイス、ミラーデバイスの製造方法、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】ミラーデバイス１は、光反射性を有する光反射部１２を備える可動板１１と、１対の軸部材１３ａ、１３ｂと、可動板１１に設けられ、両極が第１の軸を挟んで配置された永久磁石２０と、可動板１１と永久磁石２０との間に介在して可動板１１と永久磁石２０とを接合し、半田で構成された半田層２１と、可動板１１と半田層２１との間に介在し、可動板１１よりも半田の濡れ性が高く、軟磁性体を含む下地層２２とを備え、可動板１１の平面視で、下地層２２は、永久磁石２０を包含し、下地層２２の少なくとも一部が永久磁石２０から突出している。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化および低コスト化を図りつつ、駆動の際、可動板に撓みが生じることを防止または抑制することができ、可動板を第１の軸および第１の軸に直交する第２の軸の周りに回動（搖動）させることのできるミラーデバイス、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】ミラーデバイス１は、枠状部材１４と、１対の第２の軸部材１５ａ、１５ｂと、光反射性を有する光反射部１２を備える可動板１１と、１対の第１の軸部材１３ａ、１３ｂと、枠状部材１４に設けられ、長手形状をなす第２永久磁石２０ａ、２０ｂと、可動板１１に設けられ、長手形状をなす第１永久磁石２０ｃとを備え、第２永久磁石２０ａ、２０ｂは、その軸線が第２の軸部材１５ａ、１５ｂの軸線に対して傾斜するように配置され、第１永久磁石２０ｃは、その軸線が第１の軸部材１３ａ、１３ｂの軸線に対して直交するように配置されている。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化および低コスト化を図りつつ、第２の軸部材に複合応力が生じることを防止または抑制することができ、可動板を第１の軸および第１の軸に直交する第２の軸の周りに回動（搖動）させることのできるミラーデバイス、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】ミラーデバイス１は、枠状部材１４と、１対の第２の軸部材１５ａ、１５ｂと、光反射性を有する光反射部１２を備える可動板１１と、１対の第１の軸部材１３ａ、１３ｂと、枠状部材１４に設けられ、長手形状をなす第２永久磁石２０ａと、可動板１１に設けられ、長手形状をなす第１永久磁石２０ｃとを備え、第２永久磁石２０ａは、その軸線が第２の軸部材１５ａ、１５ｂの軸線に対して直交するように配置され、第１永久磁石２０ｃは、その軸線が第１の軸部材１３ａ、１３ｂの軸線に対して傾斜するように配置されている。 （もっと読む）

【課題】１つのドライブ回路で圧電型と電磁型のどちらでも対応することのできるアクチュエータ駆動システムを提供する。
【解決手段】電磁型アクチュエータを駆動させるための電磁型制御信号を出力する前置回路３０と、この前置回路３０から出力される電磁型制御信号によって前記電磁型アクチュエータを駆動させるドライブ回路２０とを備えたアクチュエータ駆動システムであって、前置回路３０は、圧電型アクチュエータを駆動させるための圧電型制御信号に基づいてドライブ回路２０を動作させて、ドライブ回路２０から圧電型アクチュエータを駆動させる圧電型駆動電圧を出力させる。 （もっと読む）

【課題】 反射面を二軸周りに揺動するときの回転角を減少させることなく、反射面の二軸周りの揺動を精度良く検知できる光偏向器を提供する。
【解決手段】 光偏向器１は、第１圧電アクチュエータ３１及び第２圧電アクチュエータ５１の駆動で二軸周りに揺動する反射面２ａと、当該揺動を検知する第１検知部７１ｙ及び第２検知部７１ｘを有する第１支持部４とを備える。第２圧電アクチュエータ５１には、第１圧電アクチュエータ３１に導通する第１駆動配線Ｗｙと、第２圧電アクチュエータ５１に導通する第２駆動配線Ｗｏ，Ｗｅと、第１検知部７１ｙに導通する第１検知配線Ｗｍｙと、第２検知部７１ｘに導通する第２検知配線Ｗｍｘと、第１接地線Ｗｇｙとが並行に配置される。第１接地線Ｗｇｙは、第１駆動配線Ｗｙ及び第２駆動配線Ｗｏ，Ｗｅと、第１検知配線Ｗｍｙ及び第２検知配線Ｗｍｘとの間に配置される。 （もっと読む）

【課題】テレビにおいて、リモコンが無くてもリモコン操作を可能にする。
【解決手段】テレビ（映像表示装置１）にMEMSを用いた画像投写装置（投射部２）と、前記画像投写装置の投写方向を制御する回転手段と、テレビ前面の視聴者の動作を撮像する撮像手段（センサ部３）と、を備え、前記撮像手段によりテレビ視聴者の動作を検知して、前記画像投写装置によりリモコン画像を投写し、視聴者のリモコン画像に対する動作を撮像して、操作指示を判別して当該テレビを制御するようにした。 （もっと読む）

【課題】MEMSと半導体レーザ光源を用いた小型投射プロジェクタを複数台重ねて使用する場合の画質劣化を低減する。
【解決手段】複数の光源と、前記複数の光源を駆動する複数の光源駆動手段と、前記光源からの出射光を反射し対象物に投射する反射ミラーと、前記反射ミラーを駆動するミラー駆動手段と、入力映像信号を信号処理する画像処理手段と、前記複数の光源を異なる光軸で反射ミラーに入射し異なる投射領域に投影し且つこれをまとめることで一つの入力映像信号の画像を表示させる画像表示装置において、複数の投射画像が光学的に重なり合う領域に対応する画像は１つの光源からの出射光となるように前記画像処理手段が制御を行う構成とする。 （もっと読む）

【課題】光走査装置の製造コストの抑制、及び小型化を図る。
【解決手段】光走査装置は、光束を発する半導体レーザーと、揺動軸を有し、該揺動軸の軸回りに所定の振れ角で往復揺動しつつ前記半導体レーザーから発せられる光束を反射して略等速で偏向走査させるＭＥＭＳミラーと、前記偏向走査された光束を被走査面上に結像させる結像光学系とを備える。制御部６０は、光走査装置を制御する露光制御部６１と、前記結像光学系の光軸に対するＭＥＭＳミラーの振れ角の中心の回転ズレ量を記憶する記憶部６２を備える。露光制御部６１は、前記被走査面への書き出しタイミングを前記回転ズレ量に応じて補正して、半導体レーザーの発光タイミングを制御する。 （もっと読む）

【課題】光走査装置の製造コストの抑制、及び小型化を図る。
【解決手段】光走査装置は、光束を発する半導体レーザーと、揺動軸を有し、該揺動軸の軸回りに所定の振れ角で正弦揺動しつつ前記半導体レーザーから発せられる光束を反射して偏向走査させるＭＥＭＳミラーと、前記偏向走査された光束を被走査面上に結像させる結像光学系とを備える。制御部６０は、光走査装置を制御する露光制御部６１と、前記結像光学系の光軸に対するＭＥＭＳミラーの振れ角の中心の回転ズレ量を記憶する記憶部６２を備える。露光制御部６１は、前記被走査面への書き出しタイミング及び部分等倍度を前記回転ズレ量に応じて補正して、半導体レーザーの発光タイミングを制御する。 （もっと読む）

【課題】走査レンズの面形状の検証を容易に行うことができる光走査装置を提供する。
【解決手段】光走査装置は、回転非対称の屈折面Ｒを少なくとも１面含み、ＭＥＭＳミラーで偏向走査された光束を被走査面上に結像させる走査レンズ１０５を備える。屈折面Ｒは、当該屈折面Ｒの子線頂点を結ぶ母線Ｐが副走査方向に湾曲し、光源から被走査面に至る光軸と副走査軸とで作られる面と平行な副走査断面Ｒｌの形状が楕円であり、前記楕円の、前記光軸方向における極値は母線Ｐ上にあり、母線Ｐを光軸に垂直な平面に投影した投影母線Ｐａに垂直な断面Ｒｓの形状が円弧状とされている。 （もっと読む）

【課題】低コスト化および小型化を図りつつ、質量部を互いに直交する２軸のそれぞれの軸まわりに回動させることができるアクチュエータ、光スキャナ、および画像形成装置を提供すること。
【解決手段】電源回路５は、第１の周波数で周期的に変化する第１の電圧Ｖ_１１、Ｖ_１２を発生する第１の電圧発生部５１と、第１の周波数と異なる第２の周波数で周期的に変化する第２の電圧Ｖ_２１、Ｖ_２２を発生する第２の電圧発生部５２と、第１の電圧Ｖ_１１、Ｖ_１２と第２の電圧Ｖ_２１、Ｖ_２２とを重畳する電圧重畳部５３とを備え、電圧重畳部５３で重畳された電圧を各圧電素子４１、４２、４３、４４に印加することにより、質量部をこれを支持する１対の弾性部に沿った第１の軸線まわりに第１の周波数で回動させつつ第１の軸線に直交する第２の軸線まわりに第２の周波数で回動させるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 反射面を二次元方向に揺動するときの回転角を減少させることなく、反射面の二次元方向の揺動を検知できる光偏向器を提供する。
【解決手段】 光偏向器１は、反射面２ａを有するミラー部２を支持する第１支持部４と、ミラー部２を第１支持部４に対して第１軸Ｙ周りに揺動させる第１圧電アクチュエータ３１，３２と、第１支持部４を支持する第２支持部６と、第１支持部４を第２支持部６に対して第２軸Ｘ周りに揺動させる第２圧電アクチュエータ５１，５２とを備える。第１支持部４上には、第１圧電アクチュエータ３１，３２の圧電駆動により伝達される第１振動を検知する第１検知部７１ｙ，７２ｙと、第２圧電アクチュエータ５１，５２の圧電駆動により伝達される第２振動を検知する第２検知部７１ｘ，７２ｘとが配置される。 （もっと読む）

【課題】走査角が大きくなっても、走査対象とビームウエストの位置とのずれを抑制すること。
【解決手段】レーザ光を出力する光源と、該光源からのレーザ光を反射して周期的に走査させる走査手段と、を備えた光走査装置であって、前記走査手段が、レーザ光を反射するミラー部と、一走査中、仮想平面上を前記レーザ光のビームウエスト位置が移動するよう、前記ミラー部の曲率を走査周期の１／２周期で変化させる駆動手段と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光の照射に起因する温度上昇を抑制する。
【解決手段】本発明の光走査装置は、支持部と、光を反射するミラーが装着されるミラー装着部と、ミラー装着部の両端に互いに対向して形成され、ミラー装着部を支持部に対して回動可能に支持する一対のばね部と、ミラー装着部を回動駆動する駆動部と、を有し、一対のばね部の各々は、永久磁石が装着される、スリットが形成された板状の磁石装着部と、磁石装着部を支持部に対して回動可能に支持する第１のばねと、第１のばねと略同位置直線上に設けられ、ミラー装着部を磁石装着部に対して回動可能に支持する第２のばねと、を有し、駆動部は、ミラー装着部の回動軸に沿って永久磁石を囲むように配置されたヨークと、ヨークに巻き付けられ、導通によってヨークを励磁して、永久磁石に作用する磁場を発生させるコイルと、を有する。 （もっと読む）

【課題】ミラーの走査角度の検出精度を向上させた２次元走査の光走査装置を提供する。
【解決手段】この光走査装置１０は、互いに異なる軸方向を有するミラー軸部１６および枠軸部１５と、ミラー軸部１６の回動によって回動するとともに、枠軸部１５の回動によって回動するミラー部１１と、ミラー部１１およびミラー軸部１６を囲み、枠軸部１５の回動によって回動する可動枠部１４と、枠軸部１５を介して可動枠部１４を振動させることで、ミラー軸部１６および枠軸部１５を中心軸としてミラー部１１を駆動させる駆動部１３とを備えている。そして、枠軸部１５の軸上であって、ミラー軸部１６の回動に対して逆位相となる対称な位置に、可動枠部１４の角度を検出する第１角度検出部１８ａおよび第２角度検出部１８ｂが設けられている。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の動きが阻害され難く、圧電素子の電極に接合された導体が破断し難い光スキャナを提供する。
【解決手段】圧電素子１３が発生する振動により、ミラーを共振させて揺動させ、ミラーで反射した光を走査させる光スキャナであって、圧電素子１３の電極に接合する導体３０は、金属箔３０ａと、この金属箔３０ａの両面に層状に形成された樹脂製の被覆体３０ｂ、３０ｃとから構成されている。樹脂製の被覆体３０ｂ、３０ｃにより導体３０の強度が上がり、導体３０が破断し難い。また、導体３０は、導電体３０ａがヤング率の低い樹脂製の被覆体３０ｂ、３０ｃで被覆され、層状に形成されているので、導体３０の変形性が保たれ、接続された導体３０により圧電素子１３の動きが阻害され難い。 （もっと読む）

【課題】揺動部の慣性モーメント或いは重心位置の調整を比較的大きな範囲で比較的高速に行うことが可能な光偏向器などの揺動体装置、その製造方法を提供する。
【解決手段】揺動体装置は、揺動部と弾性支持部305、306と支持体301とを備え、揺動部が弾性支持部により揺動軸304回りに揺動可能に支持されている。揺動部は、該揺動部の質量を調整するための突出部303、321を持つ可動子302、320で構成されている。突出部は可動子から揺動軸と平行な方向に突出しており、突出方向の何れの個所でも切断可能に形成されている。突出部の揺動軸を法線とする断面積は、揺動軸方向に一定である。
【選択図】図10
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【課題】駆動コイルと外部接続端子を接続する引出し配線の応力により、トーションバーの動きが阻害されることを防止し、可動部の駆動効率を向上させる。
【解決手段】固定部３、可動部４及びトーションバー３を半導体基板で一体形成し、可動部４に配置した駆動コイル５Ａ、固定部２に配置した外部電極端子７及び駆動コイル５Ａと外部電極端子７間を接続するようトーションバー３上を介して配線する引出し配線５Ｂを含む導電パターン５を、半導体基板表面の絶縁層８上に形成し、駆動コイル５Ａに電流供給することにより、可動部４を駆動するプレーナ型電磁アクチュエータにおいて、トーションバー３上の引出し配線５Ｂ部分を除いて、絶縁層８と導電パターン５との間に、絶縁層８に対する密着性が導電パターン５より高い密着層９を設け、密着層９のないトーションバー３上の引出し配線５が絶縁層８と接するよう構成した。 （もっと読む）

【課題】 反射面を有するミラー部と、これを駆動する圧電アクチュエータとを備え、二次元方向に駆動可能で小型化できる光偏向器を提供する。
【解決手段】 光偏向器１は、ミラー部２と、駆動電圧の印加により屈曲変形する第１圧電体６１ａ〜６１ｄ及び第２圧電体６２ａ〜６２ｄを支持する圧電カンチレバー３１ａ〜３１ｄを有する一対の圧電アクチュエータ３ａ，３ｂとを備える。一対の圧電アクチュエータ３ａ，３ｂは、ミラー部２を挟んで対向するように配置される。第１圧電体６１ａ〜６１ｄに電圧が印加されると、ミラー部２を複数の圧電カンチレバー３１ａ〜３１ｄの並び方向に平行な第１軸ｘの周りに駆動し、第２圧電体６２ａ〜６２ｄに電圧が印加されると、ミラー部２を第１軸ｘと直交する第２軸ｙの周りに駆動する。 （もっと読む）

【課題】ミラー部の偏向角を直線的に変化させ得る期間が短くなりすぎないようにしつつ、ミラー部の高周波振動の発生が抑制されるように該ミラー部の揺動を行なうことができる光偏向器の駆動装置を提供する。
【解決手段】ミラー部１を揺動軸Ｘ２の周りに揺動させる圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂは、複数の圧電カンチレバー３(i)（ｉ＝１，２，３，４）を連結して構成され、圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂの一端及び他端のいずれか一方側から偶数番目の圧電カンチレバー３（偶数）と、奇数番目の圧電カンチレバー３（奇数）とのいずれか一方を圧電駆動する駆動電圧は、ノコギリ波状の２つの電圧信号を、所定の位相差だけ位相をずらした状態で合成することにより得られる波形の電圧信号である。圧電カンチレバー３（偶数）及び圧電カンチレバー３（奇数）の他方を圧電駆動する駆動電圧は一方を圧電駆動する駆動電圧の逆位相の波形とされる。 （もっと読む）