複数の物体結像視野を持つ、全てが反射式設計の小型光学系が本書において開示される。また、本光学系の視野方向はどれも同一であり、さらに本光学系は、レーザ測距用および照準用部品を追加するためのいくつかの異なる構造を有し得る。
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【課題】 光学ガラス（完全に反射型のみの設計、または屈折原理および反射原理の両方に作用する反射屈折設計）から製造される中実のレフラキシコンと、中空のレフラキシコン（完全に反射のみに作用する）との両方、これらの種々の組み合わせに基づく新規な構造を提案する。
【解決手段】 ２つ以上のレフラキシコンを備え、これらのレフラキシコンのうちの１つまたは両方が中実の光透過性材料で形成され、あるいはこれらのレフラキシコンのいずれも中実の光透過性材料では形成され、対物レンズ、リレー、ビーム拡大器として使用および実装されるレフラキシコン装置であって、各レフラキシコンは、略円錐形の中心面と円錐台のような形の遠心面とを有し、これらの面が中心軸に合わせてこの中心軸を中心として対称となるように配置されたことを特徴とする。また、レフラキシコン装置において、前記中心軸は、位置が合わせられ、レフラキシコン装置の光学軸を構成し、前記各面のいずれかならびにレフラキシコン装置の入射面および反射面をさらに曲面とすることにより、用途によって異なる求められる光学的効果が得られるようにする。さらに、中心反射体を構成する円錐面は、それぞれあるいはいずれも、凸面または凹面であり、好ましい実施形態としては、構成の軽減を容易にするために２つの凹形中心反射体を用いる。 （もっと読む）

【課題】複数の原画（表示素子）からの光を合成して１つの合成拡大像を観察させる観察光学系を小型化・薄型化する。
【解決手段】観察光学系は、第１の原画を表示する第１の表示素子１と第２の原画を表示する第２の表示素子２からの光を射出瞳７に導いて、合成拡大像を提示する。該光学系は、第１の表示素子からの光が入射する第１の光学素子３と、第２の表示素子からの光が入射する第２の光学素子４と、第３の光学素子５とを有する。第２の表示素子における第１の表示領域からの光を、第２の光学素子と、第１及び第３の光学素子のうち少なくとも第１の光学素子を介して射出瞳に導き、第２の表示素子における第１の表示領域とは異なる第２の表示領域からの光を、第１の光学素子を介さずに、第２の光学素子と第３の光学素子を介して射出瞳に導く。 （もっと読む）

【課題】広視野の撮像にも容易に対処できて視認性の良好な画像を撮像でき、薄型化およびコストダウンが図れてユーザの利便性を向上できるカメラユニットを提供する。
【解決手段】被写体像を結像する自由曲面プリズム4,5,6を有する撮像光学系50と、撮像光学系50により結像される被写体像を光電変換する撮像素子15と、撮像素子15を駆動する撮像素子駆動部33と、撮像素子15からの光電変換信号を処理して画像信号を出力する信号処理部35と、外部制御ユニット71と通信を行う通信部37と、撮像素子駆動部33および信号処理部35の動作を制御して、信号処理部35から出力される画像信号を通信部37から外部制御ユニット71に送信する制御部38と、を備える。 （もっと読む）

前方向にビームを形成するビーム形成装置は、光源から光を受けてこれを後方に反射するように配置された第一反射器、および前記第一反射器から光を受けてこれを前記第一反射器の開孔を通じて前方に反射するように配置された第二反射器を含む。最後部の反射器は双曲面の形状であり、前方反射器は有利なことに楕円形である。この配置は、一定の予測可能な方法で実現される、変動する制御可能な集光の、複数の異なるビームパターンを提供する。
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【課題】内面の模写に関する可能性が拡大されて工作物内の空所の内面を模写する装置を提供すること。
【解決手段】工作物６の空所の内面４を模写する装置２は、画像撮影器１０と後方配置された評価装置とに画像伝送接続していて全面視界を備える光学システム８を有する。この装置２は更に内面４の光学システム８により把握された模写領域を照明する光源１８を備える照明配列手段１６を備えている。この発明によると、照明配列手段１６は光学システム８に対して、模写領域の第一軸方向部分が明視野照明で、同時に模写領域の第二軸方向部分が暗視野照明で照射できるように、配置されて且つその照明配列手段の光線路が選択されている。 （もっと読む）

【課題】 変倍のための駆動機構が簡単で、光学系の全長が短く、温度変動時に発生するデフォーカス量を最小限に抑えることが可能である、変倍式望遠光学系及びこれを備える光学装置を提供する。
【解決手段】 第１の光軸を有した屈折面を含む屈折光学系Ｇ１と、第１の光軸と並列配置された第２の光軸を有した反射面を含む反射光学系Ｇ２と、屈折光学系Ｇ１の後方に配置され、第１の光軸を第２の光軸に向けて屈曲させる折り曲げミラーＭ１と、反射光学系Ｇ２の後方で、前記屈曲された光軸ともう一方の光軸との交点Ｐ上に配置され、屈折光学系Ｇ１からの光のみを後方の光路に向ける第１の状態と、反射光学系Ｇ２からの光のみを後方の光路に向ける第２の状態とを選択的に取り得る光路切り換えミラーＭ２とを備え、屈折光学系Ｇ１には、屈折率の温度依存係数dn/dTが負である硝材を用いたレンズが含まれ、反射光学系Ｇ２では、線膨脹係数αが負である材料を用いた連結部材Ｓ１により、前記反射面を構成する主鏡Ｍ３と副鏡Ｍ４とが繋がれている。 （もっと読む）

【課題】走査に用いるビームの光量を必要以上げることなく画像取得時間の高速化を図ることができると共に、画像の高精細化を図ることができる補償光学系を備えた画像形成装置を提供する。
【解決手段】測定対象を、偏向器によって測定光により走査し、
前記測定対象からの反射光あるいは後方散乱光を、補償光学系で補正して該測定対象の画像を取得する補償光学系を備えた画像取得装置であって、
前記測定光により前記測定対象を走査した際に、該測定対象によって発生する前記測定光の波面収差を検出する波面収差検出器と、
前記波面収差検出器によって検出された波面収差に応じて、前記測定光の波面収差を補正する、前記偏向器と光学的に共役な位置に配置された波面収差補正器と、
前記波面収差補正器と前記偏向器の配置位置の間に、少なくとも１つ配置されている回転対称軸を持たない非球面ミラーと、を有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】 照明光によって照明された第１の面での反射光によって第１の面の像を第２の面に投影する際、第１の面側及び第２の面側の両方でほぼテレセントリックである反射型投影光学系を提供すること。
【解決手段】 照明光学系からの照明ビームＩＢによって照明されたレチクルＲのパターン面Ｒ１での反射光によってパターン面Ｒ１の像をウェハＷの露光面Ｗ１に投影する投影光学系ＰＬは、反射ミラーＭ１、Ｍ２を備える第１光学群Ｇ１と、反射ミラーＭ３〜Ｍ６を備える第２光学群Ｇ２とを備える。第１光学群Ｇ１の露光面Ｗ１側の焦点位置と第２光学群Ｇ２のパターン面Ｒ１側の焦点位置とがほぼ一致しており、パターン面Ｒ１の法線Ｎと照明ビームＩＢの主光線Ｌとのなす角度βが投影光学系ＰＬのレチクル側開口数の逆正弦の値よりも大きい。投影光学系ＰＬの全ての光学素子Ｍ１〜Ｍ６は照明ビームＩＢの外縁を規定する光線分の延長面ＩＭを越えない。 （もっと読む）

【課題】本発明は、光軸（５）との関係で正確な位置に配置された複数のミラー（Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３，Ｍ４，Ｍ５，Ｍ６）を備えた、短波長、特に波長λ＜１５７ｎｍのための投影レンズ（１）に関する。
【解決手段】ミラー（Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３，Ｍ４，Ｍ５，Ｍ６）は、多層膜を備えている。熱膨張係数のゼロ転移温度周辺の温度に応じて、熱膨張係数の傾き、具体的にはその値の符号が異なる少なくとも２つの異なるミラー材料が用いられる。 （もっと読む）

【課題】バックフォーカスが長くリレー光学系を必要としない全方位撮像光学系又は投影光学系。
【解決手段】全方位の画像を像面５に結像させるか、像面５の画像を全方位に投影する光学系１であって、回転対称な２面の反射面を持つ前群Ｇｆと、回転対称な正パワーの後群Ｇｂと、前群Ｇｆと後群Ｇｂの間の開口Ｓとを備え、前群Ｇｆは、遠方から順に光束が入射する第１入射瞳Ｐ１と第１反射面１２と第２反射面１３とを含み、第１反射面１２の中心光線と交差する位置は、第２反射面１３の中心光線と交差する位置より後群Ｇｂ側に位置し、第１反射面１２と第２反射面１３の間に第１入射瞳Ｐ１が配置され、入射する光束は、前群Ｇｆ、開口Ｓ及び後群Ｇｂを経て、像面５の中心軸２から外れた位置に円環状に結像し、第１入射瞳Ｐ１が中心軸２から離れて位置し、第２入射瞳Ｐ２が中心軸２上に位置し、前群Ｇｆ及び後群Ｇｂは、少なくとも１つ開口Ｓに向けた凹面を有する。 （もっと読む）

【課題】 広い観察画角を鮮明に且つ遠方の映像として観察することが可能な長いアイリリーフを有する小型の視覚表示装置を提供する。
【解決手段】 映像表示素子３と、映像表示素子３に表示された映像を遠方の虚像として観察させる接眼光学系５と、からなる視覚表示装置１において、接眼光学系５は、少なくとも一つの反射光学素子５ａと、少なくとも一つの透過光学素子５ｂと、接眼光学系５の逆光線追跡における入射瞳Ｅの中心から透過光学素子５ｂを経て反射光学素子５ａに向かう中心主光線を含む視軸１０１と、を有し、視軸１０１を含む第１断面と、第１断面と直交し視軸１０１を含む第２断面とで結像回数が異なることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】画像表示装置の袴高さを小さくすることを可能にする投写光学系、並びに、袴高さの小さい画像表示装置を提供する。
【解決手段】画像表示装置はスクリーン１５と投写光学系１０とを有し、投写光学系１０は、画像表示パネル１１側から順に配置された、複数のレンズを含むレンズ系１２と、１つの凸面ミラー１４とを有し、レンズ系１２出射後から凸面ミラー１４に入射するまでの光路中に配置された絞りＳ２を有する。 （もっと読む）

【課題】指標（虚像Ｖ）を表示させて瞳の位置合わせを行う構成において、接眼光学系１５を大型化することなく、大きなシースルー領域を確保し、装置の小型化、軽量化を図る。第三者による外部からの指標の視認による位置合わせを可能かつ容易にする。
【解決手段】指標用光源２２から射出されてＨＯＥ１８で反射される光の光路は、表示素子１４から光学瞳Ｐに向かう映像光の光路外にある。これにより、指標表示光学系２１の設計自由度が高くなり、指標表示光学系２１を設ける構成であっても、大きなシースルー領域を確保すべく接眼光学系１５を大型化する必要がなくなる。また、ＨＯＥ１８は、指標用光源２２からの光を光学瞳Ｐとは反対側に反射させることにより、自身の光学パワーによってＨＯＥ１８に対して光学瞳Ｐ側に指標としての虚像Ｖを表示するので、第三者が外界側から虚像Ｖを視認することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】投射光学系における反射面の配置について、適切な角度を設定することで、装置全体の小型化を実現することを可能にする。
【解決手段】画像変調素子で変調された１次像面の画像情報を２次像面となるスクリーン上へ拡大投射する投射光学系を、正の屈折力を持ち複数の透過面で構成される第１光学系Ｌ１と、正の屈折力を持ち凹面反射面で構成される第２光学系Ｌ２とを有して構成する。さらに、前記第１光学系Ｌ１を、前記複数の透過面のいずれかの間に配された第１反射面Ｍ１と、当該第１光学系Ｌ１と前記第２光学系Ｌ２との間に配された第２反射面Ｍ２とを有して構成する。そして、光軸をｚ軸とし、前記第１反射面Ｍ１のｙ軸回転角度β１を２０°＜｜β１｜＜４５°、前記第２反射面Ｍ２のｙ軸回転角度β２を２０°＜｜β２｜＜４５°とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、全方位の画像情報と指定領域の拡大画像情報とを１つの撮像光学系によって取得することができ、且つ、指定領域については、高解像度の拡大画像情報を取得することができる新規なビジョンシステムを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のビジョンシステムは、全方位撮像モードにおいては、撮像光学系の光軸を曲面ミラーの回転対称軸に一致させて全方位画像を取得する一方、ズーム撮像モードにおいては、撮像光学系の光軸が曲面ミラー上の指定位置を通るように撮像光学系または曲面ミラーの少なくとも一方を駆動制御して両者の相対位置を変更し、曲面ミラー上の指定位置に写ったズーム対象の虚像を撮像光学系が光学ズームにより撮像する。 （もっと読む）

本発明は、基板上に塗布した階層構造を有し、階層構造が複数個のサブ層系（Ｐ’’，Ｐ’’’）を含み、各サブ層系は、一連の個別層よりなる少なくとも１個の周期（Ｐ_２，Ｐ_３）の周期的配列で構成し、周期（Ｐ_２，Ｐ_３）は、高屈折率層（Ｈ’’，Ｈ’’’）および低屈折率層（Ｌ’’，Ｌ’’’）としての異なる材料からなる２個の個別層を含み、かつ各サブ層系（Ｐ’’，Ｐ’’’）に関しては、隣接するサブ層系の周期厚と相違する一定の厚さ（ｄ_２，ｄ_３）を有する、ＥＵＶ波長域用のミラーに関する。当該ミラーは、基板から最も遠く離れたサブ層系（Ｐ’’’）が、基板から２番目に遠く離れたサブ層系（Ｐ’’）の周期膜（Ｐ_２）の個数（Ｎ_２）より多い周期（Ｐ_３）の個数（Ｎ_３）を有する、及び／又は基板から最も遠く離れたサブ層系（Ｐ’’’）の高屈折率層（Ｈ’’’）の厚さが、基板から２番目に遠く離れたサブ層系の高屈折率層（Ｈ’’）の厚さと０．１ｎｍ超相違することを特徴とする。本発明はさらにそのようなミラーを備えるマイクロリソグラフィ用の投影対物鏡およびそのような投影対物鏡を含む投影露光装置に関する。
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【課題】高ＮＡを達成しやすい反射型投影光学系及び露光装置を提供する。
【解決手段】物体面側が非テレセントリックに構成され、物体面ＭＳの像を像面Ｗに投影する反射型投影光学系は、複数の反射鏡Ｍ１〜Ｍ６と、光軸ＡＸに垂直な面に対して傾いている絞り部材ＡＳと、を有する。 （もっと読む）

結像光学系（３６）は、物体平面（５）の物体視野（４）を像平面（９）の像視野（８）内に結像する複数のミラー（Ｍ１からＭ６）を有する。最初のミラー（Ｍ１）は、物体視野（４）の後の結像光の結像ビーム経路に配置され、最後のミラー（Ｍ６）は、像視野（８）の前の結像ビーム経路に配置される。非折り返し結像ビーム経路内で結像光（３）を誘導するように構成されたミラー（Ｍ１からＭ６）の各々の有利面（２３）上への中心物体視野点に属する主光線（１６）の入射点は、像平面（９）からのミラー間隔（ｚ_M）を有する。最初のミラー（Ｍ１）のミラー間隔（ｚ_M1）は、最後のミラー（Ｍ６）のミラー間隔（ｚ_M6）よりも大きい。最後から４番目のミラー（Ｍ３）のミラー間隔（ｚ_M3）は、最初のミラー（Ｍ１）のミラー間隔（ｚ_M1）よりも大きい。本発明の更に別の態様では、結像光学系（３６）のミラー（Ｍ１からＭ６）のうちの少なくとも１つが有する反射面は、回転対称関数に基づいて表すことができない固定の自由曲面として構成される。この自由曲面は、回転対称関数によって表すことができるこの自由曲面に最適に適応した非球面からは、結像光（３）を誘導するように構成されたこの自由曲面の使用領域（２３）の自由曲面要素（２０）に対する法線（ＦＮＢ）が非球面（２１）の対応する非球面要素（２２）に対する法線（ＦＮ）と最大で７０μｒａｄの角度（α）を取るように異なっている。これらの２つの態様により、小さい結像誤差と、管理可能な製造と、結像光に対する良好な収量との制御可能な組合せがもたらされる。 （もっと読む）

【課題】前方の物体と略側方の物体の観察を同時に行うことのできる光学系において、結像性能の劣化を抑えることができる光学系を提供する。
【解決手段】前方の物体側から順に、負の屈折力を持つ第一レンズ群と反射屈折レンズを含む第二レンズ群と開口絞りと正の屈折力を持つ第三レンズ群とが配置されており、前記反射屈折レンズは、前方の物体側に形成された第一面と像側に形成された第二面と前記第一面と前記第二面との間で全周面に形成された第三面とを有していて、前記第一面は光軸を中心に形成されている第一透過面と像側を向いていて前記第一透過面の周囲に形成されている第一反射面とを有していて、光軸近傍が凹面形状であり、かつ前記第一反射面近傍が凸面形状の非球面であり、前記第二面は光軸を中心に形成されている第二透過面と前方の物体側を向いていて前記第二透過面の周囲に形成されている第二反射面とを有し、前記第三面は透過面である。 （もっと読む）