【課題】電子線用レジストの現像ローディング評価パターンにおいて、電子線露光時のfoggingの影響と現像ローディングの影響が発生する密なパターン領域を持つフォトマスクから、現像ローディングの影響のみを、工程を増やさず抽出することが出来、現像条件の最適化を行うことが出来る現像ローディング評価パターン、それを用いた評価方法、現像ローディング評価用マスク、および現像方法を提供することを課題とする。
【解決手段】電子線露光量に対応したパターン密度を有する複数個のダミーパターン部Ｂ、Ｃと、ダミーパターン部に近接して設けられた寸法測定パターン部Ａ、Ａ´と、を備えたことを特徴とする現像ローディング評価パターン。 （もっと読む）

【課題】プラスチックフィルム支持体上に支持体上に親水性層、感光層及びオーバー層を少なくともこの順に有する平版印刷版において、アルカリ剤の添加されていないケミカルレス処理剤による非画像部の除去が可能で、しかも現像後の印刷版の画像部の親油性が良好で、印刷時のインキ着肉性が良好なネガ型感光性平版印刷版を提供する。
【解決手段】プラスチックフィルム支持体上に、親水性層と、イオン性の親水性基を有する感光性ポリマーを有する感光層、更にオーバー層を少なくともこの順に含有する平版印刷版において、オーバー層に、感光性ポリマーと逆の電荷を有する単位を持つ水溶性ポリマーを含むことを特徴とする平版印刷版。 （もっと読む）

【課題】プラスチックフィルム支持体上に、少なくとも親水性層と光重合性の感光層を順に有するネガ型感光性平版印刷版に於いて、画像部の耐刷性、非画像部の地汚れ共に充分な性能が得られるネガ型感光性平版印刷版を提供する。
【解決手段】親水性層と支持体の間にゼラチンもしくはポリアクリル酸類と架橋剤を含有する中間層を有するネガ型感光性平版印刷版。 （もっと読む）

【課題】従来型の層よりも薄く、より吸収性が高い層を獲得しながら、隣接層に対する適切な粘着性を維持する印刷部材を提供すること。
【解決手段】印刷部材であって、ａ）ポリマー基板と、ｂ）該基板の上に配置された第１および第２の放射応答層であって、各放射応答層は、近ＩＲ放射のためのその光学侵入深さ未満の厚さを有しており、該第１の放射応答層は、６００〜１２００ｎｍの範囲の波長において少なくとも３の消散係数を有する金属から本質的に構成され、（ｉｉ）該第２の放射応答層は、６００〜１２００ｎｍの範囲の波長において少なくとも３０％の透過率を有する金属から本質的に構成される、第１および第２の放射応答層と、ｃ）該第１および第２の放射応答層の上に配置された最上位層であって、該最上位層および該基板は、インクまたはインクが粘着しない液体のうちの少なくとも１つに対して反対の親和力を有する、最上位層とを含む、印刷部材。 （もっと読む）

【課題】他層とのインターミキシングを防止できる樹脂組成物層を形成できるバイオチップを製造するための樹脂組成物及びこれを用いたバイオチップの製造方法を提供する。
【解決手段】本バイオチップを製造するための樹脂組成物は、（Ａ）末端にシアノ基を有する重合体と（Ｂ）感放射線性酸発生剤とを含有する。また、本方法は、（ａ）酸に不安定な保護基を有する第１分子からなる第１分子層を基板上に結合させる工程、（ｂ）前記第１分子層上に本樹脂組成物をコーティングして樹脂組成物層を形成する工程、（ｃ）前記樹脂組成物層を露光及び熱処理して、露光された部分に対応する前記第１分子層を構成する前記第１分子から前記保護基を除去する工程、（ｄ）前記樹脂組成物層を除去する工程、及び、（ｆ）前記保護基が除去された第１分子に第２分子を結合させる工程、を含む。 （もっと読む）

【課題】架橋性官能基を有するポリアリーレン樹脂を含有する感光性組成物を使用したフォトリソグラフィ方法において、感度、解像度、パターン形状、残膜率などの現像性を向上させることができる現像液組成物を提供する。
【解決手段】架橋性官能基を有するポリアリーレン樹脂を含有する感光性組成物を使用したフォトリソグラフィ方法において、前記ポリアリーレン樹脂に対する良溶媒および貧溶媒を含有する現像液組成物を用いて現像を行う。 （もっと読む）

【課題】レジストパターンを不溶化して硬化させる性能（硬化性能）に優れ、その後の露光処理、現像液、及びポジ型感放射線性樹脂組成物に対して十分に安定な不溶化レジストパターンとすることが可能なレジストパターンコーティング剤を提供する。
【解決手段】ヒドロキシアクリルアニリドとヒドロキシメタクリルアニリドの少なくともいずれかの単量体に由来する構造単位を含む（Ｉ）樹脂と、（ＩＩ）ラジカル発生剤と、を含有するレジストパターンコーティング剤である。 （もっと読む）

【課題】高精細印刷、高精度印刷に使用可能な版厚が薄く版厚均一性の良好な印刷版を簡便に製造する方法及び装置を提供する。
【解決手段】フォトマスク又はモールドの上面に粘度が０．２Ｐａ・ｓ以上５０．０Ｐａ・ｓ以下の感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂組成物層が積層されてなる２層積層体を形成する積層工程と、該感光性樹脂組成物層の上にシート状支持体を所定速度でラミネートすることによって、フォトマスク又はモールドと感光性樹脂組成物層とシート状支持体とからなる３層積層体を形成するラミネート工程と、該３層積層体を所定速度で加圧する加圧処理工程と、フォトマスク又はモールド側から該３層積層体に紫外線を照射する露光工程と、フォトマスク又はモールドを露光後の感光性樹脂組成物層から剥離する剥離工程とを含む、シート状支持体上に凹凸形状が形成された印刷版の製造方法。 （もっと読む）

【課題】赤外線レーザー露光により検版性が良好な色画像を形成することができる現像工程不要の平版印刷版原版及び製版方法を提供する。
【解決手段】 支持体上に、画像記録層を有する平版印刷版原版であって、（Ａ）下記一般式（１）で表される化合物及び（Ｂ）赤外線吸収染料を画像記録層に含有することを特徴とする平版印刷版原版。


式（１）中、Ｒは各々一価の有機基を表し、Ｘ⁻はアニオンを表す。 （もっと読む）

【課題】遮光部と着色部との密着性に優れ、コントラストに優れた画像表示を行うことが
できるカラーフィルターを提供すること。
【解決手段】本発明のカラーフィルターの製造方法は、基板上に感光性材料および熱硬化
性樹脂を含む遮光部形成用組成物を付与する工程と、感光性材料を露光することにより、
前記遮光部形成用組成物を、現像液に対する溶解性の高い易溶性部と溶解性の低い難溶性
部とを有するものとする工程と、現像により、難溶性部で仕切られた空間としてのセルを
複数個形成する工程と、セル内に着色剤および熱硬化性樹脂を含む着色部形成用材料を付
与する工程と、加熱により、遮光部形成用組成物中に含まれる熱硬化性樹脂を硬化させ遮
光部とするとともに、着色部形成用材料中に含まれる熱硬化性樹脂を硬化させ着色部とす
る工程とを有し、遮光部形成用組成物と着色部形成用材料とは、同種の熱硬化性樹脂成分
を含むものであることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】現像液中においてカスの発生を抑制でき、感度、耐刷性、及び、現像性に優れた平版印刷版原版を提供すること。
【解決手段】（Ａ）下記式（１）で表される単量体単位を有するバインダーポリマー、（Ｂ）エチレン性不飽和化合物、及び、（Ｃ）重合開始剤を含有する感光層を有することを特徴とする平版印刷版原版。式（１）中、Ｒ¹は水素原子又はメチル基を表し、Ｒ²は酸素原子又はＮＲ³を表し、Ｒ³は水素原子又は炭素数１〜１０の一価の炭化水素基を表し、Ｌ¹は水素原子以外の構成原子の数が２〜１０である二価の連結基を表し、Ｌ²は水素原子以外の構成原子の数が２〜５０である（ｎ＋１）価の連結基を表し、Ａ−Ｈは酸解離定数（ｐＫａ）が１１以下である残基を表し、ｎは１〜５の整数を表す。
（もっと読む）

【課題】 光の照射で感光層の表面の親水性が親油性に性質が変化し、現像処理を必要としない平版印刷用原版であって、非画像部の親水性に優れ、従って印刷の最初から非画像部はインクの付着がなく、且つ多量部の印刷を行っても地汚れを生じることなく、綺麗な印刷が行える平版印刷用原版、及び平版印刷版を提供する。
【解決手段】 支持体に親水性の感光層を有し、光の照射により感光層の表面の親水性が親油性に変化する平版印刷用原版であって、該感光層がパーフロロアルキル基を有する親水性樹脂、架橋剤、水分散疎水性樹脂、光吸収剤を含有してなる。 （もっと読む）

【課題】良好な現像性を示し、焼成後の反りが小さく、難燃性を発現する感光性組成物及び該感光性樹脂組成物からなる感光性フィルムを提供すること。
【解決手段】
（Ａ）アルカリ溶解性ポリイミド及び／又はポリイミド前駆体、（Ｂ）芳香族性水酸基を有するホスファゼン化合物の水酸基の一部の水素原子がキノンジアジド構造を有する官能基で置換されているキノンジアジド化合物を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】平版印刷版原版から作成した平版印刷版における白抜けを防止することができる平版印刷版原版包装体を提供すること。
【解決手段】合紙を挿入することなく積層されたネガ型平版印刷版原版の少なくとも最上部に、厚紙の片面又は両面にプラスチックが存在する厚紙のプラスチック面が前記平版印刷版原版の記録層と対向するように載置され、前記積層された平版印刷版原版及び前記厚紙の全体が遮光部材により包装されたことを特徴とする、平版印刷版原版包装体。 （もっと読む）

【課題】パターン形状に優れた、トリミング法によるパターン形成方法を簡易に実現できるようにする。
【解決手段】基板１０１の上に光酸発生剤を含むポジ型のレジスト膜１０２を形成する。その後、レジスト膜１０２に露光光を選択的に照射してパターン露光を行う。続いて、パターン露光が行われたレジスト膜１０２に第１の加熱を行い、加熱されたレジスト膜１０２に第１の現像を行って、第１のレジストパターン１０２ａを形成する。続いて、第１のレジストパターン１０２ａを、熱酸発生剤を含み且つポリマー及び架橋剤を含まない溶液１０４にさらし、溶液１０４にさらされた第１のレジストパターン１０２ａに第２の加熱を行う。その後、加熱された第１のレジストパターン１０２ａに第２の現像を行って、第１のレジストパターン１０２ａが縮小された第２のレジストパターン１０２ｂを得る。 （もっと読む）

【課題】リソグラフィーで用いられる少なくとも３層を有する多層レジスト膜のレジスト下層膜の形成方法であって、反射率を低減でき、エッチング耐性が高く、高い耐熱性、耐溶媒性を有し、アウトガスの発生を防ぎ、特に基板のエッチング中によれの発生がないレジスト下層膜を形成するためのレジスト下層膜形成方法及びこれを用いたパターン形成方法の提供。
【解決手段】リソグラフィーで用いられる少なくとも３層を有する多層レジスト膜のレジスト下層膜の形成方法であって、ビスナフトール基を有する化合物を含有するレジスト下層膜材料を基板上にコーティングし、該コーティングしたレジスト下層膜材料を３００℃を超え、６００℃以下の温度で、１０秒〜６００秒間の範囲で熱処理して硬化させることを特徴とするレジスト下層膜形成方法。 （もっと読む）

【課題】パターン露光後の現像工程を省略することができる、新規なフォトリソグラフィー法を提供すること。
【解決手段】被加工表面上に、ヒートモード感光性化合物を蒸着することにより蒸着膜を形成すること、上記蒸着膜に、上記化合物が感光性を有する波長のレーザー光をパターン露光すること、および、上記パターン露光後の蒸着膜を有する被加工表面の少なくとも一部にエッチング処理を施し、上記パターン露光において露光された部分に対応する領域における被加工表面の少なくとも一部をエッチングすること、を含む被加工表面のエッチング方法。被加工物上に複数の凹凸を形成する加工方法。被加工物上に、ヒートモード感光性化合物を蒸着することにより蒸着膜を形成すること、および、上記蒸着膜に、上記化合物が感光性を有する波長のレーザー光をパターン露光することにより、該蒸着膜に複数の凹部を形成すること、を含む。 （もっと読む）

【課題】異物や生産バッチ間での物性のばらつきが少なく、高い収率で高機能な、電子材料やディスプレイ材料等に用いられる樹脂組成物溶液を製造することができる攪拌装置を提供する。
【解決手段】攪拌装置１は、樹脂組成物溶液の製造に用いられ、攪拌槽２内に、回転可能な回転軸５と、回転軸５に設けられ、回転軸５の回転に伴って回転して樹脂組成物溶液を攪拌する攪拌翼７と、を備える。攪拌翼７は、上方より投入された樹脂組成物溶液の原料が下方に落下するように水平面に対して傾斜構造とされている上面を有する。また、攪拌槽２内に備えられた邪魔板１０も同様に、水平面に対して傾斜構造とされている上面を有する。 （もっと読む）

【課題】複雑な構成を用いることない、描画開始から終了に至るまでの全体にわたって欠陥のない滑らかなパターン形成方法を実現することを目的とする。
【解決手段】保護剤で被覆して安定化した超微粒子を基板に接触させ、基板上にエネルギービームを照射しながら基板上を走査することで超微粒子を基板上に固定するパターン形成法において、エネルギービームの照射開始時にエネルギービームのエネルギーをエネルギービームの照射開始点のパターン中央部に欠陥が生じないよう所定時間かけて増加させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、多量の版を処理しても、染色濃度の低下が少なく、版を汚染するようなヘドロの発生が少なく、安定した検版性を示す平版印刷版の染色方法およびそれに用いる染色液を提供することにある。
【解決手段】親水性アルミニウム支持体上に感光層を有する平版印刷版材料を、レーザーで露光後、ｐＨが３〜９でかつ下記一般式（１）のノニオン性界面活性剤を１種類以上含有する染色液で処理する平版印刷版の染色方法。
一般式（１） Ｒ_１−Ｏ−（Ｒ_２−Ｏ）ｎ−Ｈ
〔式中、Ｒ_１は総炭素数５以上１５以下の分岐型アルキル基を表し、Ｒ_２は置換基を有しても良い炭素数２から４のアルキレン基を表し、ｎは２〜２０の整数を表す。尚、Ｒ_２は、同一であっても異なっていてもよい。〕 （もっと読む）