【課題】 例えば、製造工程等において搬送されつつあるフィルムように、移動途中の測定対象物についても精度良く膜厚を測定し得るような膜厚測定方法を提供することを一の目的とする。
【解決手段】 薄膜表面に光を照射し、該薄膜からの反射光を分光して分光スペクトルを取得し、該分光スペクトルから前記薄膜の膜厚値を算出する膜厚測定方法であって、
１）取得した前記分光スペクトルから仮の膜厚値を求めるステップと、
２）前記仮の膜厚値の近傍から選択された複数の膜厚値毎に、前記薄膜に係る屈折率の波長分散式モデルを作成するステップと、
３）前記薄膜について別途得た所定波長に対する屈折率と、前記複数の膜厚値毎に作成された前記屈折率の波長分散式モデルから求められる該所定波長に対する各屈折率とをそれぞれ比較するステップと、
４）前記３）のステップで比較した屈折率の差を評価して最終的な膜厚値を求めるステップとを有することを特徴とする膜厚測定方法による。 （もっと読む）

【課題】浮上ステージを用いた安価且つ簡素な構成の基板検査装置を提供する。
【解決手段】被検査基板（１０）を浮上させて支持する浮上ステージ２と、この浮上ステージ２の上方に位置し、被検査基板（１０）に暗視野照明光を射出する光源と、浮上ステージ２上に位置し、視野照明光を散乱反射させる散乱反射部２ａと、被検査基板（１０）を落射暗視野観察する光学系（３）と、を備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】電気光学装置の製造段階で周辺回路の欠陥を検出し、欠陥のある場合に製品とし
て使用する前に予め不良品として除去することを可能にする。
【解決手段】一対の基板間に液晶を保持し、一方の基板に周辺回路として走査線駆動回路
１５及びデータ線駆動回路１３が形成される電気光学装置の製造方法であり、一方の基板
に走査線駆動回路１５及びデータ線駆動回路１３を形成した後で、且つ前記一方の基板を
他方の基板に貼り合わせる前の工程で、走査線駆動回路１５に通常印加される電圧よりも
大きい検査電圧を印加して欠陥を検出すると共に、データ線駆動回路１３に通常印加され
る電圧よりも大きい検査電圧を印加して欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】液晶パネルの表示品位および強度が劣化するのを抑制することを手間をかけるこ
となく可能とする液晶表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】この液晶パネル（液晶表示装置）１００ａの製造方法は、複数の液晶パネル
１００ａに対応した部分を有する対向基板１およびＴＦＴ基板２を貼り合わせて、貼り合
わせ基板１００を形成する真空貼り合わせ工程Ｓ１７と、貼り合わせ基板１００に偏光板
７および８を貼り付ける偏光板貼付工程Ｓ２１と、偏光板７および８を複数の液晶パネル
１００ａに対応した部分に分断する偏光板分断工程Ｓ２２とを備える。 （もっと読む）

【課題】例えば各種物品や液晶装置等の電気光学装置における基板上の構成部材などが静
電気等によって帯電した場合に、放射線等の特段のエネルギー源を用いることなく除電す
ることのできる除電方法および該除電方法を適用した電気光学装置用基板および電気光学
装置の検査方法および製造方法を提供する。
【解決手段】正または負に帯電した被除電物の表面または周囲の雰囲気中に管体を介して
気体を導入することによって前記被除電物の帯電電荷を除去する除電方法であって、前記
管体を介して前記気体を導入する際の前記管体と前記気体との摩擦によって前記気体を、
前記被除電物と逆極性に帯電させた状態で前記被除電物の表面または周囲の雰囲気中に導
入して前記被除電物の帯電電荷を除去することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光学表示ユニットの製造コストを低減することができる光学表示ユニットの製造方法および製造システムを提供する。
【解決手段】少なくとも一方の面が非粘着性表面からなる帯状の光学フィルムに対して、表面に粘着剤層が形成された離型フィルムを、当該粘着剤層を介して光学フィルムの非粘着性表面に貼り合せる。その後、光学フィルムに貼り合せられた離型フィルムを粘着剤層から剥離し、当該粘着剤層を介して光学フィルムを表示基板に貼り合せる。これにより、離型フィルムが予め貼り合わされた光学フィルムを用意する必要がなく、光学フィルムから予め貼り合わされている離型フィルムを剥離するための剥離装置を設ける必要もないので、光学表示ユニットの製造コストを低減することができる。 （もっと読む）

【課題】光学フィルムを光学表示基板に貼り合せる場合において、欠点を含む光学フィルムを好適に排除し、かつ、当該排除の精度を確認可能とする光学表示ユニットの製造方法および光学表示ユニットの製造システムを提供する。
【解決手段】シート製品を搬送する過程において、当該シート製品に設けられた位置特定情報を搬送上流側の第１位置から当該第１位置よりも搬送下流側の第２位置まで搬送する際の予測搬送距離と、当該第１位置および当該第２位置のそれぞれで検出手段を用いて当該位置特定情報を検出することで得られた当該第１位置から当該第２位置間の実測搬送距離と、を比較し、前記実測搬送距離が、前記予測搬送距離の所定範囲内になるように、前記シート製品の搬送処理を補正する。 （もっと読む）

【課題】洗浄後の濡れた状態から乾燥を行う必要がなく、洗浄が十分行われたか否か等を幅広く検出することができる光学表示ユニットの検査方法および検査装置を提供する。
【解決手段】光学表示ユニットＷを水平な状態で支持可能な搬送装置Ｒと、その光学表示ユニットＷの表面に接触するようにその表面に対し濡れ性を有する液体を供給して前記液体を表面に保持させる液体供給装置Ｄ１１と、前記液体のハジキが生じる部分を観察可能な観察エリアＤ１２とを含む光学表示ユニットの検査装置。 （もっと読む）

【課題】常温より高い温度の基板を支持する際、基板を搭載するテーブルを効果的に冷却し、テーブルの歪を小さくして、基板の表面の高さの変動を抑制する。
【解決手段】上面に常温より高い温度の基板を搭載するテーブル（１００，５００）と、テーブルの下面に設けられた冷却手段（１１２，１２２）と、テーブルの厚み方向に設けられた複数の孔（１０１，１０２）と、テーブルを構成する物質より熱伝導率の高い物質で構成され、複数の孔の内部に設けられて、テーブルの熱を冷却手段へ伝える複数の熱伝導手段とを備える。テーブルの厚み方向の熱伝導性が向上し、テーブルの上面付近が効果的に冷却されて、テーブルの上面付近の歪が小さくなる。 （もっと読む）

【課題】使用環境に影響されることなく基板上の異物を高精度で検出することができる近接露光装置を提供する。
【解決手段】基板保持部２１の搬送方向に並んで配置された複数の異物検出器８０，８１から、基板Ｗの表面に沿ってレーザービームＬＢを照射し、一方の異物検出器８０の検出信号と、他方の異物検出器８１の検出信号との差分信号から、異物８２の有無を判定する。 （もっと読む）

【課題】液晶駆動用の配線のみならず光検出部に接続された配線の中間機能検査をも容易に行うことが可能な光検出部を有する液晶表示装置を提供すること。
【解決手段】本発明の液晶表示装置１は、走査線ＧＷ及び信号線ＳＷとＩＣチップＤｒが搭載されるチップ搭載領域ＣＡとが設けられたアレイ基板ＡＲと、カラーフィルタ層２３が設けられたカラーフィルタ基板ＣＦと、光センサ３０_１〜３０_６を有する光検出部ＬＤ１と、光検出部ＬＤ１の配線に連結したセンサ引回し配線Ｌ１〜Ｌ３に接続された検出回路と、照光手段と、照光手段の明るさを制御する制御手段と、を備え、複数のセンサ引回し線Ｌ１〜Ｌ３のそれぞれに一端が接続され他端がチップ搭載領域ＣＡ内まで延設された複数のセンサ検査用配線３１〜３３が形成されると共にセンサ検査用配線３１〜３３の他端にはセンサ検査用端子３４〜３６がそれぞれ形成されている。 （もっと読む）

【課題】通常検査する基板等よりも厚い、例えば評価用サンプル等を用いて検査を行なう際の手動による操作でのフォーカス合わせにおいても、対物レンズをガラス基板に衝突させることがない検査顕微鏡等を提供すること。
【解決手段】ガラス基板を載置するためのステージまたは対物レンズを観察光軸方向に相対的に移動させる合焦機構を用いることにより、ガラス基板の表面に焦点を合わせる手段と、ガラス基板の表面に焦点が合った際の、ガラス基板に対する対物レンズの位置情報を検出する手段と、検出した位置情報に基づいて、ステージと対物レンズとが相対的に移動可能な移動範囲を設定する手段と、検出した位置情報に基づいて、操作者が合焦機構を手動で操作する場合に、ステージと対物レンズとが相対的に移動可能な移動範囲を設定する手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】液晶表示パネルの製造装置の設置スペースを節約する。
【解決手段】液晶表示パネルの製造装置１０１は、貼合せ基板をそれぞれ載置するための第１および第２のステージ４１，４２と、これらのステージにそれぞれ載置された状態の前記貼合せ基板のうち上側に露出する面に第１の偏光板を貼り付けるための貼付装置と、前記貼付装置による貼付作業が済んだ部位において前記貼合せ基板と前記光学フィルムとの間に異物が混入しているか否かを光によって検査するための検出装置とを備える。第１および第２のステージ４１，４２はそれぞれ、前記貼合せ基板を載せるための透明板４と、この透明板４を通じて光を供給するための光源８とを備える。第１のステージ４１の透明板４の下側には第２の偏光板５が配置されており、第２のステージ４２の透明板４の下側には第２の偏光板が配置されていない。 （もっと読む）

本発明は、ラビング布不良除去装置に関するもので、ベースと、前記ベースの両端に具備された支持台によって支持され、前記支持台の外側に装着された駆動モーターによって駆動されるラビングローラーと、前記ベースの上端に一側設置されたリニアモーターによって水平移動し、前面には前記ラビングローラーを立体映像撮影する多数のカメラが装着された映像獲得部と、前記映像獲得部で撮影された立体映像を利用して、ラビングローラー両側の偏心及びラビングローラーに巻かれたラビング布の両端間隔を実時間で算出し、これを分析して出力し、算出された測定値をデータベースに貯蔵する中央制御部と、前記映像獲得部を介して獲得されたラビング布の異物及びラビング布の飛び出た糸すじを除去できるように、前記ベースの上端に水平移動可能に設置され、前記ラビングローラーの垂直線上に配置され、中央制御部を介して制御される除去手段とを含む。

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【課題】層間ズレ測定用パターン領域を小さくし、基板の利用効率を向上した表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】表示領域に形成されたパターンと共に層間ズレ測定の基準となる層間ズレ測定用パターンを第１層パターンとして形成した絶縁基板上に、第１層パターンよりも後にパターニングする第２層を形成し、第２層の上に塗布したホトレジストのうち、層間ズレ測定用パターン上のホトレジストはハーフトーン露光し、表示領域のホトレジストは通常露光、現像してレジストパターンを形成する。その後、層間ズレ測定用パターン上のレジストパターンと層間ズレ測定用パターンとのズレを測定した後、アッシングにより表示領域に位置するレジストパターンを残しつつ層間ズレ測定用パターン上のレジストパターンを除去し、残った表示領域のレジストパターンをマスクとして第２層をパターニングする表示装置の製造方法。 （もっと読む）

【課題】液晶応答時間の測定領域において透過光強度の電圧依存性が非線形領域である場合にも、透過光強度の測定により液晶応答時間の厳密な測定をすることができる液晶応答時間測定装置を提供すること。
【解決手段】光ビームを出射するレーザー光源と、当該レーザー光源から出射された光ビームの直線偏光成分を透過し、被測定液晶素子に当該光ビームを供給する偏光子と、被測定液晶素子の光ビーム出射側に配置され、被測定液晶素子によって変換された光ビームの偏光状態の直線偏光成分を透過する検光子と、当該検光子を透過した光ビームの透過光強度を検出する受光素子とを有し、被測定液晶素子における液晶の応答時間を測定する液晶応答時間測定装置において、偏光子と被測定液晶素子の間、または被測定液晶素子と検光子の間のいずれかの位置に、被測定液晶素子の位相差に対してオフセット位相差を加えるための位相変調液晶素子を備える構成とした。 （もっと読む）

【課題】長期使用しなければ発生しない表示欠陥の検査にかかる時間を、短縮可能にし、早期発見により品質管理の向上と検査に関与するコスト低減を目的とする。
【解決手段】本発明に係る液晶パネル検査方法は、フレームごとに画素に印加する極性を反転させて表示を行う液晶表示装置における液晶パネルの表示欠陥を検査する液晶パネル検査方法であって、（ａ）液晶パネルの所定の表示エリアの複数の画素に印加する電界をフレームごとに変更する工程を備える。そして、（ｂ）工程（ａ）の後に、前記液晶パネルの表示欠陥を検査する工程を備える。工程（ａ）は、（ａ−１）奇数または偶数フレームのいずれか一方のフレームにおいて、所定の表示エリアの複数の画素に、＋極の電界を印加する工程を含む。そして、工程（ａ）は、フレームの他方のフレームにおいて、所定の表示エリアの複数の画素に、ゼロの電界を印加する工程を含む。 （もっと読む）

【課題】メンテナンスの作業性を向上させる。
【解決手段】複数のプローブを一体的に支持するプローブブロックと、当該プローブブロックを支持するサスペンションブロックと、前記プローブブロックの各プローブとプローブベース側の信号基板とを電気的に接続するＴＣＰ接続部とを備えたプローブ装置である。前記ＴＣＰ接続部は、前記プローブベース側の信号基板に対して着脱可能な接続手段を備え、当該ＴＣＰ接続部と前記プローブブロックとが一体となって前記サスペンションブロックに対して着脱される。 （もっと読む）

【課題】簡易点灯検査用配線の省スペース化、メンテナンスの容易化及びコスト低減を図る。
【解決手段】プローブユニットは、プローブ組立体と外部装置とを電気的に接続する接続ケーブル部を備え、この接続ケーブル部は、ＦＰＣケーブルの各配線を前記プローブ組立体の各探針側に電気的に接続する短絡部とを備えている。この短絡部は、前記プローブ組立体の各探針側の各配線に個別に設けられたショートバンプと、一列に並んだ全ショートバンプに一度に接触する長尺のショートバーとを備えている。前記各ショートバンプは、赤緑青に対応してそれぞれ横一列に並べられると共に赤緑青の各列が互いにずれた位置に配設される。前記ショートバーが赤緑青に対応して３本設けられると共に、各ショートバーが全ショートバンプに一度に接触する長さに設定された。 （もっと読む）

【課題】修正液を継続的に供給することが可能なため、画素欠陥を一回で修正することができる画素修正装置および画素修正機台を提供する。
【解決手段】画素修正装置は、表示パネル１０１中の欠陥画素１０２を修正し、修正液を収納する容器と、容器と連通するノズル１０６ａ，１０６ｂ，１０６ｃ，１０６ｄと、容器と接続し、修正液を駆動し、ノズル１０６ａ，１０６ｂ，１０６ｃ，１０６ｄから流出させるエアポンプ１０７と、を備える。 （もっと読む）