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Fターム[2H049AA37]の内容

回折格子、偏光要素、ホログラム光学素子 (44,531) | 回折格子 (6,153) | 製造方法、製造装置 (907) | エッチングを伴う方法 (185)

Fターム[2H049AA37]に分類される特許

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【課題】光学素子を出射面に垂直な軸を中心として90°回転させても、光の回折特性が変化しない光学素子及びその光学素子を備えた光源ユニットを提供する。
【解決手段】柱状突起3が平面視で4回回転対称の配列とされている。 (もっと読む)


【課題】 X線タルボ干渉計を構成する位相型回折格子及び振幅型回折格子を安定的に供給可能な製造方法を提供する。
【解決手段】基板6に形成されているネガ型のX線感光性樹脂30に、X線透過部とX線吸収部とを備えるX線マスク31を用いてX線を照射する。そして、前記X線透過部を通過したX線、及び、前記X線吸収部を通過することによって通過前の1/50以上1/10以下となるように強度が低下したX線によって、X線感光性樹脂30を露光する(露光工程)。そして、非露光部分34を除去することによって、基板上に樹脂壁36を形成するとともに、隣り合う樹脂壁36の先端同士を接続する膜状の架橋部35を形成する(現像工程)。その後、前記架橋部35を除去するとともに(除去工程)、電鋳法により、前記樹脂壁と樹脂壁との間にX線吸収金属部11を形成する(電解メッキ工程)。 (もっと読む)


【課題】光走査装置において、ビームスポット径を小さく保ちつつ深度余裕を拡大し、同時に、環境変化に起因する結像位置の変動を有効に抑制する。
【解決手段】光源、アパーチャ、位相型光学素子、偏向手段および走査レンズを有する光走査装置において、位相型光学素子の1つの光学面を複数の領域:An(n=1,2・・)に分割して光学面を不連続面形状とし、領域:An(n=1,2・・)と形状が異なる構造パターン:Bの位相分布形状BPを設け、複数の領域:Anによる不連続面形状に、環境変動による結像面の位置ずれを補正する機能を持たせ、構造パターン:Bに、光スポットの焦点深度を拡大する機能を持たせた。 (もっと読む)


【課題】位置合わせなしに回折構造による絵柄と金属層による絵柄の位置が合った回折構造形成体を製造できる方法を提供する。
【解決手段】基材表面の一部に回折構造を形成する工程と、前記回折構造が形成された表面全面に金属層を形成し、前記金属層の全面にレーザー光を万線状または網点状に照射し、回折構造における吸収を利用して回折構造上の金属層の一部を選択的に破壊する工程と、前記回折構造が形成された表面全面にフォトレジストを形成し、露光光を金属層の一部が選択的に破壊された部分を通すことによって生じた回折光を前記フォトレジストに照射して前記回折構造上のフォトレジストを硬化させ、現像して前記回折構造を覆うレジストパターンを形成する工程と、前記レジストパターンをマスクとしてエッチングを行い、前記回折構造以外の部分の金属層を除去する工程とを有する回折構造形成体の製造方法。 (もっと読む)


【課題】フォトセンサ素子によって得られる受光データのS/N比を向上する。
【解決手段】回折格子部KKによって回折された回折光を、第1のフォトセンサ素子32aが受光し受光データを生成する。そして、そのフォトセンサ素子によって生成された受光データに基づいて、位置検出部402が被検知体の位置を検出する。 (もっと読む)


【課題】より確実にスペックルノイズを低減することが可能な照明装置、画像表示装置及び偏光変換拡散部材を提供すること。
【解決手段】レーザ光を射出するレーザ光源と、該レーザ光源から射出されたレーザ光を複数種の偏光方向に変換して射出させる複数の領域を有する偏光変換部43とを備え、レーザ光源から射出されたレーザ光、あるいは、偏光変換部43から射出されたレーザ光を拡散させ被投射面50を照明することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】ワイヤーグリッドの製造を容易にし、優れた光学特性を備える光学素子を提供するとともに、製造プロセスの簡略化及び液晶装置の高機能化を実現可能とする液晶装置及び電子機器を提供する。
【解決手段】本発明は、入射光の一部を反射するとともに入射光の一部を透過させる光学素子1であって、平面的に区画された複数の第1の領域6Aと複数の第2の領域6Bとを有する基板6を備え、第1の領域6Aに、複数の微細ワイヤー2aからなる第1のグリッドG1が形成され、第2の領域6Bには、複数の溝部4Aを有する回折機能部4と、複数の微細ワイヤー2aからなる第2のグリッドG2とが積層して形成され、溝部4Aは、微細ワイヤー2a間に対応する領域に形成されている。 (もっと読む)


【課題】表面に利用される波長より短い周期の周期構造を連続して形成した周期構造付き基板について、この基板を用いて製造される光学素子等の特性に影響を与えずに基板の仕様や製造情報を容易に識別することができる手段を提供する。
【解決手段】基板表面に周期的な凹凸構造を有する光学素子用周期構造付き基板であって、該凹凸構造の周期が使用する光の波長以下であり、該凹凸構造の周期が不連続となっている部分が少なくとも1箇所存在することを特徴とする周期構造付き基板。及び該周期構造付き基板の表面に屈折率の異なる少なくとも2種類の材料からなる複数の層が積層され、積層された各層は前記周期構造付き基板表面の凹凸構造に従った周期を有していることを特徴とする周期構造付き多層構造体。 (もっと読む)


【課題】赤外、近赤外、および可視の領域だけでなく紫外領域でも使用でき、高い屈折率に起因して高い設計の自由度を有し、レリーフ面の凹部が他の材料で埋められても回折機能が失われず、さらにハイパワーレーザ用途でも安定して使用し得るレリーフ型回折光学素子を提供する。
【解決手段】 レリーフ型回折光学素子は、光回折を生じさせる凸部と凹部を含むレリーフ面を有し、回折される光が通過すべき領域の少なくとも部分的領域の材質がダイヤモンドであることを特徴としている。なお、そのダイヤモンドの消衰係数は、波長520nmの光に関して0.021以下の値を有し、波長250nmの光に関して0.010以下の値を有することが好ましい。 (もっと読む)


【課題】累進部の両側に設けられた中間部側方に集中して生じる非点収差を低減することができる眼鏡レンズを提供する。
【解決手段】遠用部1A、近用部1B、これらの遠用部1Aと近用部1Bとの間で屈折力が累進的に変化する累進部1C、及び累進部1Cの両側に設けられた中間部側方1Dを備える。中間部側方1Dには回折構造4が設けられ、この回折構造4の縦軸yと横軸xとで異なるピッチとした。つまり、回折構造4を、フィッティングポイントFTに法線が通過するとともに互いに平行に配置された複数の直線から構成する。 (もっと読む)


【課題】光素子や光集積回路などの光機能素子の入出力部に適した高効率のブレーズ型光結合素子を提供する。
【解決手段】基板1と、基板上に直接または他の層を介して形成され、光を通しかつ隣接層より高い屈折率を有する材料からなる導波層3を備え、導波層の受光面となる個所に回折領域3aが形成され、回折領域は複数個の二等辺三角形状孔31aがその頂点を略同方向に向けて並設した構成からなり、二等辺三角形状孔の高さ方向の周期Λ(寸法)を受光面に入射する光の波長λより小さくされている。 (もっと読む)


【課題】X線タルボ干渉計を構成する位相型回折格子及び/又は振幅型回折格子の製造方法を提供する。
【解決手段】この回折格子の製造方法は、シリコン基板Bの表面に感光性樹脂31を形成して、リソグラフィー法により、感光性樹脂31にマスク34を用いたパターニングを行って現像により所定の感光性樹脂31を除去し、ICPプラズマエッチング法により、当該感光性樹脂31が除去された部分に対応するシリコン基板Bをエッチングして3次元構造体のスリット溝41を形成した後、スリット溝41に絶縁物を堆積又は注入して3次元構造体の絶縁物層61を形成する。そして、ICPプラズマエッチング法により、感光性樹脂31及びその感光性樹脂31に対応するシリコン基板Bをエッチングして3次元構造体のスリット溝42を形成して、電鋳法により、シリコン基板Bに電圧を印加してスリット溝42にX線吸収金属部111及び121を形成する。 (もっと読む)


【課題】X線タルボ干渉計を構成する位相型回折格子及び振幅型回折格子の製造方法を提供する。
【解決手段】この位相型回折格子及び振幅型回折格子の製造方法は、ガラス基板Bの表面に金属シード層41を形成し、その金属シード層41の表面に紫外線感光性樹脂31を形成して、光学リソグラフィー法により、金属シード層41の表面に形成された紫外線感光性樹脂31に光学リソグラフィーマスク34を用いたパターニングを行って現像により未感光紫外線感光性樹脂31を除去する。そして、電鋳法により、金属シード層41に電圧を印加して未感光紫外線感光性樹31が除去された部分にX線吸収金属部を形成し、X線吸収金属部が形成された部分以外の部分に対応する紫外線感光硬化樹脂31及び金属シード層41を除去する。 (もっと読む)


【課題】青色レーザ光に対して良好な耐光性を有する液晶光学素子の製造方法を提供する。また、これにより得られた液晶光学素子を備えた光ヘッド装置を提供する。
【解決手段】基板上に高分子液晶膜を形成した後、高分子液晶膜をプラズマエッチングして凹凸形状を形成する。次いで、プラズマエッチングによって高分子液晶膜に生成した活性種をシランカップリング剤と反応させる。その後、凹凸形状の凹部に、高分子液晶膜の常光屈折率または異常光屈折率に略等しい屈折率を有する等方性充填剤、または、高分子液晶膜の常光屈折率に対応する屈折率が該常光屈折率に略等しい液晶を充填する。 (もっと読む)


【課題】小型、かつ製造が容易であり、光学系に対して容易に位置決めすることができる光学的ローパスフィルタ等を提供すること。
【解決手段】本発明の光学的ローパスフィルタ1は、ガラス基板10と、マトリックス14と、マトリックスと異なる屈折率を有し厚さ方向に延びるようにマトリックス内で格子状に配列された複数の柱状構造体16とを有するシート状の屈折率変調型位相格子12と、を備え、ガラス基板と屈折率変調型位相格子とは、ガラス基板が、屈折率変調型位相格子の複数の柱状構造体の一端面と接するように接合されていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】周縁部分の厚みが外周に沿って変化がなく外観が良好な眼鏡レンズを提供する。
【解決手段】乱視軸Xと、乱視軸Xと直交する交差軸Yとでピッチが異なる回折構造4を眼鏡レンズ1に設けた。この回折構造4を同心上に形成された複数の楕円形から構成した。眼鏡レンズ1の乱視合成面における乱視軸Xの方向と乱視軸Xに直交する交差軸Yの方向との曲率半径の差異を、回折構造4により付与された非点収差分小さくすることができる。そのため、乱視補正のために、眼鏡レンズ1に大きな非点収差を付与する場合でも眼鏡レンズ1の周縁部の厚みの差を減少させることができる。 (もっと読む)


【課題】本発明は、熱リソグラフィを用いて簡易に形成することが可能な微小構造体及び該微小構造体の製造方法を提供することを目的とする。また、本発明は、該微小構造体を用いる基板のパターニング方法並びに該微小構造体を有する構造物、情報記録媒体、原盤、光学素子、光通信装置、DNAチップ、発光素子、光電変換素子及び光学レンズを提供することを目的とする。
【解決手段】微小構造体は、硫黄化合物及び酸化ケイ素を含有する。微小構造体の製造方法は、基板上に、硫黄化合物、酸化ケイ素及び光吸収能を向上させる材料を含有する層を形成する工程と、基板上に形成された層にレーザ光を照射する工程と、レーザ光が照射された層をエッチングする工程を有する。 (もっと読む)


【課題】基板の表面に許容誤差範囲内で凹凸構造を再現性よく形成できるようにする。
【解決手段】石英基板2の表面上に、形成する凹凸の高低差よりも大きい高低差をもつ凹凸構造のレジストパターン4aを形成し、レジストパターン4aをマスクにして石英基板2の表面を、目標とする高低差よりも10%程度大きいエッチング量をエッチング装置に設定してドライエッチングをする(第1エッチング処理工程)。1回目のドライエッチングにより石英基板2の表面に形成された凹凸の凸部2aと凹部2bの高低差を測定し、目標高低差との差を算出する(計測工程)。石英基板2の表面の凹部2bの底面を被い凸部2aが開口したレジスト層6を形成し、そのレジスト層6をマスクにして、前の計測工程で算出した現時点での凹凸の高低差と目標高低差との差をエッチング量の設定値として凸部2aの頂面のみをドライエッチングする(第2エッチング処理工程)。 (もっと読む)


【課題】硬化収縮を抑制することができ、耐候性に優れ、重合開始剤への溶解性に優れ、しかも膜厚が薄い場合も微細なパターンを精度よく高い生産性で形成することができるナノインプリント用樹脂組成物及びその硬化物を提供する。
【解決手段】硬化膨張性を有するカチオン重合性化合物と感放射性カチオン重合開始剤とを含むナノインプリント用光硬化性樹脂組成物であって、感放射性カチオン重合開始剤は、アニオン部位が、SbF又は下記式(1)


(式中、x1〜x4は0〜5の整数を示す。但し、x1〜x4の合計値が1以上である)で表されるボレート類である感放射性カチオン重合開始剤。 (もっと読む)


【課題】本発明は、位相格子マスクを用いることなく、所望の反射波長を有する波長選択反射部を容易に形成できる波長選択反射回路、及び、その波長選択反射回路を備える多波長光源を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る波長選択反射回路は、光信号が入出力される入出力端114が一方の端に形成された主線部112及び光方向性結合回路118を介して主線部112に結合する7本の支線部116を有する光導波路110と、主線部112及び支線部116上に形成され、反射波長がそれぞれ異なる波長選択反射部130と、を備えるポリマー樹脂の波長選択反射回路100に、光方向性結合回路118を加熱することによって主線部112から光方向性結合回路118を介して光信号を支線部116に結合させるか否かを切り替えるヒーター120が形成される。 (もっと読む)


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