【課題】虚像観察時に良好な光学性能を実現しながら、虚像とともに実像が観察されて使用感が大きく損なわれるのを防止する。
【解決手段】物体面ＯＰと観察瞳ＥＰとの間の光路中に、少なくとも２面の反射面を配置し、上記２面の反射面のパワー配置を、観察瞳側から負正とする。これにより、決められた焦点距離のもとで面Ｓ２と物体面との距離を確保することができ、観察瞳側から見て面Ｓ１の背後に物体面ＯＰを位置させることができる。したがって、物体面ＯＰから観察瞳ＥＰに直接向かう光があったとしても、その直接光は面Ｓ１で遮られ、観察瞳ＥＰには入射しない。しかも、面Ｓ２は多項式曲面形状であるので、像面湾曲を補正することができる。また、面Ｓ１は観察瞳ＥＰの中心と物体面ＯＰの中心とを結ぶ直線と交わるように配置されているので、偏心光学系で発生する台形歪みを小さく抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】前方の物体及び略側方の物体の遠方観察と、前方の物体及び略側方の物体の近接観察とを行うことのできる光学系を提供すること。
【解決手段】前方の物体側から順に、反射屈折光学素子を有し負の屈折力を持つ前群Ｇｆ、開口絞り、光軸に沿う方向に移動する移動レンズ群を有し正の屈折力を持つ後群Ｇｒが配置されており、前記反射屈折光学素子は、光軸を中心に形成された第一透過面と該第一透過面の周囲に環状に形成され像側を向いた第一反射面とを有し前方の物体側に形成された第一面と、光軸を中心に形成された第二透過面と該第二透過面の周囲に環状に形成され前方の物体側を向いた第二反射面とを有し像側に形成された第二面と、前記第一面と前記第二面との間に透過面として形成された第三面とを有しており、前記移動レンズ群を移動させることにより、焦点合わせを行う。 （もっと読む）

本発明は、非対称光ビームを与えるための光学装置に関する。前記光学装置は、第１曲率を持つ湾曲後部１８、及び前記第１曲率とは異なる第２曲率を持つ湾曲前部１９を規定する凸面１６から成る出口面を持つ出口ジオプター１２を持つレンズ１０を有する。更に、前記レンズ１０は、 少なくとも１つの光源を収容するための少なくとも１つの凹状収容部１３を含み、前記凹状収容部１３の表面が少なくとも部分的に前記湾曲後部１８に面する入口ジオプター１１を有する。
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【課題】略側方の物体側の観察範囲が異なる複数の光学系を安価に製造することを可能にした前方の物体と略側方の物体の同時観察が可能な光学系を提供すること。
【解決手段】前方の物体側から順に、反射屈折光学素子を有する負の屈折力の前群Ｇｆ、開口絞りＳ、正の屈折力の後群Ｇｒからなる光学系において、反射屈折光学素子は、第一レンズとその像側の第二レンズを接合して構成され、第一透過面とその周囲に環状に形成され像側を向いた第一反射面を有し第一レンズの前方の物体側に形成された第一面、第二透過面とその周囲に環状に形成され前方の物体側を向いた第二反射面を有し第一レンズと第二レンズとの接合面に形成された第二面、透過面として第二レンズの像側に形成された第三面、透過面として第一レンズの周面に形成された第四面を有する。 （もっと読む）

反射屈折投影対物系は、複数のレンズ及び少なくとも１つの凹ミラー（ＣＭ）を有し、更に、物体視野から凹ミラーに延びる部分ビーム経路を凹ミラーから像視野に延びる部分ビーム経路から分離するための２つの偏向ミラー（ＦＭ１，ＦＭ２）を有する。偏向ミラーは、第１の方向（ｘ方向）と平行に延びる傾斜軸の回りに投影対物系の光軸（ＯＡ）に対して傾斜される。第１の偏向ミラーは、第１の視野平面に対して光学近接に配置され、第２の偏向ミラーは、第１の視野平面に対して光学的に共役な第２の視野平面に対して光学近接に配置される。これらの視野平面の間に配置された光学結像系は、第１の方向に−１に近い結像スケールを有する。第１の位置と第１の位置に対して変位距離だけオフセットされた第２の位置との間の第１の方向と平行な偏向ミラー（ＦＭ１，ＦＭ２）の同期変位のための変位デバイス（ＤＩＳＸ）が設けられる。投影対物系を通じて進む投影放射線ビームは、偏向ミラーの第１の位置において第１の反射領域内で反射され、偏向ミラーの第２の位置において、第１の方向と平行に第１の反射領域に関して上述の変位距離だけ横にオフセットされた第２の反射領域内で反射される。偏向ミラーは、第１の反射領域と第２の反射領域とで異なる局所反射特性分布を有する。それによって視野効果、例えば、視野均一性の能動的操作又は波面の能動的操作が可能になる。 （もっと読む）

【課題】観察者の眼球に向けて表示光が出射されるＨＭＤの映像投影面における表示出射エリアが、ＨＭＤが装着された観察者頭部の変動に連動することなくＨＭＤの設置空間における虚像形成面が固定されるように、映像投影面上を移動することにより、観察者に実際にモニタが設置された環境を体感させる。
【解決手段】ＨＭＤは、実像を表示する表示素子と、表示光を観察者に導く導光部材１１０と、姿勢監視センサと、姿勢監視センサからの検出情報に基づいて表示素子を制御する制御部を備える。制御部は、導光部材１１０の映像投影面１１０ａの姿勢変動とは無関係に、ＨＭＤが設置された空間において拡大映像Ｉとして認識される虚像形成面が固定されるよう、表示素子に対して表示制御を行う。 （もっと読む）

【課題】反射型光学素子の傾き調整を行っても、投影映像と反射面の位置関係のズレが少ない保持構造を備えた画像投影装置を実現する。
【解決手段】反射型光学素子６を角度調節可能に保持固定する保持構造を有し、反射型光学素子は、外周部に投影映像画面の中心光軸に直交し投影映像画面の一辺に平行な第１の方向に軸芯を持つガイド軸１１，１２を有し、ガイド軸を第１保持部材２０に設けた溝部２１，２２に回転可能に保持され、第１保持部材２０は、外周部に第１の方向と直交する方向の第２の方向に設けられ投影映像画面の中心光軸に直交する軸芯を持つガイド軸２４，２５を有し、ガイド軸を第２保持部材３０に設けた溝部３１，３２に回転可能に保持される構造であり、反射型光学素子のガイド軸と第１保持部材のガイド軸の軸芯は、反射型光学素子の反射面と投影映像画面の中心光軸とが交わる点に接するように構成した。 （もっと読む）

【課題】反射屈折投影光学系を構成する光学部材を大型化することなく、大きな開口数を有する液浸法を用いた反射屈折投影光学系に関する。
【解決手段】第１面Ｒ１の像を第２面上に形成する当該反射屈折投影光学系ＰＬ１は、少なくとも６つのミラーＭ１〜Ｍ６を含み、前記第１面Ｒ１の第１中間像及び第２中間像を形成する第１結像光学系Ｇ１と、前記第２中間像を前記第２面上にリレーする第２結像光学系Ｇ２とを備える。 （もっと読む）

【課題】前方の物体と略側方の物体の同時観察と、前方の物体の近接拡大観察とを行うことのできる光学系を提供する。
【解決手段】前方の物体側から順に、反射屈折光学素子を有し負の屈折力を持つ前群、開口絞り、光軸に沿う方向に移動する移動レンズ群を有し正の屈折力を持つ後群が配置されており、前記反射屈折光学素子は、光軸を中心に形成された第一透過面と該第一透過面の周囲に環状に形成され像側を向いた第一反射面とを有し前方の物体側に形成された第一面と、光軸を中心に形成された第二透過面と該第二透過面の周囲に環状に形成され前方の物体側を向いた第二反射面とを有し像側に形成された第二面と、前記第一面と前記第二面との間に透過面として形成された第三面と、を有しており、前記移動レンズ群を移動させることにより、前記前群及び前記後群の屈折力を相対的に変化させて、観察領域内で前方の物体の像が形成される領域を、拡大又は縮小する。 （もっと読む）

【課題】 広い観察画角を鮮明に且つ遠方の映像として観察することが可能な長いアイリリーフを有する小型の視覚表示装置を提供する。
【解決手段】 映像表示素子３と、映像表示素子３の映像を投影する投影光学系４と、投影光学系４により投影された映像を遠方の虚像として観察させる接眼光学系５と、からなる視覚表示装置１において、接眼光学系５は、投影光学系４により投影された映像を拡散する拡散面１１と、拡散面１１により拡散された映像を反射する少なくとも一つの反射面を有する反射光学素子５１と、反射光学素子５１により反射された映像を透過する少なくとも一つの回転非対称な透過光学素子５２と、を有し、任意の第１の断面と、前記第１の断面に直交する第２の断面とで結像回数が異なることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】反射鏡の設置誤差が結像特性に与える影響を小さく抑えた反射型投影光学装置の提供。
【解決手段】物体(i=0)からでた光を反射光として反射させる第１の反射面を有する第１の素子(i=1)と、前記反射光を反射させ像面(i=3)に結像させる第２の反射面を有する第２の素子(i=2)とを、備えた投影光学装置において、少なくとも球面収差、コマ収差、及び非点収差が補正され、第１の素子(i=1)は、前記第１の反射面として、非球面の反射面を有し、第２の素子(i=2)は、前記第２の反射面として、非球面の反射面を有する。好ましくは、第１の素子(i=1)及び第２の素子(i=2)は、光軸に対して回転対称な非球面の反射面を有する。より好ましくは、第１の素子(i=1)の近軸マージナル光線の光線高比γ₁が、例えば、 0≦γ₁≦1の領域にあり、かつ、第２の素子(i=2)の素子の近軸マージナル光線の光線高比γ₂がγ₂≦1の領域にある。 （もっと読む）

【課題】フロントプロジェクションタイプのプロジェクターへの搭載に適したコンパクト性を有し、かつ諸収差を良好に補正することが可能な投写光学系およびこれを用いた投写型表示装置を得る。
【解決手段】画像表示面３上の画像を、複数のレンズからなる第１光学系１と、凹面の非球面形状をなす反射ミラー４からなる第２光学系２とにより、スクリーン５に拡大投写する。第１光学系１および第２光学系２を構成する全ての光学面は、該全ての光学面に共通の光軸Ｚを中心とした回転対称面で構成され、第１光学系１の最も拡大側のレンズ（第１４レンズＬ_１４）における縮小側の第１レンズ面と拡大側の第２レンズ面とが、それぞれ所定の条件式を満足するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】フロントプロジェクションタイプのプロジェクターへの搭載に適したコンパクト性を有するとともに組立性が良好で、かつ諸収差を良好に補正することが可能な投写光学系およびこれを用いた投写型表示装置を得る。
【解決手段】画像表示面３上の画像を、複数のレンズからなる第１光学系１と、凹面の非球面形状をなす反射ミラー４からなる第２光学系２とにより、スクリーン５に拡大投写する。第１光学系１および第２光学系２を構成する全ての光学面は回転対称面で構成され、第１光学系の第１２レンズＬ_１２および第２光学系２の反射ミラー４は、光軸Ｚに対し偏心して配置されており、第１光学系１のその他のレンズは、光軸Ｚ上に互いに同軸に配置されている。 （もっと読む）

【課題】 小型化、特に偏心面内で光学素子を細くすることが可能で、広い観察画角を鮮明に且つ遠方の映像として観察することが可能な小型の接眼光学系を提供する。
【解決手段】 映像表示素子５の映像を観察者瞳位置Ｅに表示する接眼光学系１であって、任意の２断面で結像回数が異なることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 小型の光学素子を移動することにより連続的に画角を変化させることが可能な全方位撮像光学系又は投影光学系を提供する。
【解決手段】 ３６０°全方位の画角を有する画像を像面５に結像させるか、像面５に配置された画像を３６０°全方位の画角に投影する前群Ｇｆと後群Ｇｂからなる光学系１であって、中心軸２を含む断面内では第１入射瞳Ｐ１が中心軸２から離れて位置し、中心軸２に直交した平面に投影した時には第２入射瞳Ｐ２が中心軸２上に位置し、遠方から入射する光束は、前群Ｇｆ及び後群Ｇｂを順に経て、像面５の中心軸２から外れた位置に円環状に結像する光学系１において、第１の入射瞳Ｐ１近傍に配置され、中心軸２に対して平行に移動することにより、中心軸２を含む断面内で撮影方向又は投影方向を可変とする画角可変手段としての画角可変素子Ａを有する。 （もっと読む）

【課題】投影対物器械の物体面に配置された物体視野を投影対物器械の像面に配置された像視野上に結像するための反射屈折投影対物器械を提供する。
【解決手段】反射屈折投影対物器械（１００）は、物体面からのパターンを第１の中間像（ＩＭＩ１）内に結像させるように構成されて第１の瞳表面（Ｐ１）を有する第１の対物器械部（ＬＧ１）と、第１の中間像（ＩＭＩ１）を第２の中間像（ＩＭＩ２）内に結像させるように構成され、第１の瞳表面（Ｐ１）と光学的に共役な第２の瞳表面（Ｐ２）を有する第２の対物器械部（ＨＧ）と、第２の中間像（ＩＭＩ２）を像面（ＩＳ）内に結像させるように構成され、第１及び第２の瞳表面と光学的に共役な第３の瞳表面（Ｐ３）を有する第３の対物器械部（ＬＧ２、ＬＧ３、ＬＧ４）とを有する。 （もっと読む）

【課題】照明光の均一性を確保しながら小型で安価な照明光学系及び照明装置を提供する。
【解決手段】照明装置１０に用いられる照明光学系３０は、光源２０からの光を略平行光に変換するコレクタレンズ３１と、複数の単位レンズを各レンズ面の頂点が同一平面上に位置するように配置してなるフライアイレンズ３２と、フライアイレンズ３２を構成する単位レンズの射出面の各々に形成された光源２０の像からの光を自由曲面形状に形成された反射面で反射させて被照射面に照射する曲面鏡３３と、を有する。 （もっと読む）

【課題】小型化に有利な正屈折力を持つプリズム光学系を用いた投影装置において、プリズム光学系で発生する不要光の影響を低減しやすい投影装置を提供する。
【解決手段】表示素子１と、その表示画像を拡大投影する正の屈折力のプリズム光学系３と、その投影側に配置された絞り４とを有し、プリズム光学系３は、画像表示面２側に凹の反射面を向けた内面反射面１２と、画像表示面２からの光束を透過しかつ内面反射面１２からの反射光束を反射する兼用光学面１１と、プリズム光学系３に入射した光束が射出する射出面１３とを備え、画像表示面２から射出する光束は、兼用光学面１１からプリズム光学系３内部に入射し、内面反射面１２で反射し、兼用光学面１１で反射し、射出面１３から射出し、絞り４を通過して投影画像５に至り、プリズム光学系３の兼用光学面１１から画像表示面２までの中心光線に沿った空気換算長ｆＢに関する条件式を満足する。 （もっと読む）

本発明は、基板（Ｓ）及び層構成体を備え、層構成体がそれぞれ個別層の少なくとも２つの周期（Ｐ_２、Ｐ_３）の周期的配列からなる複数の層サブシステム（Ｐ’’、Ｐ’’’）を備え、周期（Ｐ_２、Ｐ_３）が高屈折率層（Ｈ’’、Ｈ’’’）及び低屈折率層（Ｌ’’、Ｌ’’’）に関して異なる材料から構成される２つの個別層を含み、各サブシステム（Ｐ’’、Ｐ’’’）内で、隣接する層サブシステムの周期の厚さから逸脱した一定の厚さ（ｄ_２、ｄ_３）を有する、ＥＵＶ波長域用のミラー（１ａ；１ｂ；１ｃ）に関する。ミラーは、基板（Ｓ）から２番目に遠い層サブシステム（Ｐ’’）が有する周期（Ｐ_２）の配列が、基板（Ｓ）から最も遠い層サブシステム（Ｐ’’’）の第１高屈折率層（Ｈ’’’）が基板から２番目に遠い層サブシステム（Ｐ’’）の最終高屈折率層（Ｈ’’）の直後に続くように、且つ／又は基板（Ｓ）から最も遠い層サブシステム（Ｐ’’’）が基板（Ｓ）から２番目に遠い層サブシステム（Ｐ’’）の周期（Ｐ_２）の数（Ｎ_２）よりも多い周期（Ｐ_３）の数（Ｎ_３）を有するようになっていることを特徴とする。本発明はさらに、上記ミラー（１ａ；１ｂ；１ｃ）を備えるマイクロリソグラフィ用の投影対物レンズ、及び当該投影対物レンズを備える投影露光装置に関する。 （もっと読む）

結像光学系は、物体平面（１１）の物体視野（９）を像平面（１４）の像視野（１３）に結像する複数のミラーを有する。ミラーのうちの少なくとも１つの反射面は、回転対称関数によって記述することができない自由曲面として構成される。物体視野は、１よりも大きいアスペクト比（ｘ／ｙ）を有し、物体視野の最小横手寸法と最大横手寸法の比は、０．９よりも小さい。更に別の態様では、物体視野（９）及び／又は像視野（１３）は、鏡面対称視野形態から逸脱する。物体視野（９）を照明するための照明光学系（１０）は、対応して形成された物体視野（９）を照明するように設計された照明光（３）を誘導する構成要素を有する。その結果は、結像光学系によって結像される視野にわたる結像誤差補正に対する高い要求が考慮された結像光学系、照明光学系、及びこれらが装備された投影露光系である。 （もっと読む）