【課題】光検出光学系および光学システムにおいて、波長の異なる複数の入射光を簡素な構成により略光量損失がない状態で分離して、それぞれの光検出を行うことができるようにする。
【解決手段】波長の異なるレーザ光６、７を結像する軸上色収差を有する結像レンズ２と、結像レンズ２によるレーザ光６の結像位置近傍の光軸９の中心領域にレーザ光６を略すべて入射する開口部４ｂを、その外周領域に光検出部４ａをそれぞれ備える光検出器４を設けて、開口部４ｂを透過するレーザ光６と、光検出部４ａで受光されるレーザ光７とを分離する。そして、分離されたレーザ光６を光検出器５により受光して光検出する。 （もっと読む）

【課題】観察画像に加えて照明条件の情報を提供し得る観察装置を提供する。
【解決手段】観察装置は、標本Ｓを照明する落射照明光学系および透過照明光学系と、標本Ｓを撮影して観察画像を生成する撮影部１８と、観察画像と撮影部１８が観察画像を生成したときの落射照明光学系または透過照明光学系による照明条件とを対応付けて記憶する記憶装置５８と、撮影部１８に標本Ｓを撮影させて観察画像を生成させるとともに、観察画像を記憶装置５８に記憶させる制御を行う撮影制御部５１と、落射照明光学系または透過照明光学系に標本Ｓを照明させ、撮影制御部５１が撮影部１８に標本Ｓを撮影させるごとに照明条件を記憶装置５８に記憶させる制御を行う顕微鏡制御部５２と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ボケを含まない良質の合焦カラー画像を短い時間で効率よく生成できる共焦点顕微鏡及び合焦カラー画像の生成方法を提供する。
【解決手段】 共焦点光学系により対物レンズ５の集光位置と試料６との相対位置を変えながら共焦点画像を取得し、これら共焦点画像に基づいて試料６の各点の画素位置ごとに合焦位置の高さ情報を求め、次いで、非共焦点光学系により対物レンズ５の集光位置と試料６との相対位置を変えながらカラー画像を撮像するとともに、これら撮像されたカラー画像の前記試料６の各点の画素位置に対し、該画素位置に対応する高さ情報に基づいて合焦判定を行い、この判定結果から合焦カラー画像を取得し、さらにこれら合焦カラー画像と前記高さ情報を合成して試料６の三次元合焦カラー画像を生成する。 （もっと読む）

本発明は、蛍光顕微鏡及びこれを用いて蛍光を測定する方法を提供する。その顕微鏡は、極めて平坦であり、蛍光を発しないシリコンウェーハフィルタ膜を備える。さらに、その顕微鏡は、非常に高い穴密度を有するので、効率的に測定するのに小さな表面積で十分である。さらに、位置感応検出器としてカメラを用いることによって、より良好な光学解像度を利用できるようになり、それは、より小さな開口数及びより低い倍率を有し、作動距離が長い光学系を利用できることを意味する。これらの全ての要因を合わせて、既存の蛍光顕微鏡よりもはるかに迅速に測定を実施することができる蛍光顕微鏡が提供される。 （もっと読む）

本発明は、好ましくは生物試料（１）を特に走査するために適している光学記録ユニット及び／又は再生ユニットに関する。調整ユニット（８，９，１０），走査ユニット（６），光学系ユニット（４，５）及び制御装置（７）が、基本的な構成に属する。制御装置（７）は、調整ユニット（８，９，１０）及び場合によっては光学系ユニット（４，５）を制御し、走査ユニット（６）を読み取る。これによって得られるデータが、制御装置（７）内でさらに処理される。制御装置（７）は、少なくとも１つの記憶器（１１，１２）を装備する。個々のユニット（４，５；６；８，９，１０）の補正値及び／又は特性値及び／又はその他のデータが、これらの記憶器（１１，１２）内に書き込まれている。これらの憶器（１１，１２）は、組み込まれたプロセッサを有する自由にプログラミング可能なチップカードとして本発明にしたがって構成されている。
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【課題】処理時間および画質面での問題を生じることなく所望の角度の広画角かつ高精細の顕微鏡デジタル画像を構築できるようにする。
【解決手段】顕微鏡画像撮影装置は、スライドガラス標本９をＸＹ・θ方向へ移動・回転させる駆動制御部１６・１８と、角度θ，撮影倍率，及び撮影領域の設定や、その撮影倍率及び撮影領域から顕微鏡分割画像の撮影座標の決定や、その撮影座標での顕微鏡分割画像の撮影や、その顕微鏡分割画像を位置関係に矛盾なくつなぎ合わせることによる顕微鏡画像の構築などを行うホストシステム１９と、画像を表示するモニタ２３等を備える。 （もっと読む）

【課題】 測定の際のアライメント作業を簡単に精度よく行うことができる測定顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】 被検体９を載置するＸＹステージ１０、被検体９を観察する観察光学系を有するとともに、観察光学系を介して取得される被検体像に特定位置を指示するための指標６を重ねて観察可能とし、被検体９と指標６の相対的な回転角度を回転機構７により調節すると、このときの回転角度に応じてＸＹステージ１０のＸ’Ｙ’軸の移動方向の移動方向を回転させ、ＸＹテーブル１０の移動方向の座標系と被検体９の座標系を一致させる。 （もっと読む）

対応する保存された座標および画像をそれぞれ有する決定された対象物であって、互いに相対的にマッピングされている対象物を有する既にスキャンされたスライドのための、サンプル中の対象物の位置を再検索する方法が提供される。前記スライドは、顕微鏡ステージ上に配置され、前記対象物の保存された画像は視覚的に表示され、目的対象物が選択される。前記スライドは、前記目的対象物の座標に対応する推定された座標位置に移動され、前記目的の保存された画像と比較するために、前記サンプルの視野画像が取得される。前記視野画像に前記目的が存在した場合、検索された目的の実際の座標と、対応する対象物の保存された座標との間のオフセットが決定される。その後、前記スライドは、前記ステージを介して推定された座標位置から前記オフセットに従って、前記視野画像の中央に移動される。関連するシステムおよび方法もまた提供される。
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【課題】標本上の任意の位置の観察像を取得するための位置にステージを移動させるだけの簡単な操作で、時間を掛けずにそれぞれ異なる少なくとも２つの観察像を取得して同時に表示させて観察すること。
【解決手段】標本２上の観察したい任意の位置の観察像が取得されるようにステージ１を移動し、このステージ１の移動が完了すると、例えば明視野照明の観察像の画像データを取得し、次に明視野照明から暗視野照明に切り替えを行って暗視野照明の観察像の画像データを取得し、これら明視野照明の観察像の画像データと暗視野照明の観察像の画像データとを同時に表示部２２の画面上に表示する。 （もっと読む）

【課題】 光学顕微鏡下において、その焦点位置をオーバーシュートや振動を起こすことなく高速、かつ、安定に変位させることを可能にする顕微鏡ステージ、および焦点位置計測装置・システムを提供すること。
【解決手段】 ピエゾ素子の電圧−伸長特性の校正表を用いることにより、フィードバック回路等を用いることなく高速にピエゾ素子を伸長・短縮させ、顕微試料を顕微鏡の光軸方向に高速に変位させる。また、ピエゾ素子の伸長軸と、光学顕微鏡の光軸を厳しく平行にさせるために、ピエゾ素子の伸長軸は、自在に調整できる。光学顕微鏡下において、開口数１.３以上の対物レンズ型全反射光学系を用いて、焦点位置、つまり、対物レンズに対する顕微試料の位置を計測する。 （もっと読む）

【課題】 スリット投影方式による低廉且つ調整容易な焦点検出装置を提供する。
【解決手段】 拡散板１１は、面内の少なくとも１つの一次元方向にのみ拡散し、且つ当該拡散における拡散角が制御されているものである。対物レンズ１０６は、平行光を拡散板１１に入射させたときに当拡散板１１から出射する光の光束を集光させるものであって、観察光学系の一部を兼ねている。光検出器１５は、対物レンズ１０６の集光位置に受光面が配置されており、対物レンズ１０６によって集光させた光束が標本１００の面上で反射した後に対物レンズ１０６を戻って当該受光面へ照射される。ステージＺ軸制御回路１１０は、光検出器１５から出力される信号に基づいて標本１００の面と対物レンズ１０６との間の距離を制御する。 （もっと読む）

【課題】 走査時の撮像位置のずれにかかわらず、試料の撮像を高品質で、迅速に行なうことができる顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】 顕微鏡装置１００は、駆動部２と、顕微鏡３と、顕微鏡３で拡大した試料を走査して撮像するラインセンサ４と、ラインセンサ４の撮像画像から試料の拡大画像を作成する制御コンピュータ１５０とを備える。制御コンピュータ１５０は、駆動部２を制御して、１回の走査が終了する度にラインセンサ４のＹ軸方向の位置を変更しながら、試料１をＸ軸方向に走査する。制御コンピュータ１５０は、各撮像位置で試料１を撮像する際に、ラインセンサ４の撮像位置のＹ軸方向のずれを求めて記録する。制御コンピュータ１５０は、各部分画像を合成する際に、記録しておいたずれ量を考慮して、位置合わせして合成する。 （もっと読む）

【課題】 多点タイムラプス撮影において、撮影画像の再生表示に像ブレの無い自然な映像を表示することができる顕微鏡システムの提供。
【解決手段】 撮影ポイントａがモニタ４０の中央となるように撮影画像Ga0，Ga1，Ga6を表示すると、撮影時のステージ位置決め誤差により、モニタ中央に対してずれて表示される。矩形領域Gaは位置決め誤差がゼロの時の撮影領域であり、矩形領域Gaに対する撮影画像Ga6の右方向へのズレ幅Ｓ１を左側のトリミング幅に設定する。同様に、撮影画像Ga1の下方向へのズレ幅Ｓ２、撮影画像Ga6の上方向へのズレ幅Ｓ３および撮影画像Ga0の左方向へのズレ幅Ｓ４を、それぞれ上・右・下側のトリミング幅に設定する。そして、これらのトリミング幅Ｓ１〜Ｓ４と矩形領域Gaに対する各撮影画像の位置ズレ量とに基づいて、各撮影画像を矩形領域Gaに対応する画像にトリミングする。 （もっと読む）

【課題】液浸対物レンズと液体との間に空気が入りこまない液浸顕微鏡および液浸顕微鏡の試料移動方法を提供することを目的とする。
【解決手段】液浸対物レンズ１の近傍に、液浸用の液体３を供給する液体供給装置２を配置する。液体供給装置は、試料４の観察領域の上に液浸用の液体を滴下する。液体が滴下された試料は、一旦下方（Ｚ軸方向）に移動した後、Ｚ軸方向、Ｘ軸方向に同時に移動しながら、液浸対物レンズの視野中へ移動する。斜め下方から液浸対物レンズに近づくので、液浸対物レンズの先端と液体の間から空気の層を除去することができる。 （もっと読む）

倒立顕微鏡（１）について開示する。倒立顕微鏡（１）はとりわけ、第一側面（３ａ）、第二側面（３ｂ）及び利用者に割り当てられる前面（３ｃ）を備える基礎スタンド（３）を有する。基礎スタンド（３）には、電動式の顕微鏡機能を操作する為の制御ボタン（１０）が備えられる。制御ボタン（１０）は、第一グループ（１０_１）、第二グループ（１０_２）、第三グループ（１０_３）、第四グループ（１０_４）、第五グループ（１０_５）に組み分けられる。第二グループ（１０_２）の制御ボタン及び第三グループ（１０_３）の制御ボタンはそれぞれ、接触要素の周りに配置される
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【課題】 動的な挙動を示す生体から鮮明な画像を得る。
【解決手段】 試料Ａに近接配置される対物ユニット３を備える顕微鏡観察装置４と、試料Ａに密着させられて、対物ユニット３の光軸３ａ方向に沿う試料Ａの観察範囲の動きを許容しつつ、他方向への動きを拘束するスタビライザ５と、該スタビライザ５の動作範囲を対物ユニット３の焦点深度の範囲内に制限する動作制限手段６とを備える顕微鏡観察システム１を提供する。 （もっと読む）

【課題】培養細胞の容器に発生した結露を短時間で除去し得る培養観察装置を提供する。
【解決手段】培養観察装置１００Ａは、培養細胞５０２の培養に適した環境に制御された培養空間２０２を形成するための培養装置主本体１９０と培養装置副本体１４０と、培養細胞５０２と培地５０４を収容した容器５１２を保持するための標本トレー５５０と、培養細胞５０２の拡大像を観察するための顕微鏡（対物光学部３１０と結像光学部３４０を含む）と、培養空間２０２内において標本トレー５５０が取り付けられるトレー取り付け部２５２と、トレー取り付け部２５２に取り付けられた標本トレー５５０を水平に移動させるための水平移動機構２６０と、トレー取り付け部２５２に取り付けられた標本トレー５５０に保持された標本５１０（容器５１２と蓋５１８を含む）に風を送るための送風機４３２と４３４と４３６を備えている。 （もっと読む）

【課題】標本と液浸対物レンズとの間に、気泡を発生させることなく浸液を充填することができる液浸顕微鏡を提供する。
【解決手段】最も標本７側のレンズ面が凹面である液浸観察用の対物レンズ１２を介して、標本７と対物レンズ１２との間に浸液１６を充填させた状態で標本７の拡大像を形成する顕微鏡光学系と、標本７における所望の観察部位に浸液１６の液滴を供給する浸液供給装置１７と、標本７と対物レンズ１２との相対位置を移動させる移動手段８と、対物レンズ１２の光軸ＡＸと観察部位の中心Ｏとがずれた位置で対物レンズ１２の先端を液滴１６の傾斜部１６ａに接触させ、次に対物レンズ１２の光軸ＡＸと観察部位の中心Ｏとが一致するように、移動手段８を制御する制御手段とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 液浸系対物レンズを用いた半導体ウエハ等の標本の外観検査後に、標本上に残存する液体を速やかに乾燥して、標本への塵埃等の付着やウォーターマークの発生を著しく減少させることができる顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】 供給ノズルにより対物レンズの先端とウエハとの間に液体を供給してウエハの外観検査を行い、検査終了後に吸引ノズルによりウエハから液体を吸引し、顕微鏡装置の上部に設けられ下向きの空気流を発生させるファンフィルタユニットと、検査ステージからカセットへウエハの搬送を行うウエハ搬送装置と、ファンフィルタユニットが発生する空気流よりも速い速度で空気を吹き出す乾燥機構とを備え、外観検査終了後、吸引ノズルにより液体が吸引されたウエハをウエハ搬送装置により検査ステージからカセットへ搬送する際に、前記乾燥機構により空気を吹き付けて、ウエハの表面に残留した液体を乾燥させるように構成される。 （もっと読む）

観察対象の試料となる半導体デバイスＳに対し、半導体デバイスＳの観察を行うための画像取得部１と、対物レンズ２０を含む光学系２とを設置する。また、半導体デバイスＳの画像を拡大するための固浸レンズ（ＳＩＬ）３を、半導体デバイスＳから対物レンズ２０への光軸を含み、半導体デバイスＳの表面に密着して設置される挿入位置と、光軸を外れた待機位置との間を移動可能に設置する。そして、ＳＩＬ３を挿入した際にＳＩＬ３からの反射光を含む画像を取得し、その画像を参照して、ＳＩＬ駆動部３０によってＳＩＬ３の挿入位置を調整する。これにより、半導体デバイスの微細構造解析などに必要な試料の観察を容易に行うことが可能な半導体検査装置（顕微鏡）、及び半導体検査方法（試料観察方法）が実現される。
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