【課題】膜厚分布が均一な膜を成膜可能な成膜装置を提供する。
【解決手段】基板２０とターゲットとの間の位置には膜厚制御用遮蔽部１６が配置されており、膜厚制御用遮蔽部１６に設けられた膜厚制御用透過部１７はターゲット側の幅が狭く、ターゲットとは反対側の幅が広くなっている。ターゲットから遠い程、スパッタ粒子の密度は小さくなるので、基板２０のターゲットから遠い部分は密度の低いスパッタ粒子に長時間晒され、基板２０のターゲットから近い部分は密度の高いスパッタ粒子に短時間晒されることになり、結局、成膜面上には膜厚分布が均一な膜が形成される。 （もっと読む）

【課題】塗布範囲の制御を容易に行うことができる塗布装置及び電気光学装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】溶剤を塗布領域２ａに塗布する溶剤吐出ノズル３と、溶剤が配置された塗布領域２ａを挟んで一方側から他方側に向けて気体を流動させる気体吐出ノズル４及び吸引ノズル５からなる気体流動手段１５とを備え、基板２上に形成された塗布領域２ａに溶剤を塗布する。 （もっと読む）

【課題】ターゲットと基板との間に配置される部材への成膜材料の堆積を起因とする膜品質の低下を防止するとともに、装置稼働率の向上を図ることが可能な成膜装置を提供する。
【解決手段】成膜装置は、ターゲット１１から放出された粒子の飛行領域を横切るように、ターゲット１１に対して相対的に基板１５を移動させる基板搬送系５０と、粒子の飛行領域に配置され、基板１５に対する粒子の入射方向及び／又は入射領域を規制する整流治具１００と、粒子の飛行領域に対して整流治具１００を搬出入する治具搬送系６０とを備える。 （もっと読む）

【課題】優れた配向性と優れた膜厚均一性を有する無機配向膜を提供する。
【解決手段】本発明の無機配向膜は、基板と材料源との間に、前記基板の移動方向に並ぶ複数の規制板を有するコリメータと、前記材料源からの距離に応じて前記基板の移動方向に関する幅が異なる開口部を有する遮蔽板とを配置し、前記材料源から放出された粒子の飛行領域を横切るように、前記材料源に対して相対的に前記基板を移動させ、前記材料源から放出された粒子を前記基板の一面に斜めに入射させることにより形成される。 （もっと読む）

【課題】成膜装置の小型化が容易で、膜質の良い薄膜を成膜可能な成膜方法を提供する。
【解決手段】本発明に用いられる成膜装置１では、基板２０の成膜面２２が、ターゲット１１のスパッタ面１２に対して斜めにされており、スパッタ粒子は成膜面２２に斜めに入射する。成膜面２２に入射するスパッタ粒子の入射角度は、遮蔽部材２５又はＴＳ距離の長さによって制限され、最大入射角度θ５が１５°以下、最大入射角度θ５と最小入射角度の差である見込み入射角度Δθが１０°以下になっている。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成でターゲットに対する基板の姿勢を調整することが可能な成膜装置用の基板搬送系を提供する。
【解決手段】基板搬送系５０は、ターゲット１１から放出された粒子の飛行領域を横切るように、ターゲット１１に対して相対的に基板１５を移動させるものであり、基板１５が搭載されるトレイ５３Ａ，５３Ｂ，５３Ｃと、トレイ５３Ａ，５３Ｂ，５３Ｃにおけるターゲット１１に近い第１位置ＰＴ１とターゲット１１から遠い第２位置ＰＴ２とを支持し、かつ第１位置ＰＴ１と第２位置ＰＴ２とを通る軸線を横切る方向（移動中心軸５１方向）にトレイ５３Ａ，５３Ｂ，５３Ｃを搬送する搬送機構５４と、トレイ５３Ａ，５３Ｂ，５３Ｃの第１位置ＰＴ１及び／又は第２位置ＰＴ２に配設され、搬送機構５４に対するトレイ５３Ａ，５３Ｂ，５３Ｃの高さを規定する高さ規定部材５５Ａ，５５Ｂ，５５Ｃとを有する。 （もっと読む）

【課題】横電界方式を採用した半透過反射型の液晶装置であって、反射表示と透過表示の双方で高画質かつ広視野角の表示を得ることができる液晶装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の液晶装置は、横電界方式の半透過反射型液晶装置であって、透過表示領域Ｔに設けられた配向膜の配向方向１５１と、反射表示領域Ｒに設けられた配向膜の配向方向１５２とが互いに異なり、且つその境界部に重なるように遮光層６０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】横電界方式を採用した半透過反射型の液晶装置であって、反射表示と透過表示の双方で高画質かつ広視野角の表示を得ることができる液晶装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の液晶装置は、横電界方式の半透過反射型液晶装置であって、透過表示領域Ｔに設けられた配向膜の配向方向１５１と、反射表示領域Ｒに設けられた配向膜の配向方向１５２とが互いに異なり、且つその境界部に重なるように、液晶５１を垂直配向させる垂直配向層６１，６２が設けられている。また、この境界部を挟んで同電位の帯状電極１９ｃ、１９ｄが対向しており、該境界部に電界が作用しないように構成されている。 （もっと読む）

【課題】蒸発材料の放出ガスによるチャンバ内圧力の上昇を抑制し、蒸着効率及び成膜レートの向上を図ることができる無機配向膜の形成方法を提供する。
【解決手段】基板Ｗ上にＳｉＯ₂ からなる無機配向膜を蒸着するに際し、蒸発材料としてＳｉＯ₂ とＳｉＯの混合材料を用いることにより、ＳｉＯ₂ の蒸発時に発生する放出ガス（酸素ガス）をＳｉＯによって捕捉し放出ガス量を低減する。これにより、チャンバ内圧力の上昇による平均自由行程の低下を抑えられ、蒸着効率及び成膜レートの向上を図ることができる。また、巨大な排気設備を必要とすることなく蒸発源と基板との間の距離を大きく設定することができるので、斜方蒸着の際において基板に対する蒸発物質の入射角の均一化を図ることができる。これにより、基板面内において均一な配向特性を有する無機配向膜を形成できるとともに、装置の小型化及び運転コストの低減を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】微細パターンを有し且つガラスに対して溶解を示さない特定溶媒に溶解可能な特定材料からなるレプリカに対し、当該レプリカの微細パターン上に塗布される部品形成材料の膜厚のウェーファー面内均一性を高め、製品信頼性の向上及び生産性向上を可能とする微細パターンを有する薄膜状部品の製造方法及び装置、液晶装置の製造方法を提供する。
【解決手段】微細パターンを有し、且つヒートレスガラス材料に対して溶解性を示さない特定溶媒に溶解可能な特定材料からなるレプリカ２０と、レプリカ２０に対して所定間隔をおいて平行に対向配置される支持基板２１との間の部品形成空間２８にヒートレスガラス材料を注入する注入工程と、レプリカ２０及び支持基板２１を回転させる回転工程と、ヒートレスガラス材料を硬化する硬化工程と、レプリカ２０を特定溶媒により溶解させる溶解工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】得られる膜のパターンや厚さの精度向上を図った、成膜装置とこれを用いた成膜方法を提供する。
【解決手段】複数のノズルを有し、ノズルから液滴を吐出する液滴吐出ヘッド３４と、液滴吐出ヘッド３４を移動させるヘッド移動手段３３と、液滴吐出ヘッド３４における各ノズルからの液滴の吐出を制御する制御手段４０と、を有してなる成膜装置３０である。制御手段４０は、被成膜体Ｓ上への液滴吐出による描画処理とは別に、描画処理に先立つ待機時において液滴吐出ヘッド３４に、描画処理における液滴吐出ヘッド３４全体での液滴吐出速度の、±１０％の範囲の液滴吐出速度で、非描画領域Ｆに吐出をなさせるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 液晶内部に発生するイオンの溜りを排除して高品質な表示を実現すると共に、小型で性能に優れた液晶表示装置を提供する。
【解決手段】 複数のマトリクス状に配置される画素電極６によってなる表示領域７を有するシリコン回路基板２と、このシリコン回路基板２に対向する透明導電膜からなる対向電極１０を有するガラス基板３とを備え、シリコン回路基板２とガラス基板３の間に液晶４を封入し、表示領域７の周囲には略リング状の電子見切り領域８が形成され、表示領域７に画像を表示する表示動作モードにおいては、電子見切り領域８は表示領域７の電子見切り手段として構成され、表示領域７に画像を表示しない非表示動作モードにおいては、電子見切り領域８は液晶内部のイオン掃き寄せ手段とする構成とした。 （もっと読む）

【課題】無機垂直配向膜の表面と液晶分子との反応を抑制して、長期間に亘って高画質の
画像表示を行うことができる液晶装置を提供する。
【解決手段】配向膜１６の表面をチタネート系のカップリング剤で処理しておくことによ
り、液晶装置１の動作時に、液晶分子５０ａと光化学反応するシラノール基を減少させる
。同時に、チタネート系のカップリング剤で形成された反応層３１は液晶分子５０ａとの
親和力が強いため、仮に配向膜表面にシラノール基等が残存していたとしても、当該シラ
ノール基が液晶分子に近づく作用を相対的に弱めることができる。さらに、反応層と無機
配向膜の親和力が強いため、外部から侵入する水分や、液晶層中に含有される水分が配向
膜表面に到達してシラノール基が再形成されることを抑制できる。従って、長期に亘って
高画質な画像を表示できる。 （もっと読む）

【課題】液晶が変質した際の配向膜の劣化を抑えることで、長期に渡って優れた配向特性が得られる耐久性に優れた、液晶装置、該液晶装置の製造方法、及び前記液晶装置を備えた電子機器を提供する。
【解決手段】フッ素系置換基を導入した液晶分子を含む液晶層５０と、液晶層５０を挟持する一対の基板１０，２０と、一対の基板１０，２０における液晶層５０側にそれぞれ配置された一対の電極９，２１と、を備えた液晶装置である。一対の電極９，２１の少なくとも一方を覆う酸化珪素からなる配向膜４０，６０と、配向膜４０，６０の液晶層５０側における表面形状に倣うように成膜された酸化アルミニウムからなる侵食防止膜４１，６１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】電極に起因する不具合を防止して、信頼性の高いものを得る、液晶装置の製造方法、液晶装置、及び該液晶装置を備えた電子機器を提供する。
【解決手段】液晶層５０と、液晶層５０を挟持する一対の基板１０，２０と、一対の基板１０，２０における液晶層５０側にそれぞれ配置された一対の電極９，２１と、を備えた液晶装置の製造方法である。原子層堆積法により、一対の電極９，２１の少なくとも一方が覆われるように基板表面に被覆膜４１，６１を形成する。そして、被覆膜４１，６１上に無機材料からなる配向膜４０，６０を形成する。 （もっと読む）

【課題】光学的異方性薄膜の光学軸の方向と大きさ、および膜厚を高速、高精度に測定し、さらに二次元受光素子による分布測定を可能とする手法と装置を提供する。
【解決手段】発光光学系（４）と受光光学系（５）を取り付けた回転テーブル（６）を、測定点（Ｍ）に立てられた法線（Ｒ）を中心として回転させながら、所定角度間隔で設定された複数の入射方向からＰ偏光の単色光を所定の入射角度で照射させ、その反射光に含まれるＳ偏光の反射光強度を検出し、反射光強度の極小値を示す入射方向のうち、最大ピークとなる二つの極大値（Λ_１、Λ_２）に挟まれた極小値（Ｖ_１）が測定された入射方向（ν_１）に基づいて測定点Ｍにおける光学軸（ＯＸ）の方位角方向（Φ_Ａ）を決定し、最大ピークとなる極大値（Λ_１）とこれに隣接する中間ピークとなる極大値（Λ_３）に挟まれた極小値（Ｖ_３）が測定された入射方向に基づいて極角方向（θ）を決定するようにした。 （もっと読む）

【課題】信頼性が高く配向力に優れた配向膜を量産性良く形成可能な液晶装置の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の液晶装置の製造方法は、配向膜の形成工程が、スパッタ装置２０３を用い、ターゲット２０５から被処理体となる基板Ｗ上に無機材料からなる配向膜材料を斜めに放出させて、前記基板Ｗ上に、該基板Ｗの法線方向に対して斜め方向に結晶成長した複数の柱状構造体を有する無機配向層を形成する工程と、前記無機配向層の表面をシランカップリング剤又はアルコールで表面処理し、前記無機配向層の表面に、該無機配向層と化学結合した有機材料の単分子膜からなる有機配向層を形成する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】配向膜同士の厚さ差による縞模様むらの形成を防ぐことのできる配向膜の印刷装置及びこれを用いた配向膜の印刷方法を提供する。
【解決手段】複数のオリフィスが形成されたオリフィスユニットを備える配向液噴射ユニットと、前記複数のオリフィスを制御するための複数の制御ユニットとを有するインクジェットヘッドを備え、前記複数の制御ユニットのそれぞれは、前記複数のオリフィスのそれぞれに対応し、前記オリフィスのそれぞれは、配向液を吹き付けるための複数の配向液噴射流路と、該配向液噴射流路のそれぞれの端部に穿設された複数の配向液噴射孔とを有する。 （もっと読む）

【課題】配向膜の表面で撥水処理を均一に行うことができる液晶装置の製造方法及び液晶装置並びに電子機器を提供すること。
【解決手段】無機配向膜１５、３４を加熱する加熱工程と、加熱された無機配向膜１５、３４の表面を活性化させる活性化工程と、活性化させた無機配向膜１５、３４の表面に、アルコール処理を施す撥水処理工程とを備え、前記加熱工程、活性化工程及び撥水処理工程を真空中で連続して行う。 （もっと読む）

【課題】水分や不純物が浸入する可能性を低減した液晶装置及び液晶装置の製造方法並びに電子機器を提供すること。
【解決手段】表面に金属酸化物からなる無機配向膜１５が形成されて対向配置されたＴＦＴアレイ基板５及び対向基板６と、ＴＦＴアレイ基板５及び対向基板６の間に封止された液晶層８とを備え、無機材料で構成された溶融状態のシール材７を固化することにより、ＴＦＴアレイ基板５及び対向基板６を貼り合わせて液晶層８を封止する封止工程を備える。 （もっと読む）