【課題】イオン性不純物トラップ用の電極を設けなくても、イオン性不純物の凝集に起因する表示品位の低下が発生しにくい液晶装置、および電子機器を提供すること。
【解決手段】ＶＡ（Vertical Alignment）モードの液晶装置１００においては、フレーム反転駆動方式が採用されている。また、第１基板１０側の配向膜１６には、画素電極９ａの端部に平面視で重なる部分に、第２基板２０に向けて突出した突部１６ａが設けられており、液晶層５０の流動は突部１６ａによって阻害される。突部１６ａは、例えば、画素電極９ａの端部と配向膜１６との間に設けられた膜１７ａの形状が配向膜１６の表面に反映されてなる。 （もっと読む）

【課題】画像表示領域内でのイオン性不純物の凝集に起因する表示品位の低下が発生しにくい液晶装置、当該液晶装置を備えた投射型表示装置、および電子機器を提供すること。
【解決手段】液晶装置１００において、第１期間と第２期間とにおいて、素子基板１０側の画素電極９ａと対向基板２０側の共通電極２１との極性を反転させ、かかる反転駆動に対応させて、素子基板１０側の第１電極８１および第２電極８２を駆動する。その際、対向基板２０側の第３電極８３に対する第１電極８１の極性は、共通電極２１に対する画素電極９ａの極性とは反対であり、対向基板２０側の第３電極８３に対する第２電極８２の極性は、共通電極２１に対する画素電極９ａの極性と同一である。 （もっと読む）

【課題】無機配向膜の配向規制力を損なうことなく、表面絶縁膜の凹部の底部を絶縁膜で覆うことのできる液晶装置の製造方法、および液晶装置を提供すること。
【解決手段】液晶装置１００を製造するにあたって、無機配向膜形成工程において斜方蒸着により無機配向膜１６、２６を形成した後、表面絶縁膜形成工程では、無機配向膜１６、２６の表面側に、飽和溶液からの析出を利用した液相析出法により、表面絶縁膜１７、２７を形成する。かかる液相析出法によれば、無機配向膜１６、２６の凸部１６ａ、２６ａの表面、および凸部１６ａ、２６ａの間に発生している凹部１６ｂ、２６ｂの底部に略一定の膜厚で表面絶縁膜１７、２７が形成される。このため、表面絶縁膜１７、２７を形成した後も、無機配向膜１６、２６の凹凸形状が残るため、配向規制力を損なうことがない。また、凹部１６ｂ、２６ｂの底部で画素電極９ａや共通電極２１が露出することもない。 （もっと読む）

【課題】対向基板側の構造を変更することにより、横ストロークの発生を防止することのできる電気光学装置、および当該電気光学装置を備えた投射型表示装置を提供すること。
【解決手段】液晶装置１００において、対向基板２０には、共通電極２１より下層側に導電性の遮光層２９が設けられ、かかる遮光層２９は絶縁層２７のコンタクトホール２７ａ、２７ｂ、第１導通部２５ａおよび第２導通部２５ｂにおいて共通電極２１と導通している。このため、共通電極２１のシート抵抗を低減したのと実質的に同様な効果を得ることができる。従って、共通電極２１の電位が画像信号の電位変化に伴って変動しても、共通電極２１の電位は、短い時間で共通電位に復帰するので、横ストロークの発生を防止することができる。また、遮光層２９の上層には絶縁層２７が形成されているため、遮光層２９に起因する段差が緩和されている。従って、共通電極２１に段差切れが発生しない。 （もっと読む）

【課題】液晶表示素子において高フレキシビリティと高ガスバリア性を両立する。
【解決手段】本発明の液晶表示素子は、一対の電極と、一対の電極間に配置された液晶層と、一対の電極の片方の電極に対して液晶層の反対側に配置され、１層以上の薄膜層を有するバリア膜と、を備える。薄膜層の少なくとも１層の炭素分布曲線は、実質的に連続であること、少なくとも１つの極値を有すること、及び炭素の原子比の最大値及び最小値の差の絶対値が５ａｔ％以上であること、を全て満たし、かつ、バリア膜の片方の電極側の表面の粗度は、最大表面高さをＲｍａｘとしたときに、Ｒｍａｘ＜２００ｎｍであることを満たす。 （もっと読む）

【課題】均質性の高い配向膜を備えた液晶装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基板１０上に多孔質膜３０を形成し、該多孔質膜３０の表面に蒸着粒子１６ａを物理蒸着して配向膜１６を形成する。配向膜１６は多数の柱状の結晶体１６ｂによって形成される。柱状結晶体１６ｂは、多孔質膜３０の表面に形成される多数の細孔３０Ｈ、若しくは、細孔と細孔との間を仕切る突起状の壁部（尖鋭突起物３０ａ）を起点として結晶化が進む。細孔３０Ｈの形状や密度にはばらつきが存在するが、細孔３０Ｈは柱状結晶体１６ｂの結晶化の起点としてのみ機能するので、柱状結晶体１６ｂの形状や密度は下地の多孔質膜３０の影響を受け難く、概ね配向膜全体で柱状結晶体１６ｂの形状や密度は均一なものとなる。よって、配向特性は配向膜全体で均一なものとなる。 （もっと読む）

【課題】液晶分子のプレチルト角を良好に制御することで信頼性の高い表示品質を得ることができる液晶表示装置及びプロジェクターを提供する。
【解決手段】一対の基板１５，２５間に負の誘電率異方性を有する液晶層３０を挟持する液晶表示装置１である。一対の基板１５，２５の各々は、基材部１１，２３と、基材部１１，２３の表面に形成され液晶層３０に接する配向膜１２，２２と、を含んでおり、基材部１１，２３における配向膜１２，２２が形成される面の表面粗さが４ｎｍ未満となっている。 （もっと読む）

【課題】画素外領域において、初期の配向状態で白表示または黒表示のいずれかの表示が得られて、その表示の単安定性が得られる強誘電性液晶パネルを提供する。
【解決手段】強誘電性液晶パネルにおいて、第１の電極２３は、第２の電極２４より、一方向に配向方向を有する配向膜２６，２７の配向方向に対して直交方向に形成された領域が多い電極である。この配向膜２６，２７の配向方向と直交方向に形成された領域が多い第１の電極２３側にのみ、第１の電極２３を設けた第１の基板２１と配向膜２６との間に絶縁膜２５を設けた構成にする。 （もっと読む）

【課題】樹脂基板あるいは樹脂層上に無機膜を形成する場合において、前記無機膜にクラックあるいはしわの発生を回避させ、これによりＴＦＴ回路層を信頼性よく形成できる画像表示装置の製造方法の提供。
【解決手段】樹脂基板あるいは樹脂層の上面にＴＦＴ回路層が形成されている画像表示装置の製造方法にあって、
前記樹脂基板あるいは前記樹脂層の前記ＴＦＴ回路層が形成される面に無機膜を形成する工程を備え、
前記無機膜は、室温から前記樹脂基板あるいは樹脂層のガラス転移点（Ｔｇ）以下の温度で形成し、
前記ＴＦＴ回路層は、前記樹脂基板のガラス転移点（Ｔｇ）以上の温度で形成する。 （もっと読む）

【課題】屈曲による水蒸気透過度の上昇が抑制されるガス遮蔽フィルムを提供する。
【解決手段】樹脂フィルム基材１０２と、樹脂フィルム基材１０２の表面に形成され、含有量０．１原子％以上３０原子％以下の水素を含み、かつ非晶質の酸化ガリウム膜１０４と、を有するガス遮蔽フィルム１００である。 （もっと読む）

【課題】ターゲット交換などのメンテナンス作業を効率化できるスパッタリング装置を提供する。
【解決手段】基板Ｗを保持する基板ホルダー６を有し基板ホルダー６が搬送可能に設けられた成膜室２と、成膜室２に連通し筐体１０内に一対のターゲット１１，１２が対向して配置されたスパッタリング粒子放出部３と、を備える対向ターゲット方式のスパッタリング装置１であって、第２ターゲット１２が配置された筐体１０の一面の一部が第２ターゲット１２を含んで取り外し可能に形成されている。 （もっと読む）

【課題】基板の斜め方向からスパッタリング粒子が供給される反応性のスパッタリング装置において、良好な成膜レートを確保できるスパッタリング装置を提供する。
【解決手段】基板Ｗを保持する基板ホルダー６を有し基板ホルダー６が搬送可能に設けられた成膜室２と、成膜室２に連通しターゲット１０が配置されるスパッタリング室３と、を備え、スパッタリング室３から成膜室２に放出されたスパッタリング粒子と反応ガスとの反応により基板Ｗ上に反応生成膜を形成させるスパッタリング装置であって、ターゲット１０が基板ホルダー６の搬送経路に対して斜めに配置され、ターゲット１０の外周より大きな穴部を有する箱体２０がスパッタリング室３に設けられ、箱体２０の第１開口部２１を通してターゲット１０の表面が箱体２０の内面を向き、ターゲット１０が向かい合う箱体２０の面の一部にスパッタリング粒子が通過する第２開口部２２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】アルミニウム合金膜と透明電極が直接コンタクトすることを可能とし、バリアメタルの省略を可能にするアルミニウム合金膜を用いた表示デバイスとその製造技術を提供する。
【解決手段】基板上に配置された薄膜トランジスタと、透明電極によって形成された透明導電膜、および、これら薄膜トランジスタと透明導電膜を電気的に接続するアルミニウム合金膜を有し、該アルミニウム合金膜と前記透明導電膜の界面には該アルミニウム合金の酸化皮膜が形成されており、該酸化皮膜の膜厚が１〜１０ｎｍで、該酸化皮膜中の酸素含有量が４４原子％以下である表示デバイスとその製法を開示する。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、広い視野角、十分なコントラスト比、装置を稼動するためのしきい（電圧）の低下、および印加電場に対する迅速な応答を示す偏光調整型電気光学装置のための液晶ディスプレイ用ナノロッド配合物を提供することである。
【解決手段】 本発明の液晶ディスプレイ用ナノロッド配合物は、
（Ａ）（ホストとしての）ネマチック液晶と、
（Ｂ）（ドーパントとしての）ドメイン状構造を有する流動性の有機界面活性剤でコーティングされた硫化亜鉛若しくは酸化亜鉛ナノロッドと、
を含んで成り、前記ドメイン領域内の各々のナノロッドは平行な状態に並んでいる。
前記構成成分（Ｂ）の含有量は、好ましくは前記構成成分（Ａ）１ｍｌにつき０．１ｍｇ〜０．４ｍｇである。 （もっと読む）

【課題】ディスクリネーション等の表示不良を防止して良好なコントラスト特性を有し、且つコスト削減を可能とする液晶装置及び電子機器を提供する。
【解決手段】一対の基板と、一対の基板に挟持され初期配向状態が垂直配向を呈する液晶層３０と、一対の基板のうち一方の基板１０の液晶層３０側に形成された第１の配向膜１２と、一対の基板のうち他方の基板２０の液晶層３０側に形成された第２の配向膜２２と、を備え、第１の配向膜１２は、斜方蒸着にて形成され液晶層に接する上層膜１２ｂと、上層膜１２ｂが積層される下層膜１２ａと、を有し、配向膜のみかけ体積に対する配向膜の実体積の比を膜密度として、上層膜１２ｂは、下層膜１２ａよりも低い膜密度であると共に、第２の配向膜２２と下層膜１２ａとは、同様の膜密度であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】電気光学装置のコントラストの低下を防止しつつ、耐光性や耐熱性を向上させ、且つ部品点数の削減や薄型化を可能とする。
【解決手段】電気光学装置は、一対の基板（１０、２０）と、一対の基板間に挟持された電気光学物質（１５０）と、一対の基板の少なくとも一方の基板の電気光学物質に対向する側に形成され、一方の基板の基板面に沿った面内で第１方位に傾き、且つ無機材料を含む複数の第１柱状構造物（２１１）を有する第１配向層（２１０）と、第１配向層の上層側に形成され、面内で第１方位に対して９０度に近づく方位である第２方位に傾き、且つ無機材料を含む複数の第２柱状構造物（１６１）を有する第２配向層（１６）とを備える。電気光学装置において、第１配向層及び第２配向層の各々に、電気光学物質の一部が含浸されている。 （もっと読む）

【課題】凸部を有する表面に、斜め蒸着により無機材料からなる無機配向膜を形成すると、凸部の影となる部分に液晶分子の配列方向が異なるドメインが発生して、表示のむらの発生やコントラストが低下するなどの原因となった。
【解決手段】凸部６を有する基板表面に、無機材料を斜め方向から蒸着形成した第１無機配向膜７と、上記斜め方向と平面視反対方向の斜め方向から蒸着形成した第２無機配向膜８とを設けて、上記第１無機配向膜７が蒸着形成された方向の凸部６の側壁Ｗ１に接する基板表面の近接領域Ｒ１を、液晶層４と接するように露出させて、上記ドメインの発生を抑制した。 （もっと読む）

【課題】成膜時に成膜条件が変動することを防止して、良好な無機配向膜を成膜できるようにした液晶装置の製造装置を提供する。
【解決手段】成膜室２と、成膜室２内にて基板Ｗに配向膜材料をスパッタ法で成膜して無機配向膜を形成するスパッタ装置３と、基板Ｗを保持して搬送する搬送ホルダー６と、基板Ｗの周辺にガスを噴出するガス噴出口６ｈと、を備え、ガス噴出口６ｈは、基板Ｗの搬送時に基板Ｗとの位置関係が一定となるように成膜室２内に移動可能に設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ターゲットの酸化を抑制し、無機配向膜の製造能率の向上を図ることができるスパッタリング装置及び液晶装置の製造装置を提供する。
【解決手段】基板Ｗを収容すると共に、基板Ｗに沿って酸素ガスを供給するガス供給手段２２を備える成膜室２Ａと、対向する一対のターゲット５ａ、５ｂからプラズマＰｚによりスパッタ粒子５ｐを生じさせ、スパッタ粒子５ｐを成膜室２Ａに形成された開口部２Ａ１を介して基板Ｗに向けて放出するスパッタ粒子放出装置３とを備えて、無機配向膜を形成するスパッタリング装置１であって、開口部２Ａ１が設けられる位置と、ターゲット５ａ、５ｂが設けられる位置との間に設けられ、開口部２Ａ１から流出する上記酸素ガスの酸素を付着させるための付着部３０を有するという構成を採用する。 （もっと読む）

【課題】スパッタ装置の異常放電を防止することができる液晶装置の製造装置を提供する。
【解決手段】成膜室２と、成膜室２の側方（Ｙ方向）に配置され、成膜室２内にて基板Ｗの成膜面Ｗｓに配向膜材料をスパッタ法で成膜して無機配向膜を形成するスパッタ装置３と、成膜面Ｗｓが鉛直方向（Ｚ方向）に沿うように基板Ｗを立てた状態で搬送する基板搬送手段（ローラー６ｒ）と、を備え、スパッタ装置３は、プラズマ生成領域を挟んで対向する一対のターゲット５ａ，５ｂを有し、一対のターゲット５ａ，５ｂは、互いに対向する面がそれぞれ鉛直方向（Ｚ方向）に沿うように立てた状態で配置されていることを特徴とする。 （もっと読む）