【課題】レーザ加工方法及びレーザ加工装置において、ハーフトーン露光により基板に形成されたハーフトーン部の欠陥を修正する。
【解決手段】レーザ加工方法は、基板上の欠陥の画像を取得する画像取得工程（Ｓ２）と、前記画像と予め格納されている参照情報とに基づいて欠陥情報を抽出する欠陥抽出工程（Ｓ３）と、前記欠陥情報から前記欠陥がハーフトーン露光により基板に形成されたハーフトーン部の欠陥であるか否かを判定する判定工程（Ｓ４）と、前記判定工程（Ｓ４）にて前記欠陥がハーフトーン欠陥であると判定された場合に前記ハーフトーン部の高さを測定する高さ測定工程（Ｓ９，Ｓ１２）と、この高さ測定工程で高さを測定したハーフトーン部にレーザ光を照射するレーザ光照射工程（Ｓ１０）と、を含む。 （もっと読む）

【課題】フラットパネル修復に、検査切断修復結合ツール及び独立体積修復ツールの２種類が必要である
【解決手段】装置は、統合された検査機能と、材料除去機能と、材料堆積機能とを備え、検査動作、材料除去動作、及び材料堆積動作を同じ光軸に沿って実行する。装置は、部分的に、カメラと、一対のレンズと、１つ又は複数のレーザとを備える。第１のレンズは、検査を受けているターゲット基板上に形成される構造上に光軸に沿ってカメラを合焦させるために使用される。第１のレンズは、検査された構造が材料除去を必要としていると識別される場合、構造上にレーザビームを合焦させて、その構造上に存在する材料を除去するためにも使用される。第２のレンズは、検査された構造が材料堆積を必要としていると識別される場合、レーザビームをリボン上に合焦させて、リボンに形成された埋め込みウェルから流動的複合物を構造に転写するために使用される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、液晶表示装置及びその不良画素の修復方法を提供する。
【解決手段】第１の絶縁基板と、第１の絶縁基板上に実質的に第１の方向に互いに平行するように配値されたゲート配線およびストレージ配線と、ゲートおよびストレージ配線と絶縁されて交差し、実質的に第２の方向に配値されたデータ配線と、データ配線上に形成された保護膜と、保護膜上に形成された第１の画素電極と第２の画素電極と、第１の画素電極に隣接する第２の画素電極を含み、ストレージ配線は、実質的に第１の方向に配値された水平部および水平部から実質的に第２の方向に分枝し、データ配線とオーバーラップする垂直部を含み、垂直部は、第１の画素電極および第２の画素電極とオーバーラップし、第１の画素電極と垂直部がオーバーラップする幅は第２の画素電極および垂直部の間のオーバーラップする幅と実質的に同一であることを特徴とする液晶表示装置。 （もっと読む）

【課題】修正領域が画素内の広範囲に及ぶ場合においても、修正部の盛り上がりもしくは窪みを最小限に抑え、要求される所定の色相を再現し、かつ、パネル化した際に液晶層のセルギャップ不良を生じることなく要求品質を確保することができるカラーフィルタの欠陥修正方法、及び、その欠陥修正方法によって欠陥部分が修正されたカラーフィルタ基板を提供する。
【解決手段】ガラス基板上に少なくとも着色層、ブラックマトリックスが形成されたカラーフィルタの欠陥修正方法において、予め前記カラーフィルタの欠陥修正部分にレーザーを照射して前記欠陥修正部分をレーザーアブレーションにより除去する工程と、着色層を修正するための修正用インキを用いて前記修正部分を区画するための格子を形成する工程と、前記格子により区画された領域に前記修正用インキを塗布・乾燥・硬化して欠陥を修正する工程と、をこの順に具備する。 （もっと読む）

【課題】 液晶ディスプレイの性能を低下させることなく、より確実に欠陥部をリペアすることができるように工夫した材料を使用し、リペアを実施することで歩留まり向上・品質向上につなげることを目的とする。
【解決手段】 本発明に係る液晶パネルは、画素電極以外の領域を覆って、画素電極と対向する開口部３を有する遮光部２と、開口部３の全面と重なり合うように形成される色材７と、遮光部２の一部であって、開口部３に隣接する黒色粉末封入ポケット４と、黒色粉末封入ポケット４を覆う封入部５と、黒色粉末封入ポケット４内に封入されている黒色粉末６とを有する。 （もっと読む）

【課題】反射型液晶表示装置用カラ−フィルタにおけるレーザー修正において、無機保護膜の損傷を発生させることなく、選択的にカラーフィルタ層のみを修正することができるカラーフィルタの欠陥修正方法、及び、その欠陥修正方法によって欠陥部分が修正されたカラーフィルタ基板を提供する。
【解決手段】ガラス基板上に金属膜からなる反射層および無機保護層が形成された基板上に、少なくとも着色層が形成されたカラーフィルタの欠陥修正方法において、予め前記カラーフィルタの欠陥修正部分を炭化着色させる段階と、その後前記欠陥修正部分にレーザー光を照射して前記欠陥修正部分をレーザーアブレーションにより除去する段階と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】液晶パネルにおける輝点欠陥に対して、輝点欠陥画素の周辺画素に影響を与えることなく輝点の適切な黒化を可能とする黒化方法及び黒化装置を提供する。
【解決手段】液晶パネル１５を構成するカラーフィルター１に形成された輝点欠陥画素に対してレーザ発振器１７からのレーザビームを相対的にスキャンして照射し輝点欠陥画素を黒化する輝点欠陥の黒化方法において、輝点欠陥画素へ照射するレーザビームは、照射出力を変調しながらスキャンされる。 （もっと読む）

【課題】少ない回数のレーザ光の照射で、確実に配線の不良部分を正確に修正することができる配線の修正装置を提供する。
【解決手段】基板２上の処理を要する被処理配線２９にレーザ光Ｌｔを出射することで処理を行う配線の修正装置Ｒｓであって、レーザ光Ｌｔの光軸と交差する方向のエネルギ分布を中心部が高く、辺縁部が低くなるように、レーザ光の透過率を調整する絞り部材５を備えている。 （もっと読む）

【課題】映像信号線とコモン電極間が異物によってショートした場合に、レーザカットによってショートを解消する際の成功率を向上させる。
【解決手段】映像信号線２００と走査線３００によって囲まれた領域に間に画素電極１１０とコモン電極１０８が形成されている。コモン電極１０８はコモン電極スリット１０によって、細いストライプ部とコモン電極本体とに分けられる。映像信号線２００とコモン電極１０８とがショートした場合、コモン電極スリット１０の両端をレーザカット３０で開放することによってストライプ部をコモン電極本体と分離する。これによって映像信号線２００とコモン電極１０８とのショートの影響を無くす。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化が可能で、且つ複数波長の混合レーザ光から最短波長のレーザ光を高い波長純度で取り出す。
【解決手段】波長の異なる複数のレーザ光Ｌからその照射目的に応じて波長を選択して照射対象物Ｏｂに照射し得るようにしたレーザ照射装置であって、上記複数波長のレーザ光Ｌから成る混合光の光路上に、複数波長のレーザ光Ｌのうち、少なくとも最短波長のレーザ光の回折限界に相当する幅のスリット２と、このスリット２を通過したレーザ光を照射対象物Ｏｂ上に集光する対物レンズ４と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】ショート欠陥部の破片の発生を抑えつつ、かつ確実に配線のショートを解消すること。
【解決手段】薄膜トランジスタを内蔵するＴＦＴパネルと、前記ＴＦＴパネルの表面上にマトリクス状に配置され、かつ画素電極を含む画素と、を有するディスプレイパネルの製造方法であって、前記ＴＦＴパネルを準備する工程と、前記ＴＦＴパネルの表面に画素電極をパターニングする工程と、前記画素電極のショート欠陥部を検出する工程と、前記ショート欠陥部に電圧を印加し、前記ショート欠陥部を溶断する工程と、を有する、ディスプレイパネルの製造方法。 （もっと読む）

【課題】レーザ光を用いて、対象物の所定箇所をさらに正確にかつ能率よく加工し、修正を行う
【解決手段】基板を載置するステージと、基板を加工する加工部となる局所排気領域と、ステージに向けてガスを噴射することにより該ステージから浮上するためのガス供給部と、ステージに向けて噴射したガス及び局所排気領域から該ステージ側に供給されたガスを排気する排気部とを備えた局所排気装置を有する。
局所排気装置は、局所排気領域に繋がる流路を、薄膜形成用の原料ガスを供給する原料供給部と、エッチングにより局所排気領域内に発生したダストを排出する局所排気部とに切り換えて連通させる切換手段を備える。そして、基板に薄膜を形成する場合には、切換手段により局所排気領域に繋がる流路が原料供給部に連通され、基板をエッチングする場合には、切換手段により局所排気領域に繋がる流路が局所排気部に連通される。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板又はＴＦＴ基板上に着色層（ＲＧＢ他）およびブラックマトリックス（ＢＭ）などのカラーフィルタが形成されたカラーフィルタ製造におけるレーザー修正において、修正箇所のレーザーアブレーションに伴う下地の損傷を発生させることなく、効率的に、且つ、選択的にカラーフィルタ層のみを修正することができるカラーフィルタの欠陥修正方法、及び、その欠陥修正方法によって欠陥部分が修正されたカラーフィルタ基板を提供する。
【解決手段】基板上に少なくとも着色層、ブラックマトリックスが形成されたカラーフィルタの欠陥修正方法において、予め前記カラーフィルタの欠陥修正部分にレーザーを照射して、前記欠陥修正部分を熱分解・熱変性に起因する炭化作用により着色させる段階と、その後前記欠陥修正部分にレーザー光を照射して前記欠陥修正部分をレーザーアブレーションにより除去する段階と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】液晶表示装置用カラーフィルタ基板の製造工程において、ＴＦＴ基板上に着色層（ＲＧＢ他）およびブラックマトリックス（ＢＭ）などのカラーフィルタが形成されたカラーフィルタオンアレイ（ＣＯＡ・ＢＯＡ）におけるレーザー修正において、修正箇所のレーザーアブレーションに伴う下地であるＴＦＴ基板上の保護膜の損傷を発生させることなく、選択的にカラーフィルタ層のみを修正することができるカラーフィルタの欠陥修正方法、及び、その欠陥修正方法によって欠陥部分が修正されたカラーフィルタ基板を提供する。
【解決手段】ＴＦＴ基板上に少なくとも着色層、ブラックマトリックスが形成されたカラーフィルタの欠陥修正方法において、予め前記カラーフィルタの欠陥修正部分を炭化着色させる段階と、その後前記欠陥修正部分にレーザー光を照射して前記欠陥修正部分をレーザーアブレーションにより除去する段階と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、静電気流入による層間短絡などの障害が生じたとしても容易に修復することのできる表示装置用基板を提供することを目的とする。
【解決手段】基板１上の表示領域内に配設され、表示領域の内方より表示領域の外方に向けて引き出し形成される第１の配線部１０を有する。さらに、基板１上の表示領域の外の第１の配線部１０と絶縁膜を介して交差して形成される第２の配線部７０を有する。さらに、第２の配線部７０に形成され、少なくとも交差する第１の配線部１０と重なり合う領域に開口した開口部７２を有する。さらに、開口部７２の両端に形成され、絶縁膜を介して第１及び第２の配線部１０、７０が重なり合う重畳部７４を有する。 （もっと読む）

【課題】下層にＴＦＴのソース電極と接続した画素電極が配置され、絶縁膜を挟んで、上層にスリットを有するコモン電極が配置されたＩＰＳ方式液晶表示装置において、画素電極とコモン電極の導通による画素欠陥の数を低減する。
【解決手段】ＴＦＴ基板１００の上にゲート電極１０１が形成され、これを覆ってゲート絶縁膜１０２が形成され、その上に分割された画素電極１０６が形成されている。通常は分割された画素電極１０６はソース電極１０５によって接続されている。画素電極１０６の上に層間絶縁膜１０７が形成され、層間絶縁膜１０７の上にスリットを有するコモン電極１０８が形成されている。コモン電極１０８と分割された画素電極１０６の一つが導電性異物５００によって導通した場合、その分割された画素電極１０６をソース電極１０５と分離することによって、他の分割された画素電極１０６が動作することが出来るので、１画素が完全欠陥となることを免れる。 （もっと読む）

【課題】高精細なパターンの欠陥部を簡単な構成で修正することが可能な低価格のパターン修正装置を提供する。
【解決手段】このパターン修正装置１は、レーザ光の照射形状を所定形状に整形するスリット３７と、スリット３７によって整形されたレーザ光を基板１２の表面に集光する対物レンズ２５と、スリット３７の位置を調整し、対物レンズ２５によって集光されたレーザ光の照射位置を欠陥部１３ａに移動させる駆動部３５，３６とを備える。したがって、ＸＹテーブル３によってレーザ光の照射位置を移動させていた従来に比べ、装置構成の簡単化、装置の低コスト化を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】高速で、且つ実時間でリペア作業をレビューしながらリペアできるレーザー光学系付きリペア装置を提供する。
【解決手段】基板５７０をリペアするためのレーザービームを発生させるレーザー発生装置５０１と、レーザー発生装置から発生したレーザービームを反射させてレーザービームの進行経路を変更させるスキャンモジュール５１０と、レーザービームを基板にフォーカシングされるように圧縮させる対物レンズ５６０と、スキャンモジュールでスキャンされたレーザービームが対物レンズの入射範囲にあるように案内するリレーレンズ５３０と、基板のリペアされる過程を実時間で撮影するレビュー光学系５５０と、スキャンモジュールを調節する制御装置５１９と、を含む。 （もっと読む）

【課題】多層構造の上下間での層間ショート欠陥に対する欠陥修正工程の作業効率を著しく向上させつつ、欠陥修正の品質を向上させる。
【解決手段】欠陥修正装置が備える欠陥検出部により多層基板における繰り返しパターン内の欠陥を検出し、欠陥検出部で検出された欠陥が層間ショート欠陥の発生が想定される領域に重なる場合、欠陥修正装置が備える制御部３０１により層間ショート欠陥用の欠陥修正手法に対応するオブジェクトを生成する。そして、生成したオブジェクトを利用して欠陥の修正を実行する欠陥修正部を制御する。 （もっと読む）