【課題】高速精密レーザトリミングの方法及びシステム、そこで使用される走査レンズシステム、及びそれによって生成される電気装置を提供する。
【解決手段】少なくとも１つの電気要素を高速レーザベース精密レーザトリミングする方法、システム、及び走査レンズシステム。本方法は、ある一定の繰返し数での１つ又はそれよりも多くのレーザパルスを有するパルスレーザ出力を発生させる段階を含む。各レーザパルスは、パルスエネルギ、レーザ波長の範囲内のレーザ波長、及びパルス持続時間を有する。本方法は、更に、ある一定の方向に沿った不均一強度プロフィールと僅か約６ミクロンから約１５ミクロンのスポット直径とを有する少なくとも１つのスポットに集束された１つ又はそれよりも多くのレーザパルスを用いて少なくとも１つの電気要素を選択的に照射し、１つ又はそれよりも多くのレーザパルスに少なくとも１つの要素から材料を選択的に除去させ、かつ少なくとも１つの要素内の実質的な微小亀裂発生を回避しながら少なくとも１つの要素をレーザトリミングさせる段階を含む。この波長は、小さなスポットサイズ、厳しい公差、及び高い吸収の望ましい短波長の恩典を生成するほど十分に短いが、微小亀裂発生を引き起こすほど短くはない。 （もっと読む）

本発明は、顕微鏡標本の拡大合成画像を作成するための方法および機器であって、第１および第２の画像についてのデータをキャプチャする場合に、対物レンズに対する標本の不正確な移動についての誤り補正を行う。第１および第２の画像のオーバーラップ部分についてのデータの比較に基づいて補正オフセットが算出され、その後、標本は、後続のタイル化画像のキャプチャのために、補正オフセットによって改変された距離だけ移動される。画像中心部分は、データ構造タイルとして保持される。中心部分付近の区域を使用して、画像を整合させ、ステージ誤りを補償し、駆動システムに対するフィードバック信号を提供する。マクロおよびマイクロビュー画像に対するＸ，Ｙ座標での差をナビゲーションオフセットとして使用して、マクロ画像上にマーク付けされる、マイクロ画像を得るために選択された点を見ることができる。
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【課題】 １段階の操作で、複数の異なる観察視野にある多くの試料を位置決めして撮影できる光学顕微鏡システムを提供すること。
【解決手段】 光学顕微鏡システム１００は、試料室１０と、二次元移動ステージ１２と、顕微鏡装置３０とを備えている。試料室１０は、試料Ｓを収容する複数のウエル１ａを有するウエルプレート１を保持して二次元移動ステージ１２上に載置され、二次元移動ステージ１２によってＸ−Ｙ方向に移動する。ステージ制御部５１は、二次元移動ステージ１２を制御して複数の観察範囲に及ぶ移動経路に沿って試料Ｓを所定の撮影位置へ移動させる。この移動経路上の移動には二次元移動ステージ１２のＸ−Ｙ位置データを用いる。 （もっと読む）

【課題】 合焦点位置を短い時間で正確に求めることが可能な自動焦点装置、及びそれを用いた顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】 試料Ｓの画像を取得するＣＣＤカメラ３０と、試料Ｓの光像をカメラ３０へと導く導光光学系２０と、カメラ３０及び光学系２０を駆動して試料Ｓでの焦点位置をｚ軸方向について変更する光学系駆動部２５と、焦点制御部５１を含む制御装置５０とを備えて顕微鏡装置１Ａを構成する。また、焦点制御部５１は、焦点位置を一方向に連続的に変更しつつ実行される第１の焦点計測で取得された複数の画像から第１の焦点計測値を算出し、焦点位置を第１の焦点計測とは逆方向に連続的に変更しつつ実行される第２の焦点計測で取得された複数の画像から第２の焦点計測値を算出するとともに、第１、第２の焦点計測値の平均値によって合焦点位置を求める。 （もっと読む）

【課題】照明条件などの観察条件の設定を容易にして使い勝手を改善する。
【解決手段】観察対象を照明するための照明部と、照明部により観察対象を照明する照明方向、明るさ、角度の少なくともいずれかを変化させた複数の異なる照明条件を設定するための簡易観察条件設定手段と、簡易観察条件設定手段で設定された複数の照明条件毎に簡易的に取得された複数の簡易観察画像を表示手段の画面上に一覧表示する簡易観察画像表示手段と、簡易観察画像表示手段に表示された複数の簡易観察画像の内から所望の一の簡易観察画像を選択する選択手段と、選択手段で選択された簡易観察画像に設定されている照明条件に基づき、必要に応じてさらに照明条件を設定可能な観察条件設定手段と、観察条件設定手段で設定された照明条件に基づいて、撮像手段で取得された観察画像を表示する観察画像表示手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】大きさの制限されたラスタフィールド内で試料をラスタ状に照明するための少なくとも１次元の光分布装置、試料光捕捉のための検出装置および少なくとも１方向に移動できる試料ボードを有する光走査型顕微鏡
【解決手段】第１作業ステップで、試料２３の照明、試料光の検出および検出データの記録、つまり少なくとも１つの第１方向での試料ボード移動過程におけるラスタフィールドサイズを越えての検出データの記録が行われ、それぞれのボードポジションの記録がデータ記録に割り振られる光走査型顕微鏡。 （もっと読む）

【課題】 輝度のばらつきが大きな被検査物に対しても正確な測定を行うことができる顕微鏡撮像装置およびそれを用いた生体試料観察システムを提供する。
【解決手段】 被検査物を保持するステージと、被検査物を照明する照明手段と、被検査物の画像を撮影する撮像手段と、ステージと撮像手段とを相対的に移動させる移動手段と、を備え、撮像手段が、タイム・ディレイ・インテグレーション方式での撮像が可能な撮像素子を備え、撮像手段が、被検査物を複数回撮像Ｓ１、Ｓ３して複数枚の画像を取得する際に、異なる画像を取得するごとに、撮像素子に前記蓄積電荷を発生させる露出時間を異ならせ、複数枚の画像を１枚の画像に合成Ｓ４する顕微鏡撮像装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】 走査の高速化を図ることにより測定時間の短縮を図ることができる顕微鏡撮像装置およびそれを用いた生体試料観察システムを提供する。
【解決手段】 被検査物２０を保持するステージ３０と、被検査物２０を照明する照明手段４０と、被検査物２０の画像を撮影する撮像手段６０と、ステージ３０と撮像手段６０とを相対的に移動させる移動手段３１と、被検査物２０の情報を被検査物変数として入力する被検査物変数入力手段６７と、入力された被検査物変数に基づきステージ３０および撮像手段６０の相対移動時間を計算する計算手段６８と、を備え、撮像手段６０が、タイム・ディレイ・インテグレーション方式と、二次元撮像方式と、の両方式での撮像が可能な撮像素子６３を備え、計算手段６８の計算結果に基づいて、撮像素子６３の撮像方式を切り替える切替手段を有する顕微鏡撮像装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】 経時的に輝度が変化する試料を正確に測定することができる顕微鏡撮像装置およびそれを用いた生体試料観察システムを提供する。
【解決手段】 被検査物を保持するステージと、被検査物を照明する照明手段と、被検査物の画像を撮影する撮像素子と、ステージと撮像手段とを相対的に移動させる移動手段と、を備え、撮像手段が、被検査物に対応した蓄積電荷を発生させるとともに、ステージと撮像手段との相対移動に対応して蓄積電荷を転送し、順次前記蓄積電荷を加算して累積するタイム・ディレイ・インテグレーション方式での撮像が可能な撮像素子を備え、被検査物の撮像Ｓ４の前に行われる被検査物のプレスキャンＳ２により求められた被検査物の検出強度から、撮像Ｓ４の露出時間を決定する計算手段を有する顕微鏡撮像装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】 操作針の針先を標本の目標位置近傍に容易にセットすることが可能な顕微鏡装置を提供すること。
【解決手段】 対物レンズ１３と、前記対物レンズを駆動する対物レンズ駆動手段１７と、前記対物レンズのＺ軸方向の位置情報を検出する位置検出手段４と、標本３に微細な操作を行うための操作針２３を有する電気制御可能なマニピュレータ２１と、前記マニピュレータの操作針を駆動するマニピュレータ駆動手段２７と、前記対物レンズ駆動手段と前記マニピュレータ駆動手段とを連動／非連動させる電気的な切換手段２９と、前記切換手段が連動の時には、前記位置検出手段の検出情報に基づいて前記マニピュレータ駆動手段を制御して前記マニピュレータの操作針を駆動し、前記切換手段が非連動の時には、前記マニピュレータ駆動手段により前記マニピュレータの操作針を駆動する制御手段６とを備えた顕微鏡装置１００。 （もっと読む）

生体細胞の位相コントラスト撮像に使用されることを意図する自動顕微鏡装置であって、該装置が、少なくとも、検査される試料を含む試料プレート（５）が装着可能な試料プレートステーション（１）と、顕微鏡とを備える。前記顕微鏡は、光学素子（２）と、撮像手段（６）と、前記試料に照明を当てるように構成可能な照明構成（３）とを有する。次に、前記照明構成（３）は、照明を提供するＬＥＤ型の照明手段（３１１）を含む。
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【課題】 焦点制御機能付き蛍光顕微鏡の構造を単純化することを目的とする。
【解決手段】 本発明の蛍光顕微鏡は、対物レンズ、励起光照射部、照明部、制御部、撮像部および焦点制御部を備える。対物レンズは、標本に向け配置される。励起光照射部は、励起光を標本に照射して蛍光を発生させる。照明部は、標本に照明光を照射する。制御部は、励起光照射部および照明部を時分割駆動する。撮像部は、対物レンズの像空間側に撮像面を配置し、撮像面に時分割に形成される蛍光による像（蛍光像）および照明光による像（照明光像）を撮像する。焦点制御部は、撮像部から照明光像の撮像結果を取得して合焦評価し、照明光像の合焦評価に従って対物レンズおよび標本の少なくとも一方を駆動して、蛍光像を撮像面に合焦させる。このような構成では、１系統のみの撮像部を備えるため、蛍光顕微鏡の光路構成や撮像部の信号処理系統を単純化し、小型かつ低コストの蛍光顕微鏡が実現する。 （もっと読む）

【課題】標本の三次元像中の任意の三次元領域を指定することにより、光刺激やフォトブリーチを、標本中の対応する領域に正確に行うことができ、立体構造を有する標本の光刺激後の挙動解析を正確に行うことができるようにする。
【解決手段】立体標本９の光学的断面画像を取得する走査光学系Ａ及び検出光学系Ｂと、これにより取得された光学的断面画像から三次元像を構築する処理や、構築された三次元像中の所望の三次元領域を指定する処理や、指定された三次元領域に基づき励起光又は刺激光を照射するための断面領域を取得する処理や、取得された断面領域に対応する立体標本９の領域に励起光又は刺激光を照射する処理等を行うコントロールユニット１４等を有するよう、共焦点観察システムである共焦点レーザ顕微鏡装置を構成する。 （もっと読む）

微小流体素子（２０５）から選択された１つ以上の蛍光指標を撮像する装置である。本装置は少なくとも１つの微小流体素子（２０５）内の少なくとも１つのチャンバに連結された撮像パスを含む。上記撮像パスは、上記少なくとも１つの微小流体素子（２０５）内の上記少なくとも１つのチャンバ内の１つ以上のサンプルからの１つ以上の蛍光発光信号の送信を準備する。上記チャンバは、上記撮像パスの法線の実空間寸法によって特徴付けられるチャンバサイズを有する。本装置はまた、上記撮像パスに連結された光学レンズシステム（２１０、２１２）を含む。この光学レンズシステムは、上記チャンバに関連付けられた上記１つ以上の蛍光信号を送信するよう構成されている。
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ウェハ上またはデバイス上の微細構成を破壊することなく測定できるようにするために、本発明は、少なくとも１つの蛍光発光局所構造体（２２）が共焦点顕微鏡（１）を用いて励起光で走査され、対物レンズ（１５）の焦点面（１９）中の焦点（１７）から放射され励起光で励起された蛍光が検出され、前記焦点（１７）の位置および検出された蛍光信号から測定データが得られる、ウェハ（２）上またはデバイス上の３次元局所構造体（２２）を測定する方法を提供する。 （もっと読む）

マスクを所定の偏光状態の照明光で照明する際の光量損失を少なくできる照明光学装置及び投影露光装置である。レチクル（Ｒ）を照明光（ＩＬ）で照明する照明光学系（ＩＬＳ）と、レチクル（Ｒ）のパターンの像をウエハ（Ｗ）上に投影する投影光学系（ＰＬ）とを有する。照明光学系（ＩＬＳ）において、露光光源（１）から直線偏光状態で射出された照明光（ＩＬ）は、進相軸の方向が異なる第１及び第２の複屈折部材（１２，１３）を通過して、ほぼ特定の輪帯状の領域で光軸を中心とする円周方向に実質的に直線偏光となる偏光状態に変換された後、フライアイレンズ（１４）等を経てレチクル（Ｒ）を輪帯照明の条件で照明する。
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