【課題】液晶表示パネルの表面の押圧を一定にすることが可能な異物検出方法を提供すること。
【解決手段】一対の可撓性の基板間に液晶が介在された液晶表示パネルの該基板間に混入した異物の有無を検出する異物検出方法であって、複数の押圧突起が外周面に設けられた押圧ローラと、押圧ローラを回転させるローラ回転手段と、ローラ回転手段を液晶表示パネルの表面に対して平行に移動させるローラ移動手段とを備え、液晶表示パネルの表面をローラ回転手段により回転される押圧ローラの押圧突起によって押圧することにより、基板間に混入した異物による表示欠陥を顕在化させる。 （もっと読む）

【課題】昇降機構と位置決め機構の一つの機構で構成し、駆動機構を小型化して、真空室内に昇降機構と位置決め機構と共に駆動モータを設け、シール機構を不要とする。
【解決手段】真空室内で基板を検査する基板検査装置において、真空室は、基板を支持するＺステージと、ＺステージをＺ軸方向に昇降するステージ昇降機構と、Ｚステージ上に載置される基板を検査する検査機構とを備える。ステージ昇降機構は、水平方向位置に対してＺ軸方向の接触位置を異にする接触面を有する昇降カムと、昇降カムの接触面と回転しながら接触する昇降ローラと、昇降ローラ又は昇降カムを水平方向に移動させる駆動機構と備え、駆動機構の駆動によって昇降ローラ又は昇降カムを相対的に水平方向に移動させ、この水平方向の移動により昇降ローラ又は昇降カムを相対的にＺ軸方向に移動させ、このＺ軸方向の移動によってＺステージを昇降させる。 （もっと読む）

【課題】基板検査装置の検査用ステージを軽量化する。
【解決手段】基板検査装置において検査対象の基板を載置する基板検査装置用ステージを、少なくとも２枚の長尺状の板材を含む構造部材を互いに交差させ結合させてなる枠体構造とする。枠体構造には、２枚の長尺状の板材の互いに長尺辺部で結合してなるＬ字型の断面形状を備える構造部材１３、３枚の長尺状の板材の互いに長尺辺部で結合してなるコの字型の断面形状を備える構造部材１２、あるいは４枚の長尺状の板材の互いに長尺辺部で結合してなるロの字型の断面形状を備える構造部材１１を用い、何れか一種類の構造部材、あるいは複数種類の構造部材を組み合わせる。 （もっと読む）

【課題】分断寸法の精度の高い読み取りを容易にし、分断線の傾斜をも検査することがで
きるマークを有する表示パネル及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の表示パネルの製造方法は、アライメントマーク２１、２２間に、中
心線が前記アライメントマーク間の中心線２５Ｘ、２５Ｘ'及び２５Ｙと一致し、前記中
心線２５Ｘ、２５Ｘ'及び２５Ｙに対して互いに対称な複数対の目盛り線からなるスラン
トマーク２３、２４を形成し、前記アライメントマーク２１、２２に沿って個別の基板に
分断する工程時に前記スラントマーク２３、２４も同時に分断されるようにして、前記個
別の基板１１Ｐにアライメントマーク２１、２２の残存部及びスラントマーク２３、２４
の残存部が形成されるようにしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】近年の基板サイズの大型化傾向に従って、基板を戴置するためのステージも大きくなってきている。このため、測定装置そのものが大きくなってきているこの大きくなった装置を収容するべく、サーマルチャンバは、送風ブース内のスペースの内容積が大きくなり、従って温同調節に必要な雰囲気容量が多くなるため、そのスペース内の温度性能を保つため、温調ユニットを大くしなければならないという問題があった。
【解決手段】測定装置のステージ部架台より出された支持金具によって、サーマルチャンバの送風ブースを支持し、石定盤より上方のステージ部分のみ、一定温度に保つ構造とし、更に好ましくは、温調ユニットと送風ブースとを分離することにより、温調ユニットの機械振動を送風ブースに伝えない機能を備えたサーマルチャンバとした。 （もっと読む）

【課題】機械的な駆動機構を必要とせず簡便な構成によって高速な応答を可能とする光軸シフト装置を提供する。
【解決手段】光軸シフト装置は、対向して配置される一対の透明電極１３，１４と、所定の方向に配向処理されて一対の透明電極１３，１４の対向面側にそれぞれ設けられた一対の配向板１５，１６と、一対の配向板１５，１６の間に備えられ配向板１５，１６により液晶分子を所定の方向に初期配向させる液晶層１７とをそれぞれ有し、透明電極１３，１４間への電圧の印加により液晶層１７中の液晶分子の姿勢を変更させることにより液晶層１７の実効的な屈折率を変化させる第１液晶素子１０および第２液晶素子２０を有して構成され、第１液晶素子１０と第２液晶素子２０とを互いに配向方向を直交して積層させてなるシフト平板２，３を入射光の光軸方向に対して傾斜させて配設する。 （もっと読む）

【課題】 アライメント部によるアライメント処理を良好に実行できる基板処理装置を提供する。
【解決手段】 アライメント部１３０は、主として、定置台１３３と、複数の支持ピン１３４と、入出射部１７１と、を有している。定置台１３３は、ウェハーステージであり、基準用基板Ｗ１は、その上面に第１水平姿勢にて定置されている。複数の支持ピン１３４は、定置台１３３の上面から入出射部１７１側に立設されている。処理基板Ｗおよび比較用基板Ｗ２は、これら支持ピン１３４により第２水平姿勢にて支持される。入出射部１７１は、定置台１３３側に光を照射とともに、基準用基板Ｗ１および比較用基板Ｗ２で反射される反射光を受光する。そして、複数の支持ピン１３４による処理基板Ｗおよび比較用基板Ｗ２の支持状況は、基準用基板Ｗ１の反射光と比較用基板Ｗ２の反射光と、に基づいて判定される。 （もっと読む）

【課題】 転写された転写材料の温度が大なる温度勾配をもって急激に降温され、その際の大きな熱収縮により、転写された転写材料の被膜が大きく反り返ったり、盛り上がったりして、転写品質を劣化させることを防止し、それにより高品質な転写結果を得ることができる。
【解決手段】 レーザビームの照射に先立って、修復対象物上の少なくとも前記修復予定箇所を予熱することにより、修復予定箇所に転写された前記修復材料の降温勾配を緩和すること。 （もっと読む）

【課題】タクト時間を満足する一定速度で検査対象物を安定搬送しつつ、撮像部に入射する光量を一定に調整して安定した高精度の検査を実現する。
【解決手段】基板処理システムのインライン装置として構成される検査装置に、検査対象物としての基板を実質的に一定の搬送速度で搬送する搬送ユニットと、搬送中の基板を撮像するラインカメラ２１と、撮像制御部３００と、画像処理部３０１とを設ける。撮像制御部３００は、基板の光の反射率に関する特性データ３２０に応じて、ラインカメラ２１の露光時間を制御する。すなわち、光の反射率の高い基板については当該反射率に応じて露光時間を短くする一方で、光の反射率の低い基板については当該反射率に応じて露光時間を長くする。さらに、必要に応じて画像処理部３０１がラインカメラ２１からの画像データの縦横比が１：１となるように、補間処理あるいは間引き処理を行って撮像データ３２１を作成する。 （もっと読む）

【課題】基板に発生した圧痕を検査するにおいて、圧痕検査が必要な検査領域の設定が迅速且つ正確であることは勿論、圧痕の異常有無も迅速で且つ正確に検査することができる圧痕検査装置及び方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧痕検査装置は、圧痕が発生した基板を固定するためのワークステージと、前記ワークステージの上側に位置し、前記基板の後面を観察するための顕微鏡と、前記顕微鏡を通して観察された基板の後面を撮像できるように、前記顕微鏡に連結設置されたカメラと、前記カメラから前記撮像された画像データを入力され、前記画像データ中において圧痕検査が必要な検査領域を設定する検査領域選択部と、前記検査領域内で所定形状の枠を有する各検出領域ごとに輝度分布情報を検出し、前記検出された輝度分布情報によって圧痕指数を検出する圧痕検出部と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ＬＣＤパネルを固定する検査器具を提供する。
【解決手段】位置決めフレーム体３と、撮影機具を固定するための調整台座６と、を含み、前記位置決めフレーム体及び調整台座は、支持架１によって一体となって連結され、調整台座が支持架の上で位置決めフレーム体３との相対的距離を調整出来るようにする；前記位置決めフレーム体には、フレーム３３が含まれ、前記フレーム背面の周縁に調整板４を設け、この調整板はＬＣＤパネルの異なるサイズによって調整し、各種サイズのＬＣＤパネルを架設することが出来、且つフレーム背面の保持部品５によってＬＣＤパネルを保持し、ＬＣＤパネルをフレームの背面に架設・位置決めし、且つフレーム内の周縁にそれぞれ可動遮蔽板３４を設置して、パネルのサイズに応じて調整し、ＬＣＤパネル周縁の金属枠縁を遮蔽する。 （もっと読む）

【課題】基板上に形成された配線の欠陥検出を行う手段の提供。
【解決手段】配線検査装置１は、配線が形成された基板１００に検査信号を印加する検査信号印加部４と、基板に電子線を照射する電子線照射部２と、基板から放出される二次電子を検出する二次電子検出部３と、二次電子の信号強度によって配線の電位状態を検出し、この電位状態から配線の欠陥を検出する欠陥検出部６とを備える。基板に配線が形成された段階において、この配線に電気信号を印加して所定の電位状態とし、この電位状態の配線に電子線を照射して放出される二次電子を検出し、この二次電子の信号強度に基づいて配線の欠陥検出を行う。欠陥検出は、配線の欠陥の有無、欠陥位置、ショート欠陥かオープン欠陥かの欠陥種の判別が可能である。 （もっと読む）

【課題】品種交換の際に装置内部に残存する先の品種の光学フィルムをより少なくすることができる光学表示装置の製造システム及び製造方法を提供する。
【解決手段】光学表示ユニットの供給装置と、ロールから切断した後に供給する光学フィルムの供給装置と、光学表示ユニットの表面に光学フィルムを貼り合せる貼合装置と、各装置の作動又は停止を行う制御装置と、光学表示ユニットの供給を計数する計数部を有し、制御装置は、光学フィルムの継ぎ合わせ位置から光学フィルムの貼り合わせ位置までに存在する光学フィルムに、ほぼ対応して貼り合わせられる光学表示ユニットの枚数Ｎを記憶し、計数部からの情報に基づいて、品種交換の際の先の品種の光学表示ユニットの貼り合わせ前の残り枚数Ｘと枚数Ｎとがほぼ同数になったときに、各装置の停止を行う。 （もっと読む）

【課題】液晶パネルと、該液晶パネルを背面側から照射する複数の光源とを備えた表示装置において、故障している光源を容易に検査することが可能な表示装置を提供する。
【解決手段】液晶パネル２と、該液晶パネル２を該液晶パネル２の背面側から照射する複数の光源３とを備えた表示装置１を、複数の光源３に対して、１個毎に順に点灯用電源からの電力を印加する光源点灯制御、及び、該光源点灯制御により、１個の光源３が対面して照射する液晶パネル２の照射エリアに、上記の電力の印加に同期して表示を行う液晶パネル表示制御が行われるようにして構成する。 （もっと読む）

【課題】より簡単な構成で液晶セルの両面に光学フィルムを良好に貼り合せることができる光学表示装置製造システム及び光学表示装置製造方法を提供する。
【解決手段】幅方向に対して直交方向に偏光軸Ｂ１が延びるように第１光学フィルムＦ１１を巻回した第１ロール原反Ｒ１から、前記直交方向に第１光学フィルムＦ１１を送り出し、切断して液晶セルＷの一方の面に貼り合せる。幅方向に偏光軸Ｂ２が延びるように第２光学フィルムＦ２１を巻回した第２ロール原反Ｒ２から、その幅方向に対して直交方向に第２光学フィルムＦ２１を送り出し、切断して液晶セルＷの他方の面に貼り合せる。これにより、液晶セルＷを回転させるための機構などを設けることなく、第１光学フィルムＦ１１と第２光学フィルムＦ２１をクロスニコルの関係で貼り合せることができる。 （もっと読む）

【課題】欠点検査をより好適に行うことができる光学表示装置製造システム及び光学表示装置製造方法を提供する。
【解決手段】検査装置３０により行われる光学フィルムが貼り合せられた光学表示装置の検査結果に基づいて、欠点検査装置１４，２４により行われる光学表示ユニットに貼り合せられる前の光学フィルムの検査における欠点の検出条件を補正し、その補正した検出条件に基づいて欠点検査装置１４，２４により検出した欠点を含む光学フィルムを、排除する。これにより、後に検査装置３０により行われる欠点検査の基準に合わせて、欠点検査装置１４，２４により行われる欠点検査の基準を調整することができるので、欠点検査をより好適に行うことができ、光学フィルムの歩留りを向上することができる。 （もっと読む）

【課題】在庫を最小限に抑えることができる光学表示装置製造システムに適用される受発注システム及び受発注方法を提供する。
【解決手段】検査装置３０による光学フィルムＦ１１，Ｆ２１が貼り合せられた後の光学表示ユニットＷの検査結果に基づいて、入力された生産計画数に対応する切断前の光学フィルムＦ１１，Ｆ２１の長さを算出し、その長さの光学フィルムＦ１１，Ｆ２１が巻回されることにより形成されたロール原反を発注する。これにより、入力された生産計画数と同数の光学フィルムＦ１１，Ｆ２１を得るのに必要な長さのロール原反を発注するのではなく、検査装置３０による検査結果も考慮に入れた上で算出される長さのロール原反を発注することができるので、実際に必要な長さのロール原反をより確実に発注することができ、ロール原反の在庫を最小限に抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】分割露光における表示領域でのショットの継ぎ目の位置を発見しやすく、パターンの継ぎ目検査に要する時間の低減を図ること。
【解決手段】本発明は、複数の露光領域に分割して形成される駆動素子形成領域１０と、駆動素子形成領域１０内に設けられ、隣接する露光領域の境界となる位置に両露光領域の露光ずれを判別するマークとを有する駆動基板１である。また、このマークを、矩形から成る露光領域の隅部近傍に配置したり、矩形から成る露光領域において互いに隣接する４つの露光領域の各隅部近傍に設けるものでもある。また、本発明は、素子形成領域を分割露光によって形成するための一露光分に対応した露光パターン領域と、露光パターン領域における分割露光の継ぎ目部分に設けられるマークとを有するマスクである。 （もっと読む）

【課題】フリッカ調整を簡易に且つ正確に行うことができるフリッカ調整用シート及びそれを用いた表示装置のフリッカ調整方法を提供する。
【解決手段】フリッカ調整用シート１０は、透明のシート本体１１と、シート本体１１に設けられ、フリッカ調整対象の表示装置のマトリクス状に配置された複数の画素２５を、その行又は列方向において１ラインおきに遮光する複数の遮光部１２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 例えば、製造工程等において搬送されつつあるフィルムように、移動途中の測定対象物についても精度良く膜厚を測定し得るような膜厚測定方法を提供することを一の目的とする。
【解決手段】 薄膜表面に光を照射し、該薄膜からの反射光を分光して分光スペクトルを取得し、該分光スペクトルから前記薄膜の膜厚値を算出する膜厚測定方法であって、
１）取得した前記分光スペクトルから仮の膜厚値を求めるステップと、
２）前記仮の膜厚値の近傍から選択された複数の膜厚値毎に、前記薄膜に係る屈折率の波長分散式モデルを作成するステップと、
３）前記薄膜について別途得た所定波長に対する屈折率と、前記複数の膜厚値毎に作成された前記屈折率の波長分散式モデルから求められる該所定波長に対する各屈折率とをそれぞれ比較するステップと、
４）前記３）のステップで比較した屈折率の差を評価して最終的な膜厚値を求めるステップとを有することを特徴とする膜厚測定方法による。 （もっと読む）